JP4386073B2 - 角速度計測装置 - Google Patents
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Description
これにより、2つのシールド電極の対向部位は、素子側と基板側の両方の検出用電極を取り囲むから、これらの検出用電極と素子側駆動用電極、基板側駆動用電極との間の結合を確実に遮断することができる。この結果、駆動用電極と検出用電極との間でクロストークが生じるのを防止でき、オフセット温度ドリフト特性等を向上させることができる。
2 素子基板
3,4 振動体
5A,5B,6A,6B 駆動部(駆動手段)
7A,7B,8A,8B 検出部(変位検出手段)
9〜12,71〜74,121〜124 素子側駆動用電極
13,14,75,76,125,126 素子側検出用電極
15,77,127 グランド電極(素子側シールド電極)
21,81,128 多層基板
22〜24,82〜85 絶縁層
29〜32,91〜94,129〜132 基板側駆動用電極
33,34,95,96,133,134 基板側検出用電極
35,97,97′,135 グランド電極(基板側シールド電極)
41,42,102,103 駆動用配線
43,44,105,106 検出用配線
45,50,51,107,112,113 グランド電極(シールド配線)
かくして、このように構成される本実施の形態でも、第1の実施の形態とほぼ同様の作用効果を得ることができる。特に、本実施の形態では、グランド電極127,135の対向部位A41を駆動用電極121〜124,129〜132と検出用電極125,126,133,134との間に設けたから、グランド電極127,135の対向部位A41を用いて駆動用電極121〜124,129〜132と検出用電極125,126,133,134との間の結合を遮断し、クロストークの発生を防止することができる。
Claims (3)
- 基板と、
該基板に設けられ、直交する3軸のうち第1,第2の軸方向に振動可能に設けられた振動体と、駆動信号により該振動体を第1の軸方向に振動させる駆動手段と、前記振動体が第1の軸方向に振動した状態で第3の軸周りに角速度が加わったときに前記振動体が第2の軸方向に変位するのを検出して検出信号を出力する変位検出手段とからなる角速度検出素子と、
前記基板に設けられ、該角速度検出素子の駆動手段に接続された駆動用配線と、
前記基板に設けられ、前記角速度検出素子の変位検出手段に接続された検出用配線と、
前記基板に設けられ、前記駆動用配線と検出用配線に接続された信号処理手段とを備えてなる角速度計測装置において、
前記基板は複数の絶縁層からなる多層基板を用いて構成し、
該多層基板の内部には、2つの絶縁層の間に前記検出用配線を配置し、
前記多層基板には、その厚さ方向に対して前記検出用配線と異なる位置に、前記検出用配線と対向して前記検出用配線をシールドするシールド配線を設け、
前記角速度検出素子には、前記多層基板との実装面側に位置して前記駆動手段に接続された素子側駆動用電極と、前記変位検出手段に接続された素子側検出用電極と、前記素子側駆動用電極および素子側検出用電極の間に位置して素子側駆動用電極および素子側検出用電極の間の結合を遮断する素子側シールド電極とを設け、
前記多層基板の表面には、前記駆動用配線に接続され前記素子側駆動用電極と対向する基板側駆動用電極と、前記検出用配線に接続され前記素子側検出用電極と対向する基板側検出用電極と、前記基板側駆動用電極および基板側検出用電極の間に位置して前記基板側駆動用電極および基板側検出用電極の間の結合を遮断する基板側シールド電極とを設け、
前記角速度検出素子を前記多層基板の表面に金属バンプを用いて実装し、
前記素子側駆動用電極と基板側駆動用電極とを該金属バンプを用いて接続し、
前記素子側検出用電極と基板側検出用電極とを前記金属バンプを用いて接続し、
前記素子側シールド電極と基板側シールド電極とを、グランドまたは所定の直流電圧による基準電位に接続し、
前記素子側低シールド電極と基板側シールド電極との少なくとも一部を互いに対向させたことを特徴とする角速度計測装置。 - 基板と、
該基板に設けられ、直交する3軸のうち第1,第2の軸方向に振動可能に設けられた振動体と、駆動信号により該振動体を第1の軸方向に振動させる駆動手段と、前記振動体が第1の軸方向に振動した状態で第3の軸周りに角速度が加わったときに前記振動体が第2の軸方向に変位するのを検出して検出信号を出力する変位検出手段とからなる角速度検出素子と、
前記基板に設けられ、該角速度検出素子の駆動手段に接続された駆動用配線と、
前記基板に設けられ、前記角速度検出素子の変位検出手段に接続された検出用配線と、
前記基板に設けられ、前記駆動用配線と検出用配線に接続された信号処理手段とを備えてなる角速度計測装置において、
前記基板は複数の絶縁層からなる多層基板を用いて構成し、
該多層基板の内部には、2つの絶縁層の間に前記検出用配線を配置し、
前記多層基板には、その厚さ方向に対して前記検出用配線と異なる位置に、前記検出用配線と対向して前記検出用配線をシールドするシールド配線を設け、
前記角速度検出素子には、前記多層基板との実装面側に位置して前記駆動手段に接続された素子側駆動用電極と、前記変位検出手段に接続された素子側検出用電極と、前記素子側駆動用電極または素子側検出用電極を取り囲み素子側駆動用電極および素子側検出用電極の間の結合を遮断する素子側シールド電極とを設け、
前記多層基板の表面には、前記駆動用配線に接続され前記素子側駆動用電極と対向する基板側駆動用電極と、前記検出用配線に接続され前記素子側検出用電極と対向する基板側検出用電極と、前記基板側駆動用電極または基板側検出用電極を取り囲み前記基板側駆動用電極および基板側検出用電極の間の結合を遮断する基板側シールド電極とを設け、
前記角速度検出素子を前記多層基板の表面に金属バンプを用いて実装し、
前記素子側駆動用電極と基板側駆動用電極とを該金属バンプを用いて接続し、
前記素子側検出用電極と基板側検出用電極とを前記金属バンプを用いて接続し、
前記素子側シールド電極と基板側シールド電極とを、グランドまたは所定の直流電圧による基準電位に接続し、
前記素子側シールド電極と基板側シールド電極との少なくとも一部を、前記素子側駆動用電極と素子側検出用電極との間で互いに対向させたことを特徴とする角速度計測装置。 - 前記素子側シールド電極と基板側シールド電極とが互いに対向する対向部位は、前記素子側検出用電極および基板側検出用電極を取り囲む構成としてなる請求項2に記載の角速度計測装置。
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