JP4386929B2 - Tab用テープキャリアの製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、TAB用テープキャリアの製造方法に関する。
配線回路基板の製造方法として、TAB(Tape Automated Bonding)技術が知られている。このTAB技術においては、長尺状のテープキャリア(長尺状のテープ基板)上に複数の実装部が等間隔で設けられる。各実装部には配線パターンが形成され、配線パターンの所定領域にはソルダレジストが形成される。そして、テープキャリアに形成された複数の実装部の各々に電子部品の電極がボンディングされる。これにより、テープキャリア上の複数の実装部の各々に電子部品が実装される。
通常、テープキャリア上にソルダーレジストを形成する工程では、テープキャリアがロール・トゥー・ロール方式により搬送されつつ、各配線パターンの所定領域にスクリーン印刷によりソルダレジストが形成される。この場合、印刷ステージの大きさに応じて所定数の実装部からなるブロックごとにスクリーン印刷が行われる。
特開2002−299390号公報
一方、テープキャリアの材料を効率的に使用するためには、等間隔で並ぶ複数の実装部の間隔をできるだけ小さくすることが望まれる。
しかしながら、テープキャリア上の実装部の間隔が小さくなると、ソルダレジストの印刷位置がわずかにずれるだけで各ブロックの端に位置する実装部に印刷の欠け等の印刷不良が発生する。
特許文献1には、ソルダーレジストの印刷精度を向上させるために、ソルダーレジストの印刷時にフィルムキャリアテープ(テープキャリア)を位置決めして固定する方法が記載されている。特許文献1の方法では、フィルムキャリアテープの幅方向の両縁部にパンチングまたはレーザにより位置決め孔が形成される。ソルダレジストの塗布工程の際に位置決め孔に位置決め治具の位置決めピンが挿入されることにより、フィルムキャリアテープが位置決めおよび固定される。
しかしながら、特許文献1の方法によれば、ソルダレジストの塗布工程の前に、フィルムキャリアテープに位置決め孔を形成するための工程が必要となる。また、位置決め孔の形成工程とソルダレジストの塗布工程との間に位置決め孔に位置決め治具の位置決めピンを挿入する工程が必要となる。
さらに、位置決め孔に位置決め治具の位置決めピンが挿入されたときにフィルムキャリアテープの位置決め孔と側辺との間の領域が破損しないように、フィルムキャリアテープの側辺と位置決め孔との間の距離を大きくする必要がある。また、位置決めピンを挿入可能な大きさに位置決め孔を形成する必要がある。そのため、フィルムキャリアテープの両側部における無駄な領域が大きくなる。
本発明の目的は、工程数の増加および材料の無駄を抑制しつつソルダレジストのスクリーン印刷を高い精度で行うことが可能なTAB用テープキャリアの製造方法を提供することである。
(1)本発明に係るTAB用テープキャリアの製造方法は、TAB用テープキャリアの製造方法であって、長尺状の絶縁層上に配線パターンをそれぞれ含む複数の実装部を形成することにより長尺状回路基板を形成する工程と、長尺状回路基板をロール・トゥー・ロール方式により搬送しつつ、長尺状回路基板の所定数の実装部を含む単位領域ごとに各実装部の配線パターンの所定領域にスクリーン印刷装置を用いてソルダレジストを形成する工程とを備え、長尺状回路基板を形成する工程は、長尺状回路基板上の長手方向の少なくとも一方の側辺に沿う領域に各単位領域に対応する位置決めマークを形成する工程を含み、ソルダレジストを形成する工程は、長尺状回路基板の搬送中に位置決めマークを検出することにより、その位置決めマークに対応する単位領域がスクリーン印刷装置により印刷可能な領域に位置することを検出する工程と、位置決めマークの検出に応答して長尺状回路基板の搬送を停止する工程と、停止した長尺状回路基板における位置決めマークに対応する単位領域にスクリーン印刷装置によりソルダレジストをスクリーン印刷する工程と、スクリーン印刷後に長尺状回路基板の搬送を再開する工程とを含み、スクリーン印刷装置は、長尺状回路基板の絶縁層の裏面に設置される印刷ステージと、長尺状回路基板を挟んで印刷ステージに対向するように長尺状回路基板の複数の実装部側の面に設置されるスクリーン版とを備え、スクリーン印刷装置により印刷可能な領域は、スクリーン版の下方の領域であり、位置決めマークを形成する工程は、長尺状回路基板の搬送方向において印刷ステージの所定箇所に位置決めマークが位置する場合にその位置決めマークに対応する単位領域がスクリーン版の下方に位置するように各位置決めマークを設けることを含むものである。
本発明に係るTAB用テープキャリアの製造方法においては、まず、長尺状の絶縁層上に配線パターンをそれぞれ含む複数の実装部が形成されることにより長尺状回路基板が形成される。次に、長尺状回路基板がロール・トゥー・ロール方式により搬送されつつ、長尺状回路基板の所定数の実装部を含む単位領域ごとに各実装部の配線パターンの所定領域にスクリーン印刷装置を用いてソルダレジストが形成される。
長尺状回路基板を形成する工程では、長尺状回路基板上の長手方向の少なくとも一方の側辺に沿う領域に各単位領域に対応する位置決めマークが形成される。ソルダレジストを形成する工程では、長尺状回路基板の搬送中に位置決めマークが検出されることにより、その位置決めマークに対応する単位領域がスクリーン印刷装置により印刷可能な領域に位置することが検出される。停止された長尺状回路基板における位置決めマークに対応する単位領域にスクリーン印刷装置によりソルダレジストがスクリーン印刷される。スクリーン印刷後に長尺状回路基板の搬送が再開される。
このようにして、長尺状回路基板の各単位領域がスクリーン印刷装置により印刷可能な領域に正確に位置する状態でその単位領域の複数の実装部にソルダレジストがスクリーン印刷される。
この場合、長尺状回路基板を形成する工程で位置決めマークが形成されるので、位置決めマークを形成することによる工程数の増加が抑制される。また、位置決めマークは、対応する単位領域がスクリーン印刷装置により印刷可能な領域に位置するか否かを検出するために用いられるので、位置決めマークを小さく形成することができる。それにより、位置決めマークを形成するための領域の面積を小さくすることができ、材料の無駄が抑制される。
これらの結果、TAB用テープキャリアの製造の際に、工程数の増加および材料の無駄を抑制しつつソルダレジストのスクリーン印刷を高い精度で行うことが可能となる。
また、長尺状回路基板の搬送方向において印刷ステージの所定箇所に位置決めマークが位置することを検出することにより、その位置決めマークに対応する単位領域がスクリーン版の下方に位置することを検出することができる。それにより、長尺状回路基板の各単位領域をスクリーン版の下方により正確かつ容易に位置決めすることができる。
(2)位置決めマークを形成する工程は、各位置決めマークを長尺状回路基板の幅方向において各単位領域の少なくとも一方側に設けることを含んでもよい。
この場合、位置決めマークがスクリーン印刷装置により印刷可能な領域の近くに位置するときに、長尺状回路基板の単位領域がスクリーン印刷装置により印刷可能な領域に位置する。それにより、スクリーン印刷装置の近傍で位置決めマークを検出することにより長尺状回路基板の単位領域をスクリーン印刷装置の印刷可能な領域に位置決めすることができる。したがって、位置決めマークを検出するための検出器の位置決めが容易になる。
印刷ステージの所定箇所は、印刷ステージの前端および後端の少なくとも一方であってもよい。この場合、長尺状回路基板の搬送方向において印刷ステージの前端および後端の少なくとも一方に位置決めマークが位置することを検出することにより、その位置決めマークに対応する単位領域がスクリーン版の下方に位置することを検出することができる。それにより、長尺状回路基板の各単位領域をスクリーン版の下方にさらに正確かつ容易に位置決めすることができる。
)検出する工程は、各位置決めマークを光学的に検出することを含んでもよい。この場合、位置決めマークを小さくしても、位置決めマークを正確に検出することができる。それにより、長尺状回路基板の各単位領域をスクリーン印刷装置により印刷可能な領域により正確かつ容易に位置決めすることができる。
)長尺状回路基板を形成する工程は、絶縁層上に導体層からなる配線パターンおよび位置決めマークを同時に形成する工程を含んでもよい。
この場合、TAB用テープキャリアの製造工程数を増加させることなく、長尺状回路基板に位置決めマークを容易に形成することができる。また、位置決めマークが導体層からなるので、位置決めマークを光の反射により容易に検出することができる。
本発明によれば、TAB用テープキャリアの製造の際に、工程数の増加および材料の無駄を抑制しつつソルダレジストのスクリーン印刷を高い精度で行うことが可能となる。
以下、本発明の実施の形態に係るTAB用テープキャリアおよびその製造方法について説明する。
(1)TAB用テープキャリアの基本構成
図1は本発明の一実施の形態に係るTAB用テープキャリアの上面図である。
図1において、長尺状のTAB用テープキャリア1の長さ方向に垂直な方向を幅方向と呼ぶ。このTAB用テープキャリア1は、ロール・トゥー・ロール方式により長さ方向に搬送されつつ製造される。図1では、TAB用テープキャリア1は搬送方向TRに搬送される。
図1に示すように、長尺状のTAB用テープキャリア1には、半導体チップ等の電子部品を実装するための矩形の複数の実装部11が幅方向および長さ方向にそれぞれ所定間隔を隔てて設けられている。複数の実装部11は、長さ方向に延びるように複数(図1では4つ)の列11a〜11dを形成している。
各列11a〜11dの両側方には、正方形の複数のスプロケットホール1Sがテープキャリア1の長さ方向に沿って所定間隔で形成されている。各実装部11には、電子部品の電極をボンディングするための複数の配線パターン12が形成されている。
各実装部11の所定領域には、後述するスクリーン印刷によりソルダレジストが形成されている。本実施の形態においては、スクリーン印刷によるソルダレジストの形成は、複数の実装部11からなる領域ごとに行われる。以下、1回のスクリーン印刷によりソルダレジストが形成される領域を印刷ブロック13と呼ぶ。図1の例では、各印刷ブロック13が、4列×個の合計12個の実装部11を含む。複数の印刷ブロック13がTAB用テープキャリア1の長さ方向に配置されている。
TAB用テープキャリア1上の各印刷ブロック13の両側方には、四角形の位置決めマークPM1,PM2が形成されている。位置決めマークPM1,PM2は、スクリーン印刷時にTAB用テープキャリア1上の各印刷ブロック13と後述する印刷ステージとを位置決めするために用いられる。
位置決めマークPM1は、TAB用テープキャリア1の搬送方向TRにおける印刷ブロック13の前端に隣接するようにTAB用テープキャリア1の両側辺近傍にそれぞれ設けられる。位置決めマークPM1の前端側の一辺と印刷ブロック13の前端とは、幅方向の同一直線上に位置する。また、位置決めマークPM2は、TAB用テープキャリア1の搬送方向TRにおける印刷ブロック13の後端に隣接するようにTAB用テープキャリア1の両側辺近傍にそれぞれ設けられる。位置決めマークPM2の後端側の一辺と印刷ブロック13の後端とは、幅方向の同一直線上に位置する。
本実施の形態においては、TAB用テープキャリア1は、図1の破線で示すスリットラインSLに沿って4本のテープキャリアに分割して使用される。そして、分割されたテープキャリアの各実装部11に電子部品をボンディングした後、実装部11ごとにテープキャリアをカッティングすることにより、電子装置が完成する。
(2)実装部の構成
以下、図1の実装部11についてさらに詳細に説明する。図2は図1のTAB用テープキャリア1の実装部11の拡大平面図である。
図2に示すように、ベース絶縁層BILの中央部に矩形の実装領域21が設けられる。この実装領域21に半導体チップ等の電子部品(図示せず)が実装される。実装領域21を除く領域を非実装領域と呼ぶ。
ベース絶縁層BILの実装領域21内から非実装領域の一方の側部に延びるように複数の配線パターン12が形成されている。また、ベース絶縁層BILの実装領域21内から非実装領域の他方の側部に延びるように複数の配線パターン12が形成されている。
実装領域21内の配線パターン12の部分をインナーリード部22と呼ぶ。また、非実装領域における配線パターン12の端部をアウターリード部23と呼ぶ。
両側のアウターリード部23を含む領域および実装領域21を除いて配線パターン12を覆うようにベース絶縁層BIL上にソルダレジストSOLが形成される。これにより、配線パターン12のインナーリード部22およびアウターリード部23は露出している。
(3)TAB用テープキャリアの製造方法
以下、セミアディティブ法を用いたTAB用テープキャリア1の製造方法を説明する。図3〜図5はTAB用テープキャリア1の製造方法を説明するための製造工程図である。
まず、図3(a)に示すように、例えばステンレスからなる長尺状基板30を用意する。
次に、図3(b)に示すように、長尺状基板30上に例えばポリイミドからなるベース絶縁層BILを形成する。ベース絶縁層BILの厚さは、10μm以上100μm以下であることが好ましく、本実施の形態では、25μmである。
次に、図3(c)に示すように、ベース絶縁層BIL上にスパッタリングにより例えば銅からなる金属薄膜31を形成する。金属薄膜31の厚さは、0.05μm以上1μm以下であることが好ましく、本実施の形態では、0.1μmである。
次に、図3(d)に示すように、金属薄膜31上に溝部Rおよび位置決めマーク形成孔Hを有するめっきレジスト32を形成する。溝部Rは図2の配線パターン12に対応する形状を有し、位置決めマーク形成孔Hは図1の位置決めマークPM1,PM2に対応する形状を有する。
めっきレジスト32は、例えば、ドライフィルムレジスト等により金属薄膜31上にレジスト膜を形成し、そのレジスト膜を所定のパターンで露光した後、現像することにより形成される。
次に、図4(e)に示すように、金属薄膜31上の溝部Rおよび位置決めマーク形成孔H内に、電解めっきにより導体層33を形成する。導体層33としては、例えば銅を用いることができる。導体層33の厚さは、5μm以上35μm以下であることが好ましく、本実施の形態では、8μmである。
次に、図4(f)に示すように、めっきレジスト32を化学エッチング(ウェットエッチング)または剥離によって除去する。
次に、図4(g)に示すように、金属薄膜31の露出する領域をエッチングにより除去する。これにより、金属薄膜31および導体層33からなる配線パターン12(図1および図2)および位置決めマークPM1,PM2(図1)が形成される。
次に、図4(h)に示すように、金属薄膜31および導体層33を覆うように無電解錫めっき層34を形成する。
このようにして、配線パターン12および位置決めマークPM1,PM2を有する長尺状回路基板10が形成される。
その後、図5(i)に示すように、長尺状回路基板10をロール・トゥー・ロール方式により搬送しつつ、実装部11(図1および図2参照)の所定領域を覆うようにスクリーン印刷によりソルダレジストSOLを形成する。スクリーン印刷の詳細については後述する。
次に、図5(j)に示すように、実装部11の両側方(図1参照)にスプロケットホール1Sを形成する。次に、図5(k)に示すように、実装部11の下の領域の長尺状基板30をエッチングにより除去する。これにより、図1に示したTAB用テープキャリア1が完成する。
最後に、スリットラインSL(図1参照)に沿ってTAB用テープキャリア1を4本のテープキャリアに分割する。
(4)スクリーン印刷の方法
図6はロール・トゥー・ロール方式によるスクリーン印刷の方法を示す模式的断面図である。また、図7はスクリーン印刷時の長尺状回路基板10の位置決め方法を示す模式的平面図である。
図6に示すように、送り出しロール301から長尺状回路基板10が送り出され、巻き取りロール302により巻き取られる。巻き取りロール302は、ロール駆動装置200により矢印Aで示すように回転駆動される。それにより、長尺状回路基板10が搬送方向TRに搬送される。
送り出しロール301と巻き取りロール302との間にスクリーン印刷装置100が配置される。スクリーン印刷装置100は、印刷ステージ101、スクリーン版102およびスキージ103を備える。スクリーン版102は、図1の印刷ブロック13内でソルダレジストを印刷すべき領域に対応する開口部を有する。
スクリーン印刷装置100において、スクリーン版102の領域が印刷可能な領域となる。したがって、スクリーン版102の下方に長尺状回路基板10の印刷ブロック13を位置決めすることにより、印刷ブロック13内にスクリーン印刷を行うことができる。
送り出しロール301と巻き取りロール302との間で搬送される長尺状回路基板10の下面側に印刷ステージ101が配置されている。また、長尺状回路基板10を挟んで印刷ステージ101の上方にスクリーン版102が配置されている。また、印刷ステージ101の前端部の上方に光学センサ110が配置されている。
本実施の形態では、図7に示すように、位置決めマークPM1の前端側の1辺が印刷ステージ101の前端縁に一致したときに光学センサ110が位置決めマークPM1を検出するように光学センサ110が配置される。
光学センサ110は、例えば反射型の光電センサであり、光を出射するとともに位置決めマークPM1,PM2からの反射光を受光することにより、位置決めマークPM1,PM2を検出する。それにより、光学センサ110から検出信号が出力される。
ロール駆動装置200は、光学センサ110からの検出信号に基づいて、光学センサ110が位置決めマークPM1を検出したときに、巻き取りロール302を停止させる。それにより、位置決めマークPM1の前端側の1辺が印刷ステージ101の前端縁に一致した状態で長尺状回路基板10が停止する。
本実施の形態では、光学センサ110は位置決めマークPM1,PM2を検出したときに検出信号を出力する。この場合、光学センサ110から出力される奇数番目の検出信号が位置決めマークPM1の検出に対応し、光学センサ110から出力される偶数番目の検出信号が位置決めマークPM2の検出に対応する。したがって、ロール駆動装置200は、光学センサ110から出力される奇数番目の検出信号に応答して巻き取りロール302を停止させる。
長尺状回路基板10の停止後、印刷ステージ101により長尺状回路基板10の下面が吸着されるとももにスクリーン版102が長尺状回路基板10の上面に接触する。この状態でスキージ103が一方向に移動しつつスクリーン版102に形成された開口部を介して長尺状回路基板10の上面にソルダレジストを塗布する。それにより、長尺状回路基板10の1つの印刷ブロック13内の複数の実装部11の所定領域にソルダレジストSOLが形成される。
次いで、印刷ステージ101による長尺状回路基板10の吸着を解除し、ロール駆動装置200が巻き取りロール302を駆動することにより長尺状回路基板10の搬送を再開する。ロール駆動装置200は、光学センサ110が次の位置決めマークPM1を検出したときに、長尺状回路基板10の搬送を停止する。その後、スクリーン印刷装置100により次の印刷ブロック13にソルダレジストのスクリーン印刷が行われる。
上記の動作を繰り返すことにより、長尺状回路基板10上の複数の印刷ブロック13に順次ソルダレジストのスクリーン印刷が行われる。
なお、光学センサ110を印刷ステージ101の後端部の上方に配置する場合には、光学センサ110により位置決めマークPM2が検出されたときに長尺状回路基板10の搬送を停止する。それにより、長尺状回路基板10の各印刷ブロック13をスクリーン版102の下方に位置決めすることができる。
また、長尺状回路基板10を図7の場合と逆方向に搬送する場合には、光学センサ110を印刷ステージ101の後端部の上方に配置し、光学センサ110により位置決めマークPM2が検出されたときに長尺状回路基板10の搬送を停止する。その場合にも、長尺状回路基板10の各印刷ブロック13をスクリーン版102の下方に位置決めすることができる。
(5)実施の形態の効果
本実施の形態に係るTAB用テープキャリア1の製造方法によれば、長尺状回路基板10の各印刷ブロック13がスクリーン印刷装置100のスクリーン版102の下方に正確に位置する状態でその印刷ブロック13の複数の実装部11にソルダレジストがスクリーン印刷される。
この場合、長尺状回路基板10を形成する工程で位置決めマークPM1,PM2が形成されるので、位置決めマークPM1,PM2を形成することによる工程数の増加が抑制される。また、位置決めマークPM1,PM2は、対応する印刷ブロック13がスクリーン版102の下方に位置するか否かを検出するために用いられるので、位置決めマークPM1,PM2を小さく形成することができる。それにより、位置決めマークPM1,PM2を形成するための領域の面積を小さくすることができ、材料の無駄が抑制される。
これらの結果、TAB用テープキャリア1の製造の際に、工程数の増加および材料の無駄を抑制しつつソルダレジストのスクリーン印刷を高い精度で行うことが可能となる。
また、長尺状回路基板10の位置決めマークPM1,PM2が印刷ステージ101の前端部または後端部に位置するときに、印刷ブロック13がスクリーン版102の下方に位置する。それにより、スクリーン印刷装置100の近傍で位置決めマークPM1,PM2を検出することにより長尺状回路基板10の印刷ブロック13をスクリーン版102の下方に位置決めすることができる。したがって、位置決めマークPM1,PM2を検出するための光学センサ110の位置決めが容易になる。
さらに、ベース絶縁層BIL上に銅等の金属からなる配線パターン12および位置決めマークPM1,PM2が同時に形成される。したがって、TAB用テープキャリア1の製造工程数を増加させることなく、長尺状回路基板10に位置決めマークPM1,PM2を容易に形成することができる。また、位置決めマークPM1,PM2が銅等の金属からなるので、位置決めマークPM1,PM2を光の反射により容易に検出することができる。
(6)他の実施の形態
上記実施の形態では、本実施の形態では、図7に示すように、位置決めマークPM1の前端側の1辺が印刷ステージ101の前端縁に一致したときに長尺状回路基板10の各印刷ブロック13が印刷ステージ101に一致するように位置決めマークPM1が配置されるが、これに限定されない。
図8は位置決めマークPM1,PM2の配置の他の例を示す模式的平面図である。図8の例では、印刷ブロック13の上面の両側の側辺近傍に基準マークSMが付されている。この場合、位置決めマークPM1が印刷ステージ101の基準マークSMに隣接したときに長尺状回路基板10の印刷ブロック13がスクリーン版102の下方に位置するように位置決めマークPM1が配置される。
上記実施の形態の形態では、位置決めマークPM1,PM2が四角形に形成されているが、位置決めマークPM1,PM2の形状はこれに限定されない。
図9は位置決めマークPM1,PM2の形状の他の例を示す模式的平面図である。
図9の例では、位置決めマークPM1,PM2が三角形に形成されている。この場合、三角形の1つの頂点が幅方向の外側を向いている。位置決めマークPM1の外側の頂点が印刷ステージ101の前端縁に一致したときに長尺状回路基板10の各印刷ブロック13がスクリーン版102の下方に位置するように位置決めマークPM1が配置される。
三角形の位置決めマークPMの搬送方向TRの1辺の長さは、例えば1mm以上5mm以下であり、好ましくは1mm以上3mm以下である。三角形の位置決めマークPMの幅方向の長さは、例えば1mm以上5mm以下である。
長尺状回路基板10の搬送方向TRにおける各印刷ブロック13の前端側に隣接する位置決めマークPM1のみを設けてもよい。また、長尺状回路基板10の搬送方向TRにおける各印刷ブロック13の後端側に隣接する位置決めマークPM2のみを設けてもよい。さらに、長尺状回路基板10の一方の側辺近傍にのみ位置決めマークPM1,PM2を形成してもよい。
配線パターン12および位置決めマークPM1,PM2は、セミアディティブ法に限らず、サブトラクティブ法等の他の方法で形成してもよい。
長尺状回路基板10の搬送方向TRにおける各印刷ブロック13の前端に隣接する一方の側辺近傍にのみ位置決めマークPM1のみを設けてもよい。また、長尺状回路基板10の搬送方向TRにおける各印刷ブロック13の後端に隣接する一方の側辺近傍のみに位置決めマークPM2を設けてもよい。
長尺状基板30の材料は、ステンレスに限らず、銅またはニッケル等の金属材料を用いることができる。
ベース絶縁層BILの材料は、ポリイミドに限らず、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルニトリル、ポリエーテルスルフォン等の他の樹脂材料を用いてもよい。
また、配線パターン12の材料は、銅に限らず、銅合金、金、アルミニウム等の他の金属材料を用いてもよい。
さらに、ソルダレジストSOLの材料は、ポリイミドに限らず、ポリエステル、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルニトリル、ポリエーテルスルフォン等の他の樹脂材料を用いてもよい。
また、銅張積層板等の二層基材を用いて配線パターン12および位置決めマークPM1,PM2を形成してもよい。
(7)請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
上記実施の形態においては、ベース絶縁層BILが絶縁層の例であり、実装部11が実装部の例であり、配線パターン12が配線パターンの例であり、導体層33が導体層の一例であり、長尺状回路基板10が長尺状回路基板の例であり、印刷ブロック13が単位領域の例であり、ソルダレジストSOLがソルダレジストの例であり、スクリーン印刷装置100がスクリーン印刷装置の例であり、印刷ステージ101が印刷ステージの例であり、スクリーン版102がスクリーン版の例である。
なお、請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることも可能である。
上記実施の形態の製造方法に従って長尺状回路基板10を用意した。長尺状回路基板10の幅は300mmであり、厚みは68μmである。長尺状回路基板10には、長さ方向に複数の印刷ブロック13が285mmの間隔で設けられている。各印刷ブロック13には、幅方向に6個および長さ方向に12個の合計72個の実装部11が含まれる。長尺状回路基板10の長さ方向における各実装部11の1辺の長さは47.5mmであり、長尺状回路基板10の幅方向における各実装部11の1辺の長さは48mmである。
長尺状回路基板10の各印刷ブロック13の前端および後端に隣接するように長尺状回路基板10の両側辺から2mm内側に離れた位置に位置決めマークPM1,PM2が形成されている。
長尺状回路基板10の長さ方向における各位置決めマークPM1,PM2の1辺の長さは1mmであり、長尺状回路基板10の幅方向における各位置決めマークPM1,PM2の1辺の長さは2mmである。
図7に示したように、ロール・トゥー・ロール方式により長尺状回路基板10を搬送し、最初の位置決めマークPM1の前端の1辺が印刷ステージ101の前端縁に一致したことを検出したときに長尺状回路基板10の搬送を停止した。
長尺状回路基板10の搬送の停止後、スクリーン印刷装置100のスクリーン版102を長尺状回路基板10の上面に設置し、最初の印刷ブロック13の各実装部11にスクリーン印刷によりソルダレジストを形成した。
その後、長尺状回路基板10の搬送を再開し、次の位置決めマークPM1の前端の1辺が印刷ステージ101の前端縁に一致したことを検出したときに長尺状回路基板10の搬送を停止し、同様にして次の印刷ブロック13の各実装部11にスクリーン印刷によりソルダレジストを形成した。
上記の位置決めマークPM1の検出、長尺状回路基板10の搬送停止およびスクリーン印刷の工程を連続的に300回繰り返したが、各印刷ブロック13における印刷欠け等の印刷不良は生じなかった。
本発明に係るTAB用テープキャリアは、種々の電気機器、電子機器等に利用することが可能である。
本発明の一実施の形態に係るTAB用テープキャリアの平面図である。 図1の配線回路基板の実装部の拡大平面図である。 TAB用テープキャリアの製造方法を説明するための製造工程図である。 TAB用テープキャリアの製造方法を説明するための製造工程図である。 TAB用テープキャリアの製造方法を説明するための製造工程図である。 ロール・トゥー・ロール方式によるスクリーン印刷の方法を示す模式的断面図である。 スクリーン印刷時の長尺状回路基板の位置決め方法を示す模式的平面図である。 位置決めマークの配置の他の例を示す模式的平面図である。 位置決めマークの形状の他の例を示す模式的平面図である。
符号の説明
1 TAB用テープキャリア
10 長尺状回路基板
11 実装部
12 配線パターン
13 印刷ブロック
30 長尺状基板
31 金属薄膜
32 めっきレジスト
33 導体層
34 無電解錫めっき層
100 スクリーン印刷装置
101 印刷ステージ
102 スクリーン版
103 スキージ
BIL ベース絶縁層
SOL ソルダレジスト
PM1,PM2 位置決めマーク

Claims (5)

  1. TAB用テープキャリアの製造方法であって、
    長尺状の絶縁層上に配線パターンをそれぞれ含む複数の実装部を形成することにより長尺状回路基板を形成する工程と、
    前記長尺状回路基板をロール・トゥー・ロール方式により搬送しつつ、前記長尺状回路基板の所定数の実装部を含む単位領域ごとに各実装部の配線パターンの所定領域にスクリーン印刷装置を用いてソルダレジストを形成する工程とを備え、
    前記長尺状回路基板を形成する工程は、前記長尺状回路基板上の長手方向の少なくとも一方の側辺に沿う領域に各単位領域に対応する位置決めマークを形成する工程を含み、
    前記ソルダレジストを形成する工程は、
    前記長尺状回路基板の搬送中に位置決めマークを検出することにより、その位置決めマークに対応する単位領域が前記スクリーン印刷装置により印刷可能な領域に位置することを検出する工程と、
    前記位置決めマークの検出に応答して前記長尺状回路基板の搬送を停止する工程と、
    停止した前記長尺状回路基板における前記位置決めマークに対応する単位領域に前記スクリーン印刷装置によりソルダレジストをスクリーン印刷する工程と、
    前記スクリーン印刷後に前記長尺状回路基板の搬送を再開する工程とを含み、
    前記スクリーン印刷装置は、前記長尺状回路基板の前記絶縁層の裏面に設置される印刷ステージと、前記長尺状回路基板を挟んで前記印刷ステージに対向するように前記長尺状回路基板の前記複数の実装部側の面に設置されるスクリーン版とを備え、
    前記スクリーン印刷装置により印刷可能な領域は、前記スクリーン版の下方の領域であり、
    前記位置決めマークを形成する工程は、前記長尺状回路基板の搬送方向において前記印刷ステージの所定箇所に位置決めマークが位置する場合にその位置決めマークに対応する単位領域が前記スクリーン版の下方に位置するように各位置決めマークを設けることを含むことを特徴とするTAB用テープキャリアの製造方法。
  2. 前記位置決めマークを形成する工程は、各位置決めマークを前記長尺状回路基板の幅方向において各単位領域の少なくとも一方側に設けることを含むことを特徴とする請求項1記載のTAB用テープキャリアの製造方法。
  3. 前記印刷ステージの所定箇所は、前記印刷ステージの前端および後端の少なくとも一方であることを特徴とする請求項1または2記載のTAB用テープキャリアの製造方法。
  4. 前記検出する工程は、各位置決めマークを光学的に検出することを含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のTAB用テープキャリアの製造方法。
  5. 前記長尺状回路基板を形成する工程は、前記絶縁層上に導体層からなる配線パターンおよび位置決めマークを同時に形成することを含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のTAB用テープキャリアの製造方法。
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US12/062,573 US8037597B2 (en) 2007-04-09 2008-04-04 Manufacturing method of tape carrier for TAB
KR1020080032560A KR101427428B1 (ko) 2007-04-09 2008-04-08 Tab용 테이프 캐리어의 제조 방법
CN200810096361.5A CN101286458B (zh) 2007-04-09 2008-04-09 Tab用带状载体的制造方法

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101117123B1 (ko) 2009-11-02 2012-02-27 주식회사 에스에프에이 인쇄장치

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007141852A1 (ja) * 2006-06-07 2007-12-13 Integrated Solutions Co., Ltd. 露光方法および露光装置
KR101457939B1 (ko) 2009-11-02 2014-11-10 엘지이노텍 주식회사 탭 테이프 및 그 제조방법
GB2481189B (en) * 2010-06-04 2014-11-26 Plastic Logic Ltd Edge Detection in Reduced Substrates
WO2014142389A1 (en) * 2013-03-12 2014-09-18 Samsung Techwin Co., Ltd. Automatic carrier tape feeding apparatus
KR101833312B1 (ko) * 2013-05-06 2018-03-02 해성디에스 주식회사 리드 프레임 제조 방법
JP6901318B2 (ja) * 2017-05-19 2021-07-14 株式会社三井ハイテック リードフレームの製造方法および製造装置
CN110515273B (zh) * 2019-08-26 2023-07-14 江苏上达半导体有限公司 一种cof卷带的生产及搬送方法
CN110797323A (zh) * 2019-11-08 2020-02-14 江苏上达电子有限公司 一种cof卷带及其制造方法
US11973054B2 (en) * 2021-05-06 2024-04-30 Stroke Precision Advanced Engineering Co., Ltd. Method for transferring electronic device

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US600824A (en) * 1898-03-15 And marshall c
US4049903A (en) * 1974-10-23 1977-09-20 Amp Incorporated Circuit film strip and manufacturing method
JPS5648198A (en) * 1979-09-26 1981-05-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method of manufacturing flexible printed circuit board
JPH01256138A (ja) 1988-04-06 1989-10-12 Casio Comput Co Ltd キャリアテープおよびその使用方法
US4980219A (en) * 1988-04-06 1990-12-25 Casio Computer Co., Ltd. Carrier tape for bonding IC devices and method of using the same
US5198857A (en) * 1990-03-30 1993-03-30 Ushio Denski Kabushiki Kaisha Film exposure apparatus and method of exposure using the same
JP2886675B2 (ja) 1990-03-30 1999-04-26 ウシオ電機株式会社 フィルム露光装置およびフィルム露光方法
JP3536728B2 (ja) * 1998-07-31 2004-06-14 セイコーエプソン株式会社 半導体装置及びテープキャリア並びにそれらの製造方法、回路基板、電子機器並びにテープキャリア製造装置
JP3628273B2 (ja) 2001-03-30 2005-03-09 三井金属鉱業株式会社 多条電子部品実装用フィルムキャリアテープの製造方法
JP2007067272A (ja) * 2005-09-01 2007-03-15 Nitto Denko Corp Tab用テープキャリアおよびその製造方法
JP2007073863A (ja) 2005-09-09 2007-03-22 Seiko Epson Corp 半導体装置の製造方法及びフレキシブル回路基板

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101117123B1 (ko) 2009-11-02 2012-02-27 주식회사 에스에프에이 인쇄장치

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