JP4367677B2 - スパッタリング用ターゲット及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、Si等の非金属のターゲット材をCu又はCu合金製のバッキングプレートに接合したスパッタリング用ターゲットに係り、とくに非金属のターゲット材とバッキングプレートとの接合強度を向上させたスパッタリング用ターゲット及びその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、スパッタリング用ターゲットはターゲット材と、冷却及び通電のためのCu材等のバッキングプレートとが接合されて構成されている。ターゲット材がSi等の非金属である場合、非金属に直接ろう付け(又は、はんだ付け)することは困難なため、非金属の接合面に金属膜を成膜することが提案されている。例えば、特開平7−48667号公報では、ターゲット材の接合面に、Cu,Ni,Cu−Ni合金のいずれかの薄膜を形成することが提案されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、非金属のターゲット材の接合面に形成する金属膜は、使用するろう材に合わせて選択されるが、In又はIn合金のろう材を用いる場合、バッキングプレートと同材質のCuを金属膜として形成すると、ろう付け時にIn又はIn合金のろう材にCu膜が食われてしまい(In中にCuが取り込まれて合金になる)、ろう材が直接ターゲット材に接する状態となって接合強度が大幅に低下する問題がある。
【0004】
また、Cu膜は酸化し易いため、フラックスを併用しないでバッキングプレートにろう付けすることは困難となるが、フラックスの使用はフラックスが仮にターゲットに残留した場合に問題となる。
【0005】
このように、非金属のターゲット材の表面を、いかにして接合強度の強いろう付けが可能な状態にするかが、ターゲット製作の重要課題となる。
【0006】
本発明の第1の目的は、上記の点に鑑み、非金属のターゲット材の接合面に形成する金属層の構造を工夫してターゲット材とバッキングプレート間のろう付けの接合強度を向上させたスパッタリング用ターゲット及びその製造方法を提供することにある。
【0007】
本発明の第2の目的は、フラックスを用いないでろう付けを可能にしてフラックス使用に伴う不都合を除去したスパッタリング用ターゲット及びその製造方法を提供することにある。
【0008】
本発明のその他の目的や新規な特徴は後述の実施の形態において明らかにする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本願請求項1の発明は、非金属のターゲット材をIn又はIn合金のろう材でCu又はCu合金製のバッキングプレートに接合してなるスパッタリング用ターゲットにおいて、
前記ターゲット材の接合面に下地金属層としてCr膜、該下地金属層に積層された上層金属層としてCu膜がそれぞれ成膜され、該Cu膜と前記バッキングプレート間に前記ろう材が介在して接合されており、前記Cu膜と前記ろう材との接合部にAgが含有されていることを特徴としている。
【0011】
本願請求項2の発明は、非金属のターゲット材をIn又はIn合金のろう材を用いてCu又はCu合金製のバッキングプレートにろう付けで接合するスパッタリング用ターゲットの製造方法において、
前記ターゲット材の接合面に下地金属層としてCr膜、該下地金属層に積層された上層金属層としてCu膜、さらに該Cu膜を覆う酸化防止膜としてAg膜を順次成膜した後、前記Ag膜上及び前記バッキングプレート上に前記ろう材を付着させて加熱状態で前記ターゲット材と前記バッキングプレートとを重ね合わせて接合することを特徴としている。
【0012】
本願請求項3の発明は、請求項2において、前記Cr膜、Cu膜及びAg膜を蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング、プラズマCVD等の真空乃至気相中での薄膜技術で順次成膜することを特徴としている。
【0013】
本願請求項4の発明は、請求項2又は3において、前記Cu膜の膜厚が1〜5μmであり、前記Cr膜及び前記Ag膜は前記Cu膜以下の膜厚であることを特徴としている。
【0014】
本願請求項5の発明は、請求項2,3又は4において、前記Ag膜上及び前記バッキングプレート上に前記ろう材を付着させる工程を、超音波振動子内蔵はんだ鏝で超音波振動をろう材に加えながらフラックスを用いないで実行することを特徴としている。
【0015】
本願請求項6の発明は、請求項2,3,4又は5において、前記ターゲット材と前記バッキングプレートとを重ね合わせて接合する工程を、昇温したホットプレート上にて行い、接合後予め昇温した重りを載せて加圧しながら徐冷することを特徴としている。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係るスパッタリング用ターゲット及びその製造方法の実施の形態を図面に従って説明する。
【0017】
図1(A)乃至(D)で本発明の実施の形態をスパッタリング用Siターゲットを作製する場合を例にとって説明する。
【0018】
まず、図1(A)のように、ターゲット材であるSi板1のバッキングプレート(冷却及び通電のためのCu又はCu合金板)への接合面に、下地金属層としてCr膜2、該下地金属層に積層された上層金属層としてCu膜3、さらに該Cu膜を覆う酸化防止膜としてAg膜4をスパッタリングで順次成膜する。
【0019】
ここで、図1(B),(C)に示すバッキングプレート10がCu又はその合金材であるために、Si板1の接合面への主成膜材をCuとしている。
【0020】
Cu膜3の成膜厚さが1μm未満だと、Inのろう材20の濡らし時にほとんどの成膜Cu材がInに食われて(InとCuの合金となる)しまう。5μmを超えると成膜に時間がかかり、コスト的に不利である。よって、Cu膜3の膜厚は1〜5μmとしている。
【0021】
また、主成膜材のCu膜3の食われを想定して、Cu膜の下地にCr膜2を成膜している。Crはろう材としてのInとの合金を作りにくく(まったく作らないわけではないが)、薄いCr膜でもSi板1がInと直接接触することはなくなる。なお、Inのろう材が直接Si板1に接するような事態になるとろう付けの接合強度が大幅に低下する。前記Cr膜2の膜厚はCu膜3の膜厚以下でよく、0.3μm〜2μm程度である。膜厚0.3μm未満であると成膜時のばらつきにより部分的に膜厚が零になる部分が生じる危険性があり、2μmを超えると、成膜に時間がかかり、コスト的に不利である。
【0022】
さらに、主成膜材をCuとした場合、Cuは酸化し易く、酸化銅を作る。酸化銅は扱いにくい材料と言われている。脆いためにろう付けには向かない。さらに、ガスを発生するので、ターゲットとしての使用時に、成膜用真空チャンバーの壁面や成膜の相手の基板面を汚してしまう可能性がある。そこで、Cu膜3の酸化を防ぐために、Cu成膜直後にAg膜4を成膜する。このAg膜4は一様にあれば良く薄くてもよい。Ag膜4の膜厚は、Cu膜3の膜厚以下でよく、0.1μm〜2μm程度である。膜厚0.1μm未満であると成膜時のばらつきにより部分的に膜厚が零になる部分が生じる危険性があり、2μmを超えると、成膜に時間がかかり、コスト的に不利である。なお、Agは容易にInと合金を作り、それはろう材として適していると言われている。
【0023】
これらのCr膜2、その上のCu膜3、さらにその上のAg膜4は同一の成膜用チャンバー内で順次スパッタリングで成膜することが無用の酸化物の生成を防ぐためにも好ましい。
【0024】
図1(A)のように、ターゲット材としてのSi板1の接合面にCr膜、Cu膜、Ag膜の複層金属層5を形成したら、図1(B)のように、ホットプレート(電熱式)30上にSi板1を接合面を上にして載置し、またCu又はCu合金板のバッキングプレート10も接合面を上にして載置し、ホットプレート30を180〜250℃に昇温し、Si板1とバッキングプレート10とを加熱、昇温する。この状態において、ろう材20としてInを用いて接合のための濡らし作業、つまりSi板1の接合面とバッキングプレート10の接合面にろう材20を付着させる作業は、超音波振動子内蔵はんだ鏝35で超音波振動をろう材20に加えながらフラックスを用いないで実行する。
【0025】
図1(B)のろう材20の濡らし作業終了後、ホットプレート30上で加熱、昇温を継続しながら、図1(C)のようにバッキングプレート10の接合面(In濡らし面)とSi板1の接合面(In濡らし面)とを対向、密着させ、バッキングプレート10とSi板1とを重ね合わせた構造体とし、これに400〜2000gの重り40を載せる。このとき、重り40は予め100〜200℃に昇温したものを用いる。重り40を載せた後は、ホットプレート30の電源を切って当該ホットプレート上で徐冷(自然冷却によって徐々に冷却)する。これにより、図1(D)のようにターゲット材としてのSi板1とバッキングプレート10とがInのろう材20で接合一体化されたスパッタリング用ターゲットが完成する。なお、接合後は、Ag膜4は薄膜であるためにInのろう材20中に溶解して膜としては残らないが、Cu膜3とろう材20との接合部にAgが含有されることで、接合前にAg膜4が存在していたことが確認できる。
【0026】
図2にSi,Cr,Cu,Ag,Inの線膨張係数を示す。線膨張係数は、Si<Cr<Cu<Ag<InのようにSiからInに向けて徐々に大きくなる関係となり、Cr,Cu,Agの金属層が介在することで、ターゲット材のSiとろう材のInとの線膨張係数の差を緩和できる。これによってもCr,Cu,Agの3層成膜構造がSiとInの中間材として適しているのがわかる。
【0027】
以下の表1に3層成膜とCu−Ag2層成膜の接合実験結果を示す。
【0028】
【表1】
ここで、測定は超音波探傷器を使用した。実験No.1,2は下地金属層のCr膜2を省略した場合であり、超音波探傷結果は90%、87%で、部分的に接合不十分の所があることを示す。なお、実験No.2はサンプル数n=2でその平均値を示した。実験No.3〜7はいずれも実施の形態に係る3層成膜の場合であり、超音波探傷結果は100%で、全く傷が無い状態を示している。なお、実験No.7はサンプル数n=6でその平均値を示した。この実施の形態のように3層の金属層(Cr,Cu,Ag)を設けることで、極めて良好なろう付けによる接合が得られることがわかる。
【0029】
この実施の形態によれば、次の通りの効果を得ることができる。
【0030】
(1) バッキングプレート10がCu又はCu合金材であるために、ターゲット材としてのSi板1の接合面への主成膜材をCuとした。Cu対Cuにすることにより、接合が容易で、強固な接合強度が得られる。
【0031】
(2) Cuの食われを想定して、Cu膜3の下地にCr膜2を成膜している。Crはろう材20としてのInとの合金を作りにくく、薄いCr膜でもSiがInと直接接触することはなくなり、SiがInと直接接することになって接合強度の大幅低下を招くことを防止できる。
【0032】
(3) Cuは酸化し易く、酸化銅を作るが、Cu膜3上にAg膜4を成膜することで、Cu膜3の酸化を防ぐことができ、ろう付けによる接合を容易にすることができる。Agは容易にInと合金を作るため、Ag膜4の存在はInによるろう付けを一層容易、かつ確実にすることができる。
【0033】
(4) 図2に示すように、線膨張係数は、Si<Cr<Cu<Ag<InのようにSiからInに向けて徐々に大きくなる関係となり、SiとIn間にCr,Cu,Agが介在することで、SiとInとの線膨張係数の差を緩和できる。これによってもCr,Cu,Agの3層成膜構造がSiとInの中間材として適しているのがわかる。
【0034】
(5) ろう材20としてInを用いて接合のための濡らし作業、つまりSi板1の接合面とバッキングプレート10の接合面にろう材20を付着させる作業を行う場合、超音波振動子内蔵はんだ鏝35で超音波振動をろう材20に加えながら実行することで、フラックスを使用しないようにできる。これによりフラックス使用に伴う不都合、例えばフラックスが残留して、ターゲットとして使用時に蒸発すること等を回避できる。
【0035】
(6) ろう付け時にバッキングプレート10とSi板1とを重ね合わせた構造体を加圧する重り40として、予め100〜200℃に昇温したものを用いることで、ターゲット材とバッキングプレート10の冷却速度を緩やかとしてろう付けによる接合の信頼性をいっそう向上させることができる。なお、重り40が常温では、急冷となり、接合に際してろう材に傷が発生する危険性が出てくる。
【0036】
なお、前述の実施の形態では、非金属のターゲット材としてSiを例示したが、Si以外のセラミック材等にも本発明は適用できる。また、ろう材はInとしたが、Inを主体としたIn合金であっても差し支えない。さらに、Cr膜、Cu膜、Ag膜をスパッタリングで設けたが、スパッタリング以外の蒸着、イオンプレーティング、プラズマCVD等の真空乃至気相中での薄膜技術で成膜することも可能である。
【0037】
以上本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明はこれに限定されることなく請求項の記載の範囲内において各種の変形、変更が可能なことは当業者には自明であろう。
【0038】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、非金属のターゲット材の接合面に形成する金属層の構造を工夫することで、ターゲット材とバッキングプレート間のろう付けの接合強度を向上させることが可能である。
【0039】
また、製造過程において、ターゲット材側及びバッキングプレート側にろう材付着させる工程を、超音波振動子内蔵はんだ鏝で超音波振動をろう材に加えながら行うようにすれば、フラックスを使用しないろう付け処理とすることができ、フラックス使用に伴う不都合を除去できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るスパッタリング用ターゲット及びその製造方法の実施の形態を工程順に示す説明図である。
【図2】ターゲット材とろう材、及びそれらの間に介在する金属層の線膨張係数を示す説明図である。
【符号の説明】
1 Si板
2 Cr膜
3 Cu膜
4 Ag膜
10 バッキングプレート
20 ろう材
30 ホットプレート
35 超音波振動子内蔵はんだ鏝
40 重り
Claims (6)
- 非金属のターゲット材をIn又はIn合金のろう材でCu又はCu合金製のバッキングプレートに接合してなるスパッタリング用ターゲットにおいて、
前記ターゲット材の接合面に下地金属層としてCr膜、該下地金属層に積層された上層金属層としてCu膜がそれぞれ成膜され、該Cu膜と前記バッキングプレート間に前記ろう材が介在して接合されており、前記Cu膜と前記ろう材との接合部にAgが含有されていることを特徴とするスパッタリング用ターゲット。 - 非金属のターゲット材をIn又はIn合金のろう材を用いてCu又はCu合金製のバッキングプレートにろう付けで接合するスパッタリング用ターゲットの製造方法において、
前記ターゲット材の接合面に下地金属層としてCr膜、該下地金属層に積層された上層金属層としてCu膜、さらに該Cu膜を覆う酸化防止膜としてAg膜を順次成膜した後、前記Ag膜上及び前記バッキングプレート上に前記ろう材を付着させて加熱状態で前記ターゲット材と前記バッキングプレートとを重ね合わせて接合することを特徴とするスパッタリング用ターゲットの製造方法。 - 前記Cr膜、Cu膜及びAg膜を蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング、プラズマCVD等の真空乃至気相中での薄膜技術で順次成膜する請求項2記載のスパッタリング用ターゲットの製造方法。
- 前記Cu膜の膜厚は1〜5μmであり、前記Cr膜及び前記Ag膜は前記Cu膜以下の膜厚である請求項2又は3記載のスパッタリング用ターゲットの製造方法。
- 前記Ag膜上及び前記バッキングプレート上に前記ろう材を付着させる工程は、超音波振動子内蔵はんだ鏝で超音波振動をろう材に加えながらフラックスを用いないで実行する請求項2,3又は4記載のスパッタリング用ターゲットの製造方法。
- 前記ターゲット材と前記バッキングプレートとを重ね合わせて接合する工程は、昇温したホットプレート上にて行い、接合後予め昇温した重りを載せて加圧しながら徐冷する請求項2,3,4又は5記載のスパッタリング用ターゲットの製造方法。
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