JP4436350B2 - 薄膜形成方法及び薄膜形成装置 - Google Patents
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Description
上記並設したターゲット対のうち、異なる交流電源に接続された相互に隣接するターゲット間の上記出力を比較し、出力電位差が所定値を超えた場合に、上記交流電源の出力を調整して出力電位差を上記所定値以下に収束させることを特徴とする。
本発明にかかる薄膜形成方法は、上記のような大きなアークエネルギーの発生を抑えるために、交流電源E1及び交流電源E2の出力電位差を収束させるように出力調整するものである。本実施の形態では、上記ターゲット間の出力位相を180度ずらして極性を反転させれば、交流電源E1と交流電源E2の波形は重なり、アーク放電発生の原因となる出力電位差はほとんど生じなくなる。
2 真空排気手段
3 基板搬送手段
4 ガス導入手段
E1 交流電源
E2 交流電源
T1 ターゲット対
T2 ターゲット対
K 通信ケーブル
S 被処理基板
Claims (12)
- 真空チャンバ内で被処理基板に対向させてターゲット対を複数並設し、各ターゲット対ごとに接続した交流電源を介して所定の周波数で交互に極性をかえて交流電圧を出力し、各ターゲット対を構成する2つのターゲットをアノード電極とカソード電極とに交互に切り替え、このアノード電極及びカソード電極間にグロー放電を生じさせてプラズマ雰囲気を形成し、各ターゲット対をスパッタリングして上記被処理基板に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
上記並設したターゲット対のうち、異なる交流電源に接続された相互に隣接するターゲット間の上記出力を比較し、出力電位差が所定値を超えた場合に、上記交流電源の出力を調整して出力電位差を上記所定値以下に収束させることを特徴とする薄膜形成方法。 - 上記出力の調整は、上記相互に隣接するターゲット間の出力位相を180度ずらして極性を反転させることによって上記出力電位差を収束させることを特徴とする請求項1記載の薄膜形成方法。
- 上記出力の調整は、いずれか一個の交流電源を起点として、この起点となる交流電源に接続されたターゲット対から並設方向外側に向かって上記各交流電源の出力を順次調整していくことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の薄膜形成方法。
- 上記起点となる交流電源に隣接する交流電源の出力を調整し、以後調整された交流電源をさらなる起点として、順次上記並設方向外側に向かって隣接する各交流電源の出力を調整することを特徴とする請求項3記載の薄膜形成方法。
- 上記出力の調整は、交流電源の出力を制御する信号を生成し、出力を調整する交流電源にこの信号を送信することにより行うものであることを特徴とする請求項1から4までのいずれかに記載の薄膜形成方法。
- 上記信号は、上記起点となる交流電源で生成し、この起点となる交流電源から出力を調整する交流電源に送信するものであることを特徴とする請求項5記載の薄膜形成方法。
- 上記いずれかのターゲット対でアーク放電が発生した場合に、このアーク放電が発生したターゲット対への出力を遮断するとともに、アーク放電が発生していない他のターゲット対への出力も同時に遮断することを特徴とする請求項1から請求項6までのいずれかに記載の薄膜形成方法。
- 真空チャンバ内に配置された被処理基板に対向させてターゲット対を複数並設し、各ターゲット対ごとに接続された交流電源を備えた薄膜形成装置であって、
上記並設したターゲット対のうち、異なる交流電源に接続された相互に隣接するターゲット間の出力を比較し、出力電位差が所定値を超えた場合に、上記交流電源の出力を調整して出力電位差を上記所定値以下に収束させる調整処理手段を有することを特徴とする薄膜形成装置。 - 上記調整処理手段が、交流電源の出力を制御する信号を生成する信号生成手段と、出力を調整する交流電源にこの信号を送信する送信手段とを有するものであることを特徴とする請求項8記載の薄膜形成装置。
- 上記調整処理を行なうために起点となる交流電源が上記調整処理手段を有することを特徴とする請求項8または請求項9記載の薄膜形成装置。
- 上記調整処理手段を備えた制御装置を設けたことを特徴とする請求項8または請求項9記載の薄膜形成装置。
- 上記各交流電源が、接続されているターゲット対でアーク放電が発生した場合に、このアーク放電を検知するアーク検知手段と、このアーク検知手段によりアーク放電が検知されると、このターゲット対への出力を遮断するとともに、他のターゲット対への出力も同時に遮断するために各交流電源の出力を制御する出力制御手段とを有することを特徴とする請求項8から請求項11までのいずれかに記載の薄膜形成装置。
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