JP4373125B2 - 浮上搬送装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ(LCD)、プラズマディスプレイパネル(PDP)などに用いられるガラス基板を浮上させて基板検査装置などの各装置間に搬送する浮上搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウエハの検査装置では、半導体ウエハを複数本、例えば3本アームを有する搬送アームによりマクロ検査やミクロ検査などの各装置間に搬送し、これら装置に対して半導体ウエハを位置決めして受け渡している。
【0003】
これに対してLCDなどのガラス基板の検査装置は、ガラス基板の大型化に伴なってガラス基板をエアーの吹き上げによって浮上させて搬送する浮上エアーステージが用いられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ガラス基板の検査装置は、ガラス基板に対するマクロ検査又はミクロ検査などの単体の装置で行うものであり、マクロ検査又はミクロ検査などの各装置を配列してガラス基板の検査を行うものはない。これら検査装置を配列した場合には、各装置間の各浮上エアーステージの表面高さにばらつきが有るために、ただ単に各装置を配列すると、各装置の浮上エアーステージ間に段差が生じ、ガラス基板を各装置間に安定してエアー搬送できない。
【0005】
そこで本発明は、各装置の浮上エアーステージ間の段差を許容範囲内に抑えてガラス基板の安定した搬送ができる浮上搬送装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、ガラス基板を浮上させながら複数の装置間に搬送する浮上搬送装置において、前記複数の装置を所定間隔で隣接して配列し、これら隣接する前記各装置にそれぞれ配置されて前記ガラス基板を浮上させる複数の主浮上ステージと、前記隣接する前記各装置にそれぞれ配置された前記各主浮上ステージの上流側又は下流側の一方に設けられ、一端側の部分を支点として他端側を上下方向に回動可能に設けた副浮上ステージと、前記各装置毎に設けられ、前記各主浮上ステージをそれぞれ載置する複数の架台と、これら架台上に複数設けられ、それぞれの前記各主浮上ステージを水平に支持し、かつ前記ガラス基板の搬送方向の下流側に設けられたものでは前記副浮上ステージの前記一端側の部分を首振り可能に支持して前記副浮上ステージの前記他端側を上下方向に回動可能とする第1の支持部材と、前記副浮上ステージが設けられる側の前記架台上に設けられ、当該架台上に弾性部材を介して前記副浮上ステージを支持する第2の支持部材と、前記第2の支持部材と、前記隣接する他方の前記装置における前記各第1の支持部材のうち前記第2の支持部材と対峙する前記第1の支持部材との間にそれぞれ設けられ、凹形状に形成された第1の連結部材と凸形状に形成された第2の連結部材とからなり、互いに嵌合することで前記弾性部材の弾性力に抗して前記副浮上ステージの前記他端側を上下方向に回動させて前記副浮上ステージの搬送面の高さ位置を前記他方の装置側に配置された前記主浮上ステージの搬送面の高さ位置に合わせるジョイント機構とを具備し、前記ジョイント機構は、前記隣接する前記各装置間で前記ガラス基板を搬送する際に、前記第1と第2の連結部材を連結し、前記ガラス基板の搬送後に前記第1と第2の連結部材の連結を解除する浮上搬送装置である。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
【0008】
図1は浮上搬送装置を適用した基板検査システムの構成図である。基板検査システムは、LCDのガラス基板1に対するマクロ検査、ミクロ検査、パターン検査などの複数の基板検査装置2〜4を検査ラインに沿って配列している。これら基板検査装置2〜4は、それぞれ隣接する装置との間に所定の各間隔S1、S2(数mm)をおいて配置されている。
【0009】
これら基板検査装置2〜4は、架台である各除振台5〜7上に各浮上エアーステージ8〜10を載置している。これら浮上エアーステージ8〜10は、それぞれ主浮上ステージ8−1〜10−1と副浮上ステージ8−2〜10−2とからなり、ステージ表面8a〜10a上に複数のエアー吹き出し孔が設けられている。これらエアー吹き出し孔から同一エアー圧力のエアーが吹き出されると、ステージ表面8a〜10aとガラス基板1との間にエアー層が形成されることにより、ガラス基板1がステージ表面8a〜10a上にエアー浮上する。
【0010】
各除振台5〜7上には、それぞれ各門型アーム11、12が設けられ、これら門型アーム11、12に各顕微鏡13、14が設けられている。
【0011】
なお、ステージ表面8a〜10a上に浮上したガラス基板1は、各浮上エアーステージ8〜10の両端部に設けられた図示しない各吸着搬送部により裏面が吸着保持され、各吸着搬送部の移動により矢印イ方向に搬送される。
【0012】
次に浮上搬送装置の主要部について図2を参照して説明する。
【0013】
図2は上流側に配置された第1の基板検査装置2とその下流側に配置された第2の基板検査装置3との連結部の構成図である。
【0014】
除振台5の上部面には、主浮上ステージ8−1が複数の固定用桟(第1の支持部材)20により水平に設けられている。ガラス基板1の搬送方向(矢印イ方向)の下流側の固定用桟20には、副浮上エアーステージ8−2の一端側(上流側)が首振り可能に支持されている。
【0015】
この副浮上エアーステージ8−2の他端側(下流側)は、ゴムやばね等の弾性部材21を介して半固定用桟22により支持されている。副浮上エアーステージ8−2は、固定用桟20により支持されている一端側の部分を支点pとして他端側を上下方向(矢印ロ方向)に回動可能に設けられ、弾性部材21により副浮上ステージ8−2のステージ表面8aが下流側に配置された第2の基板検査装置3の主浮上ステージ9−1のステージ表面9bと同一高さになるように規制されている。
【0016】
副浮上エアーステージ8−2の他端側を支持する半固定用桟22と、下流側に配置された第2の基板検査装置3の主浮上エアーステージ9−1の固定用桟20との間には、連結機構であるジョイント機構23が設けられている。
【0017】
このジョイント機構23は、互いに連結及び連結解除可能で、かつ連結することにより副浮上エアーステージ8−2の下流端のステージ表面8aの高さを、この下流側に設置された第2の基板検査装置3の主浮上エアーステージ9−1のステージ表面9bの高さ位置に対して許容範囲r内に規制する。
【0018】
このジョイント機構23は、凹形状に形成された第1の連結部材24と、この第1の連結部材24の凹部内に入り込む凸形状の第2の連結部材25とからなる。第1の連結部材24の開口部26は、凹形状の内側から外側に向けて開口が広がるテーパ形状、例えば外径の大きくなる曲面Rに形成されている。この第1の連結部材24は、アクチュエータである例えば空気圧シリンダ27の伸縮ロッド28の先端部に凹形状の開口部26を下流側に配置された第2の基板検査装置3の固定用桟20に向けて設けられている。
【0019】
空気圧シリンダ27は、伸縮ロッド28の伸縮動作により第1の連結部材24を下流側に配置された第2の基板検査装置3の固定用桟20に向って矢印ハ方向に移動させる。又、空気圧シリンダ27は、ジョイント機構23によるジョイント高さを調整できるように半固定用桟22に対して上下方向(矢印ニ方向)に移動可能に設けられている。
【0020】
第2の連結部材25は、第1の連結部材24の開口部26に対峙して下流側に配置されれた第2の基板検査装置3の固定用桟20に固定されている。この第2の連結部材25は、固定用桟20に固定された支持体29と、この支持体29の先端部に軸30を中心に回動可能に設けられた回転体31とからなる。この回転体31は、第1の連結部材24の凹部内径よりも若干小さな径に形成されている。
【0021】
なお、第1の連結部材26は円筒状に形成し、第2の連結部材28は第1の連結部材26の円筒内に入る球状に形成してもよく、又、互いに連結又は連結解除可能な構造であれば如何なる構造でもよい。
【0022】
又、空気圧シリンダ27の伸縮ロッド28に接続する第1の連結部材24を設ける半固定用桟22には、この第1の連結部材24の移動時における第1の連結部材24との干渉を防ぐ切欠き部を形成してもよい。
【0023】
副浮上エアーステージ8−2は、当該副浮上エアーステージ8−2の下流端に対して取り付け及び取り外し可能な分離ステージ8−3を有する。この分離ステージ8−3は、浮上エアーステージ8の全長のうち下流側の所定長さ部分に形成されている。この分離ステージ8−3のステージ表面上にも、複数のエアー吹き出し孔が設けられている。この分離ステージ8−3には、ガラス基板1を搬送するローラ32が設けられている。このローラ32は、例えば円板状に形成され、回転軸方向をガラス基板1の搬送方向(矢印イ方向)に対して垂直方向に設けられている。このローラ32は、複数のローラを所定間隔毎に設けてもよいし、円柱状に形成したローラを1本若しくは複数本設けてもよい。
【0024】
なお、この分離ステージ8−3は、第1の基板検査装置2に第2の基板検査装置3を据え付けした後に、副浮上エアーステージ8−2の下流端に取り付けるのがよい。これにより、浮上エアーステージ8のステージ表面8aの高さ位置と下流側の浮上エアーステージ9のステージ表面9bの高さ位置とを調整するのが容易になる。
【0025】
次に、上記の如く構成された装置の動作について説明する。
【0026】
第1及び第2の基板検査装置2、3は、各除振台5、6上に各浮上エアーステージ8、9が設けられているので、これら除振台5、6及び各浮上エアーステージ8、9の高さのばらつきによって各基板検査装置2、3の各浮上エアーステージ8、9の表面高さ位置にばらつきがある。
【0027】
このため、第1及び第2の基板検査装置2、3の据え付け時に、浮上エアーステージ8のステージ表面8aの高さ位置が下流側の浮上エアーステージ9のステージ表面9aの高さ位置に対して許容範囲r内に設けられるように空気シリンダ27を矢印ニ方向に移動して高さ調整する。
【0028】
この高さ調整では、空気シリンダ27を上方向に移動すると、第1の連結部材24と副浮上エアーステージ8−2のステージ表面8aとの間隔が短くなるので、第1と第2の連結部材24、25が連結されたとき、ステージ表面8aの高さ位置は下がる。
【0029】
これとは逆に空気シリンダ27を下方向に移動すると、第1の連結部材24と副浮上エアーステージ8−2のステージ表面8aとの間隔が広くなるので、第1と第2の連結部材24、25が連結されとき、ステージ表面8aの高さ位置は上がる。
【0030】
従って、ジョイント機構23の連結時に、副浮上エアーステージ8−2のステージ表面8aの高さ位置が下流側の主浮上エアーステージ9−1のステージ表面9aの高さ位置に対して許容範囲r内に設定されるように空気シリンダ27及び第1の連結部材24が上下方向に調整される。
【0031】
第1の基板検査装置2においてガラス基板1の検査を行う場合、第1の基板検査装置2と下流側に隣接する第2の基板検査装置3との間のジョイント機構23は、連結を解除する。
【0032】
すなわち、図2に示すように空気シリンダ27は、伸縮ロッド28を縮めることにより、第1の連結部材24が第2の連結部材25から離れ、これら第1の連結部材24と第2の連結部材25との連結が解除される。
【0033】
このジョイント機構23の連結が解除されることにより、第1と第2の基板検査装置2、3は、各除振台5、6を別体とし、かつ各浮上エアーステージ8、9を所定の間隔S1を離して設けているので、互いの連結箇所がなくなる。これにより、基板検査装置2において床からの振動は、除振台5により吸収され、かつ隣接する基板検査装置3からの振動も各浮上エアーステージ8、9の間隔S1で遮断されて伝達されない。
【0034】
一方、ガラス基板1を第1の基板検査装置2から下流側に配置された第2の基板検査装置3にエアー搬送する場合、これら基板検査装置2、3との間をジョイント機構23により連結する。
【0035】
このとき、空気シリンダ27の伸縮ロッド28を伸ばすと、この伸縮ロッド28の伸び動作により第1の連結部材24は、第2の連結部材25に向って矢印ハ方向に移動し、第1の連結部材24の凹部内に第2の連結部材25の回転体31が嵌合して連結する。
【0036】
第1と第2の連結部材24、25の高さ位置がずれている場合には、第1の連結部材24の矢印ハ方向への移動によって第1の連結部材24の開口部26の曲面Rの上部又は下部が第2の連結部材25の回転体31が当接する。このとき、回転体31に作用する反力により副浮上エアーステージ8−2の一端を支点Pとして上下方向に回動し、第1の連結部材24の凹部が回転体31に嵌合する。
【0037】
このとき、第2の連結部材25は固定され、第1の連結部材24及び空気圧シリンダ27は弾性部材21を介して支持された半固定用桟22に設けられているので、第1の連結部材24が第2の連結部材25よりも高ければ、第1の連結部材24の開口部26の下部が回転体31に接触し、第1の連結部材24に対して下降する力が加わる。
【0038】
これにより、半固定用桟22は、弾性部材21の弾性力に抗して下降し、これに伴なって副浮上エアーステージ8−2は、固定用桟20側の支点pを中心にして回動し、下流側が下降する。第1の連結部材24と第2の連結部材25との高さが一致したときに、第1の連結部材24が第2の連結部材25に嵌合し、この結果として副浮上エアーステージ8−2のステージ表面8aの高さ位置が下流側の主浮上エアーステージ9−1のステージ表面9bの高さに対して許容範囲r内に設定される。
【0039】
又、第1の連結部材24が第2の連結部材25よりも低ければ、上記とは反対に、第1の連結部材24の開口部26の上部が回転体31に接触し、第1の連結部材24に対して上昇する力が加わる。これにより、半固定用桟22は、弾性部材21の弾性力に抗して上昇し、これに伴なって副浮上エアーステージ8−2は、固定用桟20側の支点pを中心にして回動し、下流側が上昇する。
【0040】
この結果、第1の連結部材24と第2の連結部材25との高さが一致したとき、第1の連結部材24が第2の連結部材25に嵌合し、副浮上エアーステージ8−2のステージ表面8aの高さ位置が下流側の主浮上エアーステージ9−1のステージ表面9aの高さに対して許容範囲r内に設定される。
【0041】
第1と第2の基板検査装置2、3間のジョイント機構23が連結された後、ガラス基板1は、各浮上エアーステージ8、9の両端部に設けられた図示しない各吸着搬送部により裏面が吸着保持されて矢印イ方向に搬送される。
【0042】
ガラス基板1が各浮上エアーステージ8、9の連結間に搬送されるとき、ガラス基板1は、その裏面がローラ32に接触することにより、副浮上エアーステージ8−1のステージ表面8aからのエアー浮上高さが確保される。これにより、ガラス基板1は、各浮上エアーステージ8、9間にエアー浮上搬送されるとき、これら浮上エアーステージ8、9間の間隔S1でガラス基板1の先端が下降することなく安定してエアー浮上搬送される。
【0043】
このように上記一実施の形態においては、各基板検査装置2〜4の各間に各ジョイント機構23を設け、かつ各浮上エアーステージ8〜10の上流側を固定用桟20により固定し、この固定用桟20を支点にして下流側を半固定用桟22を介して弾性部材21により上下方向に回動可能に設け、ガラス基板1を下流側の基板検査装置に移送するときに両基板検査装置間をジョイント機構23を連結することにより各浮上エアーステージ8〜10の各ステージ表面8a〜10aの高さ位置を許容範囲r内に設定することができる。
【0044】
これにより、各基板検査装置2〜4の各浮上エアーステージ8〜10間にガラス基板1のエアー浮上搬送に影響を及ぼす段差がなくなり、各基板検査装置2〜4間で安定してガラス基板1をエアー浮上搬送できる。
【0045】
ジョイント機構23の第1の連結部材24は、空気圧シリンダ27と共に高さ調整可能なので、各浮上エアーステージ8〜10間の段差の大きさ如何に拘わらず、各浮上エアーステージ8〜10の各ステージ表面8a〜10aの高さ位置を許容範囲r内に調整できる。
【0046】
又、各基板検査装置2〜4においてガラス基板1の各種検査を行うときは、ジョイント機構23の連結を解除して、隣接する基板検査装置3を完全に切り離すことにより隣接する基板検査装置からの振動の影響を受けずに各種検査を正確にできる。
【0047】
このように各基板検査装置2〜4を連結してエアー浮上搬送できる基板検査システムであれば、LCD製造ラインに設置してインラインでガラス基板1の各種検査ができ、LCD製造の効率化を図ることができる。
【0048】
又、各基板検査装置2〜4において各門型アーム11、12が移動したときに、これら門型アーム11、12の荷重の掛かる位置の移動により各浮上エアーステージ8〜10の高さ位置が上下に移動する。この場合でも各浮上エアーステージ8〜10の高さ位置に段差が生じるので、ジョイント機構23の第1の連結部材24を上下方向に調整すれば、各浮上エアーステージ8〜10の高さ位置を一致させることができる。
【0049】
なお、この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。
【0050】
例えば、ジョイント機構23は、第1の連結部材24を空気シリンダ27と共に上下方向に移動可能に設け、第2の連結部材25を固定するのに限らず、第1の連結部材24を固定し、第2の連結部材25を上下方向に移動可能に設けてもよく、又第1の連結部材24と第2の連結部材25との両方を上下方向に移動可能に設けてもよい。
【0051】
ジョイント機構23は、各基板検査装置2〜10間における上流側の基板検査装置に第2の連結部材25を設け、下流側の基板検査装置に空気シリンダ27の伸縮ロッド28に接続された第1の連結部材24を設けてもよい。
【0052】
空気圧シリンダ27は、油圧シリンダに代えることも可能である。
【0053】
又、ガラス基板1を浮上させる機構としては、エアー浮上に限らず、静電浮上を用いてもよい。この場合、ガラス基板1に対して除電を行う。
【0054】
又、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
【0055】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、隣接する各装置にそれぞれ配置された各主浮上ステージの上流側又は下流側の一方に設けられ、上下方向に回動可能な副浮上ステージを備え、各装置間でガラス基板を搬送する際に、ジョイント機構の第1と第2の連結部材を連結して副浮上ステージの搬送面の高さ位置を下流側に配置された前記主浮上ステージの搬送面の高さ位置に合わせるので、各装置の浮上エアーステージ間の段差を許容範囲内に抑えてガラス基板の安定した搬送ができる浮上搬送装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係わる浮上搬送装置の一実施の形態を適用した基板検査システムを示す構成図。
【図2】 本発明に係わる浮上搬送装置の一実施の形態の主要部の構成図。
【符号の説明】
1:ガラス基板、2〜4:基板検査装置、5〜7:除振台、8〜10:浮上エアーステージ、8−1〜10−1:主浮上エアーステージ、8−2〜10−2:副浮上エアーステージ、8−3:分離ステージ、8a〜10a:ステージ表面、11,12:門型アーム、13,14:顕微鏡、20:固定用桟、21:弾性部材、22:半固定用桟、23:ジョイント機構、24:第1の連結部材、25:第2の連結部材、26:開口部、27:空気圧シリンダ、28:伸縮ロッド、29:支持体、30:軸、31:回転体、32:ローラ。
Claims (7)
- ガラス基板を浮上させながら複数の装置間に搬送する浮上搬送装置において、
前記複数の装置を所定間隔で隣接して配列し、これら隣接する前記各装置にそれぞれ配置されて前記ガラス基板を浮上させる複数の主浮上ステージと、
前記隣接する前記各装置にそれぞれ配置された前記各主浮上ステージの上流側又は下流側の一方に設けられ、一端側の部分を支点として他端側を上下方向に回動可能に設けた副浮上ステージと、
前記各装置毎に設けられ、前記各主浮上ステージをそれぞれ載置する複数の架台と、
これら架台上に複数設けられ、それぞれの前記各主浮上ステージを水平に支持し、かつ前記ガラス基板の搬送方向の下流側に設けられたものでは前記副浮上ステージの前記一端側の部分を首振り可能に支持して前記副浮上ステージの前記他端側を上下方向に回動可能とする第1の支持部材と、
前記副浮上ステージが設けられる側の前記架台上に設けられ、当該架台上に弾性部材を介して前記副浮上ステージを支持する第2の支持部材と、
前記第2の支持部材と、前記隣接する他方の前記装置における前記各第1の支持部材のうち前記第2の支持部材と対峙する前記第1の支持部材との間にそれぞれ設けられ、凹形状に形成された第1の連結部材と凸形状に形成された第2の連結部材とからなり、互いに嵌合することで前記弾性部材の弾性力に抗して前記副浮上ステージの前記他端側を上下方向に回動させて前記副浮上ステージの搬送面の高さ位置を前記他方の装置側に配置された前記主浮上ステージの搬送面の高さ位置に合わせるジョイント機構と、
を具備し、
前記ジョイント機構は、前記隣接する前記各装置間で前記ガラス基板を搬送する際に、前記第1と第2の連結部材を連結し、前記ガラス基板の搬送後に前記第1と第2の連結部材の連結を解除する、
ことを特徴とする浮上搬送装置。 - 前記ジョイント機構は、前記第1と前記第2の連結部材のうちいずれか一方を対峙する前記架台の一方側に固定し、他方を対峙する前記架台の他方側に移動可能に設け、当該移動可能に設けられた前記第1と第2の連結部材のうち前記他方側を移動させて連結又は連結解除を行うアクチュエータを有することを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。
- 前記第1と第2の連結部材は、前記連結時に隣接する前記各架台に載置された前記各基板浮上ステージの高さが許容範囲内に規制されるように前記第1と第2の連結部材の少なくとも一方を上下移動可能に設けたことを特徽とする請求項1又は2のうちいずれか1項に記載の浮上搬送装置。
- 前記凹形状に形成された前記第1の連結部材は、内側から外側に向けて開口が広がるテーパ形状に形成したことを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。
- 前記副浮上ステージは、当該副浮上ステージの端部に取り外し可能な分離ステージを設けたことを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。
- 前記分離ステージは、前記ガラス基板を搬送するローラが設けられていることを特徴とする請求項5に記載の浮上搬送装置。
- 前記架台は、除振台からなり、当該除振台上に前記ガラス基板を検査する検査部を備えた門型アームが設けられることを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003129458A JP4373125B2 (ja) | 2003-05-07 | 2003-05-07 | 浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003129458A JP4373125B2 (ja) | 2003-05-07 | 2003-05-07 | 浮上搬送装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004331319A JP2004331319A (ja) | 2004-11-25 |
JP2004331319A5 JP2004331319A5 (ja) | 2006-06-15 |
JP4373125B2 true JP4373125B2 (ja) | 2009-11-25 |
Family
ID=33505290
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003129458A Expired - Fee Related JP4373125B2 (ja) | 2003-05-07 | 2003-05-07 | 浮上搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4373125B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4842748B2 (ja) * | 2006-09-22 | 2011-12-21 | オリンパス株式会社 | 基板搬送システム |
JP2009085865A (ja) * | 2007-10-02 | 2009-04-23 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
WO2011102410A1 (ja) * | 2010-02-17 | 2011-08-25 | 株式会社ニコン | 搬送装置、搬送方法、露光装置、及びデバイス製造方法 |
KR102229924B1 (ko) * | 2019-01-09 | 2021-03-19 | 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) | 기판 이송 및 절단 장치 |
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- 2003-05-07 JP JP2003129458A patent/JP4373125B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004331319A (ja) | 2004-11-25 |
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Date | Code | Title | Description |
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A521 | Written amendment |
Effective date: 20060426 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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A521 | Written amendment |
Effective date: 20090420 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
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