JP4471009B2 - イオン注入方法およびイオン注入装置 - Google Patents
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Description
N=mn[回]
4 イオンビーム
10 基板駆動装置
12 ホルダ
14 モータ(ツイストモータ)
16 モータ(チルトモータ)
18 スキャン装置
30 制御装置
Claims (4)
- X方向の走査を経て、またはX方向の走査を経ることなく、X方向の寸法が当該X方向と直交するY方向の寸法よりも大きいリボン状のイオンビームと、基板を前記イオンビームの主面に交差する方向に機械的にスキャンすることとを併用して、前記基板にイオン注入を行うイオン注入方法において、
前記イオンビームのビーム電流、前記基板へのドーズ量、および、前記基板のスキャン回数を算出するための基準となる基準スキャン速度を用いて、前記ドーズ量を実現するための前記基板のスキャン回数を、小数点以下を切り捨てた整数値で算出し、
前記算出したスキャン回数が2以上か否かを判断して、2よりも小さい場合は処理を中断し、2以上の場合は前記算出したスキャン回数が偶数か奇数かを判断して、偶数の場合は当該スキャン回数をそのまま実用スキャン回数とし、奇数の場合はそれよりも1小さい偶数のスキャン回数を求めてそれを実用スキャン回数とし、
前記実用スキャン回数、前記ビーム電流および前記ドーズ量を用いて、前記基板の実用スキャン速度を算出し、
前記実用スキャン回数および前記実用スキャン速度に従って前記基板にイオン注入を行うことを特徴とするイオン注入方法。 - X方向の走査を経て、またはX方向の走査を経ることなく、X方向の寸法が当該X方向と直交するY方向の寸法よりも大きいリボン状のイオンビームと、基板を前記イオンビームの主面に交差する方向に機械的にスキャンすることとを併用して、前記基板にイオン注入を行う構成のイオン注入装置において、
(a)前記イオンビームのビーム電流、前記基板へのドーズ量、および、前記基板のスキャン回数を算出するための基準となる基準スキャン速度を用いて、前記ドーズ量を実現するための前記基板のスキャン回数を、小数点以下を切り捨てた整数値で算出する機能と、(b)前記算出したスキャン回数が2以上か否かを判断して、2よりも小さい場合は処理を中断し、2以上の場合は前記算出したスキャン回数が偶数か奇数かを判断して、偶数の場合は当該スキャン回数をそのまま実用スキャン回数とし、奇数の場合はそれよりも1小さい偶数のスキャン回数を求めてそれを実用スキャン回数とする機能と、(c)前記実用スキャン回数、前記ビーム電流および前記ドーズ量を用いて、前記基板の実用スキャン速度を算出する機能と、(d)前記実用スキャン回数および前記実用スキャン速度に従って前記基板にイオン注入を行う機能とを有している制御装置を備えていることを特徴とするイオン注入装置。 - X方向の走査を経て、またはX方向の走査を経ることなく、X方向の寸法が当該X方向と直交するY方向の寸法よりも大きいリボン状のイオンビームと、基板を前記イオンビームの主面に交差する方向に機械的にスキャンすることと、2以上の整数をmとすると前記基板にイオンビームが当たっていない間に前記基板をその中心部を中心にして360/m度ずつ回転させて、前記基板の1回転分を前記2以上の整数mの注入ステップに分けてイオン注入を行うこととを併用して、前記基板にイオン注入を行うイオン注入方法において、
前記イオンビームのビーム電流、前記基板へのドーズ量、前記注入ステップ数、および、前記基板の1注入ステップ当たりのスキャン回数を算出するための基準となる基準スキャン速度を用いて、前記ドーズ量を実現するための前記基板の1注入ステップ当たりのスキャン回数を、小数点以下を切り捨てた整数値で算出し、
前記算出した1注入ステップ当たりのスキャン回数が1以上か否かを判断して、1よりも小さい場合は処理を中断し、1以上の場合は前記算出した1注入ステップ当たりのスキャン回数が偶数か奇数かを判断して、偶数の場合は当該スキャン回数をそのまま1注入ステップ当たりの実用スキャン回数とし、奇数の場合はそれが1か否かを判断して、1の場合はそれをそのまま1注入ステップ当たりの実用スキャン回数とし、1でない場合はそれよりも1小さい偶数のスキャン回数を求めてそれを1注入ステップ当たりの実用スキャン回数とし、
前記1注入ステップ当たりの実用スキャン回数、前記ビーム電流、前記ドーズ量および前記注入ステップ数を用いて、前記基板の実用スキャン速度を算出し、
前記1注入ステップ当たりの実用スキャン回数および前記実用スキャン速度に従って前記基板にイオン注入を行うことを特徴とするイオン注入方法。 - X方向の走査を経て、またはX方向の走査を経ることなく、X方向の寸法が当該X方向と直交するY方向の寸法よりも大きいリボン状のイオンビームと、基板を前記イオンビームの主面に交差する方向に機械的にスキャンすることと、2以上の整数をmとすると前記基板にイオンビームが当たっていない間に前記基板をその中心部を中心にして360/m度ずつ回転させて、前記基板の1回転分を前記2以上の整数mの注入ステップに分けてイオン注入を行うこととを併用して、前記基板にイオン注入を行う構成のイオン注入装置において、
(a)前記イオンビームのビーム電流、前記基板へのドーズ量、前記注入ステップ数、および、前記基板の1注入ステップ当たりのスキャン回数を算出するための基準となる基準スキャン速度を用いて、前記ドーズ量を実現するための前記基板の1注入ステップ当たりのスキャン回数を、小数点以下を切り捨てた整数値で算出する機能と、(b)前記算出した1注入ステップ当たりのスキャン回数が1以上か否かを判断して、1よりも小さい場合は処理を中断し、1以上の場合は前記算出した1注入ステップ当たりのスキャン回数が偶数か奇数かを判断して、偶数の場合は当該スキャン回数をそのまま1注入ステップ当たりの実用スキャン回数とし、奇数の場合はそれが1か否かを判断して、1の場合はそれをそのまま1注入ステップ当たりの実用スキャン回数とし、1でない場合はそれよりも1小さい偶数のスキャン回数を求めてそれを1注入ステップ当たりの実用スキャン回数とする機能と、(c)前記1注入ステップ当たりの実用スキャン回数、前記ビーム電流、前記ドーズ量および前記注入ステップ数を用いて、前記基板の実用スキャン速度を算出する機能と、(d)前記1注入ステップ当たりの実用スキャン回数および前記実用スキャン速度に従って前記基板にイオン注入を行う機能とを有している制御装置を備えていることを特徴とするイオン注入装置。
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