JP4390628B2 - 基板処理装置及びその処理方法 - Google Patents
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Description
2 ウェーハチャック
3 カップ
4 薬液供給ノズル
5 モータ
6 回転軸
7 支持ピン
8 保持ピン
9 バックリンスノズル
9a ノズル内管
9b ノズル外管
10a、10b ノズル固定治具
11 キャップ
12 排液口
13 リンス液供給部
14 減圧部
21 本発明の第2実施例の基板処理装置
22 回転軸
22a 内管
22b 外管
23 ガス供給部
31 本発明の第3実施例の基板処理装置
32 リング部
33a〜33c ノズル固定治具
41 従来の基板処理装置
42 ウェーハチャック
43 カップ
44 薬液供給ノズル
45 モータ
46 回転軸
47 支持ピン
48 保持ピン
49 バックリンスノズル
50a、50b ノズル固定治具
51 キャップ
52 排液口
Claims (9)
- 回転軸の先端に固定されたウェーハチャックに半導体基板を載置し、前記半導体基板を回転させながら薬液を供給した後、前記回転軸の内部に設けられたバックリンスノズルからリンス液を供給して前記半導体基板の裏面を洗浄する基板処理装置において、
前記バックリンスノズルを内管と外管からなる2重管で構成し、
前記内管の開口部の位置を前記外管の開口部の位置よりも高くするとともに、前記内管の先端部にキャップを設け、
前記内管にリンス液供給手段を接続し、
前記外管に減圧手段を接続し、
前記キャップは、前記内管から供給された前記リンス液が前記外管の内部に侵入しないように、前記外管の開口部の上方を覆うように設けられることを特徴とする基板処理装置。 - 前記回転軸を内管と外管の2重管とし、
前記回転軸の内管に、前記バックリンスノズルが挿入され、
前記外管にガス供給手段を接続したことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。 - 前記ガス供給手段から供給されるガスが、空気、窒素、アルゴン、ヘリウム又はこれらの混合ガスからなることを特徴とする請求項2記載の基板処理装置。
- 前記ウェーハチャックの上面に、前記回転軸の開口部を囲むリング部を設けたことを特
徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板処理装置。 -
前記リング部の径が前記キャップの底面の径より小さく、かつ前記リング部の高さが前記キャップの底面の高さよりも低いことを特徴とする請求項4記載の基板処理装置。 -
前記回転軸内に前記バックリンスノズルを固定するノズル固定手段を少なくとも3つ以上設けたことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の基板処理装置。 - 前記ノズル固定手段が互いに連結されていることを特徴とする請求項6に記載の基板処理装置。
- 回転軸の先端に固定されたウェーハチャックに半導体基板を載置し、前記半導体基板を回転させながら薬液を供給した後、前記回転軸の内部に設けられたバックリンスノズルからリンス液を供給して前記半導体基板の裏面を洗浄する基板処理方法において、
前記バックリンスノズルを外管と前記外管の開口部の位置よりも開口部の位置が高い内管からなる2重管で構成するとともに、
前記リンス液が前記外管の内部に侵入しないように、前記外管の開口部の上方を覆うように前記内管の先端部にキャップが設けられ、
前記内管からリンス液を供給しながら、前記外管から吸引を行うことを特徴とする基板処理方法。 - 回転軸の先端に固定されたウェーハチャックに半導体基板を載置し、前記半導体基板を回転させながら薬液を供給した後、前記回転軸の内部に設けられたバックリンスノズルからリンス液を供給して前記半導体基板の裏面を洗浄する基板処理方法において、
前記回転軸は内管と外管からなる2重管で構成され、
前記バックリンスノズルは、外管と該外管の開口部の位置よりも開口部の位置が高い内管からなる2重管で構成されるとともに、前記回転軸の内管に挿入され、
前記リンス液が前記バックリンスノズルの外管の内部に侵入しないように、前記バックリンスノズルの外管の開口部の上方を覆うように前記バックリンスノズルの内管の先端部にキャップが設けられ、
前記バックリンスノズルの内管及び前記回転軸の外管からリンス液とガスを供給しながら、前記バックリンスノズルの外管から吸引を行うことを特徴とする基板処理方法。
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JP2004160603A JP4390628B2 (ja) | 2004-05-31 | 2004-05-31 | 基板処理装置及びその処理方法 |
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JP2005340694A JP2005340694A (ja) | 2005-12-08 |
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