JP4408726B2 - 半導体装置および半導体装置検査方法 - Google Patents
半導体装置および半導体装置検査方法 Download PDFInfo
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Description
また、本発明の請求項5記載の半導体装置は、請求項1に記載の半導体装置であって、前記複数の増幅器は異なる複数の信号系統の増幅器群から成り、前記検査用電極端子からの信号を、前記複数の増幅器群から一増幅器群を任意に切り替えて入力するスイッチ回路を設けた構成としたことを特徴とする。
また、チップ上の1つの検査用電極端子に入力した検査信号により、複数回路の電気的特性を測定することができるため、検査時間を短縮することができる。なお、前記検査信号により同時に検査することも可能である。
さらに、スイッチ回路の切り替えによって任意の検査対象の回路の測定ができるため、不具合解析の際に、不具合箇所の断定が容易にできる。
(実施の形態1)
本発明の実施の形態1の半導体装置および半導体装置検査方法を説明する。
半導体チップ1上の検査用電極端子2に検査信号を入力し、伝達回路3により複数の増幅器4、5、6に信号が各々伝達され、複数の増幅器4、5、6により信号が増幅・演算されて出力される。これらの出力をそれぞれ測定することにより、各増幅器4、5、6の電気特性を評価する。
(実施の形態2)
本発明の実施の形態2の半導体装置および半導体装置検査方法を説明する。
本実施の形態2の半導体装置は、図2に示すように、図1の伝達回路3をカレントミラー回路7で構成して半導体チップ化している。また、図3に示すように、検査用電極端子2はカレントミラー回路7に接続し、カレントミラー回路7の各出力端子8、9、10を各増幅器4、5、6の各入力端子11、12、13に接続する。ただし、図3に示すカレントミラー回路7は一構成例であり、同等の機能を有するカレントミラー回路を用いてもよい。
図3に示すように、検査用電極端子2に電流信号を入力すると、カレントミラー回路7により、入力された電流はミラーされて端子8、9、10に同一の電流が流れるので、増幅器4、5、6には入力信号に比例した電流が流れる。このようにして検査用電極端子2に入力された電流信号がミラーされて各増幅器4、5、6に入力されるため、1つの検査用電極端子から1つの増幅器に入力した場合と同等の効果が得られる。
(実施の形態3)
本発明の実施の形態3の半導体装置および半導体装置検査方法を説明する。
本実施の形態3の半導体装置は、図4に示すように、図1の伝達回路3を差動回路14で構成して半導体チップ化している。また、図5に示すように、検査用電極端子2は差動回路14に接続し、差動回路14の各出力端子15、16、17を各増幅器4、5、6の各入力端子11、12、13に接続する。ただし、図5に示す差動回路14は一構成例であり、同等の機能を有する差動回路を用いてもよい。
次に、本実施の形態の半導体装置検査方法について説明する。
(実施の形態4)
本発明の実施の形態4の半導体装置および半導体装置検査方法を説明する。
次に本実施の形態の半導体装置検査方法について説明する。
(実施の形態5)
本発明の実施の形態5の半導体装置および半導体装置検査方法を説明する。
検査用電極端子2に電流信号を入力すると、スイッチ端子44がHigh(Hレベル)のときは、端子45、46、47には電流が流れないため端子32、33、34に電流が流れ、端子32、33、34に接続された端子11、12、13に電流が流れるため、増幅器群4、5、6に電流信号が伝達される。このとき、端子48、49、50には電流が流れるため端子35、36、37には電流が流れず、端子35、36、37に接続された端子41、42、43にも電流が流れないため、増幅器群38、39、40には電流信号が伝達されない。
2 検査用電極端子
3 伝達回路
4〜6 増幅器
7 カレントミラー回路
8〜13 端子
14 差動回路
15〜17 端子
18〜20 抵抗
21 スイッチ回路
22 カレントミラー回路
23 スイッチ回路
24 カレントミラー回路
25、26 端子
27 スイッチ端子
28、29 端子
30 スイッチ回路
31 カレントミラー回路
32〜37 端子
38〜40 増幅器
41〜43 端子
44 スイッチ端子
45〜50 端子
Claims (6)
- 入力された信号を増幅・演算する増幅器を複数設けて半導体チップ化した半導体装置であって、1つの検査用電極端子と、前記検査用電極端子に入力された信号を前記複数個の増幅器に伝達する伝達回路とを備え、前記伝達回路を差動回路で構成したことを特徴とする半導体装置。
- 請求項1に記載の半導体装置を検査するに際し、前記1つの検査用電極端子に電圧信号を入力し、前記電圧信号を基にして前記複数個の増幅器の電気特性を検査することを特徴とする半導体装置検査方法。
- 請求項1に記載の半導体装置であって、前記検査用電極端子からの信号を任意の増幅器へ切り替えるスイッチ回路を設けたことを特徴とする半導体装置。
- 請求項3に記載の半導体装置を検査するに際し、前記1つの検査用電極端子に検査信号を入力し、前記スイッチ回路の切り替えにより、検査対象とする任意の増幅器を選択し、前記任意の増幅器の電気特性を検査することを特徴とする半導体装置検査方法。
- 請求項1に記載の半導体装置であって、前記複数の増幅器は異なる複数の信号系統の増幅器群から成り、前記検査用電極端子からの信号を、前記複数の増幅器群から一増幅器群を任意に切り替えて入力するスイッチ回路を設けたことを特徴とする半導体装置。
- 請求項5に記載の半導体装置を検査するに際し、前記1つの検査用電極端子に検査信号を入力し、前記スイッチ回路の切り替えにより、検査対象とする任意の増幅器群を選択し、前記任意の増幅器群の電気特性を検査することを特徴とする半導体装置検査方法。
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