JP2000299364A - 光データ伝送装置及びこれを用いた光データ伝送システム - Google Patents
光データ伝送装置及びこれを用いた光データ伝送システムInfo
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Abstract
移載する搬送システムにおいて、無人搬送車が受け渡し
位置に到着する前から、他の装置との混信することなく
光データ伝送ができるようにし、受け渡しの準備作業を
先行して行わせ、製造効率を向上する。 【解決手段】 無人搬送車1と製造装置2に取付ける光
データ伝送装置11として、無人搬送車が到着する前か
ら到着するまでの期間に、光データ伝送が可能となるよ
うに投受光エリアを大きくした投光器12a及び受光器
12bと、自己のIDを設定するID記憶手段13a
と、送信データに所定のIDを付加するID付加手段1
3bと、受光データから所定のIDを持つもののみを受
信データとして取り込む選択手段13cを備えたものを
用い、送信データにIDを付加することにより、他の装
置との混信を防止する。
Description
備えた搬送システムにおいて、無人搬送車と製造装置の
双方に取り付けられ、移載物の受け渡しに必要なデータ
を双方向通信により伝送する光データ伝送装置に関し、
特に、無人搬送車が受け渡し位置に到着する前から送受
信を開始して受け渡しの準備を先行させることにより製
造効率の向上を図った光データ伝送システムに関する。
ンでは、建家内に配置した複数の製造装置に対して、半
導体ウエーハや液晶表示器の基板を、無人搬送車により
工程に従って移載している。
スの製造ラインにおいて、無人搬送車1と半導体製造装
置2の間で、AMHS(Automated material handling
systems)によって、半導体ウエ−ハ3を収納した移載
物であるキャリア4を受け渡す状態を示したものであ
る。図6(a)は無人搬送車が車輪によって自走するA
GV(Automated Guided Vchicle)である場合で、AM
HSのアーム5とハンド6によって、キャリア4を半導
体製造装置2に積み降している。図6(b)は無人搬送
車1が床面に設けたガイドレール7を走行するRGV
(Rail Guided Vchicle)である場合で、AMHSによ
って同様の積み降ろしが行なわれている。図6(c)は
無人搬送車が天井面に設けたガイドレール8を走行する
OHT(Overhead Hoist Transport)である場合で、こ
の場合はAMHSの持つホイスト9とハンド10でキャ
リア4の積み降ろしを行なっている。
デバイスの製造ライン全体を制御するコントロールシス
テムの指令に基づき、無人搬送車1と半導体製造装置2
の夫々に搭載されたホストコンピュータによって行われ
る。この受け渡し時に、無人搬送車1と半導体製造装置
2を連携動作させる必要があるので、無人搬送車1と半
導体製造装置2の双方に設けた光データ伝送装置によっ
て、必要なデータの送受信を行っている。
から半導体製造装置2にキャリア4を積み降ろす作業に
ついて説明する。移載物であるキャリア4を積み込んだ
無人搬送車1が半導体製造装置2と対向する位置に到着
すると、無人搬送車1から、光信号によって、その到着
と積み降ろしのために必要な情報を、半導体製造装置2
に通信する。この信号を受けた半導体製造装置2は、キ
ャリア4を受け取るため、図示しない受入口のシャッタ
を開ける等の準備を開始し、この準備が整った後に、受
入れ準備完了を光信号によって無人搬送車1に送信す
る。無人搬送車1は、この光信号を受け取った後に、キ
ャリア4の積み降ろしを開始する。
搬送車1に積み込む場合も、無人搬送車1が所定の停止
位置に到着してから、前記同様の手順で行われる。
伝送装置との混信を防止するため、投受光エリアを、か
なり小さく設定し、近接した状態で対面した光データ伝
送装置の間でのみ、データ伝送を行うようにしている。
ウエーハの代わりにサイズの大きいガラス基板を用いる
が、類似した処理工程を経て製造されるため、図6と同
様の移載を行っている。
価で割れやすいものであるため、衝撃を与えないように
慎重に取り扱う必要がある。このため、これらの搬送シ
ステムは、何等かのトラブルが発生した場合には、移載
動作を即時に停止させるインターロック機構を備えてい
る。
の受け渡しにおいて、無人搬送車1が到着してから受け
渡し作業が開始されるまでの待機時間は、5〜10秒程
度であった。この待機時間は、半導体デバイスの製造ラ
インの稼動時間当たりの製造数を少なくし、製造コスト
低減の障害になるものである。
1が所定の停止位置に到着する前から光通信を始め、到
着する前から受け渡しの準備作業を開始することが考え
られる。
は、光データ伝送装置の持つ投受光器の指向角を広げる
と共に、光の到達距離を大きくする必要があり、同一フ
ロア内にある他の無人搬送車及び製造装置の持つ光デー
タ伝送装置と混信してしまう。
と混信を起させないで、無人搬送車が受け渡し位置に到
着する前から光通信を始められるようにすることによ
り、待機時間をなくし若しくは短縮できる光データ伝送
装置及びこれを用いた光データ伝送システムを提供する
ことを目的とする。
発明は、トラブル発生時に動作を停止するインターロッ
ク機構を有し、無人搬送車によって、製造ラインに配置
された複数の製造装置に移載物を搬送する搬送システム
に備えられ、移載物の受け渡しに必要なデータを双方向
通信により伝送するために、無人搬送車と製造装置の双
方に取付けられる光データ伝送装置において、製造装置
に向かって走行する無人搬送車が、受け渡し位置に到達
する前から受け渡し位置に到達するまでの期間にデータ
伝送が可能となるように投受光エリアを大きくした投光
器及び受光器と、自己のIDを設定するID記憶手段
と、投光器から送信するデータに所定のIDを付加する
ID付加手段と、受光器で受光したデータから所定のI
Dを持つもののみを受信データとして取り込む選択手段
とを備えたことを特徴とする光データ伝送装置である。
指向角と光の到達距離及び受光感度の設定により、無人
搬送車が受け渡し位置に到着する以前から光通信が可能
である。また、送信する光信号は、実データに所定のI
Dが付加されて送信される。これは、例えば実データが
8ビットであるとき、これに8ビットのIDを付加して
16ビットのデータとするものである。受光器で受信さ
れた光信号は、選択手段により、所定のIDが付けられ
たもののみを受信データとして取り込む。したがって、
投受光エリアを広く設定していても、通信対象以外の光
データ伝送装置との混信を防止できる。
光データ伝送装置を用いて、無人搬送車と製造装置との
間で、半導体受け渡し時のデータ伝送を行なうようにし
た光データ伝送システムに関するものである。
請求項1記載の光データ伝送装置を夫々備えた製造装置
と無人搬送車の間で、製造装置に向かって走行する無人
搬送車が、受け渡し位置に到達する前から受け渡し位置
に到達するまでの期間に、移載物の受け渡しのために必
要なデータを双方向通信により送受信するようにした光
データ伝送システムであって、無人搬送車と製造装置の
光データ伝送装置は、送受信するための所定のIDとし
て相手先のIDを用いることを特徴とする光データ伝送
システムである。
搬送車が到着する前から、他の装置と混信することなく
光通信が可能になる。
用した場合の実施態様について説明する。図1におい
て、11は無人搬送車1と半導体製造装置2に共用され
る光データ伝送装置を示すものであり、投受光部12、
制御部13,モードスイッチ14、シリアルインターフ
ェース15を備えている。
2aとしてLED等の発光素子及びドライブ回路を備
え、受光器12bとして、フォトダイオード等の受光素
子とアンプを備える。投光器12aと受光器12bは、
無人搬送車1が半導体製造装置2に向かって走行してい
るとき、所定時間(例えば、5秒〜10秒といった積み
降ろしの準備時間)前から、停止位置に到達するまでの
期間中に送受信が可能な投受光エリアが得られるよう
に、レンズ及び視野絞りが設計されると共に、投光量及
び受光感度が設定され、所定の向きで取り付けられてい
る。
加したデータ伝送を管理するもので、CPU等によって
構成され、自己のIDを記憶するID記憶手段13a、
ID記憶手段に自己のIDを設定するID設定手段13
b、送信するデータに所定のIDを付加するID付加手
段13c、受信したデータの内で所定のIDを持つもの
のみを受信データとして取り込む選択手段13dを備え
ている。
3の動作モードを送信を先行させるアクティブモードと
受信を先行させるパッシブモードに切換えるものであ
る。
て、光データ伝送装置の外部接続線をコンパクト化する
ために採用されたものである。
ように、半導体デバイスの製造ラインを構成する無人搬
送車1と半導体製造装置2に取付けられ、無人搬送車1
と半導体製造装置2が装備するホストコンピュータ1
6,16に接続される。各光データ伝送装置11は、モ
ードスイッチ14によって、無人搬送車の光データ伝送
装置が送信を先行して行うアクティブモード、半導体製
造装置の光データ伝送装置が送信を受けた後に受信を行
うパッシブモードに設定される。
各光データ伝送装置11の内部を開かないでIDを設定
するために使用される。このIDは、例えば8ビットデ
ータで、半導体製造装置2に装備される光データ伝送装
置は1〜FEの1つが割り当てられ、無人搬送車1に装
備される光データ伝送装置にはFFが割り当てられる。
この光リモコン装置17によるID設定は、光データ伝
送装置11の投受光部12に光信号を送受信し、前記制
御部13のID設定手段13bにより、ID記憶手段1
3aにIDを書き込ませることによって行う。
11は、次のように半導体受け渡し時のデータ伝送を行
う。図3はその信号の流れ図、図4はタイミングチャー
トである。
ルシステムから指令を受けて半導体製造装置に向かって
走行しているとき、受け渡し対象の半導体製造装置のI
Dを付加したデータを送信する。これは、制御部13が
ID付加手段13cによって、例えば図5に示すよう
に、先頭の8ビットをID領域、これに続く8ビットを
実データ領域とし、16ビットで一組のデータとして送
信するものである。無人搬送車1が投受光エリアに入る
と、半導体製造設備2の光データ伝送装置11が、これ
を受信し、IDが自己のIDと一致していると制御部1
3の選択手段13dによって受信データとして取り込
み、受入口のシャッターを開く等の半導体受入れの準備
動作を開始する。この後は、無人搬送車1と半導体製造
装置2の各光データ伝送装置の間で、データの送受が行
われる。半導体製造装置2の光データ伝送装置11から
送信されるデータには、無人搬送車のIDが付加され、
無人搬送車は、このIDが自己のIDと一致していると
きに、受信データとして取り込む。無人搬送車の到着時
に、前記準備の終了が確認できていれば、直ちに半導体
の積み下ろしを開始することができる。
準備をさせることができるので、到着後の待機時間を0
にするか、又は短縮することができ、半導体デバイス製
造の効率化が図れ、コストダウンが可能となる。
車に固有のIDを割り当て、複数の無人搬送車を区別す
る方式を採用してもよい。また、特定の場所での半導体
の受け渡しを、他所の受け渡しと区別するという考え
で、無人搬送車の光データ伝送装置は、送受信対象とす
る半導体製造装置のIDを用い、半導体製造装置の光デ
ータ伝送装置は、自己のIDを用いるようにしてもよ
い。
製造ラインに適用した場合のものであるが、本発明は、
インターロック機構を備えた無人搬送車を用いた搬送シ
ステムに適用できるものである。例えば、液晶表示器の
製造ラインの場合は、上記半導体デバイスの製造ライン
と同様の処理工程を持ち、無人搬送車と製造装置の間で
行われる移送物の受け渡しの手順及び通信の内容は略同
様であるので、同一の光データ伝送装置を用いることが
できる。
搬送ラインにおいて、無人搬送車と製造装置の間で半導
体の受け渡し時におこなう光データ伝送を、IDを付加
したデータによって行うことにより、他の装置と混信し
ないで、無人搬送車が到着する前から可能とし、受け渡
しの準備作業を先行させることにより、製造効率の向上
によるコストダウンが可能となる。
導体製造装置に取り付けた光データ伝送システムの構成
を示す図
のCPUを通して行われる信号の流れを説明する図
れるIDが付加されたデータを示す図
半導体の受け渡しを無人搬送車の種類毎に説明する図 1 無人搬送車 2 半導体製造装置 3 半導体ウエ−ハ 4 移載物(キャリア) 11 光データ伝送装置 12 投受光部12 12a 投光器 12b 受光器 13 制御部 13a ID記憶手段 13b ID設定手段 13c ID付加手段 13d 選択手段 14 モードスイッチ 15 シリアルインターフェース 16 ホストコンピュータ 17 光リモコン装置
Claims (2)
- 【請求項1】 トラブル発生時に動作を停止するインタ
ーロック機構を有し、無人搬送車によって、製造ライン
に配置された複数の製造装置に移載物を搬送する搬送シ
ステムに備えられ、移載物の受け渡しに必要なデータを
双方向通信により伝送するために、無人搬送車と製造装
置の双方に取付けられる光データ伝送装置において、 製造装置に向かって走行する無人搬送車が、受け渡し位
置に到達する前から受け渡し位置に到達するまでの期間
にデータ伝送が可能となるように投受光エリアを大きく
した投光器及び受光器と、自己のIDを設定するID記
憶手段と、投光器から送信するデータに所定のIDを付
加するID付加手段と、受光器で受光したデータから所
定のIDを持つもののみを受信データとして取り込む選
択手段とを備えたことを特徴とする光データ伝送装置。 - 【請求項2】 請求項1記載の光データ伝送装置を夫々
備えた製造装置と無人搬送車の間で、製造装置に向かっ
て走行する無人搬送車が、受け渡し位置に到達する前か
ら受け渡し位置に到達するまでの期間に、移載物の受け
渡しのために必要なデータを双方向通信により送受信す
るようにした光データ伝送システムであって、 無人搬送車と製造装置の光データ伝送装置は、送受信す
るための所定のIDとして送受信する相手先のIDを用
いることを特徴とする光データ伝送システム。
Priority Applications (1)
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