JP4415006B2 - カセットの運用管理方法及び基板の処理方法 - Google Patents
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Description
基板を処理する基板処理装置において基板を収容するカセットの運用・管理を行うカセットの運用管理方法であって、
前記基板処理装置が、
前記基板処理装置の一方の側に設けられ、ボートに搭載した基板を処理する反応炉と、
前記基板処理装置の前記一方の側とは反対側の他方の側に設けられたカセット室と、
前記カセット室の側部であって前記基板処理装置の前記他方の側の前記側部の上部に設けられ、天井カセット搬送AGVにてカセットを搬入または搬出する上側のI/Oステージと、
前記カセット室の前記側部の下部に設けられ、手動または床上を移動するAGVにてカセットを搬入または搬出する下側のI/Oステージとを備え、
前記上側のI/Oステージを、プロセス用カセット用として使用し、
前記下側のI/Oステージを、ダミー用カセット用またはモニタ用カセット用として使用することを特徴とするカセットの運用管理方法が提供される。
2 回転カセット棚
3 カセットハンド(カセット移載機)
5 ダミーカセット棚
6 プロセス用カセット
7 ダミー用またはモニタ用カセット
8 天井搬送AGV
10 半導体ウェーハ処理装置
11 反応炉
12 ロードロック室
13 窒素雰囲気室
14 カセット室
16 ウェーハ移載機
20 半導体ウェーハ
31 ボート
Claims (2)
- 基板を処理する基板処理装置において基板を収容するカセットの運用・管理を行うカセットの運用管理方法であって、
前記基板処理装置が、
前記基板処理装置の一方の側に設けられ、ボートに搭載した基板を処理する反応炉と、
前記基板処理装置の前記一方の側とは反対側の他方の側に設けられたカセット室と、
前記カセット室の側部であって前記基板処理装置の前記他方の側の前記側部の上部に設けられ、天井カセット搬送AGVにてカセットを搬入または搬出する上側のI/Oステージと、
前記カセット室の前記側部の下部に設けられ、手動または床上を移動するAGVにてカセットを搬入または搬出する下側のI/Oステージとを備え、
前記上側のI/Oステージを、プロセス用カセット用として使用し、
前記下側のI/Oステージを、ダミー用カセット用またはモニタ用カセット用として使用することを特徴とするカセットの運用管理方法。 - 請求項1に記載のカセットの運用管理方法を用いて基板を処理する基板の処理方法であって、
前記プロセス用カセットと前記ボートとの間で基板を移載する工程と、
前記ダミー用カセットまたは前記モニタ用カセットと前記ボートとの間で基板を移載する工程と、
前記反応炉内に基板を搭載した前記ボートを挿入する工程と、
前記反応炉内で基板を処理する工程とを有することを特徴とする基板の処理方法。
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JP2006355607A JP4415006B2 (ja) | 2006-12-28 | 2006-12-28 | カセットの運用管理方法及び基板の処理方法 |
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JP2006355607A JP4415006B2 (ja) | 2006-12-28 | 2006-12-28 | カセットの運用管理方法及び基板の処理方法 |
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