JP4415711B2 - 計測コントローラ - Google Patents

Description

この発明は、計測コントローラに関するものである。

計測アプリケーションにおいて、例えばチップ部品の表面の凹凸の状態など目視で確認が不可能な被測定対象物の状態を計測する場合、専用の計測器を使用するのが一般的である。この場合に、通常計測器は測定点に対し時系列データを生成するようにしている。

例えば、図１に示すように、測定対象物１の表面１ａの凹凸状態をセンサにて計測したい場合、変位センサ２などでその測定対象物１上を走査させることが想定される。係る場合の具体的な計測アプリケーションシステムの構成の一例としては、測定対象物１を搬送装置上に置き、一定方向に一定速度で搬送する。この搬送装置（測定対象物が通過する領域）の上方に、変位センサ２を配置し、変位センサ２で検出される測定対象物１の表面１ａまでの距離の変位からその表面１ａの凹凸状態を知ることができる。

変位センサ２は、一定のサンプリング周期で順次計測するため、その計測した結果が時系列データとして生成される。そして、表面１ａの凹凸の状態の検査を行なうためには、変位センサ２で計測した計測結果が表面１ａのどの位置（測定点）のものであるかを知る必要があり、測定点と計測結果を関連づけて記録する必要がある。そこで、通常は、測定対象物１の移動速度に同期して決められた計測ポイントにてサンプリングすることで、計測開始からの経過時間と計測結果を関連づけ、移動速度が分かっているので、その移動速度と経過時間から測定点を算出するようにしている。なお、この種の従来技術に関連する公知文献は特に見つからなかった。

しかしながら、上述した従来の装置では、以下に示す問題があった。すなわち、一般に計測器は時間軸で測定データを一定間隔で生成していくしくみのものであるため、測定対象物のある固有の位置の状態を検出するためには、計測器のサンプリング時間（タイミング）に合わせて測定対象物を移動させ、目的の位置が計測器（変位センサ）の計測領域に来たときに変位センサがサンプリングするように調整する必要があるため、その調整が煩雑であるばかりでなく、測定対象に合わせた専用計測器となるため高価なシステムとなり、また被計測対象物が変わるごとに専用計測システムを構築する必要がある。

また、基本的に経過時間と変位センサ２のサンプリングタイムという非同期に動作するものを合わせこんで測定データ（計測結果，測定点）を生成するため、データの位置と計測結果の関係精度の信頼性が低下する。

さらに、目視で確認が不可能なような測定対象物１の状態を計測する場合には、その測定点の間隔も緻密なものとなり計測器として高速で測定データを取り込むことが必要となるため汎用コントローラでは応答性能的に間に合わず専用の計測器を使用するようになる。

さらにまた、図１に示すように、測定対象物１の表面１ａに離散的に複数の計測区間があるような場合、計測区間では変位センサのデータを取り込み、非計測区間ではデータを取り込まないような制御を行なうとしても、移動速度に基づき位置を算出するようにしているため、計測区間の開始位置を直接検出することができないばかりか、上記したようにサンプリングタイムと移動速度を調整して各計測区間の開始位置から終了位置までデータを取得するのは煩雑である。なお、各種の位置検出センサを設置し、計測区間の開始位置が来たことを検知し、その位置検出センサからの検知信号をトリガとして変位センサ２のサンプリングを開始するように設定すれば、計測区間内を比較的精度良く計測することはできるものの、別途センサの設置並びにそのセンサとの同期をとる制御が必要となり、システムが大型化・複雑化し、コスト高を招くという新たな問題が生じる。

この発明は、任意の一定間隔の割り込み処理の中でアナログ入力データを取り込めるようにでき、これにより測定対象物の測定位置に同期した形でセンサからのデータを取り込むことができ測定対象物の位置と計測結果の関係を示すデータを生成することができる計測コントローラを提供することを目的とする。

本発明に係る計測コントローラでは、コントローラを制御するＭＰＵと、センサからのアナログデータを取り込むためのアナログ入力手段と、前記アナログデータを格納するデータメモリと、エンコーダから与えられたパルスに基づきカウントする第１カウンタと、その第１カウンタと並列して前記パルスをカウントするリングカウンタからなる第２カウンタと、前記第１のカウンタに対して測定対象物の計測開始位置を与える第１のレジスタと、前記第２のカウンタに対して計測周期を与える第２のレジスタと、前記第２のカウンタに対して計測タイミングを与える第３のレジスタとを備え、前記第1のカウンタの現在値が前記第１のレジスタに記憶した計測開始位置と一致したときに前記第２のカウンタをリセットし、前記第２のカウンタの現在値が前記第３のレジスタに記憶した計測タイミングと一致したときに前記ＭＰＵに対して割り込みを発生させ、その割り込みに応答して前記アナログデータを前記データメモリに格納するようにした。

アナログデータの計測数を設定する第４のレジスタをさらに備え、予め設定した前記計測数だけアナログデータを取得したことに応答して、アナログデータを前記データメモリに格納する動作を停止するようにするとよい。また、計測対象物の計測終了位置を設定する第５のレジスタをさらに備え、前記第１のカウンタの現在値が予め設定した計測終了位置に一致したことに応答して、アナログデータを前記データメモリに格納する動作を停止するように構成すると良い。

ユーザはこの位置と計測結果のデータにより製品の品質検査結果や他の制御をするための入力データとしてユーザの用途に合わせて利用できるようにすることを目的とする。

エンコーダからのパルス入力を２つのカウンタでカウントできるようにし、第１カウンタでは測定対象物の絶対位置を管理し、任意に計測開始を決定することができる。そして、計測点でのアナログデータの取り込みは、リングカウンタのカウンタ値に基づいて行なわれるため、任意の一定間隔の割り込み処理の中でアナログ入力データを取り込める。データ取り込みの基準となる第２カウンタはリングカウンタであるため、サンプリング間隔を移動速度に同期させた形で一定とすることができる。さらに、センサからのアナログ入力データを取り込むタイミング・サンプリング間隔密度を任意に決定することができる。

そして、計測区間の開始位置の検出は、エンコーダの出力に基づいて行なわれるため、特別な位置検出センサが不要となるばかりでなく、データの取り込みも位置情報に基づいて行なわれる。このように、計測コントローラは、測定対象物の位置に同期してセンサからの測定データをサンプリングすることが可能であるため、正確に被測定対象物の状態分析が可能となる。さらに、センサが測定対象物をどのように走査しても正確に測定対象物の位置に対するデータの取得が可能である。また、高速アナログ入力手段を使用することで、割り込み処理内で入力値を変換しデータとして取り込むことができる。

この発明では、任意の一定間隔の割り込み処理の中でアナログ入力データを取り込めることができ、測定対象物の測定位置に同期した形でセンサからのデータを取り込むことができるので、測定対象物の位置と計測結果の関係を示す正確なデータを生成することができる。

図２は、本発明の計測コントローラの一実施の形態の外観を示している。この計測コントローラ１０は、各モジュールへ電源を供給するための電源モジュール１１と、マスタモジュール１２と、計測モジュール１３と、エンドモジュール１４から構成される。１つのマスタモジュール１２に対し複数の計測モジュール１３を装着可能としている。マスタモジュール１２と計測モジュール１３は、共にユーザプログラムがインストールされ、それぞれがサイクリックに実行される。

各モジュールを簡単に説明すると、電源モジュール１１は、計測コントローラ１０を構成する各モジュールに対し、電源供給をするモジュールである。計測モジュール１３は、実際に計測動作をおこなうモジュールである。マスタモジュール１２は、計測モジュール１３へのプログラミングを行うため周辺サービスを実施したり、計測したデータを上位コントローラ（図示省略）や表示器２２へ出力するモジュールである。エンドモジュール１４は、計測コントローラ１０の内部バス（モジュール内部バス）の終端機能を備え、モジュール間の通信を確実に行うためのモジュールである。

マスタモジュール１２のシリアルポートＳＰ１にプログラミングツール２１を接続し、マスタモジュール１２のユーザプログラムは、そのプログラミングツール２１から直接マスタモジュール１２にアップロード・ダウンロードされ、計測モジュール１３のユーザプログラムは、プログラミングツール２１からマスタモジュール１２を経由してアップロード・ダウンロードがされる。また、マスタモジュール１２の別のシリアルポートＳＰ２には、表示器２２が接続される。

そして、マスタモジュール１２ならびに計測モジュール１３は、共にユーザプログラムがインストールされ、それぞれがそのユーザプログラムをサイクリックに実行する。計測のための外部機器であるエンコーダ２３やアナログセンサ（変位センサなど）２４は、計測モジュール１３に接続され、計測モジュール１３内で処理される。さらに、計測モジュール１３は、複数設置が可能であり、複数設置した場合には、それぞれの計測モジュール１３に入力されたユーザプログラムにてそれぞれが独立して高速に計測動作を行うことができる。この個々に計測されたデータは、マスタモジュール１２に集められ上位コントローラや表示器２２に表示する。

このように、本実施の形態では、計測処理と、周辺処理をそれぞれ別の計測モジュール１３とマスタモジュール１２に分けて別々に処理させるようにした。これにより、計測モジュール１３では、主に計測処理に関する処理を実行することにより、高速かつ高精度な計測処理を行えるようになる。

次に、上述した処理機能を実現するための具体的なモジュールの構成を説明する。図３はマスタモジュール１２のハードウェア構成を示しており、図４は計測モジュール１２のハードウェア構成を示している。各図に示すように、マスタモジュール１２，計測モジュール１３が、共にＭＰＵ１２ａ，１３ａと、ＲＯＭ１２ｂ，１３ｂと、ＲＡＭ１２ｃ，１３ｃを有し、各モジュール１２，１３のシステムソフトはＭＰＵ１２ａ，１３ａまたはＲＯＭ１２ｂ，１３ｂに格納される。また、このＲＯＭ１２ｂ，１３ｂは、たとえばフラッシュＲＯＭを用いることができ、ユーザにて作成されるユーザプログラムもこのＲＯＭ１２ｂ，１３ｂにバックアップ格納される。

各モジュール間は、モジュール間バス１０ａで繋がっており、エンドモジュール１４には、そのモジュール間バス１０ａを終端するバス接続終端機能が実装される。そして、計測モジュール１３には、モジュール間バスに接続される共有メモリ１３ｅを有し、マスタモジュール１２にはモジュール間バスに接続されるイベント送受用ＡＳＩＣ１２ｄが備えられている。このイベント送受用ＡＳＩＣ１２ｄはサイクルマスタモジュールがモーションコントロールモジュール１３内の共有メモリ１３ｆへアクセスする際にそのデータ送受を補間する機能を有し、サイクリックマスタモジュールはこのイベント送受用ＡＳＩＣ１２ｄを使用してゲートウェイとしての機能を成す。例えば上位コントローラやプログラミングツール２１などから計測モジュール１３宛にイベント，プログラム等が送られてきた場合に、対応する計測モジュール１３（モジュール番号などにより特定）の共有メモリ１３ｅに係るイベント等を格納する。また、計測モジュール１３は、共有メモリ１３ｅに格納されたデータを読み出してイベントに対するレスポンスとして外部の上位コントローラ１などへ返送する処理などを実行する。

このモジュール間バスを介して伝送されるデータは、一般に容量が大きく伝送に時間がかかるため、計測モジュールにおけるサイクリックに行なわれる周辺サービスの時に行なうと、時間がかかり本来の計測処理に支障を来すおそれがあるが、本実施の形態では、計測処理を行なわないマスタモジュール１２が係るデータ転送を実行するため計測モジュール１３における計測処理に支障を生じない。

さらに計測モジュール１３は、高速アナログ入力手段たるアナログ入力回路１３ｇと、パルス入力回路１３ｈを有し、それら各入力回路１３ｇ，１３ｈは、特殊Ｉ／Ｏポート１３ｉを介してエンコーダ２３や変位センサ２４などと接続される。ここでは、エンコーダ２３からのパルス出力は、パルス入力回路１３ｈに与えられ、ＡＳＩＣ１３ｆを介してＭＰＵ１３ａに与えられる。コンエンコーダ２３は、たとえば搬送コンベアの動力伝達系の所定位置に連結され、エンコーダの出力に基づき測定対象物の計測位置を示すための位置情報を取得する。また、変位センサ２４からの計測値（アナログ）は、アナログ入力回路１３ｇを介してＭＰＵ１３ａに与えられる。

さらに、マスタモジュール１２，計測モジュール１３は、外部Ｉ／ＦとしてＩ／Ｏポート１２ｊ，１３ｊを有し、そのＩ／Ｏポート１２ｊ，１３ｊに接続された機器とＭＰＵ１２ａ，１３ａとの間でデータの送受が可能となる。

各モジュールの基本的な構成は、上述した通りである。図５は、本発明の要部となる計測モジュール１３における本発明の計測機能を実現するためのハードウェア構成部分の詳細を示している。図に示すように、２つの高速カウンタたるハードウェアカウンタ（第１カウンタ３０，第２カウンタ３１）と、その第１，第２カウンタ３０，３１との比較一致検出が可能なコンペアレジスタ３０ａ，３１ａを設けた。そして、この外部のエンコーダ２３などを接続するパルス入力回路１３ｈから与えられるパルスをこれら第１，第２カウンタ３０，３１に並行して入力されるようにする。

第１カウンタ３０は、リニアカウンタを構成し、第２カウンタ３１は、リングカウンタを構成する。そのリングカウンタのカウント値に対して任意に割り込み処理を起動する一致割り込み部３２を設けている。これら第１，第２カウンタ３０，３１並びにそれに付随するコンペアレジスタ３０ａ，３１ａと一致割り込み部３２は、ＡＳＩＣ１３ｆにより実現される。

このように、エンコーダ２３の出力を２つのカウンタ３０，３１に与えることによりカウントアップされたカウント値に基づき、以下のようにして測定対象物の所望の位置の計測値を変位センサ２４で計測できる。すなわち、図６に示すように、エンコーダ２３からのパルス出力は、測定対象物１の移動距離に対応し、１つパルスが出力されるごとに単位距離だけ測定対象物１が移動する。

従って、リニアカウンタである第１カウンタ３０のカウンタ値から測定対象物１の全体での絶対位置を監視する。つまり、この第１カウンタ３０のカウンタ値を監視することにより、計測区間の開始位置や終了位置を正確に検出できる。第２カウンタ３１は任意のサイズのリングカウンタとして利用できるようになっており、第１カウンタ３０により計測区間に入ることにより起動される。

また、リングカウンタである第２カウンタ３１は、設定されたカウンタ値に一致するとＭＰＵ１３ａに割り込み信号が出力されるので、１サイクル当たり１回のタイミング信号が出力されることになる。そこで、計測中のサンプリングタイミング生成用のカウンタ（サンプリングカウンタ）として使用する。

つまり、計測区間でのサンプリング間隔はこの第２カウンタ３１のリングカウンタサイズにより決定され、分解能が必要であればリングサイズが小さくなり、分解能が必要なければリングサイズを大きくすればよい。第１カウンタ３０と第２カウンタ３１は同じパルス入力をカウントしているため、測定対象物１の絶対位置と一致しており測定点として決められたポイントで計測が可能となる。また、第１カウンタ３０にて絶対位置を管理することができるため、計測区間の検出に別途センサを用意する必要もなくなる。さらに、変位センサ２４のサンプリングは、測定対象物１の計測区間を検出する第１カウンタ３０とは別に用意された第２カウンタ３１の出力に基づいて設定されるため、その間隔を任意に設定できるので、所望の位置の状態を計測できる。

この第２カウンタ３１のカウンタ値による割り込みに基づく計測値の取り込みは、以下のようになる。つまり、図７に示すように、第２カウンタ３１のリングカウンタに対して任意のポイントＰで比較一致がとれるようになっており、そのポイントＰを通過するとシステム（ＭＰＵ１３ａ）に割込みが発生するようになっている。そこで、ＭＰＵ１３ａは、割込みが発生するとその割込み処理内でアナログ入力の変換を実施し、変換した結果を指定された任意のメモリ（ＲＡＭ１３ｃ）に格納していく。これを第２カウンタ３１の割込みが発生する毎に繰返し、測定区間内の測定点における計測値をストレージすることができる。

そして、係る処理を行なうためのＭＰＵ１３ａは、以下に示す機能を備える。まず、ＭＰＵ１３ａは、任意に各カウンタ３０，３１の読出し・書込みや、コンペアレジスタ３０ａ，３１ａへの書込み・読出しが可能となっている。そして、リングカウンタとして使用する第２カウンタ３１のコンペアレジスタ３１ａからの一致信号がＭＰＵ１３ａの割込み入力（ＩＲＱ）に接続されており、任意に設定された測定点に合致するごとにＭＰＵ１３ａに割込みが掛かるようになっている。

そして、ＭＰＵ１３ａは、図８に示すフローチャートを実行する機能を備える。すなわち、係る割込みが入ると（Ｓ１１）、サンプリングカウンタ（第２カウンタ３１）からの割り込みか否かを判断する（Ｓ１２）。

サンプリングカウンタ（第２カウンタ３１）からの割り込みでない場合には、この処理は終了し、第２カウンタ３１からの回り込みの場合には、アナログ入力回路１３ｇより与えられる変換値を読出し（Ｓ１３）、読み出して取得した変換値をＲＡＭ１３ｃの格納先へセットする（Ｓ１４）。その後、指定データ数を１減算するとともに格納先ポインタを１インクリメントし（Ｓ１５）、指定データ数だけ格納したかを判断する（Ｓ１６）。この判断は、例えば、指定データ数が０になったか否かにより判断できる。指定データ数を格納していない場合には、次の割り込み命令にともないアナログ入力値を取得する必要があるので、そのまま割り込み処理を終了する。一方、指定データ数を取得した場合には、今回の計測区間での必要な計測値は全て収集したことになるのでＳ１７に飛び、一致割り込み部３２における比較処理を停止し、今回の割り込み処理を終了する。

これにより、図９に示すように、ＲＡＭ１３ｃには計測値が時系列データとして格納されることになる。サンプリング完了した後この格納データ（サンプリングデータ）を利用してグラフ化したり、ピーク・ボトム値を検索して引き出したりすることができる。また、パルス入力によるカウント値一致で割込みが発生するしくみとしたため、計測対象物１の移動速度が変化してもその動作に同期して的確に測定点での計測が可能である。

なお、上述したフローチャートに基づく機能では、指定データ数を格納することを条件に割り込みを停止するようにしたが、第１カウンタ３０のカウンタ値に基づき計測終了位置に来たことを認識した場合に割り込み処理を停止する（第２カウンタ３１の動作を停止する）ようにしてもよい。

計測モジュール１３全体の動作は、図１０に示すフローチャートのようになっている。すなわち、各モジュールは、電源ＯＮに伴う初期化処理（Ｓ２１）を実行後、まずモジュールは、周辺処理を行なう（Ｓ２２）。次いで、状態別処理（Ｓ２３）として、ラダー図に基づくユーザプログラムを演算処理し、サイクルタイムを算出後、自己のＩ／Ｏリフレッシュを行なう。そして、周辺サービス処理を実行する（Ｓ２４）。周辺サービス処理は、例えば、モジュール間バス１０ａを用いて行なわれる他のモジュールとの間でのデータ転送等がある。この処理は頻繁に行なわれることはないので、通常はすぐにＳ２２に戻り、共通処理を行なう。そして、サンプリングカウンタ（第２カウンタ３１）からの割り込み命令が入ると、図８に示したフローチャートに従い割り込みをする。

また、この計測コントローラ１０は、汎用コントローラであるため測定データをもとに即計測結果を出力したり出力制御に利用したりすることも可能となる。つまり、周辺サービス処理により、計測結果をマスタモジュール１２に送り、そのマスタモジュール１２に接続された表示器２２に測定結果を出力表示したり、そのマスタモジュール１２から別のコントローラに送ることにより、計測結果に基づく制御が行える。係る制御の一例としては、測定対象物１の表面の凹凸状況から品質を判定し、不良品であれば廃棄する処理をしたりすることがある。また、計測モジュール１３もユーザプログラムが実装され、そのユーザプログラムをサイクリックに実行するため、たとえば、計測結果に基づく出力データを計測モジュールのＩ／Ｏポート１０ｊに接続したＩＯ機器に対し出力し、そのＩＯ機器の動作を制御するようにしてもよい。

次に、割り込み命令を実施するための動作設定について説明する。まず、サンプリングカウンタ（第２カウンタ３１）への割込み起動設定手段として、図１１に示す専用命令を使用する。この専用命令にて、サンプリングカウンタに対する任意の設定値および割込みにてサンプリングしたデータをメモリへ格納する格納先先頭アドレスと格納するデータ数を指定する。システムの割込み処理としては、割込みが発生する毎に指定されたメモリ上の格納先より順に格納していき、指定されたサンプリングデータ数分データの格納が完了すれば、自動でサンプリング動作を終了（リングカウンタからの割込みを禁止）するように動作する。ここで設定するデータ数に基づき、図８のＳ１６分岐判が行なわれる。

また、サンプリングの間隔（分解能）を指定するためにリングカウンタのリング最大値を変更することにより行なうが、これは図１２に示す専用命令を使用することにより行なう。

さらに、サンプリング動作を指定したデータ数分の取得を完了するまえに中断（サンプリング（比較）停止）したい場合には、図１３に示す専用命令を使用して行なう。つまり、サンプリング動作および格納されたサンプリングデータ数はプログラムより参照可能な変数エリアに反映されるようになっており、その専用命令でサンプリング動作を中断しても格納済みであるデータ数量は参照できるようになっている。これらのプログラムは、プログラミングツール２１により、マスタモジュール１２経由で計測モジュール１３にダウンロードする。

図１４は、計測モジュール１３内に実装されるユーザプログラムの一例を示している。この例で示したプログラムは、まず、メインプログラムにてサンプリングの分解能となるサンプリングカウンタのリング値登録と測定対象物上の複数の計測開始点を登録する比較命令（ここではＣＴＢＬ命令）を実行する。そして、メインプログラムで実行された比較命令により、計測開始点（位置）に到達すると割込みサブルーチン１，２が起動され、その割込みサブルーチンの中で実際に計測動作を行うサンプリングカウンタ（第２カウンタ３１）への設定値登録とサンプリング起動のための割込みを起動する。

割込みサブルーチン１，２は計測開始点に到達すると一度だけ実行され、後は割込みサブルーチン内にて実行された比較命令によりサンプリング割り込みがシステム処理にて実行され、登録されたサンプリングデータ数分のデータのサンプリングが終わると自動的にシステムの割込み処理も停止するようになる。

以上要約すると、汎用コントローラにセンサからのアナログ出力データを高速に取り込むことができるアナログ入力Ｉ／Ｆとエンコーダからの出力を同時にカウントできる２つの高速カウンタ機能（第１，第２カウンタ）を搭載し、一方の高速カウンタ（第２カウンタ）をリングカウント動作させることにより任意の一定間隔の割り込み処理の中でアナログ入力データを取り込めるようにする。

これにより測定対象物の測定位置に同期した形でセンサからのデータを取り込むことができ測定対象物の位置と計測結果の関係を示すデータを生成することができる。そして、ユーザはこの位置と計測結果のデータにより製品の品質検査結果や他の制御をするための入力データとしてユーザの用途に合わせて利用できる。
また、上述した実施の形態では、マスタモジュールと計測モジュールを別のユニットとして構成したが、それらの機能を同一のユニットにより実現してももちろん良い。

計測アプリケーションの一例を説明する図である。 本発明の計測コントローラの一実施の形態を示す外観図である。 マスタモジュールの内部構造を示すブロック図である。 計測モジュールの内部構造を示すブロック図である。 計測モジュールの本発明の要部に対応する機能を示す詳細なブロック図である。 動作原理を説明する図である。 割り込み処理を説明する図である。 ＭＰＵ１３ａにおける割り込み機能を示すフローチャートである。 ＲＡＭ１３ｃ（データメモリ）に格納されたサンプリングデータのデータ構造の一例を示す図である。 計測モジュールの動作を説明するフローチャートである。 サンプリングカウンタ（第２カウンタ）の動作を設定するために使用する専用命令の一例を示す図である。 サンプリングカウンタ（第２カウンタ）の動作を設定するために使用する専用命令の一例を示す図である。 サンプリングカウンタ（第２カウンタ）の動作を設定するために使用する専用命令の一例を示す図である。 計測モジュールで実行されるユーザプログラムの一例を示す図である。

符号の説明

１０ 計測コントローラ
１１ 電源モジュール
１２ マスタモジュール
１３ 計測モジュール
１３ａ ＭＰＵ
１３ｃ ＲＡＭ（データメモリ）
１３ｇ アナログ入力回路
１３ｈ パルス入力回路
１４ エンドモジュール
２１ プログラミングツール
２２ 表示器
２３ エンコーダ
２４ 変位センサ
３０ 第１カウンタ
３０ａ コンペアレジスタ
３１ 第２カウンタ
３１ａ コンペアレジスタ
３２ 一致割り込み部

Claims (3)

1. コントローラを制御するＭＰＵと、
   センサからのアナログデータを取り込むためのアナログ入力手段と、
   前記アナログデータを格納するデータメモリと、
   エンコーダから与えられたパルスに基づきカウントする第１カウンタと、
   その第１カウンタと並列して前記パルスをカウントするリングカウンタからなる第２カウンタと、
   前記第１のカウンタに対して測定対象物の計測開始位置を与える第１のレジスタと、
   前記第２のカウンタに対して計測周期を与える第２のレジスタと、
   前記第２のカウンタに対して計測タイミングを与える第３のレジスタとを備え、
   前記第1のカウンタの現在値が前記第１のレジスタに記憶した計測開始位置と一致したときに前記第２のカウンタをリセットし、
   前記第２のカウンタの現在値が前記第３のレジスタに記憶した計測タイミングと一致したときに前記ＭＰＵに対して割り込みを発生させ、その割り込みに応答して前記アナログデータを前記データメモリに格納することを特徴とする計測コントローラ。
2. アナログデータの計測数を設定する第４のレジスタをさらに備え、予め設定した前記計測数だけアナログデータを取得したことに応答して、アナログデータを前記データメモリに格納する動作を停止することを特徴とする請求項１に記載の計測コントローラ。
3. 計測対象物の計測終了位置を設定する第５のレジスタをさらに備え、前記第１のカウンタの現在値が予め設定した計測終了位置に一致したことに応答して、アナログデータを前記データメモリに格納する動作を停止することを特徴とする請求項１に記載の計測コントローラ。

Images