JP4444799B2 - コンタクト機器に用いる四探針測定用プローブ - Google Patents
コンタクト機器に用いる四探針測定用プローブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4444799B2 JP4444799B2 JP2004334014A JP2004334014A JP4444799B2 JP 4444799 B2 JP4444799 B2 JP 4444799B2 JP 2004334014 A JP2004334014 A JP 2004334014A JP 2004334014 A JP2004334014 A JP 2004334014A JP 4444799 B2 JP4444799 B2 JP 4444799B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- relay element
- insulating tube
- contact
- cylindrical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 90
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 48
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 34
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 30
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 1
- 239000003779 heat-resistant material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
Description
というのは、配線の微細化、高集積化が進むほど、ショート不良の発生率が高くなるからである。
この公表内容の概要は、四探針測定用コンタクトピンとして、中側端子と、該中側端子に電気的に絶縁された状態で外嵌された筒状の周側端子を少なくとも有し、上記中側端子の一端から他端に至る電気経路と、上記周側端子の一端から他端に至る電気経路との二つの電気経路を有するものを用い、例えば中側端子を四探針測定用のI端子として、周側端子をV端子として使用するというものである。
というのは、特開2002−207049により公表された従来技術によれば、中側端子及び周側端子各々の先端部と、配線(リード線)とを半田付けにより接続することが必要であるが、その接続がかなり面倒だからである。特に、内側の中側端子の先端部と配線(リード線)との接続がきわめて難しい。しかも、IC等の高集積化に伴うプローブの微細化が進むに伴ってその接続の困難性が強まっている。
先ず、図1(A)を参照してケーブル保持ボードにプローブ収納ボードを組み付ける前の状態における四探針測定用プローブについて説明する。1はコンタクト機器、2はプローブ収納ボードで、複数枚のプレート2a、2b、2c、2dを積層してなる。図1においては、プローブ収納ボード2を一つのプローブ収納孔4が形成された部分だけ示したが、このプローブ収納ボード2は多数のプローブ収納孔4、4、・・・が形成されており、本実施例においては、各プローブ収納孔4の構造、寸法は全く同じである。
四探針測定用プローブ6は、内側中継子8と、その外側に位置しそれと独立して動き得る周側中継子10からなる。内側中継子8は一対の棒状導電子12・12と、その一対の棒状導電子12・12間に介在してその間を離間させる方向に付勢する導電性のスプリング14からなる。
18、18は各棒状導電子12、12の外周面の外側半部に外嵌状に固定された絶縁チューブ(第1の絶縁チューブ)である。
30は上記絶縁チューブ28、28間に配置されたスプリングで、その間を離間させる方向に付勢している。該スプリング30は導電性材料であっても良いが、絶縁性材料であっても良い。
そして、各四探針測定用プローブ6は、通常時は、上記導電性スプリング22及びスプリング30の弾性により周側中継子10を構成する筒状導電子20、20が、その段部32、32が抜け止め用の段部4a、4aに係合するところに安定して位置せしめられている。
一方、内側中継子8は、棒状導電子12、12間の導電性スプリング14によって両端間の電気的導通が取られるようになっている。
50はケーブル保持ボードで、上記プローブ収納ボード2の各プローブ収納孔4に対応してケーブル保持孔52、52、・・・が形成されており、図1にはそのうちの一つ52のみが現れる。該各ケーブル保持孔52には、同軸ケーブル54の一端部が挿入され固定されている。該同軸ケーブル54の他端部は図1では図示しないテスター回路に接続されている。
56は同軸ケーブル54の芯線、58は同じく芯線56を覆う絶縁被覆、60は該絶縁被覆58の外側に形成されたシールド線であり、各同軸ケーブル54は、芯線56、絶縁被覆58及びシールド線60の端面が、上記ケーブル保持ボード50の一主表面と略同一平面上に位置するように、各プローブ収納孔52に挿入固定されている。
プローブ収納ボード2の主表面とケーブル保持ボード50の主表面とを密着させることにより、他端側筒状導電子20及び他端側棒状導電子12はその先端がケーブル保持ボード50の主表面に接する位置までスプリング22、14及び30の弾性力に抗してプローブ収納孔4内に押し込まれ、該スプリング22、14及び30はそれにより弾性力を充分に蓄え、その弾性力により他端側棒状導電子12と芯線56とが、他端側筒状導電子20とシールド線60とが弾接せしめられ、その間に良好な電気的接続状態を形成することができる。
従って、コンタクト機器の製造コストを低くすることができる。
また、四探針測定用プローブ6は、棒状導電子12の外周面に固定されたの絶縁チューブ18に、該棒状導電子の外周側に配置された絶縁チューブ28を係合させるので、スプリング30の弾性力により、周側中継子10を構成する筒状導電子20に対する、内側中継子8を構成する棒状導電子20の位置関係を安定させることができる。
70はBGA(ボールグリッドアレイ)タイプの半導体装置、72、72、・・・はその半田ボール電極である。
測定時には、半導体装置70を、図1に示したコンタクト機器1に対して、各半田ボール電極72にはそれに対応する上記各四探針測定用プローブ6の周側中継子10及び棒状導電子12の一端が接するように、位置合わせし、その距離を適宜近接させることにより、各四探針測定用プローブ6とそれに対応する半田ボール電極72とを電気的に接続された状態にすることができ、延いては各半田ボール電極72とそれに対応する同軸ケーブル54とをコンタクト機器1により接続した状態にできる。
74は同軸ケーブル54の他端が接続されたテスター用の測定回路である。
従って、コンタクト機器1により、半導体装置70の各半田ボール電極72、72、・・をコンタクト機器1を介してテスター回路74に電気的に接続された状態を形成することができ、測定が可能な状態になる。
4a・・・抜け止め用段部、 6・・・四探針測定用プローブ、8・・・内側中継子、10・・・周側中継子、12・・・棒状導電子、14・・・導電性弾性手段(スプリング)、
16・・・段部、18・・・第1の絶縁チューブ、20・・・筒状導電子、
22・・・導電性弾性手段(スプリング)、24・・・段部、26・・・段部、
28・・・第2の絶縁チューブ、30・・・弾性手段(スプリング)、32・・・段部、
50・ケーブル保持ボード、52・・・ケーブル保持孔、54・・・同軸ケーブル、
56・・・芯線、58・・・絶縁物、60・・・シールド線、
70・・・被測定電子装置(半導体装置)、72・・・電極、
74・・・テスター用回路(測定回路)。
Claims (1)
- 一対の棒状導電子とその間に互いに離間させる方向に付勢するように介在する弾性手段からなる内側中継子の外周側に、それと電気的に絶縁された状態で一対の筒状導電子とその間に互いに離間させる方向に付勢するように介在する弾性手段からなる周側中継子を遊嵌してなり、該内側中継子の一端から他端に至る電気経路と該周側中継子の一端から他端に至る電気経路を有し、
上記内側中継子の各棒状導電子の外周面の外端側に第1の絶縁チューブが固定され、
上記周側中継子の各筒状導電子の内周面の両外端から適宜内側から寄った位置に、外側より内側の内径を大きくすることによって内向きの係合段部が形成され、
上記各筒状導電子の内周側で上記各棒状導電子の外周側に、外端にて上記係合段部に係合し、上記第1の絶縁チューブの外径より小さな内径を有して該第1の絶縁チューブと係合し得る第2の絶縁チューブが配置され、
上記第2の絶縁チューブ間に、その間を広げる方向に付勢する弾性手段が配置された
ことを特徴とする四探針測定用プローブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004334014A JP4444799B2 (ja) | 2004-11-18 | 2004-11-18 | コンタクト機器に用いる四探針測定用プローブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004334014A JP4444799B2 (ja) | 2004-11-18 | 2004-11-18 | コンタクト機器に用いる四探針測定用プローブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006145312A JP2006145312A (ja) | 2006-06-08 |
JP4444799B2 true JP4444799B2 (ja) | 2010-03-31 |
Family
ID=36625183
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004334014A Active JP4444799B2 (ja) | 2004-11-18 | 2004-11-18 | コンタクト機器に用いる四探針測定用プローブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4444799B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5095204B2 (ja) * | 2006-12-28 | 2012-12-12 | 東洋電子技研株式会社 | プローブ収納ボードと、コンタクト機 |
CN103606771B (zh) * | 2013-11-19 | 2016-01-20 | 临沂市海纳电子有限公司 | 一种适用于1.27mm间距的线簧式电连接器 |
-
2004
- 2004-11-18 JP JP2004334014A patent/JP4444799B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006145312A (ja) | 2006-06-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100390865B1 (ko) | 도전성접촉자 | |
JP6174172B2 (ja) | コンタクトプローブ | |
JPH1019926A (ja) | 導電性接触子 | |
JP2010281601A (ja) | 検査用治具及び検査用接触子 | |
US8901920B2 (en) | Connector, probe, and method of manufacturing probe | |
WO2016043327A1 (ja) | プローブユニット | |
JP5095204B2 (ja) | プローブ収納ボードと、コンタクト機 | |
JP4444799B2 (ja) | コンタクト機器に用いる四探針測定用プローブ | |
JP2004212233A (ja) | 四探針測定用コンタクトピン対と、コンタクト機器 | |
JP5060913B2 (ja) | 測定用プローブ | |
JP3256174B2 (ja) | ボールグリッドアレイ用ソケット | |
CN112601965A (zh) | 检查治具、检查装置以及接触端子 | |
JP2002270320A (ja) | 半導体パッケージ用ソケット | |
TW200418239A (en) | Socket for electrical parts | |
JP2005114547A (ja) | コンタクトプローブとこれを用いたコンタクト機器 | |
JP2002334761A (ja) | Icソケット用コンタクトピン及びicソケット | |
JP2002207049A (ja) | 四探針測定用コンタクトピンと、コンタクト機器と、被測定物側装置と、測定回路側装置 | |
JP2004138592A (ja) | スプリングコンタクトおよびスプリングプローブ | |
JP2009250660A (ja) | 基板検査用治具及び検査用接触子 | |
JP2004085261A (ja) | プローブピン及びコンタクタ | |
JP2005345235A (ja) | プローブ用スプリングと、それを用いたプローブと、それを用いたコンタクト装置 | |
JP2004085260A (ja) | プローブピン及びコンタクタ | |
US10386407B2 (en) | Socket | |
JP2002333453A (ja) | プローブコンタクタ | |
JPH09329624A (ja) | 導電性接触子構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070830 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090917 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091006 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091124 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100105 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100114 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4444799 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130122 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140122 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |