JP4385033B2 - ペースト塗布機およびその制御方法 - Google Patents

Description

本発明はペースト塗布機に係り、より詳しくは、迅速で正確に塗布高さを設定することができるペースト塗布機およびその制御方法に関するものである。

一般に、ペースト塗布機は、抵抗ペースト、シーリングペーストなどのような各種ペーストを基板に所定形状、すなわち所望パターンに塗布する装置である。
ペースト塗布機は、基板が装着されるステージと、前記基板にペーストを塗布するノズルを持つヘッドユニットとに分けられる。そして、ヘッドユニットには、ペーストを収容しているペースト収納容器と前記ペースト収納容器と連通して、基板にペーストを吐き出すノズルとを含んでなる。すなわち、ペースト塗布機は、基板とノズルの相対位置関係を変化させながら基板に所定形状のペーストパターンを形成することになる。

この時、前記ペーストパターンを形成するための基板とノズルの相対位置および塗布条件は予め設定される。前記塗布条件とは、ノズルと基板間の相対速度（以下、‘塗布速度’という）、前記ノズルと基板間の相対距離（以下、‘塗布高さ’という）、ペースト収納容器に印加される圧力（以下、‘塗布圧力’という）などを含む。そして、基板上にペーストパターンが形成された後には、使用者が所望形状のペーストパターンが形成されたかを確認するために、塗布されたペーストパターンの断面を測定する。そして、従来のペースト塗布機においては、ペーストを塗布する前に、基板とノズル間の間隔を設定するため、マグネチックセンサーを使用する。マグネチックセンサーは、ベース部と感知部から構成され、ベース部は、下側がＳ極、上側がＮ極の磁石であり、感知部は、ベース部の磁場の変化量を測定する部分である。

しかし、上述した従来のペースト塗布機は次のような問題点があった。
まず、従来のペースト塗布機においては、ペーストを塗布する前に、ノズルと基板間の間隔を設定するに際して、マグネチックセンサーを使用することにより、ノイズによる影響を多く受ける。したがって、マグネチックセンサーから出力される信号に対する信頼性が落ちる問題点があった。
具体的には、マグネチックセンサーは磁場の変化による電流の変化量を測定してノズルと基板間の間隔を設定するが、マグネチックセンサーから出る信号はアナログ信号であるからノイズに敏感である。したがって、微細な信号が出力される場合において、ノイズによる信号であるか、あるいはマグネチックセンサーがノズルと基板間の実際移動量を検出して出力される信号であるかを区分することができない問題があった。

次に、従来のペースト塗布機におけるマグネチックセンサーは、移動する部材の実際移動量を測定するよりは、移動有無を感知する用途に使用されるため、ノズルと基板間の間隔を設定する過程で低速走行をしなければならない。したがって、基板とノズル間の間隔を設定するのに設定時間が長くかかる問題点があった。
また、マグネチックセンサーのベース部と感知部間の間隔において、誤差が発生すればマグネチックセンサーのベース部と感知部を組み立て直さなければならない問題点があった。
特開２００５−３２９３６１号公報

本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、本発明の目的は、ノズルと基板間の垂直距離を正確に設定することができるペースト塗布機およびその制御方法を提供することである。
本発明の他の目的は、ノズルと基板間の垂直距離を設定する時間を短縮させることができるペースト塗布機およびその制御方法を提供することである。

前記目的を達成するために、本発明は、基板面の垂直方向に沿って上下移動可能な感知部と；前記感知部に装着され、前記基板面の垂直方向に沿って前記感知部と相対移動可能なノズル部と；基板面の垂直方向に沿って移動する前記感知部と前記ノズル部間の位置差をデジタル信号として出力する位置測定センサーと；を含んでなることを特徴とする。

前記位置測定センサーは、前記感知部と前記ノズル部間の位置差を測定するために、放出される光を反射させる反射部と、前記反射部で反射された光を受け入れる受光部とを含んでなり、前記反射部は前記感知部と前記ノズル部のいずれか一方に取り付けられ、前記受光部は他方に取り付けられることが望ましい。また、前記ノズル部は、前記感知部に装着されたサブ駆動部によって駆動され、前記ノズル部の位置によって前記サブ駆動部との結合有無が決定されることが望ましい。

前記サブ駆動部は、ＺＺ軸モーターと、前記ＺＺ軸モーターによって基板面の垂直方向に沿って移動する駆動ブラケットとを含んでなり、前記ノズル部は、ノズルが装着されたペースト収納容器を支持する支持部材と、前記支持部材を前記駆動ブラケットと連結させるヘッドブラケットとを含んでなることが望ましい。

前記ノズル部が下向き移動の時、前記ノズルが基板面に接触して下向き移動が制限されれば、前記駆動ブラケットと前記ヘッドブラケットの連結が解除されることが望ましい。
前記駆動ブラケットが上向き移動の時、前記ノズルが基板面から離れる瞬間に前記駆動ブラケットと前記ヘッドブラケットが接触して連結されることが望ましい。
また、前記ペースト塗布機は前記感知部に装着され、前記基板と前記ノズル間の垂直距離を測定する変位センサーをさらに含んでなることが望ましい。

前記目的を達成するために、本発明は、基板面の垂直方向に沿って上下移動可能な感知部と；前記感知部を駆動させるメイン駆動部と；前記感知部に装着され、前記基板面の垂直方向に沿って前記感知部と相対移動可能なノズル部と；前記ノズル部を駆動させるサブ駆動部と；前記感知部と前記ノズル部間の位置差を測定する位置測定センサーと；前記位置測定センサーの測定結果によって前記感知部と前記ノズル部の動作を制御することで、前記ノズル部に装着されたノズルと基板面間の垂直距離を設定する制御部と；を含んでなることを特徴とする。

また、前記目的を達成するために、本発明は、前述したようなペースト塗布機に備えられた感知部とノズル部を基板面の垂直方向に沿って下向きに移動させる第１段階と；前記第１段階の移動結果、前記ノズル部に装着されたノズルが基板面と接触したかを判断する第２段階と；前記第２段階の判断結果によって、前記感知部に装着された駆動ブラケットを移動させる第３段階と；前記第３段階の駆動ブラケットの移動結果による前記ノズル部と前記感知部間の位置差を測定する第４段階と；を含むことを特徴とする。

前記ペースト塗布機の制御方法は、前記第４段階で測定した測定値に基づいて前記ノズル部の位置を補正する第５段階をさらに含むことが望ましく、前記第４段階で、前記感知部と前記ノズル部に装着された位置測定センサーは、前記感知部と前記ノズル部間の位置差をデジタル信号として出力することが望ましい。

前記第２段階の判断結果、前記ノズルが基板面に接触すると、前記第３段階では前記駆動ブラケットを上向きに移動させ、前記第４段階では前記駆動ブラケットと前記ノズル部のヘッドブラケットが結合される位置を測定して前記ノズル部と感知部間の位置差を算出することが望ましい。
前記第２段階の判断結果、前記ノズルが基板面から離れると、前記第３段階では前記駆動ブラケットを下向きに移動させ、前記第４段階では前記駆動ブラケットと前記ノズル部のヘッドブラケットが分離する位置を測定して前記ノズル部と前記感知部間の位置差を算出することが望ましい。

本発明によるペースト塗布機は次のような効果を有する。
本発明によれば、感知部とノズル部の位置差をデジタル信号として出力する位置測定センサーを使用することにより、外部ノイズによる誤差を減らすことができる。すなわち、本発明はノズルと基板間の垂直距離を正確に設定することができる利点を有する。
また、ノズルと基板間の垂直距離が正確に設定されるので、塗布されるペーストパターンの断面積または塗布幅に対する信頼度が高くなり、不正確な塗布幅によって発生するパネルの不良率が減少する利点がある。
さらに、本発明によれば、ノズルと基板間の垂直距離を設定する過程に必要な時間を減らすことができる利点がある。

以下、添付図面を参照しながら、本発明の望ましい実施例を説明する。

図１は本発明によるペースト塗布機の望ましい実施例を概略的に示す斜視図である。同図を参照して、本発明によるペースト塗布機の構成を説明する。
フレーム１０の上部には、Ｙ軸方向に移動可能なＹ軸テーブル３０が取り付けられ、Ｙ軸テーブル３０にはθ方向に回転可能にするθ方向移動装置（図示せず）が取り付けられ、Ｙ軸テーブル３０の上部には、基板が吸着されるステージ４０が取り付けられる。もちろん、フレーム１０の上部には、Ｘ軸方向に移動可能なＸ軸テーブルを取り付けることもできる。

そして、フレーム１０の上部には、少なくとも一つ以上のヘッド支持ユニット１２が取り付けられ、ヘッド支持ユニット１２には、ペーストを吐き出すノズル５５５を具備した複数のヘッドユニット５０がＸ軸方向に移動可能に取り付けられる。
ヘッドユニット５０を複数設けることにより、複数のペーストパターンを形成する場合に、工程を短縮させることができる。そして、ヘッド支持ユニット１２は、基板をステージに搭載するかまたは排出する時、所定の空間を確保するために、Ｙ軸方向に移動可能である。

また、ヘッド支持ユニット１２には、ステージに吸着された基板を定位置に校正する役目をするアラインカメラ６０が取り付けられる。ステージ４０の前後には、交換されたノズルの位置を補正する時に使われる計測手段９０が設けられ、計測手段９０としてはカメラのような画像認識装置が使用される。
ペースト塗布機を制御する制御部７０はペースト塗布機の内部に取り付けられて、ペースト塗布機の運転に必要な運転情報を入出力する入出力手段８０と連結される。

そして、制御部７０は、使用者の所望ペーストパターンに対応する情報、すなわちペーストパターンの位置を示す座標値を、入出力手段８０または個人用パソコン（ＰＣ：Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）１００から直接受けることもできる。また、制御部７０は、個人用パソコン１００で作成されたペーストパターンに関する情報を入出力手段８０を通じて受けることもできる。

図２を参照しながら、本発明によるペースト塗布機の制御構成を説明する。
中央処理装置の役目をする制御部７０には、モーターコントローラー３、入出力手段８０、および個人用パソコン（ＰＣ）１００がそれぞれ連結される。もちろん、パソコン１００は制御部７０に直接連結せず、入出力手段８０に連結することもできる。
また、パソコン１００はペースト塗布機と別に用意することもできる。すなわち、パソコン１００で作成された情報は、別の伝達手段（図示せず）によって、個人用パソコンからペースト塗布機に伝達することもできる。

一方、モーターコントローラー３には、Ｙ軸方向、θ方向へのテーブルの運動を制御するステージ用Ｙ軸ドライバー３ａ、θ方向ドライバー３ｂが連結される。そして、モーターコントローラー３には、ヘッドユニットをＸ軸方向に移動させるためのＸ軸ドライバー３ｃが連結される。もちろん、複数のヘッドユニットが備えられた場合には、ヘッドユニットをＸ軸方向に移動させるためのＸ軸ドライバーがそれぞれ設けられる。

また、モーターコントローラー３には、ノズルをＹ軸方向、Ｚ軸方向、ＺＺ軸方向に移動させるためのＹ軸ドライバー３ｄ、Ｚ軸ドライバー３ｅ、ＺＺ軸ドライバー３ｆがそれぞれ連結される。さらに、モーターコントローラー３には、基板を搭載するかまたは排出するために、ヘッド支持ユニットをＹ軸に移動させるためのヘッド支持ユニット用Ｙ軸ドライバー３ｇが連結される。
ＺＺ軸はＺ軸と実質的に同一方向を示すが、ノズルの初期位置を設定する過程でノズルを微細に動かすことを別に表現するために使用する軸を意味する。

本発明は上述した実施例に限定されることなく、前記モーターコントローラーに、ノズル自体をＸ軸方向に移動させるためのノズル用Ｘ軸ドライバーを具備することもでき、ステージをＸ軸方向に移動させるステージ用Ｘ軸ドライバーを具備することもできる。

次に、図１および図２を参照しながら、基板上にペーストが塗布される過程を簡単に説明する。
まず、塗布しようとするペーストパターンが決定されば、使用者は試験塗布によって、ペーストパターンに適した塗布条件を設定する。塗布条件が設定されれば、実際基板が搬入されてステージ４０に吸着される。
そして、ノズル５５５と基板の位置がアラインカメラ６０および計測手段９０によって整列された後、ノズルからペーストが吐き出され始める。

もちろん、前記ペーストが吐き出される過程で、ステージ４０とヘッドユニット５０はペーストパターンを形成するように相対運動する。すなわち、前記ペーストパターンの形成の際、ヘッド支持ユニット１２は固定されており、ステージ４０がＹ軸方向に運動し、ヘッドユニット５０がＸ軸方向に運動しながら所定形状のペーストパターンを形成する。
しかし、本発明はこれに限定されることなく、ノズルを固定し、ステージ４０をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動することができ、ステージを固定し、ノズルをＸ軸およびＹ軸方向に移動することもできる

図３および図４を参照しながら、本発明によるペースト塗布機のヘッドユニットに対する一実施例を具体的に説明する。
本実施例において、ヘッドユニットは、ヘッド支持ユニット上で、基板面の垂直方向に沿って上下移動可能な感知部５３０と、感知部５３０に装着され、基板２００の垂直方向に沿って感知部に対して相対移動可能なノズル部５５０とを含んでなる。
感知部５３０は、メイン駆動部５１０によって、基板２００の垂直方向に移動され、メイン駆動部はＺ軸ドライバーによって制御される。そして、ノズル部５５０は感知部に装着されたサブ駆動部５４０によって駆動され、サブ駆動部５４０はＺＺ軸ドライバーによって制御される。

より詳細には、メイン駆動部５１０は、感知部を移動させるためのＺ軸モーター５１１と、Ｚ軸モーターガイド５１３とを含む。そして、サブ駆動部５４０は、ＺＺ軸モーター５４１と、ＺＺ軸モーターによって駆動される駆動ブラケット５４２とを含む。また、ノズル部５５０は、ノズルが装着されたペースト収納容器（図示せず）と、ペースト収納容器を支持する支持部材５５３と、支持部材５５３を駆動ブラケットに連結するヘッドブラケット５５１とを含む。

ノズル部５５０は、感知部５３０に装着されたサブ駆動部５４０によって駆動され、ノズル部５５０の位置によってサブ駆動部５４０との結合有無が決定される。
ペースト収納容器の端部には、ペーストを塗布するノズル５５５がペースト収納容器と連通するように取り付けられる。そして、ヘッドブラケット５５１の一端部は支持部材の上端に固定されており、他端部は駆動ブラケット５４２に対する結合および分離を繰り返す。

すなわち、感知部５３０およびノズル部５５０が基板面の垂直方向に沿って下向きに移動する場合、ノズル５５５が基板２００に接触してノズル部の下向き移動が制限されれば、サブ駆動部５４０の駆動ブラケットとヘッドブラケット５５１が分離される。これについての詳細な説明は後述する。
そして、感知部５３０には、基板とノズル間の垂直距離をリアルタイムで測定する変位センサー５２０が取り付けられる。より詳細には、変位センサー５２０は感知部の下端部に取り付けられ、レーザービームを利用して基板２００との距離を測定する。

一方、ヘッドユニット５０には、基板面の垂直方向に沿って移動する感知部５３０とノズル部５５０間の位置差を測定する位置測定センサー５７０が具備される。
位置測定センサー５７０は、感知部に装着される反射部５７１と、ノズル部に装着されて、反射部５７１と対応する受光部５７３とを含む。反射部５７１は、実際にレーザービームを反射する反射層５７１ｂと反射層を覆っているコーティング層５７１ａとを含む。もちろん、反射部５７１をノズル部に装着し、受光部５７３を感知部に装着することもできる。

反射層５７１ｂは、一定ピッチのウェーブ形断面を有している。本実施例において、ウェーブのピッチは約１μｍにして使用するが、使用者の要求に応じて任意の値を有するように設計することができる。そして、反射層５７１ｂ上に積層されるコーティング層５７１ａは上側面が平らになっており、レーザービームを自由に透過させる。

以下に、位置測定センサー５７０を使って感知部とノズル部間の位置差を測定する方法を説明する。
まず、ヘッドユニットの所定位置に具備された発光部５７５から光が放出され、発光部から放出される光は反射部５７１に入射する。その後、反射部５７１に入射した光は反射されて受光部５７３に入射する。この時、受光部５７３に入射する光は反射部５７１のウェーブ面の角度によって位置変化が発生し、これによって距離を測定する。ここで、位置差を示す信号はデジタル信号に転換されて出力される。

したがって、ノズル部５５０と感知部５３０は同一速度で動いているかあるいは共に停止状態になれば、ノズル部と感知部間の位置差は０になる。
しかし、ノズル部５５０が停止状態にあり、感知部５３０が移動することになれば、受光部５７３に受光される光の位置が変わり、これによって、ノズル部５５０と感知部５３０間の位置差を測定することになる。
そして、ペースト塗布機の制御部は、位置測定センサー５７０の測定結果によって感知部とノズル部の動作を制御して、ノズルと基板面間の垂直距離を設定する。

図５、図６〜図９、および図１０を参照しながら、本発明によるノズル位置設定過程を具体的に説明する。
図６に示すように、ペーストを塗布するに先立ち、ノズル５５５と基板２００間の垂直距離を設定するために、感知部５３０とノズル部５５０とを含んでなるヘッドユニット全体を基板２００の垂直方向に沿って下向きに移動させる（Ｓ１０）。この時、ヘッドユニットは、メイン駆動部によって、ヘッドユニット全体が一緒に動くことになる。より詳細には、変位センサー５２０が第２塗布基準点ａを示すまでヘッドユニット全体を下向きに移動させる。

前記ヘッドユニットが下向きに移動し、ノズル５５５が基板２００に到達すると、ノズルはそれ以上下向きに移動しなくなる。すなわち、ノズルが基板２００に到達した後には、図７に示すように、ノズル部５５０は停止しており、駆動ブラケット５４２とヘッドブラケット５５１の連結は解除され、駆動ブラケット５４２のみ感知部５３０とともに下向きに移動する。
そして、感知部に装着された変位センサーが第２塗布基準点ａを示す位置に到逹した後、ペースト塗布機の制御部はノズル５５５が基板２００と接触したか否かを判断する（Ｓ３０）。

ここで、ノズル５５５が基板２００に到達した状態であれば、図８に示すように、駆動ブラケット５４２のみ上向きに移動させる（Ｓ４０）。この時、位置測定センサー５７０は、ノズルが基板２００から離れる時点を正確に測定する。すなわち、感知部に装着された位置測定センサー５７０の反射部５７１は停止しており、ノズル部に装着された位置測定センサー５７０の受光部５７３のみ移動することにより、駆動ブラケット５４２とヘッドブラケット５５１が結合される位置を正確に測定することになる。

そして、前記ノズルが基板面から離れる瞬間、ＺＺ軸モーター５４１の駆動は停止し、駆動ブラケット５４２の動作も停止する。しかし、モーターの応答速度によって、所望地点で正確に停止することができなくなるため、駆動ブラケット５４２は所定距離だけ上向きに移動してから停止することになる（Ｓ４０）。

ここで、ペースト塗布機の制御部は、ノズルが基板面から離れる時点から駆動ブラケットが移動した所定距離を正確に認識している（Ｓ５０）。そして、位置測定センサー５７０は、感知部５３０とノズル部５５０の相対位置をデジタル信号として出力する。
本実施例において、位置測定センサー５７０は、感知部５３０とノズル部５５０間の位置差をデジタル信号として出力するため、外部ノイズの影響を受けなくなる。

ついで、位置測定センサー５７０の測定値に基づき、ペースト塗布機の制御部は前記ノズル部の位置を補償することになる（Ｓ６０）。すなわち、ノズルが基板面と再び接触するように駆動ブラケット５４２のみを駆動させて前記ノズル部を下向きに移動させる。
本発明は上述した実施例に限定されなく、ＺＺ軸モーターの応答速度が速くて駆動ブラケットが所望地点で停止することもできる。すると、別にノズル部の位置を補償する段階は省略することもできる。

その後、ペースト塗布機の制御部は、感知部とノズル部を含むヘッドユニット全体を上向きに移動させる（Ｓ７０）。すなわち、感知部に装着された変位センサーが第１塗布基準点０を示すまで上向きに移動させる。最終的に、図９に示すように、変位センサー５２０は第１塗布基準点０を示し、ノズル５５５は実際に基板２００から特定高さａを有する状態になる。

一方、図１０に示すように、変位センサー５２０が第２塗布基準点ａを示すまでヘッドユニット全体を下向きに移動させた後もノズルが基板面に到達しない場合であれば、感知部５３０を停止させた状態で、ノズルが基板面に着くまでノズル部５５０とともに駆動ブラケット５４２を下向きに移動させる（Ｓ４００）。
この時、前記ノズルが基板面と接触する瞬間、ＺＺ軸モーター５４１の駆動は停止し、駆動ブラケット５４２の動作も停止することになる（図８参照）。しかし、モーターの応答速度によっては、所望地点で正確に停止することができない。すなわち、駆動ブラケット５４２は所定距離だけ下向きに移動した後に停止することになる。

ここで、ペースト塗布機の制御部は、ノズルが基板面に接触した瞬間から駆動ブラケットが移動した所定距離を正確に認識している（Ｓ５００）。そして、位置測定センサー５７０は、感知部５３０とノズル部５５０間の位置差をデジタル信号として出力することになる。
したがって、ペースト塗布機の制御部は、前記ノズルが基板面に接触した後に前記駆動ブラケットが移動した距離を位置測定センサー５７０によって測定し、前記測定した値に基づいてノズル部の位置を補償する（Ｓ６００）。
同様に、ＺＺ軸モーターの応答速度が速くて前記駆動ブラケットが所望地点で停止することもできる。この場合、別にノズル部の位置を補償する段階は省略できる。

ついで、ペースト塗布機の制御部は、感知部５３０とノズル部５５０を含むヘッドユニット全体を上向きに移動させる（Ｓ７０）。すなわち、感知部に装着された変位センサー５２０が第１塗布基準点０を示すまで上向きに移動させる。
すると、図９に示すように、変位センサー５２０は第１塗布基準点０を示し、ノズル５５５は実際に基板から特定高さａを有する状態になる。

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施例について説明したが、本発明は前記実施例に限定されず、本発明の属する技術範囲を逸脱しない範囲での全ての変更が含まれる。

本発明は、ノズルと基板間の垂直距離を正確に設定し、ノズルと基板間の垂直距離を設定する時間を短縮させるペースト塗布機およびその制御方法に適用可能である。

本発明によるペースト塗布機の構成を概略的に示す斜視図である。 本発明によるペースト塗布機の制御構成を概略的に示すブロック図である。 本発明によるペースト塗布機のヘッドユニットの構成を示す構成図である。 本発明による位置測定センサーの動作を示す状態図である。 本発明によるペースト塗布機のノズル位置設定過程を示す流れ図である。 本発明によるヘッドユニットを所定位置で下向きに移動させる状態を示す状態図である。 本発明によるヘッドユニットを所定位置で下向きに移動させた後、ノズルと基板が接触した状態を示す状態図である。 本発明による駆動ブラケットとヘッドブラケットが接触した状態を示す状態図である。 本発明によるノズルと基板の垂直距離が設定完了された状態を示す状態図である。 本発明によるヘッドユニットを所定位置で下向きに移動させた後、ノズルと基板が所定間隔だけ離れている状態を示す状態図である。

符号の説明

３ モーターコントローラー
１０ フレーム
１２ ヘッド支持ユニット
３０ Ｙ軸テーブル
４０ ステージ
５０ ヘッドユニット
７０ 制御部
８０ 入出力手段
１００ パソコン、個人用パソコン
２００ 基板
５１０ メイン駆動部
５２０ 変位センサー
５３０ 感知部
５４０ サブ駆動部
５４２ 駆動ブラケット
５５０ ノズル部
５５５ ノズル
５６０ ペースト収納容器
５７０ 位置測定センサー
５７１ 反射部
５７３ 受光部

Claims (15)

1. 基板面の垂直方向に沿って上下移動可能な感知部と；
   前記感知部に装着され、前記基板面の垂直方向に沿って前記感知部と相対移動可能なノズル部と；
   前記ノズル部と前記基板との接触を判断し、基板面の垂直方向に沿って移動する前記感知部と前記ノズル部間の位置差をデジタル信号として出力する位置測定センサーと；
   を含んでなることを特徴とするペースト塗布機。
2. 前記位置測定センサーは、前記感知部と前記ノズル部間の位置差を測定するために、放出される光を反射させる反射部と、前記反射部で反射された光を受け入れる受光部とを含んでなることを特徴とする請求項１に記載のペースト塗布機。
3. 前記反射部は前記感知部と前記ノズル部のいずれか一方に取り付けられ、前記受光部は他方に取り付けられることを特徴とする請求項２に記載のペースト塗布機。
4. 前記ノズル部は、前記感知部に装着されたサブ駆動部によって駆動され、前記ノズル部の位置によって前記サブ駆動部との結合有無が決定されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のペースト塗布機。
5. 前記サブ駆動部は、ＺＺ軸モーターと、前記ＺＺ軸モーターによって基板面の垂直方向に沿って移動する駆動ブラケットとを含んでなることを特徴とする請求項４に記載のペースト塗布機。
6. 前記ノズル部は、ノズルが装着されたペースト収納容器を支持する支持部材と、前記支持部材を前記駆動ブラケットと連結させるヘッドブラケットとを含んでなることを特徴とする請求項５に記載のペースト塗布機。
7. 前記ノズル部が下向き移動の時、前記ノズルが基板面に接触して下向き移動が制限されれば、前記駆動ブラケットと前記ヘッドブラケットの連結が解除されることを特徴とする請求項６に記載のペースト塗布機。
8. 前記駆動ブラケットが上向き移動の時、前記ノズルが基板面から離れる瞬間に前記駆動ブラケットと前記ヘッドブラケットが接触して連結されることを特徴とする請求項６に記載のペースト塗布機。
9. 前記ペースト塗布機は前記感知部に装着され、前記基板と前記ノズル間の垂直距離を測定する変位センサーをさらに含んでなることを特徴とする請求項４に記載のペースト塗布機。
10. 基板面の垂直方向に沿って上下移動可能な感知部と；
    前記感知部を駆動させるメイン駆動部と；
    前記感知部に装着され、前記基板面の垂直方向に沿って前記感知部と相対移動可能なノズル部と；
    前記ノズル部を駆動させるサブ駆動部と；
    前記ノズル部と前記基板との接触を判断し、前記感知部と前記ノズル部間の位置差を測定する位置測定センサーと；
    前記位置測定センサーの測定結果によって前記感知部と前記ノズル部の動作を制御することで、前記ノズル部に装着されたノズルと基板面間の垂直距離を設定する制御部と；
    を含んでなることを特徴とするペースト塗布機。
11. 請求項１または２のペースト塗布機に備えられた感知部とノズル部を基板面の垂直方向に沿って下向きに移動させる第１段階と；
    前記第１段階の移動結果、前記ノズル部に装着されたノズルが基板面と接触したかを判断する第２段階と；
    前記第２段階の判断結果によって、前記感知部に装着された駆動ブラケットを移動させる第３段階と；
    前記第３段階の駆動ブラケットの移動結果による前記ノズル部と前記感知部間の位置差を測定する第４段階と；
    を含むことを特徴とする、ペースト塗布機の制御方法。
12. 前記ペースト塗布機の制御方法は、前記第４段階で測定した測定値に基づいて前記ノズル部の位置を補正する第５段階をさらに含むことを特徴とする請求項１１に記載のペースト塗布機の制御方法。
13. 前記第４段階で、前記感知部と前記ノズル部に装着された位置測定センサーは、前記感知部と前記ノズル部間の位置差をデジタル信号として出力することを特徴とする請求項１１または１２に記載のペースト塗布機の制御方法。
14. 前記第２段階の判断結果、前記ノズルが基板面に接触すると、前記第３段階では前記駆動ブラケットを上向きに移動させ、前記第４段階では前記駆動ブラケットと前記ノズル部のヘッドブラケットが結合される位置を測定して前記ノズル部と感知部間の位置差を算出することを特徴とする請求項１１または１２に記載のペースト塗布機の制御方法。
15. 前記第２段階の判断結果、前記ノズルが基板面から離れると、前記第３段階では前記駆動ブラケットを下向きに移動させ、前記第４段階では前記駆動ブラケットと前記ノズル部のヘッドブラケットが分離する位置を測定して前記ノズル部と前記感知部間の位置差を算出することを特徴とする請求項１１または１２に記載のペースト塗布機の制御方法。

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