JP4381468B1 - Two-way moving table - Google Patents
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Abstract
【課題】ボンディング装置を高速化する
【解決手段】ボンディング装置に用いられるXYテーブルのY方向モータに、一端がテーブルに固定されてY方向に延びる繊維強化プラスチックの長方形断面パイプで、各短辺側面にY方向に延びる開口43bが設けられ、テーブルと共にXY方向に移動する可動アーム43aと、可動アーム43aの開口43bに差し込まれて可動アーム43aに取り付けられ、その一部が可動アーム43aの開口43bから可動アームの幅方向に突出する環状の駆動コイル44と、を含むY方向可動子43を備える。
【選択図】図4The speed of a bonding apparatus is increased. A XY table Y-direction motor used in the bonding apparatus has a rectangular cross-section pipe of fiber-reinforced plastic that is fixed to the table and extends in the Y direction. Is provided with an opening 43b extending in the Y direction, moving in the XY direction together with the table, and inserted into the opening 43b of the movable arm 43a and attached to the movable arm 43a, a part of which is the opening 43b of the movable arm 43a. And a Y-direction movable element 43 including an annular drive coil 44 protruding in the width direction of the movable arm.
[Selection] Figure 4
Description
本発明は、ボンディング装置に用いられる2方向移動テーブルの構造に関する。 The present invention relates to a structure of a two-way moving table used in a bonding apparatus.
ワイヤボンディング装置などのボンディング装置において、半導体デバイスなどのボンディング対象を水平方向の互いに直交する2方向であるX方向とY方向とに移動させる2方向移動テーブルとしてXYテーブルが用いられている。XYテーブルは、X方向にガイドされてX方向モータによってX方向に移動する下部テーブルと下部テーブル上面のガイドによってY方向にガイドされ、Y方向モータによってY方向に移動する上部テーブルとを備えている。上部テーブルは、X方向に移動する下部テーブルの上に載ってY方向に移動するので、XY方向に自在に移動することができるよう構成されている。 In a bonding apparatus such as a wire bonding apparatus, an XY table is used as a two-way moving table that moves a bonding target such as a semiconductor device in two directions that are perpendicular to each other in the horizontal direction, the X direction and the Y direction. The XY table includes a lower table guided in the X direction and moved in the X direction by the X direction motor, and an upper table guided in the Y direction by the guide on the upper surface of the lower table and moved in the Y direction by the Y direction motor. . Since the upper table is placed on the lower table that moves in the X direction and moves in the Y direction, the upper table is configured to move freely in the XY direction.
このようなXYテーブルでは、位置決めを高精度化するためにY方向モータの可動子を上部テーブルに接続固定するものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。 As such an XY table, there has been proposed one in which a mover of a Y-direction motor is connected and fixed to an upper table in order to increase the accuracy of positioning (see, for example, Patent Document 1).
しかし、特許文献1に記載された従来技術のXYテーブルでは、Y方向モータの可動子は、上部テーブルに接続固定されて上部テーブルと一緒にX方向に移動する。このため、下部テーブルをX方向に移動させるX方向モータは、下部テーブルと上部テーブルとY方向モータの可動子とをX方向に移動させることが必要となってくるが、Y方向モータの可動子の重量が大きい場合、X方向モータにかかる荷重が大きくなるため下部テーブルの移動速度を早くすることが困難でボンディング装置を高速化することができないという問題があった。
However, in the XY table of the prior art described in
また、特許文献1に記載された従来技術のXYテーブルでは、Y方向モータの可動子が上部テーブルの上面付近からY方向に向かって突出するよう取り付けられているため、Y方向モータの可動子は、上部テーブルをY方向に駆動する際に上部テーブルからY方向の反力とともに曲げモーメントの反力を受け、この曲げモーメントによって可動子に振動が発生し、その振動によってボンディングの際にキャピラリの押圧荷重が変動してボンディング品質が低下してしまうという問題があった。Y方向モータの可動子の重量が大きい場合には、上部テーブルの往復動作に含まれる周波数成分が可動子の固有振動数に近くなるため、より振動が大きくなり、ボンディング品質の低下が問題となった。そして、ボンディング品質の低下を避けるために、XYテーブルの動作速度を高速化できず、ボンディング装置を高速化することができないという問題があった。
Moreover, in the XY table of the prior art described in
また、特許文献1に記載されたY方向モータの可動子は、平板の上にコイルを取り付けたものであるため、コイルに電流が流れた際にコイルに発生する熱の放散が不十分となることが多く、コイルの温度上昇による電気抵抗の増加による出力の低下やコイル周辺部材の膨張による熱変位によりボンディング精度の低下を招くので、大電流を流すことが難しく、Y方向の可動子を高速で移動させることが困難になるという問題があった。
Further, since the mover of the Y-direction motor described in
本発明は、ボンディング装置を高速化することを目的とする。 An object of the present invention is to increase the speed of a bonding apparatus.
本発明の2方向移動テーブルは、同一平面内で互いに直交する第1の方向と第2の方向の2つの方向に移動する2方向移動テーブルであって、第1の方向にガイドされ、第1のモータによって第1の方向に駆動される第1のテーブルと、第1のテーブルの上面に設けられた第2の方向ガイドによって第2方向にガイドされ、第1のテーブルと共に第1の方向に駆動されると共に第2のモータによって第2の方向にも駆動される第2のテーブルと、一端が第2のテーブルに固定されて第2の方向に延びる繊維強化プラスチックの長方形断面の中空体で、各短辺側面に第2の方向に延びる開口が設けられ、第2のテーブルと共に第1及び第2の方向に移動する可動アームと、可動アームの各開口に差し込まれて可動アームに取り付けられ、その一部が可動アームの開口から可動アームの幅方向に突出する環状の駆動コイルと、を含む可動子と、を有することを特徴とする。 The two-way moving table of the present invention is a two-way moving table that moves in two directions of a first direction and a second direction orthogonal to each other in the same plane, and is guided in the first direction. The first table driven in the first direction by the motor and the second direction guide provided on the upper surface of the first table are guided in the second direction and together with the first table in the first direction. A second table that is driven and driven in a second direction by a second motor; and a hollow body of rectangular cross section of fiber reinforced plastic that is fixed to the second table and extends in the second direction at one end. Each of the short side surfaces is provided with an opening extending in the second direction. The movable arm moves in the first and second directions together with the second table. The movable arm is inserted into each opening of the movable arm and attached to the movable arm. , That one There and having a movable element comprising an annular driving coil which projects from the opening of the movable arm in the width direction of the movable arm, the.
本発明の2方向移動テーブルにおいて、可動子は、可動アームの開口の第2の方向の長さが駆動コイルの差し込み方向と直角方向の外形の長さよりも長く、差し込み方向の駆動コイルの内径の長さが可動アームの幅よりも長く、駆動コイルの内側空間と可動アーム外側空間とが連通していること、としても好適である。 In the two-way moving table of the present invention, the length of the movable arm opening in the second direction is longer than the length of the outer shape in the direction perpendicular to the insertion direction of the drive coil, and the inner diameter of the drive coil in the insertion direction is longer. It is also preferable that the length is longer than the width of the movable arm, and the inner space of the drive coil and the outer space of the movable arm communicate with each other.
また、本発明の2方向移動テーブルにおいて、可動子の駆動コイルに直接空気を吹き付けるノズルを有すること、としても好適であるし、第1のテーブルはXテーブルで、第2のテーブルはYテーブルであること、としても好適である。 In the two-way moving table of the present invention, it is also preferable to have a nozzle that blows air directly on the drive coil of the mover. The first table is an X table, and the second table is a Y table. It is also suitable as being.
本発明は、ボンディング装置を高速化することができるという効果を奏する。 The present invention has an effect that the bonding apparatus can be speeded up.
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明する。図1に示すように、ワイヤボンディング装置100のXYテーブル10は、平面上で互いに直交する座標軸であるX軸(X−X線方向)およびY軸(Y−Y線方向)の各方向に沿って下部テーブル13と、上部テーブル21とが設置され、各テーブルにはX方向モータ30、Y方向モータ40が接続され、各方向のモータ30,40によって下部テーブル13はX方向に、上部テーブル21はY方向に駆動されるよう構成されている。また、上部テーブル21の上には、ボンディングアーム102の先端に取り付けられたキャピラリ103を上下に動作させるボンディングヘッド101が取り付けられている。図1に示すように、ボンディングアーム102の伸びる方向がY方向であり、その直角方向がX方向である。
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIG. 1, the XY table 10 of the
図2に示すように、X方向モータ30は、架台11の上面に、X方向ガイドレール37を介して設置されている。X方向モータ30はボイスコイルモータであり、周知の如く、永久磁石32を有するX方向モータ固定子31、コイル34を有するX方向可動子33とから構成されている。X方向可動子33は、図示しないX方向ガイドによりX方向モータ固定子31の内側に保持されており、これによりX方向可動子33はX方向にのみ移動可能とされている。X方向ガイドは、クロスローラガイド等を利用した周知の直動式のものである。X方向モータ固定子31はX方向ガイドレール37により、X方向可動子33の駆動方向であるX方向に移動可能でY方向には移動しないように保持されている。
As shown in FIG. 2, the
X方向可動子33の下部テーブル13側にはブラケット36が設けられ、このブラケット36は下部テーブル13のブラケット16とボルトによって接続固定されている。下部テーブル13はX方向ガイドレール14を介して、X方向可動子33の駆動方向であるX方向に移動可能でY方向には移動しないようにテーブル保持台12に保持されており、テーブル保持台12は架台11に固定されている。ここで、X方向モータ固定子31の重量は、X方向可動子33と下部テーブル13の重量と下部テーブル13の上に重量のかかるY方向可動子43と上部テーブル21とボンディングヘッド101の重量の合計より大きくなっている。
A
図2に示すように、架台11には、X方向モータ固定子31のX方向の移動速度を検知するためのX方向モータ固定子速度センサ38が取付けられ、テーブル保持台12の上面には、下部テーブル13のX方向の位置および移動速度を検知するための下部テーブルセンサ18が取付けられている。
As shown in FIG. 2, an X-direction motor
図3に示すように、Y方向モータ40は、架台11の上面に、Yモータ保持台17およびY方向ガイドレール47を介してY方向に移動可能に保持されている。Y方向モータ40は平面リニアモータであり、永久磁石42を有するY方向モータ固定子41と、図1に示すコイル44を有する平板状のY方向可動子43とから構成されている。
As shown in FIG. 3, the
図3に示すように、Y方向可動子43の上部テーブル21側にはブラケット46が設けられ、Y方向可動子43のブラケット46はボルト23によって上部テーブル21上面に固定されている。上部テーブル21は、Y方向に延設されたY方向ガイドレール22を介して、下部テーブル13の上に保持されている。したがって、上部テーブル21は下部テーブル13と共にX方向に移動すると共に、下部テーブル13の上面でY方向に移動することができるよう構成され、上部テーブル21はXYの両方向に移動することができる。また、上部テーブル21に固定されているY方向可動子43も上部テーブル21と共にXY方向に移動することができるよう構成されている。
As shown in FIG. 3, a
図1に示すように、Y方向モータ固定子41における磁場形成手段である永久磁石42は、Y方向モータ固定子41の端部にまで亘って設けられており、その結果、永久磁石42はY方向可動子43の磁気作用部であるコイル44のX方向の移動における全領域を覆っている。また、Y方向モータ固定子41の重量は、Y方向可動子43と上部テーブル21とボンディングヘッド101との重量の合計より大きくなっている。
As shown in FIG. 1, the
テーブル保持台12には、下部テーブル13の位置及び速度を検出する下部テーブルセンサ18が取付けられ、下部テーブル13の上面には、上部テーブル21のY方向の位置および移動速度を検知するための上部テーブルセンサ19が取付けられている。Yモータ保持台17には、Y方向モータ固定子41の移動速度を検知するためのY方向モータ固定子速度センサ48が取付けられている。また、Y方向可動子43を冷却するための冷却空気吹き出しノズル55が設けられ、ノズル55はその空気の吹き出し口がコイル44の方向となるように取り付けられている。
A
このように構成されたXYテーブル10の動作について簡単に説明する。図示しない制御装置から、下部テーブル13を所定位置に移動させるための位置指令信号が出力されると、X方向可動子33がX方向に加速されて移動し、下部テーブル13は、X方向ガイドレール14に案内されてX方向に移動する。他方、X方向モータ固定子31は、X方向ガイドレール37に沿ってX方向に移動可能に設けられているので、X方向可動子33および下部テーブル13の駆動の反作用として、大きさの等しい逆向きの力を受け、下部テーブル13の移動と反対方向に加速されて移動する。このように、X方向モータ固定子31が下部テーブル13の移動方向と逆方向に移動するので、架台11に与えられる運動量は理論的にゼロとなり、架台11の揺れはほとんど生じない。
The operation of the XY table 10 configured as described above will be briefly described. When a position command signal for moving the lower table 13 to a predetermined position is output from a control device (not shown), the X direction
そして、下部テーブル13の位置及び速度は下部テーブルセンサ18により検知され、制御装置にフィードバックされ、下部テーブル13を所定位置に移動させるように、X方向モータ30のコイル34に電圧が供給され、その位置が制御される。また、X方向モータ固定子速度センサ38によってX方向モータ固定子31の位置と速度とが検出され、X方向モータ固定子31の移動に消費される電力が補償され、補償された電力がコイル34に入力される。
The position and speed of the lower table 13 are detected by the
同様に、図示しない制御装置から、上部テーブル21を所定位置に移動させるための位置指令信号が出力されると、Y方向可動子43がY方向に加速されて移動し、上部テーブル21は、Y方向ガイドレール22に案内されてY方向に移動する。他方、Y方向モータ固定子41はY方向ガイドレール47に沿ってY方向に移動可能に設けられているので、Y方向可動子43および上部テーブル21の駆動の反作用として、大きさの等しい逆向きの力を受け、上部テーブル21の移動と反対方向に加速されて移動する。このように、Y方向モータ固定子41が上部テーブル21の移動方向と逆方向に移動するので、架台11、テーブル保持台12に与えられる運動量は理論的にゼロとなり、架台11、テーブル保持台12の揺れはほとんど生じない。
Similarly, when a position command signal for moving the upper table 21 to a predetermined position is output from a control device (not shown), the Y-direction
そして、上部テーブル21の位置及び速度は上部テーブルセンサ19により検知され、制御装置にフィードバックされ、上部テーブル21を所定位置に移動させるように、Y方向モータ40のコイル44に電圧が供給され、その位置が制御される。また、Y方向モータ固定子速度センサ48によってY方向モータ固定子41の位置と速度とが検出され、Y方向モータ固定子41の移動に消費される電力が補償され、補償された電力がコイル44に入力される。
The position and speed of the upper table 21 are detected by the
以上説明したように、XYテーブル10はX方向モータ30によって下部テーブル13をX方向に駆動し、Y方向モータ40によって下部テーブル13の上にY方向にスライド自在に取り付けられている上部テーブル21をY方向に駆動することによって、上部テーブル21をXY方向に移動させる。そして、上部テーブル21に固定されているY方向可動子43は、上部テーブル21のXY方向への移動に伴ってXY方向に移動する。
As described above, the XY table 10 drives the lower table 13 in the X direction by the
次に、図4を参照しながら、Y方向可動子43について説明する。Y方向可動子43は、長方形の断面形状を備える炭素繊維強化プラスチックのパイプの可動アーム43aと、可動アーム43aの短辺側の面のある側板43hに設けられた開口43bと、開口43bに可動アーム43aの幅方向(X方向)から差し込まれて可動アーム43aに固定されている環状のコイル44と、可動アーム43aの一端に設けられたブラケット46と、ブラケット46と反対側の端部に設けられたダイナミックダンパ50と、コイル44に電力を供給するケーブル43dとを備えている。Y方向可動子43はブラケット46に設けられた孔43cに通したボルトによって、その長手方向がY方向となるように上部テーブル21に固定される。
Next, the Y-direction
可動アーム43aを構成する炭素繊維強化プラスチックは可動アーム43aの長手方向(Y方向)に多くの繊維が通り、長手方向(Y方向)の強度が幅方向の強度よりも大きくなるように構成され、その肉厚は略一定の厚みtで、幅W1が厚さH1よりも大きい長方形断面形状のパイプである。可動アーム43aの内部は空洞となっている。
The carbon fiber reinforced plastic constituting the
Y方向可動子43に取り付けられているコイル44は、略長円形の環状となっており、コイル44の断面は四角形となっている。コイル44の可動アーム43aの幅方向(X方向)の外形の長さW2は可動アーム43aの幅W1よりも長く、また、コイル44の可動アーム43aの幅方向(X方向)の内径の長さW3も可動アーム43aの幅W1よりも長くなっている。コイル44が差し込まれている開口43bの可動アーム43aの長手方向(Y方向)の長さは、コイル44の可動アーム43aの長手方向(Y方向)の長さL2よりも少しだけ大きいL1となっている。コイル44の厚さH2は可動アーム43aの厚さ方向の内面間高さH3=H1−2×t、と略同様の厚さとなっている。そして、コイル44は可動アーム43aの開口43bに可動アーム43aの幅方向(X方向)から差し込まれ、コイル44の幅方向の外面および内面が可動アーム43aの側面から可動アーム43aの幅方向に突出する位置となるように、可動アーム43aの上面板43fと下面板43gと挟み込まれて接着剤によって固定されている。
The
可動アーム43aの側板43hのコイル44の内面部分にはコイル44の可動アーム43aの長手方向(Y方向)の長さがコイル44の内面長さW4で、その高さが可動アーム43aの内面間高さH3の開口43eが形成される。開口43eは空洞となっている可動アーム43aの内側にあるコイル44の内側空間45と連通しており、コイル44の内側空間45は可動アーム43aの外側の空間と連通する様に構成されている。
In the inner surface length W 4 in the longitudinal direction (Y-direction) length of the
また、ブラケット46は長方形断面形状パイプの可動アーム43aの内面にぴったりと嵌まり込む大きさの金属製のブロックが可動アーム43aの端面から嵌め込まれ、接着剤で固定された後、可動アーム43aと共に取り付け用の孔43cが開けられたものである。金属製のブロックの長さは取り付け用の孔43cの位置よりも若干内部に入り込んだ程度の位置までとなっているため、可動アーム43aの内部はほとんど空洞となっている。
The
可動アーム43aのブラケット46と反対側の端面に取り付けられたダイナミックダンパ50は可動アーム43aから張り出した平板51と、平板51の上面に取り付けられた錘52とを含んでいる。平板51は四角パイプの可動アーム43aの内面にぴったりと嵌まり込んで平板51と可動アーム43aとを接続する接続片53を備えており、接続片53は接着剤で可動アーム43aに固定されている。また、平板51の錘52と反対側の表面には振動を減衰させるための減衰材が貼り付けられている。減衰材は両面テープなどを貼り付けることとしてもよい。ダイナミックダンパ50は錘52の重量と減衰材とによってY方向可動子43の振動のピークを分散させる。 The
以上のように構成されたY方向可動子43は、軽量で高強度の炭素繊維強化プラスチックで構成され、ブラケット46と可動アーム43aの内部に差し込まれているコイル44の部分以外は空洞であることから、従来のY方向可動子に比較して非常に軽量とすることが可能となっている。また、炭素繊維の強度方向が長手方向となっており、可動アーム43aの上面板43fと下面板43gとは側板43hと、ブラケット46に嵌め込まれた金属ブロックと、環状のコイル44と接続片53によって上下方向に固定されていることから、X方向軸周りの曲げ強度が非常に大きいものとなる。この様に軽量高剛性の構造のため、上部テーブル21に固定されているブラケット46を固定点とし、ダイナミックダンパ50側が上下に振動する1次振動モードの周波数を高くすることができる。本実施形態では、重量は従来技術のY方向可動子の約半分になり、固有振動数は従来技術のY方向可動子の約1.5倍程度とさせることができる。
The Y-direction
これによって、各モータ30,40の出力を大きくすること無く各テーブル13,21の移動速度を早くすることができる。また、Y方向可動子43の固有振動数が高くなるので、上部テーブル21の往復動作に含まれる周波数成分とY方向可動子43との固有振動数を乖離させることができ、振動の発生を抑制することができ、上部テーブル21を高速で移動することができる。
As a result, the moving speed of the tables 13 and 21 can be increased without increasing the output of the
また、図4に示したY方向可動子43は、コイル44が可動アーム43aの側面から突出していることから図1に示すノズル55から吹き出した冷却空気がコイル44に直接吹き付けられるので、コイル44を効率的に冷却することができる。更に、冷却空気は、可動アーム43aの側面の開口43eからコイル44の内側空間45に入り込んで、コイル44の内面を冷却するので、コイル44の冷却面積を大きくすることがきる。これによってコイル44の冷却効率を向上させ、コイル44の温度上昇を抑制することが可能となる。また、熱影響による周辺部の膨張が小さくなるのでボンディング精度が向上すると共に、より大きな電流を流してY方向可動子43を高速で移動させることができる。
Further, since the
本実施形態では、冷却空気吹き出し用のノズル55は、Y方向可動子43の外側に配置し、ノズル55がコイル44の方向に向かうこととして説明したが、可動アーム43aのブラケット46の側から空洞部分にノズル55を差し込んで、コイル44の冷却を行うように構成してもよい。また、本実施形態では、コイル44の可動アーム43aの幅方向(X方向)の内面間の長さW3も可動アーム43aの幅W1よりも長く、可動アーム43aの側面にコイル44の内側空間45に連通する開口43eが形成されることとして説明したが、コイル44の可動アーム43aの幅方向(X方向)の内面間の長さW3が可動アーム43aの幅W1よりも短く、コイル44の外面側だけが可動アーム43aの側面から突出し、開口43eが形成されないように構成されていてもよい。
In the present embodiment, the cooling
本実施形態では、Y方向可動子43は炭素繊維強化プラスチックの四角パイプによって構成するものとして説明したが、中空構造であれば四角パイプではなく、例えば、炭素繊維強化プラスチックの上下板の間にハニカムやリブを挟み込んでサンドイッチにした構造としてもよい。また、本実施形態では、Y方向可動子43が炭素繊維強化プラスチックの四角パイプによって構成されるものとして説明したが、図5に示すXYテーブル10ように、X方向モータ60、Y方向モータ70の構成が図1に示した実施形態と逆になっていていてもよい。この場合、X方向モータ60の可動子が炭素繊維強化プラスチックの四角パイプによって構成されている。
In the present embodiment, the Y-direction
本発明は以上説明した実施形態に限定されるものではなく、請求の範囲により規定されている本発明の技術的範囲ないし本質から逸脱することない全ての変更及び修正を包含するものである。 The present invention is not limited to the embodiments described above, but includes all changes and modifications that do not depart from the technical scope or essence of the present invention defined by the claims.
10 XYテーブル、11 架台、12 テーブル保持台、13 下部テーブル、14,37 X方向ガイドレール、16,36,46 ブラケット、17 Yモータ保持台、18 下部テーブルセンサ、19 上部テーブルセンサ、21 上部テーブル、22,47 Y方向ガイドレール、23 ボルト、30 X方向モータ、31 X方向モータ固定子、32,42 永久磁石、33 X方向可動子、34,44 コイル、38 X方向モータ固定子速度センサ、40 Y方向モータ、41 Y方向モータ固定子、43 Y方向可動子、43a 可動アーム、43b,43e 開口、43c 孔、43d ケーブル、43f 上面板、43g 下面板、43h 側板、45 内側空間、48 Y方向モータ固定子速度センサ、50 ダイナミックダンパ、51 平板、52 錘、53 接続片、55 ノズル、100 ワイヤボンディング装置、101 ボンディングヘッド、102 ボンディングアーム、103 キャピラリ。 10 XY table, 11 frame, 12 table holder, 13 lower table, 14, 37 X direction guide rail, 16, 36, 46 bracket, 17 Y motor holder, 18 lower table sensor, 19 upper table sensor, 21 upper table 22, 47 Y direction guide rail, 23 bolt, 30 X direction motor, 31 X direction motor stator, 32, 42 permanent magnet, 33 X direction mover, 34, 44 coil, 38 X direction motor stator speed sensor, 40 Y direction motor, 41 Y direction motor stator, 43 Y direction mover, 43a movable arm, 43b, 43e opening, 43c hole, 43d cable, 43f top plate, 43g bottom plate, 43h side plate, 45 inner space, 48 Y Directional motor stator speed sensor, 50 dynamic damper, 51 Flat plate, 52 weight, 53 connection piece, 55 nozzle, 100 wire bonding apparatus, 101 bonding head, 102 bonding arm, 103 capillary.
Claims (4)
第1の方向にガイドされ、第1のモータによって第1の方向に駆動される第1のテーブルと、
第1のテーブルの上面に設けられた第2の方向ガイドによって第2方向にガイドされ、第1のテーブルと共に第1の方向に駆動されると共に第2のモータによって第2の方向にも駆動される第2のテーブルと、
一端が第2のテーブルに固定されて第2の方向に延びる繊維強化プラスチックの長方形断面の中空体で、各短辺側面に第2の方向に延びる開口が設けられ、第2のテーブルと共に第1及び第2の方向に移動する可動アームと、可動アームの各開口に差し込まれて可動アームに取り付けられ、その一部が可動アームの開口から可動アームの幅方向に突出する環状の駆動コイルと、を含む可動子と、
を有することを特徴とする2方向移動テーブル。 A two-way moving table that moves in two directions of a first direction and a second direction orthogonal to each other in the same plane;
A first table guided in a first direction and driven in a first direction by a first motor;
Guided in the second direction by a second direction guide provided on the upper surface of the first table, driven in the first direction together with the first table, and also driven in the second direction by the second motor. A second table,
A hollow body having a rectangular cross section of fiber reinforced plastic, one end of which is fixed to the second table and extending in the second direction, and an opening extending in the second direction is provided on each short side surface, and the first table together with the second table. And a movable arm that moves in the second direction, an annular drive coil that is inserted into each opening of the movable arm and attached to the movable arm, and a part of which projects in the width direction of the movable arm from the opening of the movable arm, A mover including
A two-way moving table characterized by comprising:
可動子は、
可動アームの開口の第2の方向の長さが駆動コイルの差し込み方向と直角方向の外形の長さよりも長く、
差し込み方向の駆動コイルの内径の長さが可動アームの幅よりも長く、
駆動コイルの内側空間と可動アーム外側空間とが連通していること、
を特徴とする2方向移動テーブル。 A two-way moving table according to claim 1,
The mover is
The length of the opening of the movable arm in the second direction is longer than the length of the outer shape in the direction perpendicular to the insertion direction of the drive coil;
The length of the inner diameter of the drive coil in the insertion direction is longer than the width of the movable arm,
The inner space of the drive coil communicates with the outer space of the movable arm,
A two-way moving table.
可動子の駆動コイルに直接空気を吹き付けるノズルを有すること、
を特徴とする2方向移動テーブル。 A two-way moving table according to claim 1 or 2,
Having a nozzle that blows air directly onto the drive coil of the mover;
A two-way moving table.
第1のテーブルはXテーブルで、第2のテーブルはYテーブルであること、
を特徴とする2方向移動テーブル。 The two-way moving table according to any one of claims 1 to 3,
The first table is an X table and the second table is a Y table;
A two-way moving table.
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