JP4429073B2 - スリットコータの予備吐出装置 - Google Patents
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Description
この液面調整用排液部材12は上端を排液口とするとともに上下位置調整可能とされ、最上位の位置で洗浄液の液面がプライミングローラ2の下端よりも上に、最下位の位置で洗浄液の液面がプライミングローラ2の下端よりも下になるようにしている。そして、洗浄液が清浄な場合には液面調整用排液部材12を高い位置としてプライミングローラ2の下端を直接洗浄液中に浸漬せしめ、洗浄液中に塗布液濃度などが増えてきた場合には、液面調整用排液部材12を下げ、洗浄液の液面からプライミングローラ2を浮かせ、シャワーノズル等でプライミングローラ2の表面を洗浄する。
Claims (5)
- 洗浄液を保持する洗浄槽と、この洗浄槽内に配置されたスリットコータの吐出ノズルからの塗布液を表面に付着せしめて取り除くプライミングローラと、プライミングローラの表面に向かって新液を噴出する新液シャワーノズルと循環液を噴出する循環液シャワーノズルを、プライミングローラの回転方向を基準として循環液シャワーノズルよりも前方に位置させることを特徴とするスリットコータの予備吐出装置において、前記新液シャワーノズルの上方で且つプライミングローラの鉛直方向中心線よりも前記新液シャワーノズル寄りの位置に乾燥ガスを噴出するガス噴出ノズルを配置し、このガス噴出ノズルを鉛直方向とすることで、プライミングローラの表面に乾燥ガスが真上から斜めに当たるようにしたことを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
- 請求項1に記載のスリットコータの予備吐出装置において、前記新液シャワーノズル及び/又は循環液シャワーノズルの下方に、プライミングローラの表面に付着している塗布液を掻き落とすスキージがバネを利用して調整可能に配置されていることを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
- 請求項1または請求項2に記載のスリットコータの予備吐出装置において、前記新液シャワーノズル及び乾燥ガス噴出ノズルの後方に排気口を開口せしめたことを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
- 請求項1乃至請求項3に記載のスリットコータの予備吐出装置において、前記新液シャワーノズル及び循環液シャワーノズルは2流体ノズルであることを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
- 請求項1乃至請求項4に記載のスリットコータの予備吐出装置において、前記新液シャワーノズル、循環液シャワーノズル、スキージ、乾燥ガス噴出ノズル、排気口の長さは、前記プライミングローラの長手方向の長さと同一か又は当該長手方向の長さよりも長いことを特徴とするスリットコータの予備吐出装置。
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