JP4403383B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
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- 基板上の水平方向および垂直方向の各々に沿ってマトリクス状に形成される複数の画素と、
前記複数の画素の前記水平方向に沿った画素間に対応してライン状に配置される第1の電極と、
前記複数の画素と隣接してアイランド状に配置される第2の電極と、
前記第2の電極にコンタクトを介して接続され、前記複数の画素に合わせた開口を有し、前記垂直方向に沿った画素列ごと分離して設けられる金属製の遮光膜兼用の配線層と
を備えることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記配線層の分離部分の幅は、可視光の波長より短くなっている
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記配線層の分離部分の上方を覆う遮光層を備えている
ことを特徴とする請求項1記載の固体撮像装置。 - 基板上の水平方向および垂直方向の各々に沿ってマトリクス状に形成される複数の画素と、
前記複数の画素の前記水平方向に沿った画素間に対応してライン状に配置される第1の電極と、
前記複数の画素と隣接してアイランド状に配置される第2の電極と、
前記第2の電極にコンタクトを介して接続され、前記複数の画素に合わせた開口を有し、前記水平方向に沿った画素列ごと分離して設けられる金属製の遮光膜兼用の配線層と
を備えることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記配線層の分離部分の幅は、可視光の波長より短くなっている
ことを特徴とする請求項4記載の固体撮像装置。 - 前記配線層の分離部分の上方を覆う遮光層を備えている
ことを特徴とする請求項4記載の固体撮像装置。
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JP2004017908A JP4403383B2 (ja) | 2004-01-27 | 2004-01-27 | 固体撮像装置 |
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JP2004017908A JP4403383B2 (ja) | 2004-01-27 | 2004-01-27 | 固体撮像装置 |
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