JP4447438B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
すなわち、まず、同図(a)に表したように、シリコン(Si)基板などの基体200の上に、低誘電率材料からなる層間絶縁膜220を形成する。次に、図11(b)に表したように、層間絶縁膜220に孔Hを形成する。孔Hは、配線層のための配線溝や、ビア(via)のためのビア孔としての役割を有する。次に、図11(c)に表したように、孔Hの内壁にバリアメタル層240を形成する。さらに、図11(d)に表したように、配線材料としてCu層300を埋め込む。ここで、Cu層300の埋め込みにあたっては、まず物理気相成長法(physical vapor deposition:PVD)法などの方法によってCuを薄膜状に堆積し、そのCu薄膜をカソード電極として電解鍍金法などにより埋め込みを実施する場合が多い。
(1)金属化合物と珪素化合物とを同時供給して基板に飽和吸着させた後に、NH3等の窒素化合物で還元窒化する方法
(2)金属化合物の還元窒化と珪素化合物の還元窒化をする方法
(3)金属化合物のSiH4等による還元珪素化と金属化合物の還元窒化する方法
しかし、金属化合物か飽和吸着する温度と、珪素化合物が飽和吸着する温度とは通常異なるので、上記の(1)と(2)の方法は、原料の選択が困難である。一方、(3)の方法の場合、SiH4の還元力不足による有機物やハロゲン等の不純物の残留が懸念される。
基体の上に、シリコン化合物からなる第1の層を形成する工程と、
前記第1の層の上に、金属窒化物からなる第2の層を形成する工程と、
前記第2の層を、還元性ガスを含有する雰囲気のプラズマから得られる活性種に晒して、前記第2の層を金属珪素化窒化物に変化させる工程と、
を備え、
前記第2の層を金属珪素化窒化物に変化させる前記工程は、前記第2の層を、前記プラズマから得られる前記活性種に晒すことによって、前記金属窒化物からなる前記第2の層の表面付近の窒素の含有量を低下させ、さらに、金属の含有量も低下させて、前記シリコン化合物に含まれるシリコンを前記第2の層の表面付近にまで拡散させ、前記第2の層を金属珪素化窒化物に変化させるものであることを特徴とする半導体装置の製造方法が提供される。
また、前記還元性ガスは、水素を含有するガスであるものとすることができる。
また、前記還元性ガスを含有する雰囲気は、水素ガスとヘリウムガスとの混合気体であるものとすることができる。
また、前記活性種に晒すことにより、前記第2の層を前記シリコンを含有する層に変化させることができる。
また、前記前記活性種に晒すことにより、前記第2の層を前記シリコンを含有する層に変化させ、且つ、前記第2の層における前記金属の深さ方向に見た濃度が前記基板に向けて低下し、前記第2の層における前記シリコンの深さ方向に見た濃度が前記基板に向けて上昇する層に変化させることができる。
図1は、本発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造方法の要部を表すフローチャートである。
また、図2は、本実施形態の半導体装置の製造方法の要部を表す工程断面図である。
すなわち、本実施形態においては、まず、図2(a)及び(b)に表したように、基体200の上に、シリコン化合物220を形成する(ステップS102)。基体200としては、後に詳述するように、トランジスタなどの素子が形成された半導体ウェーハなどが用いられる。また、シリコン化合物220としては、例えば、酸素(O)、炭素(C)、水素(H)あるいは窒素(N)などと、シリコンとの化合物を用いることができる。具体的には、シリコン化合物220として、例えば、酸化シリコンを20〜100ナノメータの厚みに形成することができる。また、シリコン化合物220の材料としては、その他、シリコン炭化物、シリコン窒化物、シリコン酸化炭化物、シリコン酸化窒化物、シリコン炭化窒化物、シリコン酸化炭化窒化物なども用いることができる。
また、その形成方法については、CVD法や、スパッタリング、蒸着、スピンコート法などの各種の方法を用いることができる。
すなわち、シリコンウェーハ200の上に、酸化シリコン220を形成し、さらにその上にALD法により厚みが約1ナノメータの窒化タンタル(TaN)240を形成した。そして、水素(H2)の濃度が10パーセントの水素とヘリウムとの混合気体のプラズマPによる処理を実行した。ここで、プラズマPの生成条件は、混合気体の流量を50〜100sccmとし、圧力を20〜50ミリトールとし、投入電力を500〜1000ワットとした。この条件で、50〜100秒間、プラズマPによる処理を実施した。そして、プラズマ処理を施したサンプルと、比較のためにプラズマ処理を施さなかったサンプルと、のそれぞれについて、X線光電子分光法により表面付近の組成を調べた。その結果を表1にまとめる。なお、表1には、窒素(N)、タンタル(Ta)、シリコン(Si)のそれぞれについて、X線光電子分光法により検出されたカウント数(任意単位)を列挙した。
つまり、プラズマ処理により、金属窒化物240の表面付近の窒素が抜け、タンタルの濃度もやや低下し、そのぶんだけシリコンが拡散して加わっていることが分かる。その結果として、プラズマ処理前の金属窒化物240を構成していたTaNは、プラズマ処理によってTaSiXNY(0<x<1,0<y<1)に変化したことが分かる。
この結果から、プラズマ処理を施さなかったサンプル(w/o He/H2 plasma)では、Ta2Nの回折ピークは見られないが、プラズマ処理を施したサンプル(with He/H2 plasma)では、Ta2Nの(001)回折ピークが見られることが分かる。つまり、プラズマ処理を繰り返すことにより、金属窒化物240の表面付近の窒素の含有量がさらに低下し、化学両論組成でTa:N=2:1となるTa2Nが生成されていることが分かる。
また、表面付近の窒素の含有量が低下することにより、タンタルの相対的な濃度が上昇する。これは、この上に形成する銅(Cu)などの配線材料との密着性の点で有利となる。つまり、窒化タンタルとタンタルとを積層された構造に近い構造が得られる。本実施形態により得られる金属珪素化窒化物は、下地とも上地とも密着性がよく、且つ拡散防止性も高い点でバリアメタルとして用いて好適である。
まず、基板(被処理体)の温度は、室温〜摂氏400度程度の範囲内であることが望ましい。温度がこれより低いと、プラズマPによる処理の効果が希薄となり、また、温度がこれよりも高いと、基板(基板上に形成されている半導体素子)に対する熱的な損傷が生ずる場合があるからである。
基板温度 :摂氏20〜150度
H2/Heの混合ガスにおけるH2濃度 :1〜10パーセント
圧力 :0.01〜0.1トール
流量 :50〜200sccm
高周波電力 :500〜1000ワット
処理時間 :10〜60秒
次に、本実施形態の第2の具体例について説明する。
図5は、本実施形態の第2の具体例にかかる半導体装置の製造方法の要部を表す工程断面図である。同図については、図1乃至図4に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
しかる後に、図5(c)に表したように、シリコン化合物220の上に、金属窒化物240を形成する。ただし、この場合、図2に関して前述したものよりも金属窒化物240をやや厚めに形成する。具体的には、例えば、ALD法により、厚みが3〜10ナノメータ程度のTaNを形成することができる。
図6は、本発明の実施の形態にかかる半導体装置の製造方法の具体例を表すフローチャートである。
すなわち、本具体例においては、絶縁膜の形成(ステップS202)、絶縁膜の加工(ステップS204)、金属窒化膜の形成(ステップS206)、還元プラズマ処理(ステップS208)、配線材料の堆積(ステップS210)、研磨(ステップS212)という一連の工程を実施することができる。
まず、図7(a)に表したように、シリコン基板などの基体200の上に絶縁膜220を形成する。基体200には、トランジスタやダイオードなど各種の素子、あるいはそれらに接続するための電極や、それらの上に設けられる絶縁膜などが適宜設けられている。基体200の上に形成する絶縁膜220の材料としては、例えば、多孔質のメチルシルセスキオキサン(methyl silsequioxane:MSQ)を用いることができる。また、その形成方法としては、例えば、溶液をスピンコートし熱処理して薄膜を形成するスピン・オン・グラス(spin on glass:SOG)法を用いることができる。MSQの材料や形成条件などを適宜調節することにより、以下の物性値を有する多孔質の絶縁膜が得られる。
密度 :0.68g/cm3
空孔率 :54%
空孔の径の分布の最大値:1.9nm
比誘電率 :1.81
弾性率 :1.6GPa
硬度 :0.1GPa
絶縁膜220を形成したら、次に、図7(b)に表したように、ビア孔Hを形成する。その形成方法としては、例えば、図示しないレジストマスクを形成し、露出した絶縁膜をエッチングした後に、レジストマスクをアッシングなどの方法により除去すればよい。
従って、製造すべきデバイスの構造パラメータや絶縁膜の材質などに応じて、金属窒化膜240の厚みと、プラズマ処理の条件と、を適宜調整することにより、必要とされる密着性と拡散防止性とを併せ持つバリアメタルを形成できる。
すなわち、同図4は、層間絶縁膜220とバリアメタル層280(260)と配線層300との接合界面を表す断面図である。同図に例示した如く、本具体例の層間絶縁膜220には、その誘電率を効果的に下げるために、多数の微細な空孔Vが形成されている。
102 ウエル
103 チャネル
104 ゲート絶縁膜
105 ゲート側壁
106 ゲート電極
107 ソース領域
108 ドレイン領域
110、111、112 層間絶縁膜
113D ドレインコンタクト
113G ゲートコンタクト
113S ソースコンタクト
114、115 層間絶縁膜
116D ドレイン配線
116G ゲート配線
116S ソース配線
119 シリサイド層
200 基体
220 シリコン化合物
240 バリアメタル層
240 金属窒化物
260、280 金属珪素化窒化物(バリアメタル)
300 配線層
600 チャンバ
610 下部電極
620 上部電極
630 真空ポンプ
650 プラズマ処理装置
H ビア孔
V 空孔
Claims (9)
- 基体の上に、シリコン化合物からなる第1の層を形成する工程と、
前記第1の層の上に、金属窒化物からなる第2の層を形成する工程と、
前記第2の層を、還元性ガスを含有する雰囲気のプラズマから得られる活性種に晒して、前記第2の層を金属珪素化窒化物に変化させる工程と、
を備え、
前記第2の層を金属珪素化窒化物に変化させる前記工程は、前記第2の層を、前記プラズマから得られる前記活性種に晒すことによって、前記金属窒化物からなる前記第2の層の表面付近の窒素の含有量を低下させ、さらに、金属の含有量も低下させて、前記シリコン化合物に含まれるシリコンを前記第2の層の表面付近にまで拡散させ、前記第2の層を金属珪素化窒化物に変化させるものであることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1の層は、シリコン酸化物、シリコン炭化物、シリコン窒化物、シリコン酸化炭化物、シリコン酸化窒化物、シリコン炭化窒化物及びシリコン酸化炭化窒化物よりなる群から選択されたいずれかからなることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の層は、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、タングステン(W)及びジルコニウム(Zr)よりなる群から選択された少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の層を、原子層気相成長法により形成することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記還元性ガスは、水素を含有するガスであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記還元性ガスを含有する雰囲気は、水素ガスとヘリウムガスとの混合気体であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記水素ガスの濃度は、1パーセント以上10パーセント以下であることを特徴とする請求項6記載の半導体装置の製造方法。
- 前記活性種に晒すことにより、前記第2の層を前記シリコンを含有する層に変化させることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記活性種に晒すことにより、前記第2の層を前記シリコンを含有する層に変化させ、且つ、前記第2の層における前記金属の深さ方向に見た濃度が前記基板に向けて低下し、前記第2の層における前記シリコンの深さ方向に見た濃度が前記基板に向けて上昇する層に変化させることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法。
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