JP4443167B2 - 走査型電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
また、従来例では、試料と電流測定系が直接接続されているため、基板に高電圧を印加して入射電子線を減速するリターディング法が使えず、低加速で高分解能観察ができないという問題があった。これは、低加速領域では対物レンズにおける色収差が大きくなり解像度を劣化させる要因となるためである。リターディング法では、対物レンズ中は電子線の加速電圧を増加して色収差を低減し、試料入射直前で減速して所望の加速電圧とするので、低加速でかつ高分解能を実現するには必須の技術となっている。
更にまた、連続電子線1と電流電圧変換回路による電流測定では、構成するアンプのノイズを低減するために、測定された電流値を積分する必要があり、画像取得のための電子線スキャン速度を遅くする必要があった。このため、測定の高速化が困難であるという問題があった。
また、試料内部の情報が得られるために、従来の方法では非破壊で観察不可能であった内部構造や内部欠陥が非破壊で観察できるという効果がある。
また、水分を含んだ試料や電子衝撃に弱い試料でも低真空雰囲気で高分解能観察が可能となる。
ノイズの中から吸収電流を選択的に測定するためには、fCを低くするように、ゆっくりスキャンし、ノイズ信号の高周波成分をカットするように、ローパスフィルタを入れる必要があった。たとえば、ローパスフィルタの時定数を10m秒で、512x512画素の画面のスキャンに約4分かけていた。ここでいう画素は、1画面を横と縦にそれぞれ細かく分けた最小単位であり、512x512の場合には、縦横ともに512個で、合計262144個の画素から成り立つ事を意味する。
さらに、絶縁体基板や直流の導通が取れない試料の場合、図3(a)中の点線のように、信号の低周波成分が欠落するので、感度はさらに悪く、しかもfCを低くすると信号強度がとれないため、S/N比の改善は期待できず、試料によっては観測不能となるという問題があった。これに対して、図1の本実施例を用いると、吸収電流信号は図3(b)の様に電子線のブランキング周波数fBを中心としており、中心周波数をfBに合わせたバンドパスフィルタを用いることで、効果的にノイズを低減でき、S/N比の高い信号が得られる。さらに直流成分は必要ないために、高速に測定できるという利点がある。
また、バンドパスフィルタ9の出力をSEMで信号処理しているが、間に、検波回路、ピーク検出回路等の信号の振幅情報のみを取り出してSEMの画像信号として入力しても良い。
図4(b)中の破線は、加速エネルギー3kV、プローブ電流10nAの電子照射の場合の、二次電子信号の分布を表している。一方、本実施例により高速で吸収電流増を計測した場合は、図4(b)の実線のように、穴底A点の微細構造を反映した信号のコントラストが得られている。なお、従来法による吸収電流像では絶縁体試料からの吸収電流信号のS/N比が低いので本測定時間では十分な画像は得られない。この場合の1画面測定は約30万画素で、1秒で行っている。吸収電流は、入射電子のプローブ電子から、放出された二次電子と反射電子を引いたものである。このことから、吸収電流像において微細構造が観察されたのは、二次電子検出器に到達しなかった二次電子や、反射電子の情報を持っていたことが原因とされる。また、図4(c)は、絶縁膜上のAl配線の吸収電流像観察結果の図解で、全体的に明るいコントラストのAl配線は、コンタクト領域を介して基板と導通が取れている状態を示している。一方、途中で断線し、酸化膜上に浮いているAl配線は暗いコントラストとして観察された。この場合、二次電子像には明瞭な違いは現れていない。主な原因としては、吸収電流の流れやすさの違いが吸収電流のコントラストとして観測されたものと説明される。この計測は、時間をかけて、例えば10倍の時間で観察すると、二次電子像と吸収電流像の差は小さくなることから、検出に必要な時定数を適宜選択する必要があることがわかった。本実施例を用いれば高速に吸収電流を検出できるので最適条件で測定できるという利点がある。この場合、表面の配線だったが、膜内部の配線が、ボイド等の欠陥により断線している場合でも、配線の表面に出ている部分を観察することで、断線箇所を見出すことができる。
IPRL ≧ 2x10−9√fB
この条件と、先述のRLの上限1/(2πCinfB)から導かれた最適負荷抵抗、および、このときの上限周波数、および、上限周波数で512x512画素を1画面測定する時間が表1に示されている。プローブ電流を大きくするときわめて高速の測定が可能となることがわかる。なお、この最適値は、必要なS/N比、系の浮遊容量、プリアンプ特性により異なるので、適応する系毎に上述のように最適値を決めて用いれば最も効果が得られる。
半導体ウェハを試料として、低損傷で測定するために加速電圧を1kV程度と低加速化した走査型電子顕微鏡である。電子源22はZr/O/Wを用いた拡散補給型電子源であり、引き出し電極23との間に引き出し電圧V1を印加し、電子エネルギーV0で連続電子線1を発生している。この制御は電子源制御電源24により行われ、SEMコントローラ25と情報通信を行っている。連続電子線1はコンデンサレンズ27によりレンズ作用を受けブランキングスリット21付近に焦点を結ぶ。ブランキング電極2にはパルス発生器7で発生するパルスを元にブランキングアンプ6により所望の電圧に変換されブランキング電圧が印加される。ブランキングする周波数fB、電圧値、等の情報はSEMコントローラ25と通信によりやり取りされている。なお、画像取得時の電子線スキャンと次のスキャンとの間のブランキング信号もSEMコントローラ25から発せられる。ここで発生したパルス電子線3は、偏向器28によりスキャン信号に応じて曲げられ、対物レンズ31により収束されて試料4に入射する。試料4にはリターディング電源13によりリターディング電圧Vrが印加されているので、試料に入射するときの電子線のエネルギーは、V0−Vrとなり、−50Vから、−3kVの範囲で用いられ、特に−800Vから−1.2kVの範囲が良好である。また、対物レンズ中の色収差低減のためにブースタ電極34が設けられている。
このような演算は、図6に示したSEMの場合は、SEMコントローラ25により実行される。SEMコントローラ25にはメモリが内蔵されており、メモリ内には、図9(c)のような関係を記述するデータテーブルが格納されている。データテーブルが大規模になる場合には、専用のデータベースをSEM本体とは別に設けて、データテーブルを読み出すようにしても良い。
Claims (9)
- 電子線を試料に照射して、試料に入射するときの電子線のエネルギーが−50〜−3kVの範囲で顕微鏡観察する走査型電子顕微鏡において、
前記電子線を所定の周波数により変調する手段と、
該変調された電子線を前記試料に照射する手段と、
前記照射された電子線により試料に励起された励起電流の変調周波数成分を測定する手段と、
前記試料と前記変調周波数成分を測定する手段との間に設けられた、前記励起電流を変調周波数を含む高周波成分と、該高周波成分よりも周波数の低い低周波成分とに分流する分流手段と、
前記試料に入射するときの電子線のエネルギーが−50〜−3kVの範囲になるようリターディング電圧を印加する電源と、を設け、
前記試料は、前記分流手段にのみ接続され、
前記低周波成分は、前記電源を介してアースされ、
前記分流手段は、コンデンサを含み、
前記励起電流は、前記コンデンサにより、前記低周波成分と前記高周波成分とに分流されることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査型電子顕微鏡において、
前記低周波成分がDC成分を含むことを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査型電子顕微鏡において、
前記分流手段と、変調周波数成分を測定する手段との間に設けられたプリアンプとを有し、
前記低周波成分がアースされる電流経路上に抵抗を有することを有することを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査型電子顕微鏡において、
前記分流手段と、変調周波数成分を測定する手段との間に設けられたプリアンプとを有し、
前記低周波成分がアースされる電流経路上にコイルを有することを有することを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項3に記載の走査型電子顕微鏡において、
前記抵抗が可変抵抗器または異なる抵抗値を有する複数の抵抗器であり、更に該可変抵抗器の抵抗値または該複数の抵抗器を選択する選択手段を備えることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査型電子顕微鏡において、
前記電子線を変調する手段は、パルス発生装置と、パルスアンプとブランキング電極と、ブランキングスリットとを含むことを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査型電子顕微鏡において、
さらに、試料とアースとの間に直列に挿入された負荷抵抗と、
前記コンデンサの出力端子に接続されたプリアンプと、
前記プリアンプ出力から前記変調周波数成分を取り出すバンドパスフィルタとを備えることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項1に記載の走査型電子顕微鏡において、
前記変調周波数は可変であることを特徴とする走査型電子顕微鏡。 - 請求項7に記載の走査型電子顕微鏡において、
前記負荷抵抗は、抵抗もしくは、直列もしくは並列接続された抵抗及びコイルからなることを特徴とする走査型電子顕微鏡。
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