JP2004085261A - プローブピン及びコンタクタ - Google Patents
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Abstract
【課題】電気的特性の劣化を抑制し、信頼性の高い検査を行うことができるプローブピン及びコンタクタを提供する。
【解決手段】本発明のプローブピン11は、実質的に同一平面内で屈曲する屈曲部11Cを有して一体的に形成され、且つプローブピン11の上端部11Aの軸心と下端部11Bの軸心が偏倚している。
【選択図】 図1
【解決手段】本発明のプローブピン11は、実質的に同一平面内で屈曲する屈曲部11Cを有して一体的に形成され、且つプローブピン11の上端部11Aの軸心と下端部11Bの軸心が偏倚している。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プローブ装置等の検査装置に用いられるプローブピン及びコンタクタに関し、更に詳しくは電気的特性の劣化を抑制することができるプローブピン及びコンタクタに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のプローブカードは、例えば、プリント配線基板からなるメインボードと、このメインボードの中央に形成された孔に取り付けられた支持枠と、この支持枠により片持ち支持された、タングステン針等からなるプローブピンとを備え、プローブ装置に装着して用いられる。プローブカードはプローブピンが半導体ウエハ等の被検査体の検査用電極と接触し、被検査体の電気的特性検査を行っている。
【0003】
一方、半導体製造装置の性能が飛躍的に向上しつつある現在、被検査体は高集積化して検査用電極が著しく増え、狭ピッチ化している。高集積化に対してはプローブの多ピン化を促進する必要があるが、従来の片持ちタイプのプローブカードでは構造的に今後の多ピン化、狭ピッチ化には十分対応しきれない。そのため、例えばセラミックス基板にポゴピンを垂直型プローブピンとして設けたコンタクタが開発され、垂直型プローブピンを用いることにより多ピン化、狭ピッチ化を実現している。
【0004】
例えば図5はプローブピンとしてポゴピンを用いたコンタクタの一例を示している。ポゴピン1は、図5に示すように、コンタクタ2の絶縁体2Aに形成された収納部2B内に弾力的に収納されている。このポゴピン1は、第1、第2接触子1A、1Bと、これら両者間に弾装されたコイルスプリング1Cと、これらの収納ケース1Dと、を有している。このコンタクタの場合には、第1接触子1Aは被検査体Wの電極パッドPと接触し、第2接触子1Bはコンタクタ1の配線基板2Cの電極(図示せず)と接触し、被検査体Wとテスタ(図示せず)間を電気的に接続する。
【0005】
また、特開平6−265578号公報にはポゴピンと同種のスプリングピンを用いたものが提案されている。このスプリングピンは、外鞘部、内鞘部、接触子及びスプリングを有し、外鞘部に挿入された内鞘部内のスプリングを介して接触子が内鞘部に対して弾力的に進退動するようになっている。また、特開平10−255940号公報にはコイルスプリングを垂直型プローブピンとして設けたコンタクタが提案されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図5に示すコンタクタや特開平6−265578号公報のコンタクタでは垂直型プローブピンとして用いられているポゴピンは前述のように複数の部品によって構成され、ポゴピン自体が複数の電気的接点を有するため、信号伝達時にポゴピンにおいて電気的特性が劣化し、延いては種々の信号波形が劣化し、検査の信頼性が低下するという課題があった。特に、被検査体の高密度化等により電流値が益々微小になるため、このような電気的特性の劣化が検査結果に著しく影響する。また、プローブピンが微小化するとポゴピンに用いられるスプリングの加工が難しく、しかもポゴピンの組み立ても難しくなる。また、特開平10−255940号公報では垂直型プローブピンとしてコイルスプリングを用いたコンタクタが提案されているが、この場合にもコイルスプリングが微小化すると加工が難しくなるという課題があった。
【0007】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、電気的特性の劣化を抑制し信頼性の高い検査を行なうことができるプローブピン及びコンタクタを提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に記載のプローブピンは、被検査体の電気的特性検査を行なう際のコンタクタに用いられるプローブピンにおいて、上記プローブピンは、実質的に同一平面内で屈曲する屈曲部を有して一体的に形成され、且つ上記プローブピンの軸心に対して上端部の軸心及び/または下端部の軸心が偏倚していることを特徴とするものである。
【0009】
また、本発明の請求項2に記載のプローブピンは、請求項1に記載の発明において、上記屈曲部が波状を呈することを特徴とするものである。
【0010】
また、本発明の請求項3に記載のプローブピンは、請求項1または請求項2に記載の発明において、上記屈曲部が矩形波状を呈することを特徴とするものである。
【0011】
また、本発明の請求項4に記載のコンタクタは、複数のプローブピンと、これらのプローブピンを支持する支持体とを備えたコンタクタであって、上記プローブピンは、実質的に同一平面内で屈曲する屈曲部を有して一体的に形成され、且つ上記プローブピンの軸心に対して上端部の軸心及び/または下端部の軸心が偏倚していることを特徴とするものである。
【0012】
また、本発明の請求項5に記載のコンタクタは、請求項5に記載の発明において、上記支持体は、上記各プローブピンを挿入する複数の挿入孔を有する絶縁体と、この絶縁体上に配置され且つ上記複数の挿入孔から突出した上記複数のプローブピンの通る複数の孔を有する透明体と、これら両者を収納する収納体とを備えたことを特徴とするものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図4に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態のコンタクタ10は、例えば図1に一部を拡大して示すように、複数のプローブピン11と、これらのプローブピン11を垂直に支持する支持体12とを備えている。支持体12は、複数のプローブピン11を垂直に挿入する複数の挿入孔13Aを有する絶縁体13と、この絶縁体13上側に配置され且つ複数の挿入孔13Aから突出する複数のプローブピン11の上端部11Aと接触する複数の電極14Aを有する配線基板14と、この配線基板14と絶縁体13の間に介在し且つ複数のプローブピン11の上端部11Aが通る複数の孔15Aを有する透明体15と、これら三者11、13、15を収納し且つ配線基板14に連結された収納体16を備え、収納体16の底面に形成された複数の孔16Aから外側へ複数のプローブピン11の下端部11Bがそれぞれ垂直に突出している。また、プローブピン11には配線基板14の電極14Aを介してコンデンサ17が接続され、コンデンサ17を介して電源ノイズを除去し、電源の過負荷を軽減することができる。
【0014】
プローブピン11は、図1に示すように、上端部11Aと下端部11Bの間に実質的に同一平面内で屈曲する屈曲部11Cを有し、例えばタングステン等の弾性のある導電性金属によって単一部品として形成され、屈曲部11Cが弾力を保有している。プローブピン11が単一部品として実質的に同一平面内で形成され、電気的接点が無く信号経路が極めて短いため、プローブピン11での電気的特性の劣化を抑制することができ、検査用信号が微小電流であっても検査時の信号波形を忠実に伝達することができ、検査の信頼性を高めることができる。
【0015】
また、プローブピン11の屈曲部11Cは矩形波状に形成され、絶縁体13の挿入孔13A及び透明体15の孔15A内に位置している。また、上端部11Aは、配線基板14の電極14Aに対して垂直に接触し、その軸心が図1に示すように収納体16の孔16Aから突出する下端部11Bの軸心から偏倚している。更に、上端部11Aと下端部11Bはプローブピン11の軸心に対して偏倚している。また、図1ではプローブピン11の下端は平坦面として図示してあるが、下端は尖った状態であることが好ましい。
【0016】
従って、検査時にプローブピン11が屈曲部11Cを介してウエハWと同図に示すように弾力的に接触すると、プローブピン11の軸心と上端部11A及び下端部11Bの軸心が偏倚しており、しかもプローブピン11の上端部11Aと下端部11Bの軸心が偏倚しているため、プローブピン11と電極パッドPが弾接すると自己スクラブが作用し、プローブピン11の下端部11Bで電極パッドP表面の酸化膜を掻き取り、電極パッドPの酸化膜を除去してプローブピン11と電極パッドPとが電気的に安定して接触する。
【0017】
絶縁体13は例えばセラミック等の無機絶縁材料や耐熱性有機絶縁材料によって形成されている。図1では絶縁体13は一体物として形成されているが、絶縁体13は、複数枚のセラミックを積層したものであっても良い。挿入孔13Aの平面形状はプローブピン11の屈曲部11Cを挿入できる形状であれば、矩形状でも円形状でも良い。配線基板14は、メインボードまたはサブボードとして複数の配線層を有して形成され、プローブピン11とテスタ側とを接続している。透明体15は、例えばアクリル樹脂等の透明な耐熱性樹脂によって形成され、透明体15の上面から絶縁体13の挿入孔13Aを視認することができ、透明体15の孔15Aと絶縁体13の挿入孔13Aとの位置合わせを容易に行なうことができると共に挿入孔13A及び透明体15の孔15Aへプローブピン11を容易に装着することができる。
【0018】
収納体16は、図1に示すように、例えばセラミック等の絶縁性材料によって上端が開口した箱状に形成されている。収納体16内には絶縁体13を収納する収納部16Bが形成され、この収納部16Bの底面に複数のプローブピン11の下端部11Bが突出する複数の孔16Aが例えばマトリックス状に形成されている。そして、プローブピン11は、屈曲部11Cの下端が収納体16の底面によって係止し、絶縁体13の挿入孔13A内に弾力的に保持されている。また、収納体16の内側面には同図に示すように段部16Cが全周に渡って形成され、この段部16Cの底面からの高さは絶縁体13の高さに合わせて形成されている。更に、段部16Cから収納体16の上端までの高さは透明体15の厚さに合わせて形成され、透明体15の表面と収納体16の側面の上端面が略一致するようになっている。
【0019】
従って、コンタクタ10を組み立てる時には、収納体16内に絶縁体13及び透明体15を収納した後、透明体15の上方から収納体16の孔16A、絶縁体の挿入孔13A及び透明体15の孔15Aの側壁位置が一致していることを確認する。然る後、プローブピン11を透明体15の孔15Aから挿入し、その下端部11Bを収納体16の孔16Aから突出させる。そして、配線基板14を収納体16に位置合わせし、配線基板14と収納体16とを締結部材(図示せず)を介して締結し、支持体12として一体化する。
【0020】
次に、動作について説明する。プローブ装置内で載置台(図示せず)をX、Y及びZ方向に移動させてウエハWの電極パッドPとコンタクタ10のプローブピン11の下端とを位置合わせした後、載置台を介してウエハWをインデックス送りした後、載置台を上昇させてウエハWの所定の電極パッドPとプローブピン11とを接触させる。更に、載置台をオーバードライブさせると、屈曲部11Cを介してプローブピン11と電極パッドPが弾接し、電極パッドPとプローブピン11間に針圧が作用する。
【0021】
この際、プローブピン11の上端部11Aと下端部11Bの軸心が偏倚しているため、プローブピン11と電極パッドPが弾接すると下端部11Bが横(図1では左または右)に動き、自己スクラブ作用によりプローブピン11の下端部11Bで電極パッドP表面の酸化膜を掻き取り、電極パッドPの酸化膜を除去してプローブピン11と電極パッドPとが電気的に安定して接触する。
【0022】
この状態でテスタから送信すると、プローブピン11から電極パッドPに検査用信号を印加し、デバイスを経由して検査結果を示す信号をプローブピン11からテスタへ送信する。この際、プローブピン11は単一部品として形成され、従来のようにプローブピン11自体に電気的接点がないため、プローブピン11内での電気的特性の劣化を生じることなく、検査用信号及び検査結果信号を正確に伝達することができ、検査の信頼性を高めることができ、検査結果を正確に解析することができる。
【0023】
以上説明したように本実施形態によれば、プローブピン11は実質的に同一平面内で屈曲する屈曲部11Cを有して一体的に形成されているため、プローブピン11と電極パッドPを弾力的に接触させることができると共にプローブピン11内で電気的特性の劣化を抑制することができ、信頼性の高い検査を行なうことができる。また、屈曲部11Cが矩形波状に形成されているため、プローブピン11を容易に加工することができる。
【0024】
また、本実施形態によれば、プローブピン11の軸心に対して上端部11Aと下端部11Bの軸心が偏倚し、更に上端部11Aと下端部11Bの軸心が偏倚しているため、プローブピン11と電極パッドPが弾接すると自己スクラブが作用し、プローブピン11の下端部11Bで電極パッドP表面の酸化膜を掻き取り、電極パッドPの酸化膜を除去してプローブピン11と電極パッドPとが電気的に安定して接触し、より信頼性の高い検査を行なうことができる。
【0025】
また、図2、図3はそれぞれ本発明のコンタクタの他の実施形態を示す図である。これらのコンタクタは図1に示すコンタクタ10とプローブピンの形態を異にする以外は図1に示すコンタクタ10と実質的に同一構成を有する。そこで、図1に示すコンタクタ10と同一または相当部分には同一符号を附し、各実施形態の特徴部分を中心に説明する。
【0026】
図2に示すコンタクタ10のプローブピン11は、同図に示すように、弾力を呈する屈曲部11Cの形態が上記実施形態と異なっている。この屈曲部11Cは絶縁体13の挿入孔13A内で波形状に形成されている。プローブピン11の上端部11Aは透明体15の孔15Aに挿入され、配線基板14の電極と接触し、その下端部11Bは収納体16の孔16Aから外部へ突出している。そして、プローブピン11は、屈曲部11Cの上端が透明体15に接触していると共に下端が収納体16の底面に接触し、絶縁体13の挿入孔13A内に弾装されている。図2にはコンデンサは図示してないが、コンデンサは他の部分に取り付けられている。従って、本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果を期することができる。
【0027】
また、図3に示すコンタクタ10は、プローブピン11の上端部11Aと下端部11Bの軸心が一致している以外は図1に示すコンタクタ10と同一の構成を有している。従って、本実施形態においてもプローブピン11の軸心に対して上端部11A及び下端部11Bの軸心が偏倚しているため、上記各実施形態と同様の作用効果を期することができる。
【0028】
尚、本発明は上記各実施形態に何等制限されるものではない。例えば、プローブピンは単一部品として形成されたものであれば、その屈曲部の形態は上記各実施形態以外の形態を適宜採用することができる。また、プローブピン11の軸心に対して上端部11A及び下端部11Bのいずれかが偏倚している形態でも同様の作用効果を期することができる。例えば、図4の(a)、(b)に示すような形態を採用することができる。
【0029】
【発明の効果】
本発明の請求項1〜請求項5に記載の発明によれば、電気的特性の劣化を抑制し信頼性の高い検査を行なうことができるプローブピン及びコンタクタを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のコンタクタの一実施形態の要部を拡大して示す断面図である。
【図2】本発明のコンタクタの他の実施形態の要部を拡大して示す断面図である。
【図3】本発明のコンタクタの更に他の実施形態の要部を拡大して示す断面図である。
【図4】(a)、(b)はそれぞれ本発明のコンタクタの更に他の実施形態に用いられるプローブピンを示す側面図である。
【図5】従来のコンタクタの一例の要部を拡大して示す断面図である。
【符号の説明】
10 コンタクタ
11 プローブピン
11A 上端部
11B 下端部
11C 屈曲部
12 絶縁体
12A 挿入孔
13 配線基板
14 透明体
14A 孔
15 保持体
15A 孔
W ウエハ(被検査体)
【発明の属する技術分野】本発明は、プローブ装置等の検査装置に用いられるプローブピン及びコンタクタに関し、更に詳しくは電気的特性の劣化を抑制することができるプローブピン及びコンタクタに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のプローブカードは、例えば、プリント配線基板からなるメインボードと、このメインボードの中央に形成された孔に取り付けられた支持枠と、この支持枠により片持ち支持された、タングステン針等からなるプローブピンとを備え、プローブ装置に装着して用いられる。プローブカードはプローブピンが半導体ウエハ等の被検査体の検査用電極と接触し、被検査体の電気的特性検査を行っている。
【0003】
一方、半導体製造装置の性能が飛躍的に向上しつつある現在、被検査体は高集積化して検査用電極が著しく増え、狭ピッチ化している。高集積化に対してはプローブの多ピン化を促進する必要があるが、従来の片持ちタイプのプローブカードでは構造的に今後の多ピン化、狭ピッチ化には十分対応しきれない。そのため、例えばセラミックス基板にポゴピンを垂直型プローブピンとして設けたコンタクタが開発され、垂直型プローブピンを用いることにより多ピン化、狭ピッチ化を実現している。
【0004】
例えば図5はプローブピンとしてポゴピンを用いたコンタクタの一例を示している。ポゴピン1は、図5に示すように、コンタクタ2の絶縁体2Aに形成された収納部2B内に弾力的に収納されている。このポゴピン1は、第1、第2接触子1A、1Bと、これら両者間に弾装されたコイルスプリング1Cと、これらの収納ケース1Dと、を有している。このコンタクタの場合には、第1接触子1Aは被検査体Wの電極パッドPと接触し、第2接触子1Bはコンタクタ1の配線基板2Cの電極(図示せず)と接触し、被検査体Wとテスタ(図示せず)間を電気的に接続する。
【0005】
また、特開平6−265578号公報にはポゴピンと同種のスプリングピンを用いたものが提案されている。このスプリングピンは、外鞘部、内鞘部、接触子及びスプリングを有し、外鞘部に挿入された内鞘部内のスプリングを介して接触子が内鞘部に対して弾力的に進退動するようになっている。また、特開平10−255940号公報にはコイルスプリングを垂直型プローブピンとして設けたコンタクタが提案されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図5に示すコンタクタや特開平6−265578号公報のコンタクタでは垂直型プローブピンとして用いられているポゴピンは前述のように複数の部品によって構成され、ポゴピン自体が複数の電気的接点を有するため、信号伝達時にポゴピンにおいて電気的特性が劣化し、延いては種々の信号波形が劣化し、検査の信頼性が低下するという課題があった。特に、被検査体の高密度化等により電流値が益々微小になるため、このような電気的特性の劣化が検査結果に著しく影響する。また、プローブピンが微小化するとポゴピンに用いられるスプリングの加工が難しく、しかもポゴピンの組み立ても難しくなる。また、特開平10−255940号公報では垂直型プローブピンとしてコイルスプリングを用いたコンタクタが提案されているが、この場合にもコイルスプリングが微小化すると加工が難しくなるという課題があった。
【0007】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、電気的特性の劣化を抑制し信頼性の高い検査を行なうことができるプローブピン及びコンタクタを提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に記載のプローブピンは、被検査体の電気的特性検査を行なう際のコンタクタに用いられるプローブピンにおいて、上記プローブピンは、実質的に同一平面内で屈曲する屈曲部を有して一体的に形成され、且つ上記プローブピンの軸心に対して上端部の軸心及び/または下端部の軸心が偏倚していることを特徴とするものである。
【0009】
また、本発明の請求項2に記載のプローブピンは、請求項1に記載の発明において、上記屈曲部が波状を呈することを特徴とするものである。
【0010】
また、本発明の請求項3に記載のプローブピンは、請求項1または請求項2に記載の発明において、上記屈曲部が矩形波状を呈することを特徴とするものである。
【0011】
また、本発明の請求項4に記載のコンタクタは、複数のプローブピンと、これらのプローブピンを支持する支持体とを備えたコンタクタであって、上記プローブピンは、実質的に同一平面内で屈曲する屈曲部を有して一体的に形成され、且つ上記プローブピンの軸心に対して上端部の軸心及び/または下端部の軸心が偏倚していることを特徴とするものである。
【0012】
また、本発明の請求項5に記載のコンタクタは、請求項5に記載の発明において、上記支持体は、上記各プローブピンを挿入する複数の挿入孔を有する絶縁体と、この絶縁体上に配置され且つ上記複数の挿入孔から突出した上記複数のプローブピンの通る複数の孔を有する透明体と、これら両者を収納する収納体とを備えたことを特徴とするものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図4に示す実施形態に基づいて本発明を説明する。
本実施形態のコンタクタ10は、例えば図1に一部を拡大して示すように、複数のプローブピン11と、これらのプローブピン11を垂直に支持する支持体12とを備えている。支持体12は、複数のプローブピン11を垂直に挿入する複数の挿入孔13Aを有する絶縁体13と、この絶縁体13上側に配置され且つ複数の挿入孔13Aから突出する複数のプローブピン11の上端部11Aと接触する複数の電極14Aを有する配線基板14と、この配線基板14と絶縁体13の間に介在し且つ複数のプローブピン11の上端部11Aが通る複数の孔15Aを有する透明体15と、これら三者11、13、15を収納し且つ配線基板14に連結された収納体16を備え、収納体16の底面に形成された複数の孔16Aから外側へ複数のプローブピン11の下端部11Bがそれぞれ垂直に突出している。また、プローブピン11には配線基板14の電極14Aを介してコンデンサ17が接続され、コンデンサ17を介して電源ノイズを除去し、電源の過負荷を軽減することができる。
【0014】
プローブピン11は、図1に示すように、上端部11Aと下端部11Bの間に実質的に同一平面内で屈曲する屈曲部11Cを有し、例えばタングステン等の弾性のある導電性金属によって単一部品として形成され、屈曲部11Cが弾力を保有している。プローブピン11が単一部品として実質的に同一平面内で形成され、電気的接点が無く信号経路が極めて短いため、プローブピン11での電気的特性の劣化を抑制することができ、検査用信号が微小電流であっても検査時の信号波形を忠実に伝達することができ、検査の信頼性を高めることができる。
【0015】
また、プローブピン11の屈曲部11Cは矩形波状に形成され、絶縁体13の挿入孔13A及び透明体15の孔15A内に位置している。また、上端部11Aは、配線基板14の電極14Aに対して垂直に接触し、その軸心が図1に示すように収納体16の孔16Aから突出する下端部11Bの軸心から偏倚している。更に、上端部11Aと下端部11Bはプローブピン11の軸心に対して偏倚している。また、図1ではプローブピン11の下端は平坦面として図示してあるが、下端は尖った状態であることが好ましい。
【0016】
従って、検査時にプローブピン11が屈曲部11Cを介してウエハWと同図に示すように弾力的に接触すると、プローブピン11の軸心と上端部11A及び下端部11Bの軸心が偏倚しており、しかもプローブピン11の上端部11Aと下端部11Bの軸心が偏倚しているため、プローブピン11と電極パッドPが弾接すると自己スクラブが作用し、プローブピン11の下端部11Bで電極パッドP表面の酸化膜を掻き取り、電極パッドPの酸化膜を除去してプローブピン11と電極パッドPとが電気的に安定して接触する。
【0017】
絶縁体13は例えばセラミック等の無機絶縁材料や耐熱性有機絶縁材料によって形成されている。図1では絶縁体13は一体物として形成されているが、絶縁体13は、複数枚のセラミックを積層したものであっても良い。挿入孔13Aの平面形状はプローブピン11の屈曲部11Cを挿入できる形状であれば、矩形状でも円形状でも良い。配線基板14は、メインボードまたはサブボードとして複数の配線層を有して形成され、プローブピン11とテスタ側とを接続している。透明体15は、例えばアクリル樹脂等の透明な耐熱性樹脂によって形成され、透明体15の上面から絶縁体13の挿入孔13Aを視認することができ、透明体15の孔15Aと絶縁体13の挿入孔13Aとの位置合わせを容易に行なうことができると共に挿入孔13A及び透明体15の孔15Aへプローブピン11を容易に装着することができる。
【0018】
収納体16は、図1に示すように、例えばセラミック等の絶縁性材料によって上端が開口した箱状に形成されている。収納体16内には絶縁体13を収納する収納部16Bが形成され、この収納部16Bの底面に複数のプローブピン11の下端部11Bが突出する複数の孔16Aが例えばマトリックス状に形成されている。そして、プローブピン11は、屈曲部11Cの下端が収納体16の底面によって係止し、絶縁体13の挿入孔13A内に弾力的に保持されている。また、収納体16の内側面には同図に示すように段部16Cが全周に渡って形成され、この段部16Cの底面からの高さは絶縁体13の高さに合わせて形成されている。更に、段部16Cから収納体16の上端までの高さは透明体15の厚さに合わせて形成され、透明体15の表面と収納体16の側面の上端面が略一致するようになっている。
【0019】
従って、コンタクタ10を組み立てる時には、収納体16内に絶縁体13及び透明体15を収納した後、透明体15の上方から収納体16の孔16A、絶縁体の挿入孔13A及び透明体15の孔15Aの側壁位置が一致していることを確認する。然る後、プローブピン11を透明体15の孔15Aから挿入し、その下端部11Bを収納体16の孔16Aから突出させる。そして、配線基板14を収納体16に位置合わせし、配線基板14と収納体16とを締結部材(図示せず)を介して締結し、支持体12として一体化する。
【0020】
次に、動作について説明する。プローブ装置内で載置台(図示せず)をX、Y及びZ方向に移動させてウエハWの電極パッドPとコンタクタ10のプローブピン11の下端とを位置合わせした後、載置台を介してウエハWをインデックス送りした後、載置台を上昇させてウエハWの所定の電極パッドPとプローブピン11とを接触させる。更に、載置台をオーバードライブさせると、屈曲部11Cを介してプローブピン11と電極パッドPが弾接し、電極パッドPとプローブピン11間に針圧が作用する。
【0021】
この際、プローブピン11の上端部11Aと下端部11Bの軸心が偏倚しているため、プローブピン11と電極パッドPが弾接すると下端部11Bが横(図1では左または右)に動き、自己スクラブ作用によりプローブピン11の下端部11Bで電極パッドP表面の酸化膜を掻き取り、電極パッドPの酸化膜を除去してプローブピン11と電極パッドPとが電気的に安定して接触する。
【0022】
この状態でテスタから送信すると、プローブピン11から電極パッドPに検査用信号を印加し、デバイスを経由して検査結果を示す信号をプローブピン11からテスタへ送信する。この際、プローブピン11は単一部品として形成され、従来のようにプローブピン11自体に電気的接点がないため、プローブピン11内での電気的特性の劣化を生じることなく、検査用信号及び検査結果信号を正確に伝達することができ、検査の信頼性を高めることができ、検査結果を正確に解析することができる。
【0023】
以上説明したように本実施形態によれば、プローブピン11は実質的に同一平面内で屈曲する屈曲部11Cを有して一体的に形成されているため、プローブピン11と電極パッドPを弾力的に接触させることができると共にプローブピン11内で電気的特性の劣化を抑制することができ、信頼性の高い検査を行なうことができる。また、屈曲部11Cが矩形波状に形成されているため、プローブピン11を容易に加工することができる。
【0024】
また、本実施形態によれば、プローブピン11の軸心に対して上端部11Aと下端部11Bの軸心が偏倚し、更に上端部11Aと下端部11Bの軸心が偏倚しているため、プローブピン11と電極パッドPが弾接すると自己スクラブが作用し、プローブピン11の下端部11Bで電極パッドP表面の酸化膜を掻き取り、電極パッドPの酸化膜を除去してプローブピン11と電極パッドPとが電気的に安定して接触し、より信頼性の高い検査を行なうことができる。
【0025】
また、図2、図3はそれぞれ本発明のコンタクタの他の実施形態を示す図である。これらのコンタクタは図1に示すコンタクタ10とプローブピンの形態を異にする以外は図1に示すコンタクタ10と実質的に同一構成を有する。そこで、図1に示すコンタクタ10と同一または相当部分には同一符号を附し、各実施形態の特徴部分を中心に説明する。
【0026】
図2に示すコンタクタ10のプローブピン11は、同図に示すように、弾力を呈する屈曲部11Cの形態が上記実施形態と異なっている。この屈曲部11Cは絶縁体13の挿入孔13A内で波形状に形成されている。プローブピン11の上端部11Aは透明体15の孔15Aに挿入され、配線基板14の電極と接触し、その下端部11Bは収納体16の孔16Aから外部へ突出している。そして、プローブピン11は、屈曲部11Cの上端が透明体15に接触していると共に下端が収納体16の底面に接触し、絶縁体13の挿入孔13A内に弾装されている。図2にはコンデンサは図示してないが、コンデンサは他の部分に取り付けられている。従って、本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果を期することができる。
【0027】
また、図3に示すコンタクタ10は、プローブピン11の上端部11Aと下端部11Bの軸心が一致している以外は図1に示すコンタクタ10と同一の構成を有している。従って、本実施形態においてもプローブピン11の軸心に対して上端部11A及び下端部11Bの軸心が偏倚しているため、上記各実施形態と同様の作用効果を期することができる。
【0028】
尚、本発明は上記各実施形態に何等制限されるものではない。例えば、プローブピンは単一部品として形成されたものであれば、その屈曲部の形態は上記各実施形態以外の形態を適宜採用することができる。また、プローブピン11の軸心に対して上端部11A及び下端部11Bのいずれかが偏倚している形態でも同様の作用効果を期することができる。例えば、図4の(a)、(b)に示すような形態を採用することができる。
【0029】
【発明の効果】
本発明の請求項1〜請求項5に記載の発明によれば、電気的特性の劣化を抑制し信頼性の高い検査を行なうことができるプローブピン及びコンタクタを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のコンタクタの一実施形態の要部を拡大して示す断面図である。
【図2】本発明のコンタクタの他の実施形態の要部を拡大して示す断面図である。
【図3】本発明のコンタクタの更に他の実施形態の要部を拡大して示す断面図である。
【図4】(a)、(b)はそれぞれ本発明のコンタクタの更に他の実施形態に用いられるプローブピンを示す側面図である。
【図5】従来のコンタクタの一例の要部を拡大して示す断面図である。
【符号の説明】
10 コンタクタ
11 プローブピン
11A 上端部
11B 下端部
11C 屈曲部
12 絶縁体
12A 挿入孔
13 配線基板
14 透明体
14A 孔
15 保持体
15A 孔
W ウエハ(被検査体)
Claims (5)
- 被検査体の電気的特性検査を行なう際のコンタクタに用いられるプローブピンにおいて、上記プローブピンは、実質的に同一平面内で屈曲する屈曲部を有して一体的に形成され、且つ上記プローブピンの軸心に対して上端部の軸心及び/または下端部の軸心が偏倚していることを特徴とするプローブピン。
- 上記屈曲部が波状を呈することを特徴とする請求項1に記載のプローブピン。
- 上記屈曲部が矩形波状を呈することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のプローブピン。
- 複数のプローブピンと、これらのプローブピンを支持する支持体とを備えたコンタクタであって、上記プローブピンは、実質的に同一平面内で屈曲する屈曲部を有して一体的に形成され、且つ上記プローブピンの軸心に対して上端部の軸心及び/または下端部の軸心が偏倚していることを特徴とするコンタクタ。
- 上記支持体は、上記各プローブピンを挿入する複数の挿入孔を有する絶縁体と、この絶縁体上に配置され且つ上記複数の挿入孔から突出した上記複数のプローブピンの通る複数の孔を有する透明体と、これら両者を収納する収納体とを備えたことを特徴とする請求項5に記載のコンタクタ。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007017286A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Kanai Hiroaki | 垂直型プロ−ブピン |
WO2007129686A1 (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-15 | Tokyo Electron Limited | プローブ |
WO2008056627A1 (fr) * | 2006-11-09 | 2008-05-15 | Tokyo Electron Limited | Carte de sonde permettant d'inspecter un capteur d'image à l'état solide |
US7474110B2 (en) | 2006-06-19 | 2009-01-06 | Tokyo Electron Limited | Probe card |
WO2009025426A1 (en) * | 2007-08-21 | 2009-02-26 | Gigalane Co.Ltd | Probe block |
JP2018151360A (ja) * | 2017-03-15 | 2018-09-27 | 株式会社村田製作所 | コンタクトプローブ |
JP2020134217A (ja) * | 2019-02-15 | 2020-08-31 | 株式会社サンケイエンジニアリング | バネ構造体及びそれを備える検査治具 |
JP2020134216A (ja) * | 2019-02-15 | 2020-08-31 | 株式会社サンケイエンジニアリング | 検査治具 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63255671A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-21 | インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン | 接触プローブ装置 |
JP2001091537A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-06 | Isao Kimoto | 接触子及びこれを用いた接触子組立体 |
JP2001235514A (ja) * | 2000-02-22 | 2001-08-31 | Nec Corp | 電気検査治具,検査ピン及び電気検査機の使用方法 |
JP2001324515A (ja) * | 2000-05-17 | 2001-11-22 | Suncall Corp | 電子部品検査用コンタクトプローブ装置 |
JP2002162418A (ja) * | 2000-09-16 | 2002-06-07 | Advantest Corp | コンタクトストラクチャ並びにその製造方法及びそれを用いたプローブコンタクトアセンブリ |
-
2002
- 2002-08-23 JP JP2002243787A patent/JP2004085261A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63255671A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-21 | インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーシヨン | 接触プローブ装置 |
JP2001091537A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-06 | Isao Kimoto | 接触子及びこれを用いた接触子組立体 |
JP2001235514A (ja) * | 2000-02-22 | 2001-08-31 | Nec Corp | 電気検査治具,検査ピン及び電気検査機の使用方法 |
JP2001324515A (ja) * | 2000-05-17 | 2001-11-22 | Suncall Corp | 電子部品検査用コンタクトプローブ装置 |
JP2002162418A (ja) * | 2000-09-16 | 2002-06-07 | Advantest Corp | コンタクトストラクチャ並びにその製造方法及びそれを用いたプローブコンタクトアセンブリ |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007017286A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Kanai Hiroaki | 垂直型プロ−ブピン |
WO2007129686A1 (ja) * | 2006-05-08 | 2007-11-15 | Tokyo Electron Limited | プローブ |
US7498827B2 (en) | 2006-06-19 | 2009-03-03 | Tokyo Electron Limited | Probe card |
USRE42637E1 (en) | 2006-06-19 | 2011-08-23 | Tokyo Electron Limited | Probe card |
US7474110B2 (en) | 2006-06-19 | 2009-01-06 | Tokyo Electron Limited | Probe card |
JP2008122140A (ja) * | 2006-11-09 | 2008-05-29 | Tokyo Electron Ltd | 固体撮像素子の検査用プローブカード |
JP4673280B2 (ja) * | 2006-11-09 | 2011-04-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 固体撮像素子の検査用プローブカード |
WO2008056627A1 (fr) * | 2006-11-09 | 2008-05-15 | Tokyo Electron Limited | Carte de sonde permettant d'inspecter un capteur d'image à l'état solide |
US8120372B2 (en) | 2006-11-09 | 2012-02-21 | Tokyo Electron Limited | Probe card for inspecting light receiving device |
WO2009025426A1 (en) * | 2007-08-21 | 2009-02-26 | Gigalane Co.Ltd | Probe block |
JP2018151360A (ja) * | 2017-03-15 | 2018-09-27 | 株式会社村田製作所 | コンタクトプローブ |
JP2020134217A (ja) * | 2019-02-15 | 2020-08-31 | 株式会社サンケイエンジニアリング | バネ構造体及びそれを備える検査治具 |
JP2020134216A (ja) * | 2019-02-15 | 2020-08-31 | 株式会社サンケイエンジニアリング | 検査治具 |
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