JP4372321B2 - 拡散照明とカメラの同期制御方法及び装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、拡散照明を発生する方法及びシステムに係り、特に機械観察システムのために拡散光源を電子カメラ或いはディジタルカメラに同期させる制御方法及びシステムに関する。
【0002】
【従来の技術】
試料部分の均一な拡散照明は、ある指定された照明領域内で試料部分のエッジを強調するための業務用の観察システムとしてしばしば必要とされる。多くの試料部分は透明ではなく、試料部分の拡散照明は試料部分からの反射光をよく撮像システムで捉えることを可能とするためにも必要である。更に、調整可能な拡散照明源は、幅広い形状を持つ試料部分に適用できる。
一般に、光源から出力される光の強度は、撮像システムの倍率が調整可能であるときに調整可能とされる。そのような調整可能な照明は、例えば形状、構成、表面仕上げ等、異なる性状を持つ試料部分の照明を可能にする。
また、従来の光源は、試料部分上に、撮像面に垂直な平面に対してある角度で光を照射する。その角度は入射角といわれる。0°から90°の間の入射角で光を照射することにより、画像の表面コントラストを改善し、またよりクリアに組織面を照らすことが可能となる。通常その様な光源は、所定の入射角レンジを持つ。従来は、その入射角は、撮像システムの光軸に直交する平面に対して10°から70°の間で可変としている。この様に比較的入射角レンジが広いと、試料部分の画像のコントラストを十分なものとすることができる。
【0003】
従来の観察システムはまた、拡散光源の光軸に関して境界位置の調整も可能である。代表的には、拡散光源の位置は例えば、アドレス可能なセクタ或いは四分円の中で調整可能とされる。その様なセクタ及び四分円の組み合わせにより円形の光パターンの照明が可能である。更に、光源の強度レベルと光源の境界位置とを調整することにより、試料部分エッジの照明を最適化することができる。
例えば、従来のいくつかの観察システムは、矩形パターン或いは環状パターンを放射する環状光源を含む。その光源は、4象限に分けられた一つの環形である。また他の従来の観察システムでは、8セクタに分けられた環形を持つリング光源を含む。更に他の観察システムでは、半球状に形成された光源を用いて、光軸に対する複数の位置から光を照射する。その半球の中心は光源にとっての焦点である。更に、セクタと四分円の組み合わせにより、種々の照明レベルでの照明が可能になる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
最近、従来の観察システムの製造業者は、拡散光源として用いられてきた伝統的なタングステンフィラメントランプ(例えば、ハロゲンランプ)に代わって固体光源を試み始めた。これらの業者は現在、高信頼性、長寿命、高輝度、低コスト、良好な変調能力、広い周波数レンジといった特徴の発光ダイオードを試みている。
その様な従来の観察システムの製造業者は、上述した従来の拡散光源の特性を実現するオプトエレクトロメカニカルデザインを提供している。しかし、これらのオプトエレクトロメカニカルのデバイスは、複雑であり、コストが高く、融通性に欠け、ビデオ検査処理を改善していない。例えば、これらの光源は、観察システムの生産性低下とコスト増大をもたらす過剰に複雑な動きが要求されている。他の固体光源では、二次元配列される多数の個別光源と、それへのエネルギー供給のため複雑な配電装置を必要とする。更に、他の従来の固体光源では、大きなキャリッジの中に三次元的に少なくとも50個の個別の光源を配置しなければならない。
従って、従来の拡散光源は、十分な特徴を持ち、信頼性が高く、且つ低コストで、拡散光により試料部分を照明するシステム及び方法を提供することができない。また従来の拡散光源は、強度、入射角、及び境界位置を変更する能力は限られている。また従来の拡散光源は、試料部分が種々の構成(例えば形状)、材料(例えば吸収性か、散乱性か等)及び表面性状(例えば、カラー或いはテクスチャー)を含む場合の寸法測定のための照明の最適化ができない。
【0005】
この発明は、現在市場に出されている拡散照明の効果を達成することができる制御システム及び方法を提供することを目的とする。
この発明はまた、LEDやレーザダイオード等の一つ或いは少数の固体光源を用いて上述した全ての拡散照明の効果を達成することができる制御システム及び方法を提供することを目的とする。
この発明は更に、所望の位相角から所望のアーク長にまたがって照明されるべき部分を電子カメラカメラいはディジタルカメラのフレームキャプチャタイミングと同期させることを可能とした制御システム及び方法を提供することを目的とする。
この発明は更に、電子カメラ或いはディジタルカメラのフレームキャプチャタイミングとの同期により、間欠的な部分照明を可能とする制御システム及び方法を提供することを目的とする。
この発明は更に、より簡単で信頼性の高いデバイスを用いて、便利である上に多用途の拡散照明を作りうる制御システム及び方法を提供することを目的とする。
この発明は更に、照明色の選択が可能な制御システム及び方法を提供することを目的とする。
この発明は更に、不必要に高価な電子カメラ或いはディジタルからら技術を用いることなく、寸法測定に必要な高解像度を得ることができる制御システム及び方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る制御システム及び方法は、白黒の電子カメラ或いはディジタルカメラからRGB画像の組み合わせによるカラー画像を得る、経済的に実施可能な手法を提供する。白黒の電子カメラ或いはディジタルカメラは、高価な電子カメラ或いはディジタルカラーカメラ技術を用いることなく、寸法測定に必要な高い空間解像度を提供する。
【0007】
この発明に係る制御システム及び方法は、光源を電子カメラ或いはディジタルカメラのフレーム撮像と同期させることによって、カメラの各画素が同数の照明ストローブ及び/或いは掃引を感知するようにする。この発明に係る制御システム及び方法は、光源を電子カメラ或いはディジタルカメラと同期させることにより、カメラの各画素が同じ入力強度を受光するようにする。この発明に係る制御システム及び方法はまた、電子カメラ或いはディジタルカメラを光ビームと同期させる。
【0008】
この発明の制御システム及び方法を用いることにより、照明カラーは、画像コントラストを改善するために、試料部分の特性(例えば、着色等)に基づいて制御可能とされる。また照明カラーの選択は、白黒の電子的画像検出器を用いて高解像度のカラー画像を得るために利用される。従ってこの発明に係る制御システム及び方法は、不必要に高価な電子カメラ或いはディジタルカラーカメラ技術を用いることなく、形状寸法測定に必要な高解像度を提供することができる。
【0009】
この発明に係るシステム及び方法の実施例では、モータシャフトに搭載されたビーム偏向器を含む光パターンコントローラが用いられる。このビーム偏向器はミラーを有する。ビーム偏向器は、モータシャフトが回転するとき、モータシャフトに作用する遠心力に比例して傾く。ミラーに入射する光ビームは、上述したビーム偏向器の傾きにより決まる角度で偏向される。
【0010】
ビーム偏向器が回転することにより、偏向光ビームは円錐を描く。偏向された光ビームコーンは、集光要素に入射され、その集光要素の表面に円形パターンを描く。その円形パターンの径は、集光要素のビーム偏光器からの距離及び光ビーム偏向の角度に依存する。偏向角度が大きいほどまた、集光要素のビーム偏光器からの距離が大きいほど、円形パターンは大きくなる。従って、モータシャフトの回転速度が偏向角にそのまま比例し、円形パターンのサイズが偏向角にそのまま比例するから、円形パターンのサイズはモータ回転シャフトの回転速度に比例する。
【0011】
光ビームが円形パターンを描く速度もまた、モータシャフトの回転速度にそのまま比例する。従ってモータシャフトの回転速度は、円形パターンのサイズを制御すると共に、光パターンを描く光ビームの速度をも制御する。これにより、モータとビーム偏光器は光パターンを制御することになる。
【0012】
光ビームは、集光要素により平行化(コリメート)されて円柱を描く。この光円柱(光カラム)は、ミラーにより、観察システムの撮像デバイスの光軸を取り巻いて光軸に実質的に平行になるように反射される。CCDを含む撮像デバイスは、光学レンズを用いることにより、照明領域内に位置して検査面に配置された試料部分の画像を生成する。コリメートされた光パターンは同じ照明領域に他の集光要素を用いて集光される。その照明領域からの反射及び散乱光は光学レンズを介してCCDに撮像される。
【0013】
この発明による制御システム及び方法の他の実施例においては、光パターンコントローラは、二次元走査のガルバノメータを用いる。このガルバノメータは、光ビームを偏向して円錐を描くように駆動される。
【0014】
この発明による制御システム及び方法の他の実施例においては、光パターンコントローラは、液晶デバイスを用いる。この液晶デバイスは、光源からの光の一部をコリメータに入射させないように制御的にブロックし、或いは光源からの光の一部をコリメータに入射させるように制御的に反射する、アドレス可能なセクタのアレイにより構成される。即ち、光パターンコントローラの液晶デバイスは、光源からの光の平行器(コリメータ)に入射する光パターンを制御する。
【0015】
この発明による拡散照明の制御システム及び方法は、光源を、光ビームが所望の第1の位置を通過するようにターンオンし、また光ビームが所望の第2の位置を通過するようにターンオフすることによって、拡散光源の光軸まわりの境界位置、セクタ及び/又は四分円を制御する。有効な照明源の位置は、上記第1及び第2の位置により決定される。更に、複数の有効な照明源は、ビーム偏向器の各回転周期毎に光源を複数回ターンオン及びターンオフすることにより作られる。照明セクタの境界の長さは、光源がターンオンされた時刻とターンオフされた時刻の間の時間経過に基づいて決定される。この時間は、ビーム偏向器が搭載されたモータシャフトの回転速度及び位置を測定することにより、或いはガルバノメータを駆動することにより決定される。いずれの場合も、撮像システムの光軸に対する光ビームの角度偏位は予め知られているものとする。
この発明のこれらの及び他の目的は、以下の好ましい実施例において説明され、明らかになるであろう。
【0016】
【発明の実施の形態】
この発明の制御システム及び方法の実施例においては、特願平11−327870に述べられた光源モニタリングが用いられる。この光源モニタリングは、固体デバイスからのリアルタイムの光パワー出力を測定する。これは連続の或いはパルス動作のシステムで可能である。その様な測定を行うことにより、パワー出力変動が修正される。パワー出力変化は、原理的には、エージング、駆動電流変動及び温度ドリフトに依存する。強度測定は、機械モデルラインの再生産性のよい照明を実現することを可能とする、校正及び機械標準化のレベルを与える。
【0017】
この発明の制御システム及び方法の実施例においてはまた、特願2000−106815に述べられた拡散照明システム及び方法、或いは制御的に拡散照明パターンを生成するシステム及び方法が用いられる。
【0018】
図1は、この発明による拡散照明システム100の一例の概略構成を示している。システム100は、光ビーム111を出力する光源110、光パターンコントローラ115、コリメーティング要素140、ミラー150、及び集光要素160を有する。光パターンコントローラ115はモータ120とビーム偏向器130を含む。図1はまた、試料部分300の画像を作る電子カメラ又はディジタルカメラ220と光学システム210を含む撮像システム200を示している。システム100は、検査面310上の試料部分300を照明することにより、撮像システム200は試料部分300の画像を得ることができる。
【0019】
光源110は、安定で長寿命の一つ又はそれ以上の固体発光素子を持つ。この固体発光素子は、LED、レーザダイオードその他、既に知られ、改良された固体発光構造を用いることができる。更に固体発光素子は、紫外、可視及び/又は近赤外領域の電磁スペクトルの放射を行うものである。固体発光素子は、電子カメラ或いはディジタルカメラ220の電荷結合素子(CCD)が感応するスペクトル領域の発光をするように選択される。
【0020】
LEDはまた、ハロゲンランプより高精度の光パワー制御ができることから発光素子として用いられている。これは少なくとも部分的に、動作に必要な駆動電流が小さいことによる。加えて、個別のLEDは、発光波長をより柔軟に選択できる特性を持つ。また、LEDをその動作パラメータ内で電子的に駆動したとき、LEDの出力の再現性及び信頼性は共に非常に高い。更に、いくつかのLEDは、紫外領域の発光が可能であり、これを用いることにより撮像光学系の解像度を向上させることができる。
【0021】
更に、光源110は、内部に一乃至複数の光パワーモニタ素子を含む。好ましくはこれらの素子は、光源110内の固体発光素子の出力スペクトルと整合したスペクトル応答性を有するシリコンフォトダイオードである。これらの光パワーモニタ素子は、材料及び設計は制限されず、光源110内の固体発光素子の光出力を測定できるものであれば用い得る。最後に、照明カラーの複合ができる光源110においては、各色について、光源110内で光モニターできるデバイスが用いられる。異なる照明カラーを得るために異なる固体発光デバイスを組み合わせる光源110の構成においては、各固体発光デバイスは光源110内で光パワーを専らモニターするデバイスを持つ。
【0022】
図1に示すように、光源110は、光パターンコントローラ115のビーム偏向器130に入射する光ビーム111を出力する。ビーム偏向器130は、送信軸122と一列に並ぶモータ120のシャフト121に搭載されている。ビーム偏向器130は、モータシャフト121が回転したときビーム偏向器130に作用する遠心力に比例してシャフト121の軸に対して傾く。図4により明瞭に示したように、光源110からの光ビーム111は、ミラー134上に直進し、ミラー134により、ビーム偏向器130の傾きに応じて決まる角度で反射される。
【0023】
また、ビーム偏向器130が回転することにより、反射した光ビーム111はコーン113を描く。偏向された光ビームコーン113は、コリメータ140に入射し、その表面に円形パターンを描く。コリメータ140は、例えばコンデンサレンズ、フレネルレンズ、或いは1セットの反射ルーバー、その他光コーン113をコリメートすることができるいかなるデバイスでもよい。円形パターンの径は、コリメータ140のビーム偏向器130からの距離及び、ビーム偏向器130により光ビーム111がビーム偏光器130により偏向される角度に依存する。偏向の角度が大きい程、またコリメータ140のビーム偏向器130からの距離が大きい程、コリメータ140の表面に描かれる円形パターンが大きくなる。そして、偏向角はモータシャフト121の回転速度にそのまま比例し、円形パターンのサイズは偏向角にそのまま比例するから、円形パターンのサイズはモータシャフト121の回転速度にそのまま比例する。
【0024】
また、反射した光ビーム111が円形パターンを描く速度は、モータシャフト121の回転速度にそのまま比例する。従って、モータシャフト121の回転速度は円形パターンのサイズをコントロールし、その円形パターンを描く反射した光ビーム111の速度をコントロールする。これにより、光パターンコントローラ115は、コリメータ140上に反射した光ビーム111が描くパターンをコントロールする。
【0025】
光コーン113は、コリメータ140によりコリメートされてシリンダを描く。この光シリンダは、ミラー150により反射されて実質的に撮像システム200の光軸212に平行になり且つ光軸212を取り囲むことになる。撮像システム200は、光学レンズ210を用いることにより、電子カメラ或いはディジタルカメラ220の撮像面に、被検査面の観察領域を撮像する。コリメートされたパターンは、集光要素160を用いることにより同じ観察領域に集光される。
【0026】
モータ120は、直流(DC)モータ、交流(AC)モータ、又はステッピングモータである。他のいかなるモータでも、正確な回転位置及び速度コントロール情報が得られるものであれば、モータ120として用い得る。望ましくは、回転モータの速度コントロールは、1%以上のものとすべきである。
ミラー150は、光軸212に対して傾斜しており、且つ光軸212がミラー150の面を通る位置にアパーチャ(開口)151を有する。アパーチャ151は、試料部分300の像が通過してカメラ220に到達することを妨げない大きさに設定されている。
【0027】
光シリンダはミラー150により反射されて集光要素160に向かう。集光要素160は、コンデンサレンズ、フレネルレンズ等である。集光要素160はまた、独立に径の関数である角度に設定された鏡面ルーバーの環状リングの1セットである。集光要素160の個々の径方向位置に個々のルーバー或いは環状偏向器が位置する結果、試料部分への光ビームの入射角の変化は別々になる。コリメート手段及び集光手段として、他のものを用いることができる。またコリメータ140は集光要素160と同じものであってもよい。
【0028】
反射した光ビーム111は、集光要素160によって検査面310上の試料部分300に直進する。集光要素160は、対物レンズ210の作動距離と一致する焦点距離を有する。例えば、対物レンズ210が、1x,3x,5x及び10xの倍率で、対応する有効作動距離59.0mm,72.5mm,59.5mm及び44.0mm、従って平均作動距離58.75mmを持つものとし、集光要素160として対物レンズ210の平均作動距離に一致するほぼ59.0mmの名目焦点距離を選択すると、動作倍率レンジの範囲でよい性能が実現できる。
【0029】
コントローラ170は、モータ120に関して信号線171を介してエンコーダ及び/又はタコメータ123と接続される。コントローラ170は、エンコーダ及び/又はタコメータ123から信号線171を介して角度位置及び/又は速度データを受信する。コントローラ170はまた、信号線172を介してモータ120とも接続されている。コントローラ170は信号線172を介してモータ120に駆動信号を送る。コントローラ170は、信号線171から受信した位置及び/又は速度データを所定の位置及び/又は速度データ値と比較することにより、信号線171を介して受信する位置及び/又は速度データが所望の値に実質的に一致するまで、モータ120の位相と速度をコントロールし、信号線172を介してモータ120に送られる駆動信号を変更する。コントローラ170はモータ120の速度を所望の入射角との関係でコントロールする。
【0030】
コントローラ170は、信号線173を介して光源110とも接続されている。コントローラ170は、モータ120の位置及び/又は速度に基づいて光源110のオン/オフのタイミングを調整する。光源110の駆動タイミングは、モータ120の位相に合わせられて、照明領域の照明セクタの数を制御する。コントローラ170はまた、光源110の駆動タイミングを調整して、照明領域の照明セクタの幅を制御する。
【0031】
コントローラ170はまた、トリガ信号線174を介し電子カメラ又はディジタルカメラ220と接続されている。コントローラ170はトリガ信号線174を介してトリガ信号の送受信を行い、電子カメラ又はディジタルカメラの撮像期間(即ち、カメラ画素の対応する組が活性化になりカメラの入射光に応答する期間)を光源110及びモータ120と同期させる。
【0032】
図2に示すように、光源110は、それぞれ異なる特性を持つ固体素子112,114,116のアレイを含んでもよい。ある例においては、LED112,114,116はそれぞれ、赤、緑、青のスペクトル帯で発光する。他の例においては、LED112−116は、試料部分300の観察に適当な近赤外或いは他のスペクトル帯の発光素子を用い得る。複数の固体素子を持つ光源110は、個々の固体素子を組み合わせることにより最適化された試料照明を行うことができる。また、多波長アドレス可能な光源を用いると、試料部分の平均スペクトル吸収特性に整合させ、或いはこれを避けることにより、撮像コントラストを上げることができる。
【0033】
図3に示すように、固体素子112−116は、アクリル封止パッケージ118に面搭載して光源110を構成することができる。例えば、搭載された固体素子112−116は、集光及び/又はコリメートレンズとの組み合わせにより、光源110を形成する。
【0034】
図4は、光源110からの光ビーム111を偏向する偏向器130を含む光パターンコントローラ115の例の断面図である。図4に示すように、ビーム偏向器130は、光源110からの光ビーム111を偏向する。この例においては、ビーム偏向器130は、第1の端部132と第2の端部133を持つ、円筒状に加工されたバレル131を有する。第2の端部133にはミラー134が取り付けられている。ビーム偏向器130の内部空間135は、モータシャフト121を受け入れる領域である。
モータシャフト121は、伝達軸122と一列に並べられている。モータシャフト121はまた、ビーム偏向器130がその周りを回転するUリンクピン124を受ける孔126を有する。
【0035】
図4に示すように、ビーム偏向器130の重心は、伝達軸122の左側に偏位している。従ってモータシャフト121が回転すると、ビーム偏向器130の重心を通ってその重心をモータシャフト121から引き離すような遠心力が作用する。
ビーム偏向器130内のスプリング136はその遠心力に対抗する力を作用する。スプリング136は対抗力を与えるものとして示されているが、この対抗力を与えるものとして他の素子を用いることもできる。
【0036】
バレル131の内部空間135には位置調整器137が配置されている。この位置調整器137は、バレル131の長手方向軸と伝達軸122の間の角度を調整する。一例においては、位置調整器137は、その角度を、シャフトの角速度がしきい値速度ω0のときに実質的にゼロとなるように調整する。
【0037】
図4に示すミラー134は、伝達軸122と一致する中心を持つ凹面球面ミラーである。ミラー134は、平面或いは凸面ミラーであってもよい。ミラー134として、光源110の発光素子から出力される波長の電磁波を反射できるものであれば他の反射器を用いることができる。
【0038】
図5は、図4におけるビーム偏向器130のV−Vに沿った断面を示している。空間135は、バレル131をその内部でUリンクピン124の周りに回転可能とする横長のスロットを構成している。
従って、ビーム偏向器130は、回転によって二次元の円形光パターンを生成する。この二次元光パターンは、ビーム偏向器130の回転角速度ωの関数である可変の径を持つ。
【0039】
上述のように、ミラー134は、光源110の発光素子からの出力光を反射する。ミラー134の焦点距離は、光ビームが所定の径dを持つように選択されている。ミラー134の焦点距離はまた、光源110の性能に基づいて選択される。検査面310に入射する反射した光ビーム111の径dは、十分な画像の明るさが得られ、且つ観察領域に適合するように選択される。例えば、ほぼ12.5mmの径を持つミラー134を用いて、ほぼ12mm〜40mmの焦点距離を与えることができる。ミラー134の焦点距離は、試料部分300の最も明瞭な画像が得られるように選択される。光ビーム111の方向及び/又は拡がりは、ミラー134を選択する際に考慮しなければならない。
上述のように、光ビーム111はミラー134で反射された後、試料部分300上に直進しなければならない。ミラー150と集光要素160により、反射した光ビーム111は試料部分300に直進することになる。
【0040】
図6は、この発明による光パターンコントローラ115の他の構成例であり、図1とは別のビーム偏向器230を持つ。図6に示すように、ビーム偏向器230は、二つの角走査ガルバノメータ232,234を用いた二次元走査型のガルバノメータである。二つの角走査ガルバノメータ232,234は互いに直交する軸を持つ。撮像系の光軸212について対称的な照明を行うために、描かれるパターンは円形に形成される。この例の場合、この円形パターンは、走査角度が互いに直交する二次元走査のガルバノメータ232,234を用いることにより作られる。駆動信号(Vx,Vy)を各ガルバノメータに入力することにより円形パターンが作られる。二つの走査入力波形は、次式で与えられる正弦波形である。
【0041】
【数1】
Vx=Axsin(2πfxt+θx) …(1)
Vy=Aysin(2πfyt+θy) …(2)
【0042】
ここで、Axは、正弦波入力駆動信号Vxの基本或いは最大振幅、Ayは、正弦波入力駆動信号Vyの基本或いは最大振幅、θxは、正弦波駆動信号Vxの参照正弦波に関する位相角、θyは正弦波信号VyのVxとの関係の位相角、2πfxは、x軸ガルバノメータ232の角走査周波数、2πfyはy走査ガルバノメータ234の角走査周波数である。
正弦波駆動信号Vxは、参照正弦波に正確にゼロ位相差で追随するように設計されるべきである。
【0043】
ガルバノメータ232,234はそれぞれ、駆動信号Vx,Vyの振幅に対応する静止位置から傾いている。特に、ガルバノメータ232,234は、それらが静止位置にある時に光源110からの光ビームが光軸212と同一直線上にあるように、即ちX,Y軸上の入射角が共にゼロとなるように、位置が設定される。即ち、駆動信号Vx又はVyがゼロ振幅の時、ガルバノメータ232又は234は対応する静止位置で傾きがゼロとなる。これに対して、駆動信号Vx,Vyが最大振幅Ax,Ayを持つ時、ガルバノメータ232,234は対応する静止位置に対して最大傾き角を持つ。
【0044】
走査ガルバノメータ232,234は、上述のように正弦波或いは余弦波の駆動信号Vx,Vyにより駆動される。これらの駆動信号でガルバノメータ232,234が駆動されることにより作られるパターンは、試料部分300上で基本波の又は最大の振幅Ax,Ayの関数である入射角を持つ。基本波の又は最大の振幅Ax,Ayが同じであれば、パターンは円形であり、そのパターンをガルバノメータ232,234の走査により掃引してもパターンの入射角は変わらない。基本波の又は最大の振幅Ax,Ayが同じでなければ、パターンは楕円になり、或いは基本波の又は最大の振幅が時間的に変化する場合には他の形状になり、入射角はパターン掃引に応じて変化する。
また、対称的な円形パターンを得るために、入力波形は次の条件を満たすように制御されねばならない。
【0045】
【数2】
(θx−θy)=π/2,3π/2 …(3)
【0046】
また、駆動周波数fx,fyは、カメラのCCD撮像面に適当な数の円形の掃引円パターンを描くように制御される。撮像面当たり少なくとも二つの完全掃引円形を描くことが、カメラのナイキスト基準に合致させることになるであろう。更に、撮像面に描く全ての掃引円の数は、インタレースされたフィールドがそれを組み合わせたフレーム内で空間的に同様の照明パターンを作ることを確実にするためには、完全な整数であるべきである。駆動周波数は、次のように制御される。
【0047】
【数3】
fx=fy …(4)
【0048】
但し、動作周波数fiの範囲は、次の通りである。
【0049】
【数4】
fmin<fi<fresonant …(5)
【0050】
フレーム撮像モードで動作するインタレースフィールドを持つRS170カメラの場合、fminは、奇数フィールドと偶数フィールドの間のオーバラップ周期の2倍である。このオーバラップ周期は、162/3msecである。従って、fminは、この周期又は、各81/3msec(120Hz)内で少なくとも2度発生する掃引速度に対応する。XYスキャナの選択と各ミラーの慣性は上限周波数fresonantを制限する。等しい駆動周波数を入力することは、対称的な円形掃引パターンを得るための最終的な要求に合致する。
【0051】
各波形の振幅はまた、ユーザーにより設計される入射角αに基づいて制御される。基本的には波形の振幅は次のように選択される。
【0052】
【数5】
Ax=Ay …(6)
【0053】
ここで、Aiは、設計された各照明入射角αについての最大値、ピーク、振幅を示し、掃引円の径を決める。この径又は振幅は、鏡面走査角の範囲ζi(−ζmax≦ζi≦ζmax)内で選択可能である。この結果、円形に走査されたパターンの径は、波形振幅の選択により制御される。
【0054】
この発明の制御システムの一例においては、入射角とガルバノメータを走査する入力電圧値の間を変換するルックアップテーブルが用いられる。パラメータについて上述したように、ユーザーにより選択される照明条件は、各走査軸に対する特定の入力セッティングを指示する。
【0055】
加えて、光シリンダ(反射した光ビーム111)の径dを円弧部分(セクタ)毎に変えることにより、入射角が可変できることを理解すべきである。例えば、モータ120は、光ビームがコリメータ140上で円を描くというより、楕円を描くように変化する速度で動作するように制御してもよい。この場合、コントローラ170は、パルス繰り返し周波数と位相角を、各セクタの幅の領域で光シリンダの径dが変化することによって、変化した入射角の光ビームが照明領域上に位置するように選択すればよい。同様に、二次元走査ガルバノメータ230は、入射角を常に異なるセクタ毎に変化させるように制御してもよい。
【0056】
ビーム偏向器と二次元走査ガルバノメータを上に詳細に説明したが、光パターンをコリメータ上に描くために、他の装置や方法を用い得ることを理解すべきである。
【0057】
図7は、この発明のシステム及び方法により照明された集光要素160の面での照明領域の時間軌跡の一例を示している。図10は、信号線171上で受信されたエンコーダ信号及び、コントローラ170から光源110に供給される、図7の照明領域を発生するための駆動信号173Aのタイミングを示している。コントローラ170は、光源110に供給するために信号線173に出力する変調又は駆動信号173Aと、ビーム偏向器130又は230の回転位置との間で、エンコーダ信号171により示されるように同期をとり、照明領域240及び242を形成する。ここで光源110に出力される駆動信号173Aは、パルスモードで変調されている。駆動信号の光源110に供給されるタイミングが、ビーム偏向器130又は230の角周波数の2倍のパルス繰り返し周波数に設定されていることから、二つの照明領域240,242が得られる。図10に示すように、パルスは、信号線171上のエンコーダ信号により決定され、π/2及び3π/2の位相角位置γに発生する。
【0058】
或いは、光源110に供給される駆動信号は、連続波(CW)モードで変調することもできる。例えば、正弦波、三角鋸歯状波、その他の適当な波形で変調することができる。照明領域240,242は、光源110がパルスモードで駆動されて試料部分300を瞬間的に(即ち低いデューティサイクルで)照明するため、円形となっている。ビーム偏向器の基準位置244に対して、照明領域240は、位相角γ=π/2の位置にあり、照明領域242は、位相角γ=3π/2の位置にある。
【0059】
図8は、この発明のシステム及び方法により照明された集光要素160の面での照明領域の時間軌跡の第2の例を示している。図10は、信号線171上で受信されたエンコーダ信号及び、コントローラ170から光源110に供給される、図8の照明領域を発生するための駆動信号173Bのタイミングを示している。コントローラ170は、光源110に供給するために信号線173に出力する変調又は駆動信号173Bと、ビーム偏向器130又は230の回転位置との間で、エンコーダ信号171により示されるように同期をとり、照明領域340及び342を形成する。
【0060】
駆動信号173Bの光源110に対するタイミングは、光パターンコントローラ(照明位置コントローラ)の角周波数の2倍のパルス繰り返し周波数に設定されている。この例では、駆動信号173Bは、矩形波である。図8及び図10に示すように、照明領域340,342の先頭エッジ341,343は、基準位置244に対して、γ=7π/4及び3π/4の位相角位置γにある。光パターンコントローラ115の角周波数は、光源110のデューティサイクルと共に、照明領域340,342のアーク長βを決定する。
【0061】
図9は、この発明のシステム及び方法により照明された集光要素160の面での照明領域の時間軌跡の第3の例を示している。図10は、信号線171上で受信されたエンコーダ信号及び、コントローラ170から光源110に供給される、図9の照明領域を発生するための駆動信号173Cのタイミングを示している。コントローラ170は、光源110に供給するために信号線173に出力する変調又は駆動信号173Cと、ビーム偏向器130又は230の回転位置との間で、エンコーダ信号171により示されるように同期をとり、照明領域440,442,444,446を形成する。光源110のパルス繰り返し周波数がビーム偏向器130又は230の角周波数の4倍に設定されていることから、図示のように4つの照明領域が得られる。各照明領域440,442,444,446の境界の長さ(アーク長)βは、図8のそれのほぼ半分である。
【0062】
他の例においては、各照明領域を、各セクタ毎に異なる色で照明することが可能である。例えば、照明領域440は、赤色ビームにより照明し、照明領域442は緑色ビームにより照明し、照明領域444は、青色ビームにより照明し、照明領域446は他の色のビームで照明する。固体発光素子により出力される各色の色相や強度は、コントローラ170の制御によりセクタ毎にまた時間毎に可変できる。
【0063】
以上の動作において、コントローラ170には望ましい位相角γ、望ましいアーク長β、望ましい入射角α等が入力される。これに応じて、コントローラ170は、モータ120に対する駆動信号を信号線172に出し、望ましい入射角αを与える回転速度ωでモータ120を駆動する。またコントローラ170は、変調駆動信号を信号線173を介して光源110に供給し、光源110を所定のパルス繰り返し周波数、パルス幅(即ちデューティサイクル)、位相角で駆動することにより、試料部分300を望ましい位相角γ及びアーク長βで照明する。
【0064】
図11は、この発明のシステム及び方法の一例において、照明タイミングがフレーム撮像タイミングに如何に同期されるかを示したタイミング図である。信号”フィールド1”及び”フィールド2”はそれぞれ、インタレースされたフレーム撮像モード即ち最大垂直解像度で動作する電子カメラの撮像期間を示している。或いは電子カメラ220は、インタレースされたフィールド撮像モード、或いはインタレースされないフィールド撮像モードのいずれかで動作するものであってもよい。撮像信号”フィールド1”により制御される電子カメラ220の第1フィールドは、時刻t1で撮像を開始し、時刻t3で撮像を停止する。撮像信号”フィールド2”により制御される電子カメラ220の第2フィールドは、時刻t2で撮像を開始し、時刻t4で撮像を停止する。”ビデオ出力”信号は、カメラ220内で電子的に生成されたフォーマットされたビデオ信号を示している。時刻t3とt4の間に、ビデオ出力信号は、第1フィールドの撮像データを出力する。時刻t4とt5の間に、ビデオ出力信号は、第2フィールドの撮像データを出力する。
【0065】
カメラ220の第1及び第2フィールドでそれぞれ受信される照明量又は光エネルギーは同じであるべきである。そうでないと、フィールドのインタレースの結果の画像のライン上下に隣接するもので異なった平均光強度を持つことになるからである。この様な平均光強度の相違は、得られる画像を正しく解析することを、不可能にしないまでも困難にする。
【0066】
電子カメラ220の第1及び第2フィールドの受信光をバランスさせるためには、この発明のシステム及び方法は、光パターンコントローラ115をコントロールして、各撮像期間に発生される照明パターンの数が同じになるようにする。例えば、光パターンコントローラ115がビーム偏向器130或いは二次元走査ガルバノメータ230であり、また光パターンコントローラ115が照明領域340及び342を生成するとき、光パターンコントローラは、光ビームを各撮像期間で照明領域340が同じ数だけ発生するようにコントロールする。
【0067】
一般に、同数の照明領域340及び342が各撮像期間で生成される場合には、各照明領域から得られる光強度は同じになる。しかし、各撮像期間に生成される照明領域340の数が各撮像期間に生成される照明領域342の数と同じである必要がないような場合(通常その様なことは望まれないが)には、同じ照明強度であることは必要がない。
【0068】
各照明パターンの数が各撮像期間で同数であることを確実にする最も簡単な方法は、電子カメラ220の撮像期間或いは、ビーム偏向器130又は二次元走査ガルバノメータ230の回転数を制御して、ビーム偏向器130又は二次元走査ガルバノメータ230の整数回の回転が各撮像期間に生じるようにすることである。しかし、これは最も簡単な方法であるが、ビーム偏向器130又は二次元走査ガルバノメータ230の回転数が非整数であってもよい。
【0069】
例えば、図8に示す照明領域340及び342について、電子カメラ220の撮像期間又は、ビーム偏向器130又は二次元走査ガルバノメータ230の回転速度は、もしパターンの一つの撮像期間が位相位置7π/4で開始するとすると、第1フィールドの撮像期間を(x+7/8)回転と2x回転の間まで伸ばして各照明領域340と342の(x+1)回の全期間生成を記録するようにコントロールするべきである。そして、もし第2フィールドの撮像期間が同様に(x+7/8)回転と2x回転の間まで伸びた場合には、第2フィールドは位相位置(xπ+5π/8)で始まり、各照明領域340と342の(x+1)回の全期間生成を記録することになるだろう。即ち、第1フィールドの撮像期間が位相位置7π/4で開始し、(x+7/8)×2π期間だけ継続した場合、第2フィールドの撮像期間は、7π/4に対して(x+7/8)×2π/2だけ遅れて開始することになるため、7π/4+(x+7/8)×2π/2の位相位置(=xπ+(5π/8))で開始することになる。
【0070】
図11に示す同期タイミング図において、各時刻tx+1は、先行する時刻txの後、dxの時間で発生する。この発明による電子カメラ220の例では、時間dxは、16+2/3msecである。これにより、各フィールドの撮像時間は、33+1/3msecとなる。
【0071】
図11に示すように、図1及び図5に示したシステム100の例では、コントローラ170は、ビーム偏向器130が回転して基準位置を通過する各タイミングでビーム偏向器130から信号線171を介して基準位置信号を受信する。図11の同期タイミング図では、この基準位置は、図7−9における位置244に対応する。この基準位置信号により、コントローラ170はビーム偏向器130の回転位置をモニターし、その回転速度をコントロールすることが可能となる。
【0072】
コントローラ170はこの基準位置信号を用いて、ビーム偏向器130の回転速度の加速或いは減速をコントロールするコントロール信号を信号線172上に送り出し、ビーム偏向器130を撮像信号フィールド1及びフィールド2の立ち上がりエッジに対して所望の相対位相に合わせることが可能になる。コントローラ170はまたこの基準位置信号を用いて、電子カメラ或いはディジタルカメラ220に、第1の撮像信号フィールド1の立ち上がりエッジを、ビーム偏向器130が所望の位相位置に到達したとき或いはその前にトリガするように、信号線174上にコントロール信号を送り出ことができる。コントローラ170は、ビーム偏向器130の回転速度と電子カメラ又はディジタルカメラ220の第1フィールドの撮像期間のトリガリングとを共に、動作の撮像モードに応じてコントロールできることは注意すべきである。
【0073】
コントローラ170はまた、信号線172を介してモータ120に送られる速度コントロール信号を発生する。この速度コントロール信号は、ビーム偏向器130の回転速度をコントロールし、各照明領域の数がカメラ220の各フィールドの撮像期間毎に同数ずつになることを確実にする。より簡単には、コントローラ170は、各33+1/3msecのフレーム撮像期間にビーム偏向器130が整数回の回転を行うように、即ち毎分当たり(1800・z)回転或いは毎秒当たり(30・z)回転の回転速度(ここで、zは、各撮像期間における回転数の整数である)となるように、回転速度をコントロールする。
【0074】
しかしながら、上述したように、所望の入射角αを得るためには、ビーム偏向器130の特殊な回転速度を必要とする場合もある。この場合には、ビーム偏向器130の回転速度は、毎分当たり1800回転(毎秒当たり30回転)に最も近い倍数となる。或いは、電子カメラ又はディジタルカメラ220の撮像期間が調整可能ならば、コントローラ170は、信号線174を介してカメラ220にフレーム撮像期間調整信号を送るようにすることができる。そしてこの場合、カメラ220の撮像期間は、ビーム偏向器130の回転数(整数)が所望の入射角αを得るに必要な特定の回転速度で調整された撮像期間内に得られるように調整される。
【0075】
上述したように、コントローラ170は、所望の入射角αを得るに必要な特殊な回転速度のために、たとえビーム偏向器130の整数の回転数が標準撮像時間内に生じないとしても、第1及び第2フィールドについて共に標準撮像時間内で等しい数の照明領域が生じるように、設定することができる。この場合、コントローラ170は、第1の撮像信号フィールド1の立ち上がりエッジのタイミングを、第1及び第2フィールドについて共に標準フレーム撮像期間内に同数の照明領域が生じるようにコントロールすることができる。
【0076】
図11はまた、コントローラ170からカメラ220に対して信号線174を介して出力されるトリガ信号、撮像信号フィールド1及びフィールド2と、信号線173を介して光源110に出力される駆動信号173A−173Cとの間の相対タイミングを示している。駆動信号173A−173Cは、図10に示された駆動信号173A−173Cと同じであり、図7−9に示された光パターンにそれぞれ対応する。
【0077】
図11に示されるように、カメラがフレーム撮像モードで動作するとき、第1の撮像信号フィールド1の立ち上がりエッジは、カメラ220により信号線174に出力される。コントローラ170は、必要な照明パターンが信号線173上に光源110に対して出力される駆動信号により発生されるべき必要な照明パターンと、ビーム偏向器130の基準位置244に対する相対位相位置とを、図7−9に示すように、予め設定している。
【0078】
図7に示す照明パターンを作るためには、コントローラ170は、光源110に対して駆動信号173Aを出力する。特に、図11に示すように、ビーム偏向器が毎秒30回転で回転するものと仮定すると、駆動信号173Aは、第1撮像期間の間に、第1撮像信号フィールド1の立ち上がりエッジから約8.33msec後及び25msec後に瞬間的にオンする。従って、一つずつの照明領域240,242が各撮像期間に発生する。
【0079】
図8に示す照明パターンを作るためには、コントローラ170は、光源110に対して駆動信号173Bを出力する。特に、図11に示すように、ビーム偏向器が毎秒30回転で回転するものと仮定すると、駆動信号173Bは、第1の撮像期間の間に、第1撮像信号フィールド1の立ち上がりエッジでオンになって、ターンオフする前に約4.17msecの間オンを維持する。駆動信号173Bはまた、第1撮像信号フィールド1の立ち上がりエッジから12.5msec及び29.17msec後にオンになり、それぞれ約8.33msec維持される。駆動信号173Bは、第2の撮像信号フィールド2がオンになるときにオンになり、約4.17msecの間維持される。駆動信号173Bはまた、第1の撮像信号フィールド1の立ち上がりエッジから、約29.17msec及び45.83msecの後に、第2の撮像期間でオンになり、それぞれ約8.33msec及び4.17msecの間維持される。
【0080】
従って、一つずつの照明領域340,342がそれぞれの撮像期間で得られる。特に照明領域340の後半は第1の撮像期間の始めに生じ、照明領域342は第1の撮像期間の中間帯に生じ、照明領域340の前半は第1の撮像期間の終わりに生じる。同様に、照明領域342の後半は第2の撮像期間の始めに生じ、照明領域340は第2の撮像期間の中間帯に生じ、照明領域342の前半は第2の撮像期間の終わりに生じる。
【0081】
何らかの理由でこの様な照明パターンの照明領域の分割を避ける必要がある場合には、第1の撮像信号フィールド1の立ち上がりを相対的に照明領域の先端に合わせることができる。例えば、図8に示す照明パターンについて、カメラがあるフィールド撮像モードで動作しているときに、第1の撮像信号フィールド1の立ち上がりエッジを約4.2msecから約12.4msecの間に発生するように遅延する。即ち、第1の撮像信号フィールド1の立ち上がりエッジを、照明領域340の後端と照明領域342の先端の間に来るように遅延すればよい。
【0082】
図9に示す照明パターンを作るためには、コントローラ170は、光源110に対して駆動信号173Cを出力する。特に、図11に示すように、ビーム偏向器が毎秒30回転で回転するものと仮定すると、駆動信号173Cは、第1の撮像期間の間に、第1の撮像信号フィールド1の立ち上がりエッジでオンになって、約2.08msecの間オンを維持する。そして駆動信号173Cは、第1のフィールド撮像信号フィールド1の立ち上がりエッジから、約6.25msec,14.48msec,22.92msec,31.24msecでオンになり、それぞれ約4.17msecの間オンを維持する。また駆動信号173Cは、第2の撮像信号フィールド2がオンになるときにオンとなり、2.08msecの間これが維持される。駆動信号173Cはまた、第2の撮像期間の間で、第1の撮像信号フィールド1の立ち上がりエッジから約22.92msec,31.24msec,39.58msec,47.92msecでオンになり、最後のオン期間を除いて約4.17msecの間オンを維持する(最後は、2.08msecだけオンになる)。
【0083】
従って、それぞれ一つずつの照明領域440,442,444,446が各撮像期間に生じる。特に、照明領域440の後半は、第1の撮像期間の始めに生じ、照明領域442−446は第1の撮像期間内に生じ、照明領域440の前半は第1の撮像期間の終わりに生じる。同様に、照明領域444の後半は、第2の撮像期間の始めに生じ、照明領域440,442,446は第2の撮像期間内に生じ、照明領域444の前半は第2の撮像期間の終わりに生じる。
【0084】
図12A及び図12Bは、この発明による制御方法の一例のフローチャートである。ステップS100で制御スタートし、ステップS110では、各照明領域毎の先端エッジの所望の位相角γ、各照明領域毎の所望のアーク長β、各照明領域毎の所望の入射角αを入力する。次にステップS120では、各照明領域毎の入射角に基づいて、その入射角を得るためのモータの所望の回転速度ωを決定する。ステップS130では、所望の回転速度を、カメラの撮像周期から決まる基準回転速度の整数倍に最も近い値になるように端数処理する。これは、各撮像期間の間、ビーム偏向器130が整数回回転することを保証するためである。
【0085】
次にステップS140において、ビーム偏向器のモータを、ステップS110で入力された所望の入射角をほぼ得ることができるように端数処理された回転速度ωで駆動する。そして、ステップS150において、モータの瞬時位置及び/又は瞬時回転速度を求める。次いでステップS160において、測定された回転速度又は、端数処理された回転速度ωにいずれかに基づいて、及び決定されたモータ位置又は測定されたモータ位置のいずれかに基づいて、光源の駆動信号を発生する。
【0086】
ステップS170では、第1の撮像期間の開始を示すトリガ信号をカメラによって又はカメラに対して出力する。カメラがフレーム撮像モードで動作する場合には、トリガ信号は、第1の撮像期間の途中で第2の撮像期間が始まるようにカメラを制御する。そしてステップS180において、発生された駆動信号で光源を駆動して、試料部分の各照明領域を所望の位相角γで所望のアーク長βにまたがって照明するように光ビームを発生する。特に駆動信号は、カメラの第1及び第2フィールドが照明領域を検出可能になったときに、そしてビーム偏向器が適当な回転位置にあって所望の位相角γ及び所望のアーク長βを持つ照明領域を作るときに、出力される。
【0087】
次にステップS185では、カメラの第1及び第2フィールドが所望の各照明領域の整数回にまたがって照明された部分の画像を捕らえる。ステップS190では、各フィールドの画像が読み出されてフル画像が生成され、これが出力され或いは表示される。ステップS195で制御ルーチンは終了する。
【0088】
図13A及び図13Bは、この発明の制御方法の他の例のフローチャートである。ステップS200で制御スタートし、ステップS210において、各照明領域毎の先端エッジの所望の位相角γ、各照明領域毎の所望のアーク長β、各照明領域毎の所望の入射角αを入力する。次にステップS220で、所望の入射角αを得るに必要な、走査ガルバノメータに入力する駆動信号Vx,Vyの振幅値Ax,Ayを入力する。そしてステップS230では、所望の位相角γを得るに必要な正弦波状駆動信号Vxd,Vydの位相角θxd,θydを決定する。
【0089】
次に、ステップS240では、正弦波入力駆動信号Vx,Vyの瞬時各走査周波数2πfx,2πfyをカメラの撮像周期に基づいて決定する。特に、正弦波入力駆動信号Vx,Vyの瞬時各走査周波数2πfx,2πfyは、走査ガルバノメータからの反射光ビームが各撮像期間内で整数回回転するように決定される。そして次に、ステップS250において、走査ガルバノメータは、ステップS220,S230,S240において決定されたパラメータを持つ駆動信号Vx,Vyを用いて駆動される。
【0090】
ステップS260では、正弦波入力駆動信号Vx,Vyの瞬時位相角θxa,θyaが求められる。そして、ステップS270では、所望の位相角θxd,θyd、瞬時位相角θxa,θya及び瞬時走査周波数2πfx,2πfyに基づいて光源の駆動信号を発生する。次いでステップS275では、第1の撮像期間の開始を示すトリガ信号をカメラによって又はカメラに対して出力する。カメラがフレーム撮像モードで動作する場合には、トリガ信号は、第1の撮像期間の途中で第2の撮像期間が始まるようにカメラを制御する。
【0091】
そして、ステップS280では、発生された駆動信号で光源を駆動して、試料部分の各照明領域を所望の位相角γで所望のアーク長βにまたがって照明するように光ビームを発生する。特に駆動信号は、走査ガルバノメータが適当な位置にあるときに出力され、所望の位相角γ及び所望のアーク長βを持つ照明領域を作る。
【0092】
次にステップS285では、カメラの第1及び第2フィールドが所望の各照明領域の整数回にまたがって照明された部分の画像を捕らえる。ステップS290では、各フィールドの画像が読み出されてフル画像が生成され、これが出力され或いは表示される。ステップS295で制御ルーチンは終了する。
【0093】
図14は、光パターンコントローラ115の他の構成例である。この例では、光パターンコントローラ115は液晶デバイス光パターンコントローラ330を有する。液晶デバイス光パターンコントローラ330は、透過型液晶デバイス或いは液晶シャッタである。光源310は、液晶デバイス光パターンコントローラ330に当たる発散光ストリームを発生する。液晶デバイス光パターンコントローラ330は、光源310から発生された光の一部がコリメータ340に当たるのを選択的にブロックすることを可能とするアドレス可能なセクタアレイを含む。例えば、光線311Aは、液晶デバイス光パターンコントローラ330に当たり、透過してコリメータ340でコリメートされる。これに対して、光線311Bは、液晶デバイス光パターンコントローラ330に当たってブロックされ、コリメータ340に到達しない。従ってこの液晶デバイス光パターンコントローラ330は、光源310からコリメータ340に達する光パターンをコントロールすることができる。
【0094】
液晶デバイス光パターンコントローラ330のアドレサブルなセクタは、例えば正方形の画素形状、或いは正確なセクタ形状等、どの様に設計してもよい。また液晶デバイスは、アドレサブルな画素アレイを含むことができ、更に上述した透過モードでの光遮断ではなく、反射モードで動作するものとしてもよい。
【0095】
図15は、この発明による制御方法の他のフローチャートである。ステップS300で制御スタートし、ステップS310で、各照明領域毎の先端エッジの所望の位相角γ、各照明領域毎の所望のアーク長β、各照明領域毎の所望の入射角αを入力する。次にステップS320で、所望の入射角αを得るに必要な液晶デバイス光パターンコントローラのアドレッサブルなセクタの組を決定する。次いでステップS330において、各照明領域毎に、所望の位相角γ及び所望のアーク長βを得るに必要なセクタの特定の組を決定する。
【0096】
次に、ステップS340において、液晶デバイス光パターンコントローラを駆動し、決定された特定のセクタの組では入射光を透過し(液晶デバイスが透過型シャッタの場合)、或いは決定された特定のセクタの組では入射光を反射して(液晶デバイスが反射型の場合)、選択された光ビームをコリメータに送る。これにより、試料を所望の入射角α、位相角γ及びアーク長βで照明する。次にステップS350では、第1の撮像期間の開始を示すトリガ信号をカメラによって又はカメラに対して出力する。カメラがフレーム撮像モードで動作する場合には、トリガ信号は、第1の撮像期間の途中で第2の撮像期間が始まるようにカメラを制御する。
【0097】
次いで、ステップS360において、カメラの第1及び第2フィールドが所望の各照明領域の画像を捕らえる。ステップS370では、各フィールドの画像が読み出されてフル画像が生成され、これが出力され或いは表示される。ステップS380で制御ルーチンは終了する。
【0098】
この方法においては、セクタにより入射角を可変できることを理解すべきである。例えばモータ120の速度をコントロールすることにより、ビームがコリメータ140上で円を描くのではなく、楕円を描くようにすることができる。この場合コントローラ170は、各セクタの幅の領域で変化した入射角の光ビームが照明領域に位置するように、パルス繰り返し周波数と位相角を選択することができる。同様に、二次元走査ガルバノメータ30も、異なるセクタ内で常に入射角を可変するように制御することができる。
【0100】
上の説明は、一般に固体発光デバイスを持つ光源から光が出力される場合であるが、この発明の制御システム及び方法はより一般的な光源例えば、タングステンハロゲンランプを用いることもできる。またこの発明の制御システム及び方法において、光源として、検出可能であれば可視域外の光を出力するものを用いることもできる。例えばその様なスペクトル帯として、紫外A及び近赤外がある。更にこの発明による制御システム及び方法では、光源は、連続波光ビーム、変調された光ビーム、パルス化された光ビームを出すように光源をコントロールしてもよい。
【0101】
【発明の効果】
以上述べたようにこの発明によれば、機械観察システムに好ましい、優れた特徴を持ち、安価で且つ信頼性の高い拡散照明制御システム及び方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明による拡散照明システムを示す図である。
【図2】 同システムの光源の平面図である。
【図3】 同システムの光源の断面図である。
【図4】 同システムのビーム偏向器の断面図である。
【図5】 図4におけるビーム偏向器のV−V位置の断面図である。
【図6】 光パターンコントローラの構成を示す図である。
【図7】 照明領域の時間軌跡の一例を示す図である。
【図8】 照明領域の時間軌跡の他の例を示す図である。
【図9】 照明領域の時間軌跡の他の例を示す図である。
【図10】 照明制御の動作を説明するためのタイミング図である。
【図11】 ビーム偏向器駆動信号とカメラ動作の関係を示す図である。
【図12A】 照明制御のフローチャートの一例(前半)である。
【図12B】 同フローチャートの後半である。
【図13A】 照明制御のフローチャートの他の例(前半)である。
【図13B】 同フローチャートの後半である。
【図14】 他の光パターンコントローラの構成を示す図である。
【図15】 照明制御のフローチャートの他の例である。
【符号の説明】
100…拡散照明システム、110…光源、115…光パターンコントローラ、120…モータ、130…ビーム偏向器、140…コリメータ、150…ミラー、160…集光要素、200…撮像システム、220…カメラ、300…試料部分。
Claims (13)
- 拡散光により照明される対象物の画像を生成する装置であって、
一つの照明領域がある入射角、位相角、アーク長の少なくとも一つを有するように少なくとも一つの照明領域を持つ光パターンを制御的に発生する光パターン発生システムと、
少なくとも第1及び第2の撮像期間をもって前記対象物を撮像するカメラと、
前記光パターン発生システムによる光パターンの発生と前記第1及び第2の撮像期間との同期をとり、前記第1及び第2の撮像期間に前記光パターンを整数回生じさせることにより、前記カメラの各フィールドが前記対象物からの実質同じ光量の光を撮像するように制御するコントローラと
を備えたことを特徴とする画像生成装置。 - 前記コントローラは、偏向器による偏向及び光源の変調の少なくとも一方を、前記第1及び第2の撮像期間に同期させるものであることを特徴とする請求項1記載の画像生成装置。
- 前記第1及び第2の撮像期間を、偏向器による偏向及び光源の変調の少なくとも一方に同期させるものであることを特徴とする請求項1記載の画像生成装置。
- 前記第1及び第2の撮像期間は、インタレースされた二つの画素フィールドに対応することを特徴とする請求項1記載の画像生成装置。
- 変調された光ビームを出力する光源と、
この光源からの光ビームを偏向して、その光ビームをコリメートするためのコリメート要素の面上にパターンを描く偏向器と、
コリメート光を、照明光ビームを反射できる対象物に集光する集光要素と、
少なくとも第1及び第2のフィールドをもって前記対象物の画像を撮像するカメラと、
前記第1及び第2のフィールド、前記光ビームの変調及び前記偏向器による偏向を同期させ、前記第1及び第2のフィールドに前記偏光器で描かれるパターンを整数回生じさせることにより、前記第1及び第2のフィールドがそれぞれ照明された前記対象物からの反射光を実質的に同じ量だけ撮像するように制御するコントローラと
を備えたことを特徴とする機械観察システム。 - 前記コントローラは、前記偏向器による偏向と前記光ビームの変調を、前記第1及び第2のフィールドの撮像期間に同期させるものであることを特徴とする請求項5記載の機械観察システム。
- 前記コントローラは、前記第1及び第2のフィールドの撮像期間を、前記偏向器による偏向と前記光ビームの変調に同期させるものであることを特徴とする請求項5記載の機械観察システム。
- 拡散光により制御的に照明される対象物の画像を生成する方法であって、
一つの照明領域がある入射角、位相角、アーク長の少なくとも一つを有するように少なくとも一つの照明領域を持つ光パターンを制御的に発生し、
前記対象物の照明された領域からの光を集光して、前記対象物を少なくとも第1及び第2の撮像期間を持つカメラで撮像し、
前記光パターンの発生と前記第1及び第2の撮像期間とを同期させ、前記第1及び第2の撮像期間に前記光パターンを整数回生じさせることにより、前記第1及び第2の撮像期間のそれぞれにおいて前記対象物からの光が実質的に同量だけ集光されるように制御する
ことを特徴とする画像生成方法。 - 前記光パターンを制御的に発生するステップは、光偏向器を制御的に動作させると共に、光ビームを制御的に変調するものであり、
前記光パターンの発生と前記第1及び第2の撮像期間とを同期させるステップは、前記光偏向器による偏向と前記光ビームの変調の少なくとも一方を、前記第1及び第2の撮像期間に同期させるものである
ことを特徴とする請求項8記載の画像生成方法。 - 前記光パターンを制御的に発生するステップは、光偏向器を制御的に動作させると共に、光ビームを制御的に変調するものであり、
前記光パターンの発生と前記第1及び第2の撮像期間とを同期させるステップは、前記第1及び第2の撮像期間を、前記光偏向器による偏向と前記光ビームの変調の少なくとも一方をに同期させるものである
ことを特徴とする請求項8記載の画像生成方法。 - 拡散光により制御的に照明される対象物の画像を生成する方法であって、
光ビームを変調し、
変調された光ビームを偏向して照明パターンを描き、
偏向された光ビームをコリメートし、
コリメートされた光ビームを前記対象物に集光し、
前記対象物からの反射光を、少なくとも第1及び第2の撮像期間があるカメラで受光し、
前記第1及び第2の各撮像期間、前記光ビームの変調及び変調された光ビームの偏向を同期させ、前記第1及び第2の撮像期間に前記照明パターンを整数回生じさせることにより、前記第1及び第2の撮像期間のそれぞれにおいて前記対象物からの光が実質的に同量だけ撮像されるように制御する
ことを特徴とする画像生成方法。 - 前記第1及び第2の各撮像期間、前記光ビームの変調及び変調された光ビームの偏向を同期させるステップは、前記光ビームの変調と変調された光ビームの偏向を、前記第1及び第2の各撮像期間に同期させるものであることを特徴とする請求項11記載の画像生成方法。
- 前記第1及び第2の各撮像期間、前記光ビームの変調及び変調された光ビームの偏向を同期させるステップは、前記第1及び第2の各撮像期間を、前記光ビームの変調と変調された光ビームの偏向に同期させるものであることを特徴とする請求項11記載の画像生成方法。
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