JP2008137118A - 欠陥修正装置および欠陥修正方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】研磨筋を残すことなく突起欠陥を除去することが可能な欠陥修正装置を提供する。
【解決手段】欠陥修正装置は、ガラス基板1の表面に発生した突起欠陥を撮像する観察ユニット4と、突起欠陥の高さを検出する位置検出センサ5と、突起欠陥を研磨テープで除去する研磨加工ユニット6と、研磨テープによって発生した研磨筋をポリッシングパッドで除去する仕上加工ユニット7からなる。
【選択図】図1
【解決手段】欠陥修正装置は、ガラス基板1の表面に発生した突起欠陥を撮像する観察ユニット4と、突起欠陥の高さを検出する位置検出センサ5と、突起欠陥を研磨テープで除去する研磨加工ユニット6と、研磨テープによって発生した研磨筋をポリッシングパッドで除去する仕上加工ユニット7からなる。
【選択図】図1
Description
この発明は欠陥修正装置および欠陥修正方法に関し、特に、基板表面の突起欠陥を修正する欠陥修正装置および欠陥修正方法に関する。
近年、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイなどのフラットパネルディスプレイの開発が急ピッチで進められている。フラットパネルディスプレイの製造工程においては、異物の付着などによりガラス基板の表面に突起欠陥が発生する場合がある。突起欠陥を修正する方法としては、研磨テープや回転砥石で突起欠陥を研磨して除去する方法がある(たとえば特許文献1参照)。
特開平9−234660号公報
しかし、従来の欠陥修正方法では、ガラス基板の表面に研磨筋が残ると言う問題があった。ディスプレイの表示画像の品質をさらに向上させるためには、このような研磨筋も除去する必要がある。
それゆえに、この発明の主たる目的は、研磨筋を残すことなく突起欠陥を除去することが可能な欠陥修正装置および欠陥修正方法を提供することである。
この発明に係る欠陥修正装置は、基板表面の突起欠陥を修正する欠陥修正装置において、突起欠陥を研磨して除去する研磨加工ユニットと、基板表面に発生した研磨筋をポリッシングパッドで研磨して除去する仕上加工ユニットとを備えたことを特徴とする。
好ましくは、仕上加工ユニットは、ポリッシングパッドを基板表面に接触させて回転駆動させる駆動手段を含む。
また好ましくは、仕上加工ユニットは、ポリッシングパッドを基板表面に接触させて往復動させる駆動手段を含む。
また好ましくは、仕上加工ユニットは、ポリッシングパッドを基板表面に平行な直線を回転軸として回動可能に保持する保持部材を含み、駆動手段は、保持部材を介してポリッシングパッドを基板表面に接触させる。
また好ましくは、仕上加工ユニットは、ポリッシングパッドを基板表面に押圧する弾性部材を含み、駆動手段は、弾性部材を介してポリッシングパッドを基板表面に接触させる。
また好ましくは、仕上加工ユニットは、酸化セリウム材を研磨剤として使用する。
この発明に係る欠陥修正装置および欠陥修正方法では、突起欠陥を研磨して除去し、基板表面に発生した研磨筋をポリッシングパッドで研磨して除去するので、研磨筋を残すことなく突起欠陥を除去することができる。
図1は、この発明の一実施の形態による欠陥修正装置の全体構成を示す斜視図である。図1において、この欠陥修正装置は、修正対象のガラス基板1を水平に支持してXY軸方向(水平方向)に移動させるXYテーブル2と、ガラス基板1の表面に発生した突起欠陥の画像を撮像してモニタ3に表示させる観察ユニット4と、突起欠陥の高さを検出する位置検出センサ5と、突起欠陥を研磨して除去する研磨加工ユニット6と、ガラス基板1の表面に発生した研磨筋を研磨して除去する仕上加工ユニット7と、研磨時に発生した切り屑を排出する切り屑排出ユニット8と、観察ユニット4、位置検出センサ5、研磨加工ユニット6および仕上加工ユニット7をZ軸方向(垂直方向)に移動させるZテーブル9と、欠陥修正装置全体を制御するコントローラ10とを備える。XYテーブル2およびZテーブル9を制御することにより、観察ユニット4、位置検出センサ5、研磨加工ユニット6および仕上加工ユニット7のいずれかを、ガラス基板1の表面の任意の位置の上方の所定高さの位置に移動させることが可能となっている。
図2は、研磨加工ユニット6の構成を示す断面図である。図2において、この研磨加工ユニット6は、ガラス基板1表面の突起欠陥1aを研磨するための研磨テープ11と、新しい研磨テープ11が巻回されたテープ供給リール12と、使用済みの研磨テープ11を巻き取るためのテープ巻き取りリール13とを備える。テープ供給リール12にはトルク付与機構(図示せず)によって所定のトルクが付与され、研磨テープ11の弛みが防止される。テープ巻き取りリール13は、モータ(図示せず)によって回転駆動され、所定の速度で研磨テープ11を巻き取る。研磨テープ11は、リール12,13の下方に設けられたローラ14,15によってU字状に張り渡される。
また、この研磨加工ユニット6は、ローラ14,15間に垂直に設けられ、その先端が研磨テープ11の裏面に当接される研磨ヘッド16と、研磨ヘッド16を上下動可能に非接触で支持する静圧空気軸受(ラジアル軸受)17と、研磨ヘッド16の突起欠陥部に対する押付力(圧力)を所定値に調整するヘッド押付機構18と、研磨ヘッド16の上下方向の変位を非接触で検出する差動変圧器式変位計19と、上下動テーブル20とを備える。上下動テーブル20は、垂直に設けられたレール部20aと、スライド部20bとを含む。研磨テープ11、リール12,13、ローラ14,15、研磨ヘッド16、静圧空気軸受17、ヘッド押付機構18、および差動変圧器式変位計19は、スライド部20bに搭載されている。スライド部20bの位置は、駆動部(図示せず)により、レール部20aに沿って上下方向に移動される。
次に、このテープ研磨装置の動作について説明する。まず、位置検出センサ5によってガラス基板1の表面の正常部の高さと突起欠陥1aの高さとを検出する。次いで、XYテーブル2およびZテーブル9により、突起欠陥1aの上方の所定位置に研磨ヘッド16の先端部を位置決めする。次いで、上下動テーブル20を制御してスライド部20bを所定速度で下降させながら研磨テープ11を駆動してガラス基板1表面の正常部の高さまで所定の切込みスピードで研磨する。研磨中は、変位計19の検出結果に基づき、研磨ヘッド16のスライド部20bに対する変位量が一定になるように、切込みスピードを制御する。突起欠陥1aが長いために1回で除去できない場合は、研磨位置を変えて研磨を必要回数繰り返すことにより、突起欠陥1a全体を除去する。
図3は、仕上加工ユニット7の構成を示す図である。図3において、仕上加工ユニット7は、ガラス基板1表面の研磨すべき領域に水滴を供給する水滴供給部21と、突起欠陥1aの研磨時にガラス基板1の表面に発生した研磨筋を研磨して除去するための円柱形状のポリッシングパッド22と、回転軸23と、ポリッシングパッド22の上端面を回転軸23の下端部に首振可能に支持する保持部材24と、ポリッシングパッド22を回転駆動させるモータ25と、モータ25の回転軸25aの下端面と回転軸23の上端面の間に設けられた弾性部材26と、モータ25を上下方向に移動させる上下動テーブル27とを備える。上下動テーブル27は、垂直に設けられたレール部27aと、スライド部27bとを含む。モータ25はスライド部27bに固定され、スライド部27bはZテーブル9に固定されている。スライド部27bの位置は、駆動部(図示せず)により、レール部27aに沿って上下方向に移動される。ポリッシングパッド22の下端面には、研磨剤である酸化セリウムの粉が塗布されている。
保持部材24は、図4(a)(b)に示すように、円板部材24aと回転軸24bを含む。ポリッシングパッド22の上端面は、円板部材24aの下端面に固定される。たとえば、円板部材24aの下端面に設けた複数の突起をポリッシングパッド22の上端面に設けた複数の凹部に嵌め込むことにより、ポリッシングパッド22の着脱を容易に行なうことが可能となる。
回転軸24bは、円板部材24aの上端面の中央に立設されている。たとえば、板状に加工された回転軸23の下端部を回転軸24bの上端面に形成された溝に挿入し、回転軸23の下端部と回転軸24bの上端部とを水平方向に貫通する孔を形成し、その孔にピンを挿入することにより、そのピンを中心として保持部材24を回動可能に支持することができる。これにより、機械の取り付け誤差などによって、ガラス基板1の表面とポリッシングパッド22の下端面との平行度が悪い場合でも、ポリッシングパッド22の下端面をガラス基板1の表面に隙間なく接触させることができる。
弾性部材26は、図5(a)(b)に示すように、垂直方向に伸縮するバネ材を含む。これにより、ポリッシングパッド22を常に所定の力でガラス基板1の表面に押圧することが可能となる。バネ材の弾性力は、研磨加工後の研磨筋を除去することができるが、ガラス基板1の表面が大きく削れることがないように選択される。なお、バネ材を使用する代わりに、ゴムのように弾性変形可能な材料で弾性部材26を形成してもよい。
次に、この欠陥修正装置の使用方法について説明する。まず、位置検出センサ5を用いて突起欠陥1aの高さおよびガラス基板1表面の高さを測定し、その測定結果に基づき、研磨加工ユニット6を用いて突起欠陥1aを研磨して除去する。このとき、ガラス基板1の表面に研磨テープ11による研磨筋が発生したものとする。
次いで、テーブル2,9,27を駆動させてポリッシングパッド22の下端面を研磨筋が発生した領域の上方に高速移動させる。次に、モータ25を駆動させてポリッシングパッド22を回転駆動させる。ポリッシングパッド22の回転速度は、たとえば毎分100〜5000回転程度に設定される。次いで、ガラス基板1表面の研磨すべき領域に、水滴供給部21によって水を滴下する。次に、上下動テーブル27を駆動してポリッシングパッド22の下端面がガラス基板1の表面に接触するまでポリッシングパッド22を低速下降させ、ポリッシングパッド22をガラス基板1の表面に押圧して仕上加工を行なう。
このとき、研磨剤として酸化セリウムを使用しているので、酸化セリウムとガラスの化学変化(イオン交換)による化学研磨と、ポリッシングパッド22とガラス基板1の摩擦による機械研磨との両方の研磨が行なわれ、良好な仕上加工が行なわれる。
この実施の形態では、ガラス基板1表面に発生した突起欠陥1aを研磨テープ11で研磨して除去し、研磨テープ11によって発生した研磨筋をポリッシングパッド22で研磨して除去する。したがって、ガラス基板1表面の形状寸法に悪影響を及ぼすことなく、品質の高い修正を行なうことができる。
なお、この実施の形態では、ガラス基板1の突起欠陥1aを研磨する場合について説明したが、研磨加工の対象物はガラス基板1に限るものではなく、どのような材料の基板でもよいことは言うまでもない。また、基板の材料などによっては、水を滴下せずに研磨することも可能である。また、テープ研磨に限らず、回転砥石などの他の方法で突起欠陥1aを研磨してもよい。
また、図6は、この実施の形態の変更例を示す図であって、図3と対比される図である。図6を参照して、この仕上加工ユニット30が図3の仕上加工ユニット7と異なる点は、モータ25が往復運動機構31で置換されている点である。往復運動機構31は、アーム部31aとスライド部31bを含む。アーム部31aは、水平に設けられ、その基端部は上下動テーブル27のスライド部27bに固定されている。スライド部31bは、アーム部31aに沿って水平方向に往復動可能に設けられており、駆動部(図示せず)により往復動される。スライド部31bの下端部は、弾性部材26を介して回転軸23の上端部に結合されている。上下動テーブル27のスライド部27bを下降させてポリッシングパッド22の下端面をガラス基板1の表面に押圧し、往復運動機構31のスライド部31bを往復動させることにより、ガラス基板1表面の研磨筋を研磨して除去することができる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 ガラス基板、1a 突起欠陥、2 XYテーブル、3 モニタ、4 観察ユニット、5 位置検出センサ、6 研磨加工ユニット、7,30 仕上加工ユニット、8 切り屑排出ユニット、9 Zテーブル、10 コントローラ、11 研磨テープ、12 テープ供給リール、13 テープ巻き取りリール、14,15 ローラ、16 研磨ヘッド、17 静圧空気軸受、18 ヘッド押付機構、19 差動変圧器式変位計、20,27 上下動テーブル、20a,27a レール部、20b,27b スライド部、21 水滴供給部、22 ポリッシングパッド、23 回転軸、24 保持部材、24a 円板部材、24b 回転軸、25 モータ、25a 回転軸、26 弾性部材、31 往復運動機構、31a アーム部、31b スライド部。
Claims (7)
- 基板表面の突起欠陥を修正する欠陥修正装置において、
前記突起欠陥を研磨して除去する研磨加工ユニットと、
前記基板表面に発生した研磨筋をポリッシングパッドで研磨して除去する仕上加工ユニットとを備えたことを特徴とする、欠陥修正装置。 - 前記仕上加工ユニットは、前記ポリッシングパッドを前記基板表面に接触させて回転駆動させる駆動手段を含むことを特徴とする、請求項1に記載の欠陥修正装置。
- 前記仕上加工ユニットは、前記ポリッシングパッドを前記基板表面に接触させて往復動させる駆動手段を含むことを特徴とする、請求項1に記載の欠陥修正装置。
- 前記仕上加工ユニットは、前記ポリッシングパッドを前記基板表面に平行な直線を回転軸として回動可能に保持する保持部材を含み、
前記駆動手段は、前記保持部材を介して前記ポリッシングパッドを前記基板表面に接触させることを特徴とする、請求項2または請求項3に記載の欠陥修正装置。 - 前記仕上加工ユニットは、前記ポリッシングパッドを前記基板表面に押圧する弾性部材を含み、
前記駆動手段は、前記弾性部材を介して前記ポリッシングパッドを前記基板表面に接触させることを特徴とする、請求項2から請求項4までのいずれかに記載の欠陥修正装置。 - 前記仕上加工ユニットは、酸化セリウム材を研磨剤として使用することを特徴とする、請求項2から請求項5までのいずれかに記載の欠陥修正装置。
- 基板表面の突起欠陥を修正する欠陥修正方法において、
前記突起欠陥を研磨して除去し、前記基板表面に発生した研磨筋をポリッシングパッドで研磨して除去することを特徴とする、欠陥修正方法。
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