JP4478732B2 - ダイシング装置、ダイシング装置ユニット、及びダイシング方法 - Google Patents
ダイシング装置、ダイシング装置ユニット、及びダイシング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4478732B2 JP4478732B2 JP2009140440A JP2009140440A JP4478732B2 JP 4478732 B2 JP4478732 B2 JP 4478732B2 JP 2009140440 A JP2009140440 A JP 2009140440A JP 2009140440 A JP2009140440 A JP 2009140440A JP 4478732 B2 JP4478732 B2 JP 4478732B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- dicing
- workpiece
- work table
- blade
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 69
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 63
- 239000003595 mist Substances 0.000 claims description 25
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 22
- 239000002699 waste material Substances 0.000 claims description 22
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 20
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 8
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 7
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 7
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 7
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 7
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 7
- ZLHLYESIHSHXGM-UHFFFAOYSA-N 4,6-dimethyl-1h-imidazo[1,2-a]purin-9-one Chemical compound N=1C(C)=CN(C2=O)C=1N(C)C1=C2NC=N1 ZLHLYESIHSHXGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 6
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Dicing (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
また、スピンドル移動機構に取り付けられたブレードでワークを切断するとき、ブレードの回転方向に沿って飛散する廃液(切削水や洗浄水など)やミストは、その飛散方向の略延長線上に設けた排出機構に夫々直接流れ込み、排出機構に設けられる1対のガイド部材によって流出口(排出口や排気口)に向けて収束するように流れて、流出口から装置外部に排出される。
さらに、オイルパンがワーク切断加工部にて幅広に形成されているので、ワーク切断加工部から流れ出る廃液はオイルパンにより広範囲に受け止められるとともに、オイルパンは排出機構に向かうに伴い幅狭になるように形成されているので、オイルパンに流れ込んだ廃液は流速を大きくしながら排出機構に向かって流れ、流出口から装置外部に排出される。
排出機構8は排出口11を有し、排出口11は高速回転するブレード21,21でワークWを切断する際に、ブレード21の回転方向である矢印Aに沿って切削水や洗浄水が飛散する方向の略延長線上に配置されている。また、排出口11真上にはミストを排出するための排気口12が形成されている。
Claims (4)
- ワークを載置したワークテーブルと、該ワークを切断するブレードと、該ワークテーブル上のワークを前記ブレードに対して相対的に移動させるワークテーブル送り機構と、前記ブレードを回転可能に取り付けた1つ以上のスピンドルと、該スピンドルを支持するスピンドル移動機構と、を備え、該スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交して配設されたダイシング装置において、
前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構は、平面視方形に形成されたダイシング装置の方形筐体の対角線上に配置され、且つ、前記ダイシング装置の略中央部にワーク切断加工部が配設されているとともに、前記ワークテーブル送り機構が配置された一端側にワーク交換部が設けられ、
前記スピンドル移動機構には、該スピンドル移動機構が配置される前記方形筐体の対角線方向に沿って2つのスピンドルが対向するように配置され、
前記ワークテーブル送り機構の前記ワーク交換部が設けられる側とは反対側には、前記ワークの切断時に前記ブレードの回転方向に沿って飛散する廃液又はミストを装置外部に排出するための流出口を有する排出機構が配設され、
前記排出機構には、前記廃液又はミストを前記流出口に収束させるための1対のガイド部材が前記廃液又はミストの飛散方向の略延長線上に設けられ、
前記ワーク切断加工部から流れ出る廃液を受けるオイルパンが前記ワークテーブルを囲むように設けられ、該オイルパンの一端には前記排出機構が配設され、
前記オイルパンは前記ワーク切断加工部から前記排出機構へ向かうに伴い幅狭になるように形成されていることを特徴とするダイシング装置。 - 前記ワーク交換部が設けられた側の前記方形筐体が前記スピンドル移動機構と略平行に斜めに切欠かれ、且つ、該方形筐体の切欠き箇所にワーク交換及びメンテナンスを行うための開口部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のダイシング装置。
- 請求項1又は請求項2に記載のダイシング装置を偶数台設置してなるダイシング装置ユニットであって、前記方形筐体の切欠き箇所同士が互いに隣接するように2台を一組として配置することにより構成されることを特徴とするダイシング装置ユニット。
- 請求項1又は請求項2に記載のダイシング装置を用いたダイシング方法であって、前記ワークを前記方形筐体の一方の対角線方向に沿って搬送し、該方形筐体の略中央部に位置する前記スピンドル移動機構と前記ワークテーブル送り機構とが互いに直交した前記ワーク切断加工部にて停止させた後、回転する前記ブレードと前記ワークとを相対的に移動させることにより該ワークを切断することを特徴とするダイシング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009140440A JP4478732B2 (ja) | 2008-06-12 | 2009-06-11 | ダイシング装置、ダイシング装置ユニット、及びダイシング方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008154213 | 2008-06-12 | ||
JP2009140440A JP4478732B2 (ja) | 2008-06-12 | 2009-06-11 | ダイシング装置、ダイシング装置ユニット、及びダイシング方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010057802A Division JP5206998B2 (ja) | 2008-06-12 | 2010-03-15 | ダイシング装置、ダイシング装置ユニット、及びダイシング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010021542A JP2010021542A (ja) | 2010-01-28 |
JP4478732B2 true JP4478732B2 (ja) | 2010-06-09 |
Family
ID=41706079
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009140440A Active JP4478732B2 (ja) | 2008-06-12 | 2009-06-11 | ダイシング装置、ダイシング装置ユニット、及びダイシング方法 |
JP2010057802A Active JP5206998B2 (ja) | 2008-06-12 | 2010-03-15 | ダイシング装置、ダイシング装置ユニット、及びダイシング方法 |
JP2013028721A Active JP5252332B2 (ja) | 2008-06-12 | 2013-02-18 | ダイシング装置、ダイシング装置ユニット、及びダイシング方法 |
JP2013089568A Active JP5326181B2 (ja) | 2008-06-12 | 2013-04-22 | ダイシング装置 |
Family Applications After (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010057802A Active JP5206998B2 (ja) | 2008-06-12 | 2010-03-15 | ダイシング装置、ダイシング装置ユニット、及びダイシング方法 |
JP2013028721A Active JP5252332B2 (ja) | 2008-06-12 | 2013-02-18 | ダイシング装置、ダイシング装置ユニット、及びダイシング方法 |
JP2013089568A Active JP5326181B2 (ja) | 2008-06-12 | 2013-04-22 | ダイシング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (4) | JP4478732B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5389540B2 (ja) * | 2009-06-12 | 2014-01-15 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP5606838B2 (ja) * | 2010-09-07 | 2014-10-15 | 株式会社ディスコ | 切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具および取り付け状態確認方法 |
JP4984186B1 (ja) * | 2011-03-24 | 2012-07-25 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置 |
JP5924467B2 (ja) * | 2011-04-12 | 2016-05-25 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置 |
US8947020B1 (en) | 2011-11-17 | 2015-02-03 | Universal Lighting Technologies, Inc. | End of life control for parallel lamp ballast |
JP5785069B2 (ja) * | 2011-12-05 | 2015-09-24 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP5845555B2 (ja) * | 2011-12-06 | 2016-01-20 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置 |
JP5995609B2 (ja) * | 2012-08-24 | 2016-09-21 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP6054201B2 (ja) * | 2013-02-26 | 2016-12-27 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP6054202B2 (ja) * | 2013-02-26 | 2016-12-27 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2016120569A (ja) * | 2014-12-25 | 2016-07-07 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP7345963B2 (ja) * | 2019-05-13 | 2023-09-19 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP7358918B2 (ja) * | 2019-11-05 | 2023-10-11 | 村田機械株式会社 | 立型旋盤 |
CN114474418A (zh) * | 2020-10-23 | 2022-05-13 | 上海东河机电科技有限公司 | 一种斜角布局大工件金刚石砂线切割机 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3485816B2 (ja) * | 1998-12-09 | 2004-01-13 | 太陽誘電株式会社 | ダイシング装置 |
JP2006218551A (ja) * | 2005-02-08 | 2006-08-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP4680693B2 (ja) * | 2005-06-20 | 2011-05-11 | リンテック株式会社 | 板状部材の分割装置 |
-
2009
- 2009-06-11 JP JP2009140440A patent/JP4478732B2/ja active Active
-
2010
- 2010-03-15 JP JP2010057802A patent/JP5206998B2/ja active Active
-
2013
- 2013-02-18 JP JP2013028721A patent/JP5252332B2/ja active Active
- 2013-04-22 JP JP2013089568A patent/JP5326181B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5206998B2 (ja) | 2013-06-12 |
JP2013175766A (ja) | 2013-09-05 |
JP2013093624A (ja) | 2013-05-16 |
JP5326181B2 (ja) | 2013-10-30 |
JP5252332B2 (ja) | 2013-07-31 |
JP2010021542A (ja) | 2010-01-28 |
JP2010171440A (ja) | 2010-08-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4478732B2 (ja) | ダイシング装置、ダイシング装置ユニット、及びダイシング方法 | |
JP6255238B2 (ja) | 切削装置 | |
JP5235610B2 (ja) | 工作機械の加工粉排出装置 | |
KR101567908B1 (ko) | 다이싱 장치, 다이싱 장치 유닛 및 다이싱 방법 | |
JP6061720B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2007216377A (ja) | ダイシング装置及びダイシング方法 | |
JP2007130730A (ja) | 切削装置 | |
JP5845555B2 (ja) | ダイシング装置 | |
KR20170113169A (ko) | 이동체 이송 기구 및 가공 장치 | |
JP5495911B2 (ja) | ダイシング装置並びに排水排気機構付きダイシング装置及びその環境制御方法 | |
JP2019155589A (ja) | ドレッシング装置及びドレッシング方法 | |
JP5495832B2 (ja) | ダイシング装置、ダイシング装置ユニット及びダイシング方法 | |
JP4880244B2 (ja) | 切削装置 | |
JP5486225B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2003025181A (ja) | 加工機の排気機構 | |
JP2008147344A (ja) | 加工装置 | |
JP4481668B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2003117766A (ja) | 切削装置 | |
JP6552105B2 (ja) | ドレッシング装置及びドレッシング方法 | |
JP6639942B2 (ja) | ノズル調整治具 | |
JP2003318134A (ja) | ダイシング装置及びダイシング方法 | |
KR20210141340A (ko) | 절삭 장치 | |
US20230330807A1 (en) | Spindle unit | |
JP7161415B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2021167039A (ja) | 加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091023 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20091023 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20091124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091127 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100212 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100315 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4478732 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130319 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140319 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |