JP4356308B2 - Porous silica film, laminated substrate having the same, method for producing the same, and electroluminescence device - Google Patents
Porous silica film, laminated substrate having the same, method for producing the same, and electroluminescence device Download PDFInfo
- Publication number
- JP4356308B2 JP4356308B2 JP2002348812A JP2002348812A JP4356308B2 JP 4356308 B2 JP4356308 B2 JP 4356308B2 JP 2002348812 A JP2002348812 A JP 2002348812A JP 2002348812 A JP2002348812 A JP 2002348812A JP 4356308 B2 JP4356308 B2 JP 4356308B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- porous silica
- film
- silica film
- substrate
- water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多孔性シリカ膜、それを有する積層基板、それらの製造方法およびエレクトロルミネッセンス素子に関し、更に詳しくは、耐アルカリ水性に優れると共に、信頼性と光取り出し効率のよい多孔性シリカ膜および積層基板、それらの製造方法およびエレクトロルミネッセンス素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
次世代の電子ディスプレイとして特に期待されているものの一つに、有機ＥＬディスプレイがある。この有機ＥＬディスプレイは、図１に示すように、少なくとも透明基板２、透明電極（陽極）３、エレクトロルミネッセンス層４および陰極５をこの順に積層したエレクトロルミネッセンス素子１を有する自発光型のディスプレイである。このエレクトロルミネッセンス素子は、陽極である透明電極３から注入された正孔と陰極５から注入された電子とがエレクトロルミネッセンス層４で再結合し、その再結合エネルギーによって発光中心が励起され、発光するという発光原理を有する。
【０００３】
こうした有機ＥＬディスプレイにおいては、エレクトロルミネッセンス層４で発光した光が透明基板２側に効率的に取り出されることが好ましいが、図２に示すように、出射角の大きい光１１は、透明基板２と空気７との界面で全反射し、透明基板２の内部を面方向に全反射しながら進む導波光１２となる。こうした導波光１２により、透明基板２から取り出される光取り出し効率（エレクトロルミネッセンス層４で発生した光がエレクトロルミネッセンス素子１の外部取り出される割合のこと。）は２０％程度と低く、従来よりその改善が要請されている。
【０００４】
こうした問題に対し、図３に示すように、透明基板２のエレクトロルミネッセンス層４側に低屈折率層６を設けることにより、その低屈折率層６で出射角の大きい光１１を屈折させて導波光の発生を低減し、光取り出し効率を向上させることが検討されている。例えば、下記特許文献１には、シリカエアロゲル膜技術により形成された屈折率１．０１〜１．３の低屈折率層を有するエレクトロルミネッセンス素子が記載されている。
【０００５】
しかしながら、この特許文献１に記載の低屈折率層は、二酸化炭素等の揮発性超臨界液体をシリカと相分離させ、次いで蒸発させる方法により製造されるため、その低屈折率層内に粗大な孔が多数存在し、その低屈折率層の膜表面においても表面凹凸の最大値がおよそ４００ｎｍを超える形態となっている。このような形態からなる低屈折率層においては、その表面から水や有機物などの不純物が侵入し易く、その結果、低屈折率層の屈折率が大きくなり、導波光の発生が起こり易くなる等の問題が生じていた。特に、その低屈折率層上に透明電極をパターンニングにより形成する場合には、エッチング用のアルカリ水溶液が用いられるので、そのアルカリ水溶液は、低屈折率層内に侵入して膜質を劣化させたり、残留して屈折率を大きくしたり、徐々に放出されてエレクトロルミネッセンス素子の経時変化を引き起こしたりするという問題が生じるおそれがある。
【０００６】
このような問題に関連するものとして、下記特許文献２には、シリカエアロゲルの表面をヘキサメチルジシラザンなどで疎水化処理し、密度傾斜性のエアロゲルとして多孔質膜の耐湿性を向上させる方法が記載されている。
【０００７】
【特許文献１】
特開２００２−２７８４７７号公報（段落番号００１０〜００１２）
【特許文献２】
特開平９−１６９５１５号公報（段落番号０００６、００３０）
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
上記特許文献２に記載のシリカエアロゲルは、シリカエアロゲル膜の中間体であるゲル状化合物を、アルコキシシランまたは触媒の溶液を含浸するフィルタに当接させることにより製造され、そのフィルタとの当接面に緻密層が形成されるというものである。
【０００９】
しかしながら、そうして製造された密度傾斜性のシリカエアロゲルは、緻密層を表面に有するものの、その製法上、膜表面の凹凸が大きく、そもそも透明基板に密着性よく積層させること自体に問題がある。したがって、そのシリカエアロゲル膜上に透明電極をパターンニングにより形成する場合、透明基板とシリカエアロゲル膜との間の不十分な密着性に起因する剥離等の問題や、大きな表面凹凸に起因する透明電極のパターニング不良や短絡の発生等の問題が生じるおそれがある。
【００１０】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであって、第１の目的は、耐アルカリ水性に優れると共に、長期信頼性と光取り出し効率のよい多孔性シリカ膜および積層基板を提供することにある。また、本発明の第２の目的は、耐アルカリ水性に優れ、長期信頼性と光取り出し効率のよい多孔性シリカ膜および積層基板の製造方法を提供することにある。また、本発明の第３の目的は、信頼性に優れたエレクトロルミネッセンス素子を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究を行っている過程で、ガラス基板等の基板上にアルコキシシラン類の加水分解反応および脱水縮合反応（以下、加水分解縮合反応またはゾル−ゲル法と略すことがある。）を利用して低屈折率の多孔性シリカ膜を形成する際に、ｎ−ブタノール等の比較的低い親水性を有する有機化合物（この有機化合物を、親水性有機化合物という。）を含有させた含水有機溶液を用いて膜を形成した後、低級アルコール等の水溶性有機溶媒でその膜を洗浄したところ、膜中の親水性有機化合物が抽出されることにより、膜中に所望の空孔構造が形成された低屈折率の多孔性シリカ膜を形成できることを見出すと共にその表面が極めて平滑であることを見出した。さらに、本発明者らは、その多孔性シリカ膜の表面に例えばアンモニア蒸気を接触させることにより、表面層の加水分解縮合反応が促進され、表面凹凸の小さい緻密層が形成されることを見出し、本発明に到達した。
【００１２】
上記第１の目的を達成するための本発明の多孔性シリカ膜は、屈折率が１．１０〜１．３５であり、表面から深さ１００ｎｍ以内の表層領域に０〜１０ｎｍ径の空孔を有する緻密層が５〜１００ｎｍの厚さで存在し、熱重量測定−質量スペクトル分析において、炭素数１〜４のアルコール類のうち少なくとも一種の物質のピークを、その物質の７６０ｍｍＨｇにおける沸点よりも高温域で与えることを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、０〜１０ｎｍ径の空孔を有する緻密層が多孔性シリカ膜の表層領域に５〜１００ｎｍの厚さで存在するので、その緻密層が例えばアルカリ水等の浸透を抑制するように作用する。その結果、例えばこの多孔性シリカ膜を基板上に積層する工程中にアルカリ水等が使用される場合においても、長期信頼性に影響するおそれのあるアルカリ水等の不純物の含有を効果的に制限することができる。また、その緻密層は、表面から深さ１００ｎｍ以内の表層領域に５〜１００ｎｍの厚さで存在するので、多孔性シリカ膜の屈折率を大きくすることがなく、低屈折率層としての機能を維持することができる。こうした本発明の多孔性シリカ膜は、特に、多孔性シリカ膜上にＩＴＯ等の透明電極をパターニングするエレクトロルミネッセンス素子等の場合に好ましく用いられ、エレクトロルミネッセンス素子の長期信頼性を維持する上で極めて有効である。
【００１４】
本発明の多孔性シリカ膜において、前記多孔性シリカ膜は、全炭素濃度が０．１〜１０重量％であることが好ましい。
【００１５】
さらに、上記目的を達成するための本発明の積層基板は、基板上に上述した本発明の多孔性シリカ膜を有することを特徴とする。このとき、前記基板を透明にしたり、多孔性シリカ膜の表面に透明電極を形成した態様とすることができる。
【００１６】
上記第２の目的を達成するための第１態様に係る本発明の多孔性シリカ膜の製造方法は、加水分解反応および脱水縮合反応を起こすアルコキシシラン類を主体とした原料化合物と沸点８０℃以上の親水性有機化合物とを含む含水有機溶液から一次膜を形成する工程、前記一次膜を形成する含水有機溶液が加水分解反応および脱水縮合反応を起こして中間体膜が形成される工程、前記中間体膜に水溶性有機溶媒を接触させて多孔性シリカ膜を形成する工程、および、前記多孔性シリカ膜に加水分解反応および脱水縮合反応を促進させる触媒物質を接触させて当該多孔性シリカ膜の表層領域に緻密層を形成する工程、を含むことを特徴とする。
【００１７】
この発明によれば、アルコキシシラン類と沸点８０℃以上の親水性有機化合物を含む含水有機溶液を用いてゾル−ゲル法で中間体膜が形成され、その中間体膜中の親水性有機化合物が水溶性有機溶媒で抽出されることにより、所望の低屈折率を実現する空孔構造を持つ多孔性シリカ膜を形成でき、さらに、その多孔性シリカ膜の表面に加水分解縮合反応を促進する触媒物質を接触させることにより、表面凹凸の小さい緻密層の形成を実現している。本発明の積層基板の製造方法は、表層領域に緻密層を有する低屈折率層を、原料液である含水有機溶液に親水性有機化合物を含有させ、その親水性有機化合物を水溶性有機溶媒で抽出し、触媒物質を接触させるという、極めて簡便な手段および手順により形成することができる。
【００１８】
また、第２態様に係る本発明の多孔性シリカ膜の製造方法は、加水分解反応および脱水縮合反応を起こすアルコキシシラン類を主体とした原料化合物と沸点８０℃以上の親水性有機化合物とを含む含水有機溶液から一次膜を形成する工程、前記一次膜中の含水有機溶液が加水分解反応および脱水縮合反応を起こして中間体膜が形成される工程、前記中間体膜に加水分解反応および脱水縮合反応を促進させる触媒物質を接触させて当該中間体膜の表層領域に緻密層を形成する工程、および、前記中間体膜を乾燥させて前記の沸点８０℃以上の親水性有機化合物を除去して多孔性シリカ膜を形成する工程、を含むことを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、アルコキシシラン類と沸点８０℃以上の親水性有機化合物を含む含水有機溶液を用いてゾル−ゲル法で中間体膜が形成され、その中間体膜の表面に加水分解縮合反応を促進する触媒物質を接触させることにより、表面凹凸の小さい緻密層の形成を実現している。なお、この発明は、上記第１態様に係る製造方法とは異なり、緻密層を形成した後の中間体膜を乾燥させることにより、その中間体膜内の親水性有機化合物を除去し、所望の低屈折率を実現する空孔構造を持つ多孔性シリカ膜を形成している点において特徴がある。
【００２０】
また、第１及び第２態様に係る本発明の多孔性シリカ膜の製造方法においては、前記触媒物質が、酸類または塩基類であること、または、前記緻密層が、０〜１０ｎｍ径の空孔を有し、前記多孔性シリカ膜の表面から深さ１００ｎｍ以内の表層領域に５〜１００ｎｍの厚さで存在すること、が好ましい。
【００２１】
上記目的を達成するための本発明の積層基板の製造方法は、上述した第１及び第２態様に係る本発明の多孔性シリカ膜の製造方法において、前記含水有機溶液を基板上に塗布して一次膜を形成したことを特徴とする。このとき、前記基板が透明であることが好ましい。
【００２２】
この発明によれば、上述した優れた特性を有する本発明の積層基板を製造することができ、この方法で製造された積層基板をエレクトロルミネッセンス素子用として好ましく適用できる。
【００２３】
上記第３の目的を達成するための本発明のエレクトロルミネッセンス素子は、上述した本発明の積層基板を有し、当該積層基板上に、透明電極、エレクトロルミネッセンス層および陰極がこの順で積層されていることを特徴とするものである。
【００２４】
この発明によれば、エレクトロルミネッセンス素子の製造工程中の不純物、特に透明電極のパターニングの際のアルカリ水等が素子内に残留するのを抑制できるので、そうした不純物に基づいた経時変化を抑制でき、長期信頼性に優れたエレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。
【００２５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
（１）多孔性シリカ膜およびそれを有する積層基板
本発明の多孔性シリカ膜は、屈折率が１．１０〜１．３５であり、表面から深さ１００ｎｍ以内の表層領域に０〜１０ｎｍ径の空孔を有する緻密層が５〜１００ｎｍの厚さで存在することに特徴があり、また、本発明の積層基板は、図３および図４に示すように、基板２上に本発明に係る多孔性シリカ膜６を有するものである。
【００２６】
（多孔性シリカ膜）
図４は、本発明の積層基板の一例を示す断面図である。本発明を構成する多孔性シリカ膜６には、０〜１０ｎｍ径の空孔を有する緻密層８が、表面から深さ１００ｎｍ以内の表層領域に５〜１００ｎｍの厚さで形成されている。ここで、表面とは、多孔性シリカ膜の形成の際に使用される基板側でない側の多孔性シリカ膜の表面のことである。したがって、この多孔性シリカ膜６は、表面に形成された緻密層８と、緻密層８の下に形成された多孔性の本体層９とからなる複合構造となっている。なお、本発明において、多孔性シリカ膜６というときは、緻密層８と本体層９とを含めた全体を対象としているが、屈折率と空孔径について言及する場合には、本体層９と緻密層８とを識別する。
【００２７】
本発明において、緻密層が多孔性シリカ膜の表面から深さ１００ｎｍ以内の表層領域に形成されているので、水や任意の溶質を含む水溶液などの液体が多孔性シリカ膜内部の本体層に侵入するのを防ぐことができる。緻密層が表面から深さ１００ｎｍを超える領域に形成されることがあると、その部分には上述した液体が侵入してしまい、経時変化等の問題が起こることがある。なお、緻密層は、表面から深さ８０ｎｍ以内の表層領域に形成されていることが好ましく、６０ｎｍ以内であることがより好ましい。
【００２８】
また、本発明において、緻密層が５〜１００ｎｍの厚さで形成されているので、上述した液体が多孔性シリカ膜内部の本体層に侵入するのを効果的に防ぐことができると共に、屈折率のやや大きな緻密層に基づいた導波光の発生が起こらない。緻密層の厚さが５ｎｍ未満では、上述した液体の侵入を効果的に抑制することができず、厚さが１００ｎｍを超えると、緻密層に基づいた導波光の発生が起こることがある。なお、緻密層の厚さは、好ましくは１０〜８０ｎｍ、更に好ましくは２０〜７０ｎｍである。
【００２９】
また、本発明において、緻密層内の空孔径は０〜１０ｎｍで形成されているので、上述した液体が多孔性シリカ膜内部の本体層に侵入するのを効果的に防ぐことができる。緻密層内の空孔径が１０ｎｍを超えると、上述した液体がその空孔内を徐々に通り、多孔性シリカ膜の本体層に侵入してしまうことがある。
【００３０】
こうした特徴を有する緻密層の構造は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による電子像解析により評価される。例えば、電子線の加速電圧５ｋＶ、観察倍率５００００倍〜１０００００倍で解析される。ＳＥＭ観察試料としては、積層基板の試料を液体窒素で冷却して脆化させた状態で機械的衝撃を加え、そのときの脆性破壊面を用いた。この脆性破壊面には、試料表面の導電性を向上させる目的で一般に行われている金属や炭素等の導電性物質の薄膜を蒸着等を施さない。
【００３１】
緻密層内の空孔は、空隙像の観察により判別することができ、具体的には、試料の観察断面をＳＥＭの電子線方向に対して垂直に保持した際に、周囲の明度の０〜５０％である暗く観察される領域であって、その観察断面を任意の方向に±５度以内で変化させてもその明度が実質的に変化しない領域として観察される。こうして空隙像として判別される空孔の形状には特に制限はなく、円形、楕円形、扇形、紡錘状、多角形、短冊状、ひも状、不定曲線で囲まれた形状、星形状などを例示できる。そして、上述した空孔径は、こうした空隙像の幅で定義される。なお、空隙像の幅とは、空隙像と判定された形状においてその外周線上の任意の２点を結ぶ直線であって、その直線が図形の外周線を横切らないもののうち最長のものの長さで定義される。そして、こうした緻密層の構造は、与えられた積層基板の任意の異なる５カ所を解析して特定される。前記空隙像の幅は、多孔性シリカ膜平面に水平な複数の面で切り（ミクロトームによる切削で行う）、それらの面のＳＥＭ観察を前記同様の空隙率の観察基準で行い、適宜平均をとることにより同様に測定される。
【００３２】
多孔性シリカ膜の屈折率は１．１０〜１．３５である。この屈折率は、ＡＳＴＭ Ｄ−５４２に基づき、エリプソメーターによる測定で決定される屈折率であって、緻密層と本体層とを合わせた多孔性シリカ膜の全深さ方向の平均屈折率であり、２３℃でのナトリウムＤ線（５８９．３ｎｍ）に対する値で表される。多孔性シリカ膜からなる本体層においては、その空隙率が高いほど屈折率が小さくなるので、屈折率を小さくするほど導波光の発生を抑制して光取り出し効率を向上させることができるが、屈折率が１．１０未満では、空隙率が高いために機械的強度が不足することがある。こうした点を考慮した場合、屈折率の好ましい下限値は１．１３、更に好ましくは１．１５である。一方、屈折率が１．３５を超えると、導波光の発生を十分に抑制できなくなることがある。こうした点を考慮した場合、屈折率の好ましい上限値は１．３０、更に好ましくは１．２７である。
【００３３】
上述した屈折率を有する多孔性シリカ膜の本体層は１〜５０ｎｍの平均空孔径を有しており、光透過率と膜の機械的強度の観点から、平均空孔径の上限値が４０ｎｍであることが好ましく、３０ｎｍであることがより好ましく、２０ｎｍであることが最も好ましい。一方、平均空孔径の下限値は、光透過率と屈折率の観点から、２ｎｍであることが好ましく、３ｎｍであることがより好ましい。平均空孔径が１ｎｍ未満では、屈折率が大きくなって導波光の発生を抑制することができず、光取り出し効率を十分に向上させることができない。平均空孔径は、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）または走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）による観察像の解析により評価される。
【００３４】
本発明の多孔性シリカ膜の空孔の形状に特に制限はなく、可能な形状としては独立気泡、トンネル状、独立気泡が連通した連通孔などが例示できるが、屈折率と機械的強度の点で好ましいのは、独立気泡が連通した連通孔である。トンネル状や独立気泡が連通した連通孔の場合における平均空孔径は、それらの幅の平均値として定義される。
【００３５】
なお、多孔性シリカ膜は、その表面、すなわち上述した緻密層表面の凹凸の最大値が通常１００ｎｍ以下であり、好ましくは５０ｎｍ以下、更に好ましくは３０ｎｍ以下である。なお、表面凹凸の最大値の下限値は、現実的には１０ｎｍ程度である。表面の凹凸は、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を用いて測定される。具体的には、与えられた多孔性シリカ膜表面の任意の５カ所を選び、その１００μｍ四方の領域をＡＦＭで観察して評価する。また、表面凹凸の最大値は、ＳＥＭによる断面の電子像写真を解析することによっても決定することができる。この場合は、電子線の加速電圧５ｋＶ、観察倍率１０００倍〜１００００倍の電子顕微鏡写真を撮り、その断面の山頂部と谷底部との差で決定することができる。なお、ＳＥＭ観察試料としては、この多孔性シリカ膜を基板上に形成した際の積層基板を試料として用い、その試料を液体窒素で冷却して脆化させた状態で機械的衝撃を加え、そのときの脆性破壊面を用いた。この脆性破壊面には、試料表面の導電性を向上させる目的で一般に行われている金属や炭素等の導電性物質の薄膜を蒸着等しないものを試料とした。
【００３６】
本発明の多孔性シリカ膜は、酸化ケイ素（ＳｉＯ２）組成を主体とするものである。なお、このシリカ膜には、例えばゾル−ゲル法によるシリカ合成において有機シラン類を共重合するなどの方法でシリカ組成の一部にケイ素原子−炭素原子結合が存在してＳｉＯｘ組成（但し、ｘは０を超え２未満の正数である）となるものも含まれる。
【００３７】
このシリカ膜には、陽性元素を含む任意の化学組成（付加組成と略すことがある。）が含有されていてもよい。例えば、酸化イットリウム、酸化ランタン、酸化セリウム、酸化プラセオジム、酸化サマリウム、酸化ユウロピウム、酸化ガドリニウム、酸化テルビウム、酸化ジスプロシウム、酸化ホルミウム、酸化エルビウム、酸化ツリウム、酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化クロム、酸化マンガン、酸化鉄、酸化コバルト、酸化ニッケル、酸化銅、酸化亜鉛、酸化カドミウム、酸化ガリウム、酸化インジウム、酸化ゲルマニウム、酸化スズ、酸化鉛等の遷移金属酸化物組成；酸化リチウム、酸化ナトリウム、酸化カリウム、酸化ルビジウム、酸化セシウム等の酸化アルカリ金属組成；酸化マグネシウム、酸化カルシウム、酸化ストロンチウム、酸化バリウム等の酸化アルカリ土類金属組成；酸化ホウ素組成；酸化アルミニウム組成；等を挙げることができる。この他、カルコゲナイドガラス組成、フッ化ガラス組成等の公知の無機ガラス組成も挙げることができる。
【００３８】
多孔性シリカ膜を構成する酸化ケイ素組成は、ケイ素を含む全ての陽性元素に対するケイ素の割合が５０〜１００モル％となる割合で含有される。このケイ素の含有割合が５０モル％未満では、多孔性シリカ膜の屈折率が極端に大きくなったり、多孔性シリカ膜の機械的強度が極端に低下することがある。好ましい下限値としては、７０モル％、更に好ましくは８０モル％、最も好ましくは９０モル％であり、ケイ素の含有割合が高いほど良質の多孔性シリカ膜が形成される。
【００３９】
こうした組成の多孔性シリカ膜の化学組成は、機械的に掻き取った試料を熱重量測定−質量スペクトル（ＴＧ−ＭＳ）分析することによって特定することができる。本発明の多孔性シリカ膜は、ＴＧ−ＭＳ分析により、炭素数１〜４のアルコール類のうち少なくとも一種の物質のピークが、その対応する物質の７６０ｍｍＨｇにおける沸点よりも高温域で与えられるものとして特定される。
【００４０】
こうして特定される多孔性シリカ膜は、脆さが低減されて機械的性質が改善され、その多孔性シリカ膜を製膜する際の下地基板となる基板への密着性にも優れている。この理由については現時点では明らかではないが、多孔性シリカ膜に残存する炭素数１〜４のアルコキシ基及び／又はアルコール類が、多孔性シリカ膜に適度の機械的強度と基板への密着性をもたらしていると考えられる。このとき、アルコール類がメタノールまたはエタノールであることが好ましい。ＴＧ−ＭＳ分析において、炭素数１〜４の低級アルコール類のピークが、その物質の７６０ｍｍＨｇにおける沸点よりも高温域で出現する理由は、本発明の多孔性シリカ膜の空孔径が均一且つ非常に小さいため、その低級アルコール類の分子が多孔性シリカ膜の外に脱出するためには通常よりも大きなエネルギーを要するため、あるいは、炭素数１〜４のアルコール類が存在し、これと多孔性シリカ膜との間に水素結合などの何らかの相互作用が働いているためではないかと推察される。こうした現象は、本発明の多孔性シリカ膜の優れた特性（例えば、光線透過率や機械的強度など）と密接に相関していると考えられる。
【００４１】
多孔性シリカ膜中の全炭素濃度は、０．１〜１０重量％（質量％と同義。）であることが望ましい。全炭素濃度が１０重量％を超えると、有機物が実質的に残存していることになるので、残存する有機物の放出が経時的に起こり、例えばエレクトロルミネッセンス素子等に利用された場合には発光特性の経時的安定性が悪化する。一方、全炭素濃度が０．１重量％未満の場合は、多孔性シリカ膜の機械的強度が極端に低下することがある。多孔性シリカ膜の全炭素濃度の上限値は、好ましくは８重量％、更に好ましくは５％であり、下限値は、好ましくは０．２重量％、更に好ましくは０．３重量％である。多孔性シリカ膜の全炭素濃度は、市販の全炭素濃度測定装置（例えば、島津製作所製のＴＯＣ５０００など）を用い、多孔性シリカ膜の試験試料を１４５０℃に加熱した際に発生するガス中の炭素量を分析して決定される。
【００４２】
さらに、上述した多孔性シリカ膜は、耐薬品性にも優れている。具体的には、多孔性シリカ膜が形成された本発明の積層基板を、２３℃の２０重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に６０秒間浸漬し次いで水洗した場合、その前後において、多孔性シリカ膜の膜厚変化が０〜１０％、好ましくは０〜８％、更に好ましくは０〜５％となる。このように耐薬品性に優れるのは、上述した緻密層が形成されているからである。多孔性シリカ膜の膜厚は、断面のＳＥＭ観察により決定される。
【００４３】
（多孔性シリカ膜を有する積層基板）
本発明の積層基板は、基板２上に本発明に係る多孔性シリカ膜６を有するものである。多孔性シリカ膜については上述したとおりである。
【００４４】
本発明の積層基板を、例えばエレクトロルミネッセンス素子に用いる場合、透明であることが好ましく、積層基板を構成する基板としては、その屈折率が１．４〜１．９、好ましくは１．４５〜１．７０、更に好ましくは１．４７〜１．６５、最も好ましくは１．４８〜１．６０の範囲のものが用いられる。この屈折率は、ＡＳＴＭ Ｄ−５４２に基づき、エリプソメーターによる測定で決定される全深さ方向の平均屈折率であり、２３℃でのナトリウムＤ線（５８９．３ｎｍ）に対する値で表される。こうした屈折率を有する基板としては、汎用材料からなる透明基板を用いることができる。例えば、ＢＫ７、ＳＦ１１、ＬａＳＦＮ９、ＢａＫ１、Ｆ２等の各種ショットガラス、合成フューズドシリカガラス、光学クラウンガラス、低膨張ボロシリケートガラス、サファイヤ、ソーダガラス、無アルカリガラス等のガラス、ポリメチルメタクリレートや架橋アクリレート等のアクリル樹脂、ビスフェノールＡポリカーボネート等の芳香族ポリカーボネート樹脂、ポリスチレン等のスチレン樹脂、ポリシクロオレフィン等の非晶性ポリオレフィン樹脂、エポキシ樹脂等の合成樹脂を挙げることができる。これらのうち、ＢＫ７、ＢａＫ１等のショットガラス、合成フューズドシリカガラス、光学クラウンガラス、低膨張ボロシリケートガラス、ソーダガラス、無アルカリガラス、アクリル樹脂、芳香族ポリカーボネート樹脂、非晶性ポリオレフィン樹脂が好ましく、ＢＫ７のショットガラス、合成フューズドシリカガラス、光学クラウンガラス、低膨張ボロシリケートガラス、ソーダガラス、無アルカリガラス、アクリル樹脂、芳香族ポリカーボネート樹脂が特に好ましい。
【００４５】
本発明の積層基板において、基板の厚さは、通常、０．１〜１０ｍｍである。なお、基板の厚さの下限値としては、機械的強度とガスバリヤ性の観点から、０．２ｍｍが好ましく、０．３ｍｍがより好ましい。一方、基板の厚さの上限値としては、軽量性と光線透過率の観点から、５ｍｍが好ましく、３ｍｍがより好ましい。
【００４６】
基板の透過率については、後述する多孔性シリカ膜と併せた積層基板の透過率で測定した場合に、積層基板の透過率が、ナトリウムＤ線波長（５８９．３ｎｍ）において８０％以上となることが好ましく、８５％以上となることがより好ましく、９０％以上となることが更に好ましい。
【００４７】
（多孔性シリカ膜および積層基板の製造方法）
多孔性シリカ膜は、以下の工程により形成される。▲１▼多孔性シリカ膜形成用の原料液を準備する工程、▲２▼その原料液を基板上に塗布して一次膜を形成する工程、▲３▼塗布された一次膜が高分子量化して中間体膜が形成される工程、▲４▼中間体膜に水溶性有機溶媒を接触させて多孔性シリカ膜を形成する工程、▲５▼多孔性シリカ膜に加水分解縮合反応を促進させる触媒物質を接触させて多孔性シリカ膜の表層領域に緻密層を形成する工程、▲６▼多孔性シリカ膜を洗浄する工程、▲７▼多孔性シリカ膜を乾燥する工程、▲８▼シリル化工程。以下、各工程について説明する。
【００４８】
▲１▼多孔性シリカ膜形成用の原料液を準備する工程；
多孔性シリカ膜形成用の原料液は、アルコキシシラン類を主体とするものであり、加水分解反応および脱水縮合反応により高分子量化を起こすことができる原料化合物を含む含水有機溶液である。
【００４９】
原料液である含水有機溶液は、アルコキシシラン類、親水性有機溶媒、水、および、必要に応じて加えられる触媒を含有する。
【００５０】
アルコキシシラン類としては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトラ（ｎ−プロポキシ）シラン、テトライソプロポキシシラン、テトラ（ｎ−ブトキシ）シラン等のテトラアルコキシシラン類、トリメトキシシラン、トリエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン等のトリアルコキシシラン類、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン等のジアルコキシシラン類、ビス（トリメトキシシリル）メタン、ビス（トリエトキシシリル）メタン、１，２−ビス（トリメトキシシリル）エタン、１，２−ビス（トリエトキシシリル）エタン、１，４−ビス（トリメトキシシリル）ベンゼン、１，４−ビス（トリエトキシシリル）ベンゼン、１，３，５−トリス（トリメトキシシリル）ベンゼン等の有機残基が２つ以上のトリアルコキシシリル基を結合したもの、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシジルオキシプロピルトリエトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、３−アクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、３−カルボキシプロピルトリメトキシシランなどのケイ素原子に置換するアルキル基が反応性官能基を有するものが挙げられ、更にこれらの部分加水分解物やオリゴマーであってもよい。
【００５１】
これらの中でも特に好ましいのが、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、トリメトキシシラン、トリエトキシシラン、テトラメトキシシラン若しくはテトラエトキシシランのオリゴマーである。特に、テトラメトキシシランのオリゴマーは、反応性とゲル化の制御性から最も好ましく用いられる。
【００５２】
さらに、前記アルコキシシラン類には、ケイ素原子上に２〜３個の水素、アルキル基又はアリール基を持つモノアルコキシシラン類を混合することも可能である。モノアルコキシシラン類を混合することにより、得られる多孔性シリカ膜を疎水化して耐水性を向上させることができる。モノアルコキシシラン類としては、例えば、トリエチルメトキシシラン、トリエチルエトキシシラン、トリプロピルメトキシシラン、トリフェニルメトキシシラン、トリフェニルエトキシシラン、ジフェニルメチルメトキシシラン、ジフェニルメチルエトキシシラン、等が挙げられる。モノアルコキシシラン類の混合量は、全アルコキシシラン類の７０モル％以下となるようにすることが望ましい。その混合量が７０モル％を超えると、ゲル化しない場合がある。
【００５３】
また、（３，３，３−トリフルオロプロピル）トリメトキシシラン、（３，３，３−トリフルオロプロピル）トリエトキシシラン、ペンタフルオロフェニルトリメトキシシラン、ペンタフルオロフェニルトリエトキシシラン等のフッ化アルキル基やフッ化アリール基を有するアルコキシシラン類を併用すると、優れた耐水性、耐湿性、耐汚染性等が得られる場合がある。
【００５４】
この原料液において、オリゴマーとは、架橋、カゴ型分子（シルセスキオキサンなど）でもよい。実用的には、含水有機溶液が含む縮合物の程度の上限として、溶液の透明性が、例えば波長４００ｎｍ、２３℃、光路長１０ｍｍの光線透過率として、９０〜１００％の範囲のものが好ましく用いられる。溶液の光線透過率の下限値は、好ましくは９２％以上、更に好ましくは９５％以上である。
【００５５】
なお、上記した原料液を塗布する際には、すでにある程度の高分子量化（つまり縮合がある程度進んだ状態）が達成されていることが必要であり、その高分子量化の程度としては、見た目に不溶物ができない程度の高分子量化が達成されていることが好ましい。その理由としては、塗布前の原料液中に目視可能な不溶物が存在していると、大きな表面凹凸が確実にでき膜質を低下させてしまうからである。
【００５６】
有機溶媒は、原料液を構成するアルコキシシラン類、水、および後述する、沸点８０℃以上の親水性有機化合物を混和させる能力を持つものが好ましく用いられる。使用可能な有機溶媒としては、炭素数１〜４の一価アルコール、炭素数１〜４の二価アルコール、グリセリンやペンタエリスリトールなどの多価アルコール等のアルコール類；ジエチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、２−エトキシエタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等、前記アルコール類のエーテルまたはエステル化物；アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン類；ホルムアミド、Ｎ−メチルホルムアミド、Ｎ−エチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルホルムアミド、Ｎ−メチルアセトアミド、Ｎ−エチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、Ｎ−ホルミルモルホリン、Ｎ−アセチルモルホリン、Ｎ−ホルミルピペリジン、Ｎ−アセチルピペリジン、Ｎ−ホルミルピロリジン、Ｎ−アセチルピロリジン、Ｎ，Ｎ’−ジホルミルピペラジン、Ｎ，Ｎ’−ジホルミルピペラジン、Ｎ，Ｎ’−ジアセチルピペラジンなどのアミド類；γ−ブチロラクトンのようなラクトン類；テトラメチルウレア、Ｎ，Ｎ’−ジメチルイミダゾリジンなどのウレア類；ジメチルスルホキシドなどが挙げられる。これらの水溶性有機溶媒を、単独または混合物として用いてもよい。この中で、基板への成膜性（特に、揮発性）の点で好ましい有機溶媒としては、アセトン、メチルエチルケトン、炭素数１〜４の一価アルコールなどが挙げられる。中でも、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロピルアルコール、アセトンが更に好ましく、メタノールまたはエタノールが最も好ましい。
【００５７】
沸点が８０℃以上の親水性有機化合物とは、水酸基、カルボニル基、エーテル結合、エステル結合、カーボネート結合、カルボキシル基、アミド結合、ウレタン結合、尿素結合等の親水性官能基を分子構造中に有する有機化合物のことである。この親水性有機化合物には、これらのうちの複数個の親水性官能基を分子構造中に有していてもよい。ここでいう沸点とは、７６０ｍｍＨｇの圧力下での沸点である。沸点が８０℃に満たない親水性有機化合物を用いた場合には、多孔性シリカ膜の空孔率が極端に減少することがある。沸点が８０℃以上の親水性有機化合物としては、炭素数３〜８のアルコール類、炭素数２〜６の多価アルコール類、フェノール類を好ましく挙げることができる。より好ましい親水性有機化合物としては、炭素数３〜８のアルコール類、炭素数２〜８のジオール類、炭素数３〜８のトリオール類、炭素数４〜８のテトラオール類が挙げられる。更に好ましい親水性有機化合物としては、ｎ−ブタノール、イソブチルアルコール、ｔ−ブチルアルコール、ｎ−ペンタノール、シクロペンタノール、ｎ−ヘキサノール、シクロヘキサノール、ベンジルアルコール等の炭素数４〜７のアルコール類、エチレングリコール、プロピレングリコール、１，４−ブタンジオール等の炭素数２〜４のジオール類、グリセロールやトリスヒドロキシメチルエタン等の炭素数３〜６のトリオール類、エリスリトールやペンタエリストール等の炭素数４〜５のテトラオール類が挙げられる。この親水性有機化合物において、炭素数が大すぎると、親水性が低下しすぎる場合がある。
【００５８】
触媒は、必要に応じて配合される。触媒としては、上述したアルコキシシラン類の加水分解および脱水縮合反応を促進させる物質を挙げることができる。具体例としては、塩酸、硝酸、硫酸、ギ酸、酢酸、シュウ酸、マレイン酸などの酸類；アンモニア、ブチルアミン、ジブチルアミン、トリエチルアミン等のアミン類；ピリジンなどの塩基類；アルミニウムのアセチルアセトン錯体などのルイス酸類；などが挙げられる。
【００５９】
触媒として用いる金属キレート化合物の金属種としては、チタン、アルミニウム、ジルコニウム、スズ、アンチモン等が挙げられる。具体的な金属キレート化合物としては、例えば以下のようなものが挙げられる。
【００６０】
アルミニウム錯体としては、ジ−エトキシ・モノ（アセチルアセトナート）アルミニウム、ジ−ｎ−プロポキシ・モノ（アセチルアセトナート）アルミニウム、ジ−イソプロポキシ・モノ（アセチルアセトナート）アルミニウム、ジ−ｎ−ブトキシ・モノ（アセチルアセトナート）アルミニウム、ジ−ｓｅｃ−ブトキシ・モノ（アセチルアセトナート）アルミニウム、ジ−ｔｅｒｔ−ブトキシ・モノ（アセチルアセトナート）アルミニウム、モノエトキシ・ビス（アセチルアセトナート）アルミニウム、モノ−ｎ−プロポキシ・ビス（アセチルアセトナート）アルミニウム、モノイソプロポキシ・ビス（アセチルアセトナート）アルミニウム、モノ−ｎ−ブトキシ・ビス（アセチルアセトナート）アルミニウム、モノ−ｓｅｃ−ブトキシ・ビス（アセチルアセトナート）アルミニウム、モノ−ｔｅｒｔ−ブトキシ・ビス（アセチルアセトナート）アルミニウム、トリス（アセチルアセトナート）アルミニウム、ジエトキシ・モノ（エチルアセトアセテート）アルミニウム、ジ−ｎ−プロポキシ・モノ（エチルアセトアセテート）アルミニウム、ジイソプロポキシ・モノ（エチルアセトアセテート）アルミニウム、ジ−ｎ−ブトキシ・モノ（エチルアセトアセテート）アルミニウム、ジ−ｓｅｃ−ブトキシ・モノ（エチルアセトアセテート）アルミニウム、ジ−ｔｅｒｔ−ブトキシ・モノ（エチルアセトアセテート）アルミニウム、モノエトキシ・ビス（エチルアセトアセテート）アルミニウム、モノ−ｎ−プロポキシ・ビス（エチルアセトアセテート）アルミニウム、モノイソプロポキシ・ビス（エチルアセトアセテート）アルミニウム、モノ−ｎ−ブトキシ・ビス（エチルアセトアセテート）アルミニウム、モノ−ｓｅｃ−ブトキシ・ビス（エチルアセトアセテート）アルミニウム、モノ−ｔｅｒｔ−ブトキシ・ビス（エチルアセトアセテート）アルミニウム、トリス（エチルアセトアセテート）アルミニウム等のアルミニウムキレート化合物等を挙げることができる。
【００６１】
チタン錯体としては、トリエトキシ・モノ（アセチルアセトナート）チタン、トリ−ｎ−プロポキシ・モノ（アセチルアセトナート）チタン、トリイソプロポキシ・モノ（アセチルアセトナート）チタン、トリ−ｎ−ブトキシ・モノ（アセチルアセトナート）チタン、トリ−ｓｅｃ−ブトキシ・モノ（アセチルアセトナート）チタン、トリ−ｔｅｒｔ−ブトキシ・モノ（アセチルアセトナート）チタン、ジエトキシ・ビス（アセチルアセトナート）チタン、ジ−ｎ−プロポキシ・ビス（アセチルアセトナート）チタン、ジイソプロポキシ・ビス（アセチルアセトナート）チタン、ジ−ｎ−ブトキシ・ビス（アセチルアセトナート）チタン、ジ−ｓｅｃ−ブトキシ・ビス（アセチルアセトナート）チタン、ジ−ｔｅｒｔ−ブトキシ・ビス（アセチルアセトナート）チタン、モノエトキシ・トリス（アセチルアセトナート）チタン、モノ−ｎ−プロポキシ・トリス（アセチルアセトナート）チタン、モノイソプロポキシ・トリス（アセチルアセトナート）チタン、モノ−ｎ−ブトキシ・トリス（アセチルアセトナート）チタン、モノ−ｓｅｃ−ブトキシ・トリス（アセチルアセトナート）チタン、モノ−ｔｅｒｔ−ブトキシ・トリス（アセチルアセトナート）チタン、テトラキス（アセチルアセトナート）チタン、トリエトキシ・モノ（エチルアセトアセテート）チタン、トリ−ｎ−プロポキシ・モノ（エチルアセトアセテート）チタン、トリイソプロポキシ・モノ（エチルアセトアセテート）チタン、トリ−ｎ−ブトキシ・モノ（エチルアセトアセテート）チタン、トリ−ｓｅｃ−ブトキシ・モノ（エチルアセトアセテート）チタン、トリ−ｔｅｒｔ−ブトキシ・モノ（エチルアセトアセテート）チタン、ジエトキシ・ビス（エチルアセトアセテート）チタン、ジ−ｎ−プロポキシ・ビス（エチルアセトアセテート）チタン、ジイソプロポキシ・ビス（エチルアセトアセテート）チタン、ジ−ｎ−ブトキシ・ビス（エチルアセトアセテート）チタン、ジ−ｓｅｃ−ブトキシ・ビス（エチルアセトアセテート）チタン、ジ−ｔｅｒｔ−ブトキシ・ビス（エチルアセトアセテート）チタン、モノエトキシ・トリス（エチルアセトアセテート）チタン、モノ−ｎ−プロポキシ・トリス（エチルアセトアセテート）チタン、モノイソプロポキシ・トリス（エチルアセトアセテート）チタン、モノ−ｎ−ブトキシ・トリス（エチルアセトアセテート）チタン、モノ−ｓｅｃ−ブトキシ・トリス（エチルアセトアセテート）チタン、モノ−ｔｅｒｔ−ブトキシ・トリス（エチルアセトアセテート）チタン、テトラキス（エチルアセトアセテート）チタン、モノ（アセチルアセトナート）トリス（エチルアセトアセテート）チタン、ビス（アセチルアセトナート）ビス（エチルアセトアセテート）チタン、トリス（アセチルアセトナート）モノ（エチルアセトアセテート）チタン等を挙げることができる。
【００６２】
また、これらの触媒以外に、弱アルカリ性の化合物、例えばアンモニアなどの塩基性の触媒を使用してもよい。この際には、シリカ濃度調整、有機溶媒種等を適宜調整することが好ましい。また、含水有機溶液を調整する際には、溶液中の触媒濃度を急激に増加させないことが好ましい。具体例としては、アルコキシシラン類と有機溶媒の一部を混合し、次いでこれに水を混合し、最後に残余の有機溶媒、および塩基を混合するという順序にて混合する方法が挙げられる。
【００６３】
特に、高揮発性で除去が容易な塩酸や、アルミニウムのアセチルアセトン錯体などのルイス酸類が好ましい。触媒の添加量は、アルコキシシラン類１モルに対して、通常０．００１〜１モル、好ましくは０．０１〜０．１モルである。触媒の添加量が１モルを超えると、粗大ゲル粒子からなる沈殿物が生成し、均一な多孔性シリカ膜が得られない場合がある。
【００６４】
本発明の多孔性シリカ膜形成用の原料液は、上述した原料を配合して形成される。アルコキシシラン類の配合割合は、原料液全体に対して、１０〜６０重量％であることが好ましく、２０〜４０重量％であることがより好ましい。アルコキシシラン類の配合割合が６０重量％を超える場合には、成膜時に多孔性シリカ膜が割れることがある。一方、アルコキシシラン類の配合割合が１０重量％未満の場合は、加水分解反応および脱水縮合反応が極端に遅くなり、成膜性の悪化（膜ムラ）が起きることがある。
【００６５】
水は、使用するアルコキシシラン類の重量の０．０１〜１０倍、好ましくは０．０５〜７倍、更に好ましくは０．０７〜５倍配合される。水の配合量がアルコキシシラン類の重量の０．０１倍未満の場合には、加水分解縮合反応の進行度が不十分となり、膜が白濁することがある。一方、水の配合量がアルコキシシラン類の重量の１０倍を超える場合には、原料液の表面張力が極端に大きくなり、成膜性が悪く（液のハジキ等）なることがある。
【００６６】
水は、アルコキシシラン類の加水分解に必要であり、目的である多孔性シリカ膜の造膜性向上という観点から重要である。よって好ましい水の量をアルコキシド基量に対するモル比で規定すると、アルコキシシラン中のアルコキシド基１モルに対して０．１〜１．６モル倍量、中でも０．３〜１．２モル倍量、特に０．５〜０．７モル倍量であることが好ましい。
【００６７】
水の添加はアルコキシシラン類を有機溶媒に溶解させた後であればいつでもよいが、望ましくはアルコキシシラン類、触媒およびその他の添加物を十分、溶媒に分散させた後、水を添加する方が最も好ましい。
【００６８】
用いる水の純度は、イオン交換、蒸留、いずれか一方または両方の処理をしたものを用いればよい。本発明の多孔性シリカ膜を半導体材料や光学材料など、微小不純物を特に嫌う用途分野に用いる際には、より純度の高い多孔性シリカ膜が必要とされるため、蒸留水をさらにイオン交換した超純水を用いるのが望ましく、この際には例えば０．０１〜０．５μｍの孔径を有するフィルターを通した水を用いればよい。
【００６９】
含水有機溶液に沸点８０℃以上の親水性有機化合物を用いる際には、沸点８０℃以上の親水性有機化合物の含有量が、有機溶媒と沸点８０℃以上の親水性有機化合物の合計含有量に対して、特定量以下であることが重要である。この合計含有量に対する、沸点８０℃以上の親水性有機化合物の含有量は９０重量％以下であり、好ましくは８５重量％以下である。
【００７０】
沸点８０℃以上の親水性有機化合物の配合割合が少なすぎると、多孔性シリカ膜の空孔率が極端小さくなり、多孔性シリカ膜の低屈折率化を達成することが困難な場合があるので、一般的には有機溶媒と沸点８０℃以上の親水性有機化合物の合計含有量の３０重量％以上、中でも５０重量％以上、特に６０重量％以上であることが好ましい。一方、親水性有機化合物の配合割合が該合計含有量の９０重量％を超える場合には、成膜途中で塗膜が白濁したり、多孔性シリカ膜が割れることがある。よって含水有機溶液における沸点８０℃以上の親水性有機化合物の含有量は、該合計含有量の３０重量％以上９０重量％以下、中でも５０重量％以上８５重量％以下、特に６０重量％以上８５重量％以下であることが好ましい。
【００７１】
塗布液の調製における雰囲気温度や、混合順序は任意であるが、塗布液中での均一な構造形成を得るため、水は最後に混合するのが好ましい。また、塗布液中でのシリコンアルコキシドの極端な加水分解や縮合反応を抑えるため、塗布液の調整は０〜６０℃、中でも１５〜４０℃、特に１５〜３０℃の温度範囲条件下で行うことが好ましい。
【００７２】
調液時においては、塗布液の攪拌操作は任意であるが、混合毎にスターラーにより攪拌を行うのがより好ましい。
【００７３】
さらに塗布液調整後、シリコンアルコキシド類を加水分解、脱水縮合反応を進行させるため、溶液の熟成をすることが好ましい。この熟成期間中においては、生成するシリコンアルコキシド類の加水分解縮合物が、塗布液内においてより均一に分散した状態であることが好ましいので、液を攪拌することが好ましい。
【００７４】
熟成期間中の温度は任意であり、一般的には室温、若しくは連続的または断続的に加熱してもよい。中でも、シリコンアルコキシド類の加水分解縮合物による３次元ナノポーラス構造を形成させるために、急速な加熱熟成を行うことが好ましい。さらに、加熱熟成する際には、塗布液調整直後の加熱熟成が好ましく、塗布液調整後１５日以内、更には１２日以内、中でも３日以内、特に１日以内の加熱熟成開始が好ましい。
【００７５】
具体的には、４０〜７０℃で１〜５時間の加速熟成が好ましく、その際、均一なポーラス構造を得るため、攪拌を行うことが好ましい。特に多孔化という観点では、６０℃近傍の温度で２〜３時間の加速熟成が好ましい。
【００７６】
原料液の粘度は、０．１〜１０００センチポイズ、好ましくは０．５〜５００センチポイズ、さらに好ましくは１〜１００センチポイズであり、この範囲の粘度の原料液を用いることが製造上の観点から好ましい。
【００７７】
▲２▼原料液から一次膜を形成する工程；
一次膜は、原料液である含水有機溶液を基板上に塗布して形成される。基板としては、シリコン、ゲルマニウム等の半導体、ガリウム−砒素、インジウム−アンチモン等の化合物半導体、セラミックス、金属等の基板、さらにはガラス基板、合成樹脂基板等の透明基板等が挙げられる。
【００７８】
本発明の多孔性シリカ膜を基板上に形成する際、基板表面の性質が多孔性シリカ膜の性質を左右する可能性がある。よって基板表面の洗浄だけではなく、場合によっては基板の表面処理を行ってもよい。基板表面洗浄としては、硫酸、塩酸、硝酸、燐酸等の酸類、水酸化ナトリウム水溶液等のアルカリ類、過酸化水素と濃硫酸、塩酸、アンモニア等の酸化性を有する混合液への浸漬処理が挙げられる。特に多孔性シリカ膜との密着性という観点からは、シリコン基板、透明ガラス基板に対して硫酸、硝酸等の酸類による表面処理を行うことがより好ましい。
【００７９】
原料液を塗布する手段としては、原料液をバーコーター、アプリケーターまたはドクターブレードなどを使用して基板上に延ばす流延法、原料液に基板を浸漬し引き上げるディップ法、または、スピンコート法などの周知を挙げることができる。これらの手段のうち、流延法とスピンコート法が原料液を均一に塗布することができるので好ましく採用される。
【００８０】
流延法で原料液を塗布する場合における流延速度は、０．１〜１０００ｍ／分、好ましくは０．５〜７００ｍ／分、更に好ましくは１〜５００ｍ／分である。
【００８１】
スピンコート法で原料液を塗布形成する場における回転速度は、１０〜１０００００回転／分、好ましくは５０〜５００００回転／分、更に好ましくは１００〜１００００回転／分である。
【００８２】
ディップコート法においては、任意の速度で、基板を塗布液に浸漬し引き上げればよい。この際の引き上げ速度は０．０１〜５０ｍｍ／秒、中でも０．０５〜３０ｍｍ／秒、特に０．１〜２０mm／秒の速度で引き上げるのが好ましい。基板を塗布液中に浸漬する速度に制限はないが、引き上げ速度と同程度の速度で基板を塗布液中に浸漬することが好ましい場合がある。基板を塗布液中に浸漬し引き上げるまでの間、適当な時間浸漬を継続してもよく、この継続時間は通常１秒〜４８時間、好ましくは３秒〜２４時間、更に好ましくは５秒〜１２時間である。
【００８３】
また、塗布中の雰囲気は、空気中又は窒素やアルゴン等の不活性気体中でもよく、温度は通常０〜６０℃、好ましくは１０〜５０℃、更に好ましくは２０〜４０℃であり、雰囲気の相対湿度は通常５〜９０％、好ましくは１０〜８０％、更に好ましくは１５〜７０％である。なお、ディップコート法ではスピンコート法に比べ、乾燥速度が遅いため、塗布後のゾルーゲル反応でより歪みの少ない安定な膜を形成する傾向にある。従って、基板の表面処理により好ましく膜構造を制御できる場合がある。
【００８４】
成膜温度は、０〜１００℃、好ましくは１０〜８０℃、更に好ましくは２０〜７０℃である。
【００８５】
▲３▼塗布された膜が高分子量化されて中間体膜が形成される工程；
塗布された膜は高分子量化され、中間体膜が形成される。この反応はいわゆるゾル−ゲル法と呼ばれ、その素反応は、アルコキシシラン類の加水分解反応、その加水分解反応で生成するシラノール基同士の脱水縮合反応の二つの素反応からなる。
【００８６】
加水分解反応は、水を添加することによって引き起こされるが、水は液体のまま、アルコール水溶液として、または、水蒸気として加えることができ特に限定されない。水の添加を急激に行うと、アルコキシシランの種類によっては加水分解反応と脱水縮合反応とが速く起こりすぎ、沈殿が生じることがある。そのため、そのような沈殿が起こらないように、水の添加に十分な時間をかけること、アルコール溶媒を共存させて水を均一に添加する状態にすること、水を低温で添加して添加時の反応を抑制すること、等の手段を単独でまたは組み合わせて用いることが好ましい。
【００８７】
ゾル−ゲル法によるアルコキシシラン類の加水分解縮合反応が進行すると、アルコキシシラン類の縮合物が徐々に高分子量化する。加水分解縮合反応においては、相平衡の変化に起因すると考えられる相分離が起こる場合があるが、本発明においては、原料液の組成、使用するアルコキシシラン類および沸点８０℃以上の親水性有機化合物の親水性の程度の兼ね合いにより、相分離がナノメートルスケールで起こるように制御される。その結果、親水性有機化合物の分離相が、アルコキシシラン類縮合物のゲル網目の中に保持されたまま基板上に成膜され、中間体膜を構成する。
【００８８】
このようなことから、沸点が８０℃以上の親水性有機化合物の親水性の制御は重要であり、その親水性有機化合物を比誘電率で表すと、好ましくは１０〜２０、更に好ましくは１３〜１９と規定できる。
【００８９】
こうした親水性の程度の兼ね合いの観点から、原料液である含水有機溶液が、比誘電率２３以上の有機溶媒（具体的には、メタノール、エタノール等）を含有することが望ましい。特に、比誘電率が２３以上の有機溶媒と沸点８０℃以上の親水性有機化合物との重量比（有機溶媒の重量／親水性有機化合物の重量）を５／５〜２／８の範囲にすると、更に望ましい相分離挙動を達成する。この重量比については、４／６〜２／８が最も好ましい。
【００９０】
▲４▼中間体膜に水溶性有機溶媒を接触させて多孔性シリカ膜を形成する工程（抽出工程）；
中間体膜に水溶性有機溶媒を接触させることにより、中間体膜中の上記親水性有機化合物が抽出除去されると共に、中間体膜中の水が除去される。中間体膜中に存在する水は、有機溶媒に溶けているだけでなく膜構成物質の内壁にも吸着しているので、中間体膜中の水を効果的に除去するためには、有機溶媒中の水の含有量をコントロールする。したがって、有機溶媒中の水の含有量は、０〜１０重量％、好ましくは０〜５重量％、更に好ましくは０〜３重量％である。脱水が十分に行われない場合には、その後に行われる膜の加熱または乾燥工程で空孔が崩壊して消滅または小さくなることがある。
【００９１】
中間体膜中の親水性有機化合物の抽出除去手段としては、例えば、中間体膜を水溶性有機溶媒に浸漬すること、中間体膜の表面を水溶性有機溶媒で洗浄すること、中間体膜の表面に水溶性有機溶媒を噴霧すること、中間体膜の表面に水溶性有機溶媒の蒸気を吹き付けること等の手段を挙げることができる。これらのうち、浸漬手段と洗浄手段が好ましい。中間体膜と水溶性有機溶媒との接触時間は、１秒〜２４時間の範囲で設定できるが、生産性の観点から、接触時間の上限値は、１２時間が好ましく、６時間がより好ましい。一方、接触時間の下限値は、前記の沸点８０℃以上の親水性有機化合物および水の除去が十分に行われることが必要であることから、１０秒が好ましく、３０秒がより好ましい。
【００９２】
▲５▼多孔性シリカ膜に触媒物質を接触させて緻密層を形成する工程（触媒接触工程）；
この触媒接触工程は、多孔性シリカ膜に加水分解縮合反応を促進させる触媒物質を接触させて多孔性シリカ膜の表層領域に緻密層を形成する工程であり、上記抽出工程の前、抽出工程の後または抽出工程と同時に、その中間体膜に酸類または塩基類を接触させる。こうすることにより、中間体膜の表層領域において、アルコキシシラン類の加水分解縮合反応を促進させることができ、緻密層が形成される。緻密層の構造については上述したとおりである。
【００９３】
接触させる好ましい酸類としては、塩化水素、臭化水素、ヨウ化水素等のハロゲン化水素、硫酸、メタンスルホン酸、ベンゼンスルホン酸、トルエンスルホン酸、カンファースルホン酸、ヒドロキシベンゼンスルホン酸等のスルホン酸類、リン酸、メチルホスホン酸、ベンゼンホスホン酸等のリン酸類、ギ酸、酢酸、プロパン酸、ブタン酸、ペンタン酸、ヘキサン酸、マロン酸、コハク酸、リンゴ酸、クエン酸、乳酸、グルタミン酸、アスパラギン酸、チオリンゴ酸、モノクロロ酢酸、ジクロロ酢酸、トリクロロ酢酸、トリフルオロ酢酸、安息香酸、ヒドロキシ安息香酸、没食子酸等のカルボン酸等が挙げられる。これらのうち、塩化水素、ギ酸、酢酸、トリフルオロ酢酸等の気化しやすい酸類が好ましく、また、リンゴ酸、クエン酸、乳酸、グルタミン酸、アスパラギン酸、チオリンゴ酸等の水溶性に優れた酸類が好ましい。特に好ましいものは、塩化水素、ギ酸、酢酸、トリフルオロ酢酸等の気化しやすい酸類である。
【００９４】
接触させる好ましい塩基類としては、アンモニア、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ｎ−プロピルアミン、ジ（ｎ−プロピル）アミン、トリ（ｎ−プロピル）アミン、イソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、トリイソプロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、ジ（ｎ−ブチル）アミン、トリ（ｎ−ブチル）アミン、シクロペンチルアミン、シクロヘキシルアミン、ピロリジン、ピペリジン、モルホリン等のモノアミン類、ジアミノエタン、１，３−ジアミノプロパン、１，４−ジアミノブタン、１，５−ジアミノペンタン、１，６−ジアミノヘキサン、１，４−ジアミノシクロヘキサン等のジアミン類、ピリジン、メチルピリジン、ジメチルピリジン、トリメチルピリジン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノピリジン、キノリン、イミダゾール等の含窒素芳香族化合物、ホルムアルデヒド、アセトアミド、Ｎ−メチルホルムアルデヒド、Ｎ−メチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド等のカルボン酸アミド類、水酸化リチウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金蔵水酸化物、炭酸リチウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等のアルカリ炭酸塩、炭酸水素リチウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム等の炭酸水素塩等が挙げられる。これらのうち、アンモニア、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ｎ−プロピルアミン、ジ（ｎ−プロピル）アミン、トリ（ｎ−プロピル）アミン、イソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、トリイソプロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、ジ（ｎ−ブチル）アミン、シクロペンチルアミン、シクロヘキシルアミン、ピロリジン、ピペリジン、モルホリン等の大気圧下での沸点が１６０℃以下のモノアミン類、ピリジン、メチルピリジン、ジメチルピリジン、トリメチルピリジン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノピリジン等のピリジン誘導体が好ましく、アンモニア、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ｎ−プロピルアミン、イソプロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、シクロペンチルアミン、シクロヘキシルアミン等の分子構造中の炭素数が６以下のモノアミン類が特に好ましい。
【００９５】
中間体膜を酸類または塩基類と接触させる方法としては、酸類または塩基類の液体または溶液または蒸気が用いられる。また、抽出工程時で使用する上述した水溶性有機溶媒に酸類または塩基類を溶解し、抽出工程と同時に接触させることもできる。
【００９６】
▲６▼多孔性シリカ膜を洗浄する工程；
多孔性シリカ膜の形成工程の任意の時期に、多孔性シリカ膜の洗浄工程を加えてもよい。洗浄は、多孔性シリカ膜に洗浄液を噴霧したり、多孔性シリカ膜を洗浄液中に浸漬したり、多孔性シリカ膜上に洗浄液を流延したりして行われる。洗浄液としては、水、弱酸性水溶液、弱アルカリ性水溶液、炭素数１〜４のアルコール類、アセトンやメチルエチルケトン等のケトン類、ジエチルエーテルやテトラヒドロフラン等の親水性エーテル類、酢酸メチルや酢酸エチル等の水に部分的に混和するエステル類等を挙げることができ、好ましい洗浄液としては水を挙げることができる。特に、前記酸類または塩基類との上記▲５▼の接触工程の後で、酸類または塩基類の除去を目的とする洗浄工程を加えることが好ましい。
【００９７】
▲７▼多孔性シリカ膜を乾燥する工程；
乾燥工程は、多孔性シリカ膜に残存する揮発成分を除去する目的及び／又はアルコキシシラン類の加水分解縮合反応を促進する目的で行われる。乾燥温度は、２０〜５００℃、好ましくは３０〜４００℃、更に好ましくは５０〜３５０℃であり、乾燥時間は、１分〜５０時間、好ましくは３分〜３０時間、更に好ましくは５分〜１５時間である。乾燥方式は、送風乾燥、減圧乾燥等の公知の方式で行うことができ、それらを組み合わせてもよい。なお、乾燥が強すぎて揮発成分を急激に除去すると多孔性シリカ膜に割れが発生するので、送風乾燥のような緩やかな乾燥方式が好ましい。送風乾燥の後は、揮発成分の十分な除去を目的とした減圧乾燥を追加することもできる。
【００９８】
なお、この乾燥工程を、上述した抽出工程の代わりとすることもできる（請求項６に対応）。すなわち、上記▲３▼の工程で形成された中間体膜から沸点８０℃以上の親水性有機化合物を除去する工程として、上述の▲４▼の抽出工程によらず、ここで説明した乾燥工程で実施することができる。但し、この場合でも、必ず上述した▲５▼の接触工程を経た後にこの乾燥工程に供される。
【００９９】
こうした乾燥工程で上記親水性有機化合物を除去することができる積層基板の製造方法は、加水分解反応および脱水縮合反応を起こすアルコキシシラン類を主体とした原料化合物と沸点８０℃以上の親水性有機化合物とを含む含水有機溶液を基板上に塗布して一次膜を形成する工程、前記一次膜を形成する含水有機溶液が加水分解反応および脱水縮合反応を起こして中間体膜が形成される工程、前記中間体膜に加水分解反応および脱水縮合反応を促進させる触媒物質を接触させて当該中間体膜の表層領域に緻密層を形成する工程、および、前記中間体膜を乾燥させて前記の沸点８０℃以上の親水性有機化合物を除去して多孔性シリカ膜を形成する工程、を少なくとも含む構成で特定できる。
【０１００】
▲８▼シリル化工程；
得られた多孔性シリカ膜をシリル化剤で処理することが好ましい。シリル化剤で処理することにより、多孔性シリカ膜に疎水性が付与され、アルカリ水などの不純物により空孔が汚染されるのを防ぐことができる。シリル化剤としては、例えば、トリメチルメトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ジメチルエトキシシラン、メチルジエトキシシラン、ジメチルビニルメトキシシラン、ジメチルビニルエトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、ジフェニルジエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン等のアルコキシシラン類、トリメチルクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、メチルトリクロロシラン、メチルジクロロシラン、ジメチルクロロソラン、ジメチルビニルクロロシラン、メチルビニルジクロロシラン、メチルクロロジシラン、トリフェニルクロロシラン、メチルジフェニルクロロシラン、ジフェニルジクロロシランなどのクロロシラン類、ヘキサメチルジシラザン、Ｎ，Ｎ’−ビス（トリメチルシリル）ウレア、Ｎ−トリメチルシリルアセトアミド、ジメチルトリメチルシリルアミン、ジエチルトリエチルシリルアミン、トリメチルシリルイミダゾールなどのシラザン類、（３，３，３−トリフルオロプロピル）トリメトキシシラン、（３，３，３−トリフルオロプロピル）トリエトキシシラン、ペンタフルオロフェニルトリメトキシシラン、ペンタフルオロフェニルトリエトキシシラン等のフッ化アルキル基やフッ化アリール基を有するアルコキシシラン類などが挙げられる。シリル化は、シリル化剤を多孔性シリカ膜に塗布したり、シリル化剤中に多孔性シリカ膜を浸漬したり、多孔性シリカ膜をシリル化剤の蒸気中に曝したりすることにより行うことができる。
【０１０１】
（エレクトロルミネッセンス素子）
本発明のエレクトロルミネッセンス素子は、図１に示すように、上述した積層基板を有し、その積層基板上に、少なくとも透明電極、エレクトロルミネッセンス層および陰極がこの順で積層されていることに特徴がある。
【０１０２】
特に、本発明のエレクトロルミネッセンス素子は、緻密層が表層領域に形成された多孔性シリカ膜を有する積層基板を備えるので、エレクトロルミネッセンス素子の製造工程中の不純物、特に多孔性シリカ膜上にＩＴＯ等の透明電極をパターニングする際のアルカリ水等が素子内に残留するのを抑制できるので、そうした不純物に基づいた経時変化を抑制でき、長期信頼性に優れたエレクトロルミネッセンス素子を提供する上で極めて有効である。
【０１０３】
さらに、その多孔性シリカ膜は、表面凹凸の最大値が１００ｎｍ以下という平滑な表面を有するので、その多孔性シリカ膜上に形成される透明電極の突起や陥没がなく、陽極との間でショート等が生じることがない。こうして得られたエレクトロルミネッセンス素子は、信頼性に優れると共に、その多孔性シリカ膜の低屈折率に基づいた高い光取り出し効率をもたらすことができるという利点がある。
【０１０４】
(a)透明電極は、エレクトロルミネッセンス素子の陽極として作用する。透明電極としては、錫を添加した酸化インジウム（通称ＩＴＯと呼ばれている。）、アルミニウムを添加した酸化亜鉛（通称ＡＺＯと呼ばれている。）等の複合酸化物薄膜が好ましく用いられる。特にＩＴＯであることが好ましい。
【０１０５】
透明電極は、蒸着やスパッタリング等の真空成膜プロセスにより形成される。形成された透明電極の可視光波長領域における光線透過率は大きいほど好ましく、例えば５０〜９９％である。好ましい下限値としては６０％、更に好ましくは７０％である。透明電極の電気抵抗は、面抵抗値として小さいほど好ましいが、通常１〜１００Ω／□（＝１ｃｍ２）であり、その上限値は好ましくは７０Ω／□、更に好ましくは５０Ω／□である。また、透明電極の厚さは、上述した光線透過率および面抵抗値を満足する限りにおいて、通常０．０１〜１０μｍ、導電性の観点からその下限値は、０．０３μｍが好ましく、０．０５μｍが更に好ましい。一方、光線透過率の観点からその上限値は、１μｍが好ましく、０．５μｍが更に好ましい。こうした透明電極は、フォトリソグラフィ法等により、エレクトロルミネッセンス素子の電極として必要なパターンに形成される。
【０１０６】
(b)エレクトロルミネッセンス層は、電界が印加されることにより発光現象を示す物質により成膜されたものであり、その物質としては、付活酸化亜鉛ＺｎＳ：Ｘ（但し、Ｘは、Ｍｎ、Ｔｂ、Ｃｕ，Ｓｍ等の付活元素である。）、ＣａＳ：Ｅｕ、ＳｒＳ：Ｃｅ，ＳｒＧａ２Ｓ４：Ｃｅ、ＣａＧａ２Ｓ４：Ｃｅ、ＣａＳ：Ｐｂ、ＢａＡｌ２Ｓ４：Ｅｕ等の従来より使用されている無機ＥＬ物質、８−ヒドロキシキノリンのアルミニウム錯体、芳香族アミン類、アントラセン単結晶等の低分子色素系の有機ＥＬ物質、ポリ（ｐ−フェニレンビニレン）、ポリ［２−メトキシ−５−（２−エチルヘキシルオキシ）−１、４−フェニレンビニレン］、ポリ（３−アルキルチオフェン）、ポリビニルカルバゾールなどの共役高分子系の有機ＥＬ物質等、従来より使用されている有機ＥＬ物質を用いることができる。エレクトロルミネッセンス層の厚さは、通常０．０１〜１μｍ、好ましくは０．０３〜０．５μｍ、更に好ましくは０．０５〜０．２μｍである。エレクトロルミネッセンス層は、蒸着やスパッタリング等の真空成膜プロセスにより形成することができる。
【０１０７】
(c)陰極は、上述した透明電極と対向し、エレクトロルミネッセンス層を挟むように設けられ、アルミニウム、錫、マグネシウム、インジウム、カルシウム、金、銀、銅、ニッケル、クロム、パラジウム、白金、マグネシウム−銀合金、マグネシウム−インジウム合金、アルミニウム−リチウム合金等で形成される。特にアルミニウムで形成することが好ましい。陰極の厚さは、通常０．０１〜１μｍ、好ましくは０．０３〜０．５μｍ、更に好ましくは０．０５〜０．３μｍである。陰極は、蒸着やスパッタリング等の真空成膜プロセスにより形成することができる。
【０１０８】
(d)なお、エレクトロルミネッセンス層と透明電極との間には、正孔注入層や正孔輸送層を更に積層することができ、エレクトロルミネッセンス層と陰極との間には、電子注入層や電子輸送層を更に積層することができる。また、これら以外の公知の層を適用しても構わない。
【０１０９】
【実施例】
以下、実施例と比較例により、本発明をさらに具体的に説明する。
【０１１０】
（実施例１）
アルコキシシラン類である重合度分布が２〜２０程度でピーク平均重合度が３〜４のメトキシシランオリゴマーであるＭＫＣシリケートＭＳ５１（６．６ｇ、三菱化学（株）製、ＭＫＣシリケートは登録商標）、有機溶媒であるメタノール（２．９ｇ）、沸点８０℃以上の親水性有機化合物であるｎ−ブタノール（９．８ｇ）、触媒であるアルミニウムアセチルアセトネート錯体の５重量％メタノール溶液（１．３ｇ）、および水（１．４ｇ）を混合し、６０℃で２．５時間撹拌した後、更に３日間室温で静置し、含水有機溶液である原料液を準備した。
【０１１１】
この原料液を、ナトリウムＤ線波長で２３℃における屈折率が１．５のガラス基板（厚さ０．７ｍｍ）上に塗布して一次膜を形成した。原料液の塗布は、室温・大気下で３０００回転／分の回転速度で２０秒間スピンコートし、１０分間静置して中間体膜を得た。
【０１１２】
得られた中間体膜を、水溶性有機溶媒である３００ｍＬのメタノール中に５分間浸漬し、乾燥後、１５０℃のオーブン中で３０分間乾燥して、厚さ４００ｎｍの多孔性シリカ膜を得た。
【０１１３】
得られた多孔性シリカ膜を、触媒物質であるアンモニア蒸気を含む気体雰囲気下に５分間静置し、多孔性シリカ膜の表面から約３０ｎｍの深さの領域に厚さ２５ｎｍの緻密層を有する多孔性シリカ膜を得た。
【０１１４】
こうして得られた多孔性シリカ膜の緻密層には１〜５ｎｍ幅の空隙が形成され、緻密層以外の本体層には１５〜２０ｎｍ幅の空隙が形成されていた。また。多孔性シリカ膜の表面は、非常に平坦であり、表面凹凸の最大値は１０ｎｍであった。なお、エリプソメトリーによる屈折率測定から、この多孔性シリカ膜（本体層）の屈折率は１．３であった。また、多孔性シリカ膜中の全炭素濃度は３％であり、１３Ｃ固体ＮＭＲ測定結果からは、メタノールが存在し原料のメトキシシランオリゴマーに由来するメトキシ基は実質的に観測されないことがわかった。また、ＴＧ−ＭＳ分析を行ったところ、膜中に含有されているメタノールは７６０ｍｍＨｇでの沸点よりも高い温度で膜から放出される、という結果が得られた。
【０１１５】
（測定）
緻密層の構造；多孔性シリカ膜の緻密層の構造の観察には、日本電子製ＪＳＭ６３２０Ｆ走査型電子顕微鏡を用い、加速電圧５ｋＶ、拡大倍率５００００倍および１０００００倍で観察した。緻密層の構造の解析は、上述した通りである。
【０１１６】
表面凹凸の最大値：多孔性シリカ膜の表面凹凸の最大値は、試料を断面研磨し、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて二次電子像の写真を撮影し、その写真から断面の山頂部と谷底部の最大値を測定して決定した。ＳＥＭは、日本電子製ＪＳＭ６３２０Ｆ走査型電子顕微鏡を用い、加速電圧５ｋＶ、拡大倍率１００００倍および５００００倍で観察した。また、原子間力顕微鏡での測定は、前述の方法（５カ所；１００μｍ四方領域）でセイコー社製ＳＰＩ３００、ＤＦＭモードにより測定し、ＳＥＭによる表面凹凸の最大値の評価結果を検証した。
【０１１７】
屈折率：分光エリプソメトリー（SOPRA 社製ＧＥＳ−５）により、多孔性シリカ膜の屈折率を波長２５０〜８５０ｎｍの範囲で測定し、モデリングを用いて解析した。
【０１１８】
全炭素濃度：多孔性シリカ膜の全炭素濃度は、試料を全炭素濃度測定装置内に入れ、１４５０℃に加熱し、その際発生するガス中の炭素量を分析することにより測定した。全炭素濃度測定装置は、島津製作所製のＴＯＣ５０００を用いた。
【０１１９】
炭素成分の炭素源由来分析：１３Ｃ固体ＮＭＲ測定を行い、炭素源由来分析を行った。
【０１２０】
ＴＧ−ＭＳ分析：窒素気流下、温度を２５〜６００℃まで上昇させ、気化物質を質量分析装置で検出した。
【０１２１】
（実施例２）
実施例１と同じ原料液を用い、その原料液を、ナトリウムＤ線波長で２３℃における屈折率が１．５のガラス基板（厚さ０．７ｍｍ）上に塗布して一次膜を形成した。原料液の塗布は、室温・大気下で３０００回転／分の回転速度で２０秒間スピンコートし、１０分間静置して中間体膜を得た。
【０１２２】
得られた中間体膜を、触媒物質であるアンモニア蒸気を含む気体雰囲気下に５分間静置した後、１５０℃のオーブン中で乾燥して多孔性シリカ膜を得た。この乾燥時に、沸点８０℃以上の親水性有機化合物であるｎ−ブタノールが除去された。
【０１２３】
得られた多孔性シリカ膜は、その表面から約５０ｎｍの深さの領域に厚さ３０ｎｍの緻密層を有していた。こうして得られた多孔性シリカ膜の緻密層には１〜５ｎｍ幅の空隙が形成され、緻密層以外の本体層には１５〜２０ｎｍ幅の空隙が形成されていた。また。多孔性シリカ膜の表面は、非常に平坦であり、表面凹凸の最大値は１０ｎｍであった。なお、エリプソメトリーによる屈折率測定から、この多孔性シリカ膜（本体層）の屈折率は１．３であった。また、多孔性シリカ膜中の全炭素濃度は３％であり、１３Ｃ固体ＮＭＲ測定結果からは、メタノールが存在し原料のメトキシシランオリゴマーに由来するメトキシ基は実質的に観測されないことがわかった。また、ＴＧ−ＭＳ分析を行ったところ、膜中に含有されているメタノールは７６０ｍｍＨｇでの沸点よりも高い温度で膜から放出される、という結果が得られた。
【０１２４】
（実施例３）
上述した実施例１の積層基板を用い、以下の手順でエレクトロルミネッセンス素子を製造した。▲１▼；実施例１で得られた積層基板の多孔性シリカ膜の表面に、透明電極であるＩＴＯ層（厚さ０．１５μｍ）をスパッタリングにより形成した。ＩＴＯ層の表面は、界面活性剤水溶液および超純水で洗浄し、乾燥して水分を除去した。▲２▼；次に、この透明電極をパターンニングした。パターニングは、透明電極上にフォトレジスト材料をスピンコートで全面に塗布し、超高圧水銀ランプ（露光強度２３０ｍＪ／ｃｍ２）を使用して所定の形状に露光した後、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド希水溶液（濃度：２．４重量％）で未露光部分のフォトレジスト材料を溶解除去（現像）した。現像で露出した部分のＩＴＯを４５℃の６規定濃度塩酸で溶解除去（エッチング）した。エッチング後に、露光を受けて難溶化して残存しているフォトレジスト材料を剥離した。この剥離は、濃テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液（濃度：２０重量％）へ浸漬することにより行った。その後、超純水で水洗した。▲３▼；次に、層間絶縁膜を設けた。層間絶縁膜は、パターニングされたＩＴＯのうち余分な部分を絶縁材料（フォトレジスト材料）で被覆し、その後に形成するエレクトロルミネッセンス層および陰極との短絡を防ぐために設けた。先ず、フォトレジスト材料をスピンコートで全面に塗布し、次いで、超高圧水銀ランプを使用して所定の形状に露光（露光強度１００ｍＪ／ｃｍ２）した後、前記テトラメチルアンモニウムヒドロキシド希水溶液で未露光部のフォトレジスト材料を溶解除去（現像）した。そして、超純水による水洗を行った。▲４▼；次に、その上にエレクトロルミネッセンス層を形成した。エレクトロルミネッセンス層は、アルミニウムの８−ヒドロキシキノリン錯体（略称Ａｌｑ３）を約２００ｎｍの厚さで蒸着した。▲５▼；こうして形成したエレクトロルミネッセンス層上に、陰極であるフッ化リチウム（厚さ０．５ｎｍ）／アルミニウム層（厚さ８０ｎｍ）を蒸着により形成した。ここでフッ化リチウムは電子注入を促進する目的で用いた。
【０１２５】
（多孔性シリカ膜の耐薬品性の評価）
実施例１および実施例２で得られた多孔性シリカ膜の表面を、２３℃の２０重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に６０秒間浸漬し、次いで水洗した。この処理の前後での膜の断面をＳＥＭ観察し、多孔性シリカ膜の膜厚変化率を求めたところ、実施例１および実施例２のいずれも５％未満であった。なお、ここでいう膜厚変化率とは、処理前の膜厚ｔ１に対する処理後の膜厚ｔ２の差（｜ｔ１−ｔ２｜＝Δｔ）の割合、すなわちΔｔ／ｔ１×１００（％）、で表される。
【０１２６】
（比較例１）
実施例１の積層基板の代わりに市販のガラス基板を用いた他は、実施例３と同様にして比較例１のエレクトロルミネッセンス素子を作成した。なお、ガラス基板の表面凹凸の最大値は１０ｎｍ程度であった。
【０１２７】
（エレクトロルミネッセンス素子の性能評価）
実施例３および比較例１のエレクトロルミネッセンス素子に３〜１５Ｖの電界を印加すると、実施例３のエレクトロルミネッセンス素子の外部への発光の出射強度は比較例１の約１．２倍となった。また、実施例３のエレクトロルミネッセンス素子には短絡による障害が見られなかった。これらの結果より、実施例３のエレクトロルミネッセンス素子は、構成する多孔性シリカ膜の優れた平坦性により、突起や陥没の非常に少ない透明電極を形成できており、アルカリ水溶液の残留による屈折率の増大が起こっていないと考えられる。
【０１２８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の多孔性シリカ膜によれば、０〜１０ｎｍ径の空孔を有する緻密層が膜の表層領域に５〜１００ｎｍの厚さで存在するので、その緻密層が例えばアルカリ水等の浸透を抑制するように作用する。その結果、例えばこの多孔性シリカ膜を基板上に積層する工程中にアルカリ水等が使用される場合においても、長期信頼性に影響するおそれのあるアルカリ水等の不純物の含有を効果的に制限することができる。
【０１２９】
本発明の積層基板およびエレクトロルミネッセンス素子によれば、多孔性シリカ膜には、アルカリ水等の浸透を抑制するように作用する緻密層が形成されているので、例えば積層基板またはその積層基板を有する素子の製造工程中にアルカリ水等が使用される場合においても、長期信頼性に影響するおそれのあるアルカリ水等の不純物が含有するのを効果的に制限することができる。こうした本発明の積層基板は、特に、多孔性シリカ膜上にＩＴＯ等の透明電極をパターニングするエレクトロルミネッセンス素子等の場合に好ましく用いられ、エレクトロルミネッセンス素子の長期信頼性を維持する上で極めて有効である。また、本発明を構成する多孔性シリカ膜は、その表面凹凸が極めて平滑なので、例えばこの積層基板をエレクトロルミネッセンス素子用の透明基板として使用した場合、その低屈折率層上に透明電極を形成してもその透明電極に突起や陥没が生じるのを防ぐことができ、その結果、本発明の積層基板は、信頼性に優れたエレクトロルミネッセンス素子の形成に寄与することができる。
【０１３０】
また、本発明の積層基板およびエレクトロルミネッセンス素子によれば、残存有機成分が少ないので、特にエレクトロルミネッセンス素子に使用した場合に、経時変化が少なく安定性に優れたものとなると共に、光取り出し効率のよいエレクトロルミネッセンス素子を提供することができる。
【０１３１】
また、本発明の多孔性シリカ膜および積層基板の製造方法によれば、原材料の塗布、薬品による表面処理、乾燥など、生産性に優れる簡便な工程のみで、上記作用を発揮する多孔性シリカ膜を有する積層基板を製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】エレクトロルミネッセンス素子構造の一例を示す断面図である。
【図２】低屈折率層を有さないエレクトロルミネッセンス素子の一例を示す断面図である。
【図３】低屈折率層を有するエレクトロルミネッセンス素子の一例を示す断面図である。
【図４】本発明の積層基板の一例を示す断面図である。
【符号の説明】
１ エレクトロルミネッセンス素子
２ 基板
３ 透明電極
４ エレクトロルミネッセンス層
５ 陰極
６ 低屈折率層（多孔性シリカ膜）
７ 空気
８ 緻密層
９ 本体層
１０ 積層基板
１１ 出射角の大きい光
１２ 導波光[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a porous silica film, a laminated substrate having the same, a method for producing the same, and an electroluminescence device. More specifically, the porous silica film and the laminated film have excellent alkali water resistance and high reliability and light extraction efficiency. It is related with a board | substrate, those manufacturing methods, and an electroluminescent element.
[0002]
[Prior art]
One of the most promising next-generation electronic displays is an organic EL display. As shown in FIG. 1, this organic EL display is a self-luminous display having an
[0003]
In such an organic EL display, it is preferable that the light emitted from the
[0004]
As shown in FIG. 3, by providing a low
[0005]
However, since the low refractive index layer described in
[0006]
As related to such a problem,
[0007]
[Patent Document 1]
JP 2002-278477 A (paragraph numbers 0010 to 0012)
[Patent Document 2]
JP-A-9-169515 (paragraph numbers 0006 and 0030)
[0008]
[Problems to be solved by the invention]
The silica airgel described in
[0009]
However, although the density gradient silica aerogel produced in this way has a dense layer on the surface, due to its production method, the unevenness of the film surface is large, and in the first place, there is a problem in laminating with good adhesion to a transparent substrate. . Therefore, when a transparent electrode is formed on the silica airgel film by patterning, problems such as peeling due to insufficient adhesion between the transparent substrate and the silica airgel film, and a transparent electrode due to large surface irregularities There is a possibility that problems such as patterning defects and occurrence of short circuits may occur.
[0010]
The present invention has been made to solve the above problems, and a first object thereof is to provide a porous silica film and a laminated substrate that are excellent in alkali-water resistance and have long-term reliability and light extraction efficiency. There is. The second object of the present invention is to provide a method for producing a porous silica film and a laminated substrate that are excellent in alkaline water resistance, have long-term reliability and good light extraction efficiency. The third object of the present invention is to provide an electroluminescent device having excellent reliability.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
In the course of earnest research in order to solve the above problems, the present inventors have conducted hydrolysis and dehydration condensation reactions (hereinafter referred to as hydrolysis condensation reactions or sol-forms) of alkoxysilanes on a substrate such as a glass substrate. When a porous silica film having a low refractive index is formed using a gel method), an organic compound having a relatively low hydrophilicity such as n-butanol (this organic compound is converted into a hydrophilic organic film). After forming a film using a water-containing organic solution containing a compound)), and washing the film with a water-soluble organic solvent such as a lower alcohol, the hydrophilic organic compound in the film is extracted, It has been found that a porous silica film having a low refractive index in which a desired pore structure is formed in the film can be formed and the surface thereof is extremely smooth. Furthermore, the present inventors have found that by bringing ammonia vapor into contact with the surface of the porous silica film, the hydrolysis condensation reaction of the surface layer is promoted, and a dense layer with small surface irregularities is formed, The present invention has been reached.
[0012]
The porous silica film of the present invention for achieving the first object has a refractive index of 1.10 to 1.35, and has pores with a diameter of 0 to 10 nm in the surface layer region within a depth of 100 nm from the surface. The dense layer has a thickness of 5 to 100 nm In the thermogravimetry-mass spectrum analysis, a peak of at least one substance among the alcohols having 1 to 4 carbon atoms is given in a temperature range higher than the boiling point of the substance at 760 mmHg. It is characterized by that.
[0013]
According to the present invention, since the dense layer having pores with a diameter of 0 to 10 nm is present in the surface layer region of the porous silica film with a thickness of 5 to 100 nm, the dense layer suppresses permeation of, for example, alkaline water. Acts as follows. As a result, even when alkaline water or the like is used during the process of laminating the porous silica film on the substrate, the inclusion of impurities such as alkaline water that may affect long-term reliability is effectively limited. can do. In addition, since the dense layer exists in a surface layer region within a depth of 100 nm from the surface with a thickness of 5 to 100 nm, the refractive index of the porous silica film is not increased, and the function as a low refractive index layer is achieved. Can be maintained. Such a porous silica film of the present invention is particularly preferably used in the case of an electroluminescence element or the like that patterns a transparent electrode such as ITO on the porous silica film, and is extremely useful for maintaining the long-term reliability of the electroluminescence element. It is valid.
[0014]
In the porous silica membrane of the present invention Before The porous silica membrane preferably has a total carbon concentration of 0.1 to 10% by weight.
[0015]
Furthermore, the laminated substrate of the present invention for achieving the above object has the above-described porous silica film of the present invention on the substrate. At this time, the substrate can be made transparent, or a transparent electrode can be formed on the surface of the porous silica film.
[0016]
The method for producing the porous silica membrane of the present invention according to the first aspect for achieving the second object described above comprises a raw material compound mainly composed of alkoxysilanes that cause a hydrolysis reaction and a dehydration condensation reaction, and a boiling point of 80 ° C. or higher. A step of forming a primary film from a water-containing organic solution containing a hydrophilic organic compound, a step of forming an intermediate film by causing a hydrolysis reaction and a dehydration condensation reaction of the water-containing organic solution forming the primary film, Forming a porous silica film by bringing a water-soluble organic solvent into contact with the body film; and contacting the porous silica film with a catalytic substance that promotes a hydrolysis reaction and a dehydration condensation reaction. Forming a dense layer in the surface layer region.
[0017]
According to the present invention, an intermediate film is formed by a sol-gel method using a hydrous organic solution containing alkoxysilanes and a hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher, and the hydrophilic organic compound in the intermediate film is By extracting with a water-soluble organic solvent, a porous silica film having a pore structure that achieves a desired low refractive index can be formed, and a catalyst that promotes a hydrolysis-condensation reaction on the surface of the porous silica film Formation of a dense layer with small surface irregularities is realized by bringing a substance into contact. The method for producing a laminated substrate according to the present invention includes a low refractive index layer having a dense layer in a surface layer region, a hydrophilic organic compound contained in a water-containing organic solution as a raw material liquid, and the hydrophilic organic compound in a water-soluble organic solvent. It can be formed by a very simple means and procedure of extraction and contacting with a catalytic substance.
[0018]
The method for producing a porous silica membrane of the present invention according to the second aspect includes a raw material compound mainly composed of alkoxysilanes that undergo hydrolysis reaction and dehydration condensation reaction, and a hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher. A step of forming a primary film from a water-containing organic solution, a step of forming an intermediate film by causing hydrolysis and dehydration condensation reaction of the water-containing organic solution in the primary film, hydrolysis reaction and dehydration condensation on the intermediate film A step of forming a dense layer in a surface layer region of the intermediate film by contacting a catalytic substance that promotes the reaction; and drying the intermediate film to remove the hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher. Forming a porous silica film.
[0019]
According to the present invention, an intermediate film is formed by a sol-gel method using a hydrous organic solution containing alkoxysilanes and a hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher, and a hydrolysis condensation reaction is performed on the surface of the intermediate film. The formation of a dense layer with small surface irregularities is realized by bringing a catalytic substance that promotes the contact into contact with each other. Note that, unlike the manufacturing method according to the first aspect, the present invention removes the hydrophilic organic compound in the intermediate film by drying the intermediate film after forming the dense layer, and the desired method. It is characterized in that a porous silica film having a pore structure that realizes a low refractive index is formed.
[0020]
In the method for producing a porous silica film of the present invention according to the first and second aspects, the catalyst substance is an acid or a base, or the dense layer is a pore having a diameter of 0 to 10 nm. It is preferable that it exists in the surface layer area | region within the depth of 100 nm from the surface of the said porous silica film with the thickness of 5-100 nm.
[0021]
In order to achieve the above object, a method for producing a laminated substrate of the present invention is the method for producing a porous silica film of the present invention according to the first and second aspects described above, wherein the water-containing organic solution is applied onto a substrate. A primary film is formed. At this time, the substrate is preferably transparent.
[0022]
According to the present invention, the multilayer substrate of the present invention having the above-described excellent characteristics can be manufactured, and the multilayer substrate manufactured by this method can be preferably applied for an electroluminescence element.
[0023]
The electroluminescent element of the present invention for achieving the third object has the above-described laminated substrate of the present invention, and a transparent electrode, an electroluminescent layer, and a cathode are laminated in this order on the laminated substrate. It is characterized by being.
[0024]
According to the present invention, impurities during the manufacturing process of the electroluminescent device, particularly alkaline water during patterning of the transparent electrode can be suppressed from remaining in the device, so that the change with time based on such impurities can be suppressed, An electroluminescent element having excellent long-term reliability can be provided.
[0025]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below.
(1) Porous silica film and laminated substrate having the same
The porous silica film of the present invention has a refractive index of 1.10 to 1.35, and a dense layer having pores with a diameter of 0 to 10 nm in a surface layer region within a depth of 100 nm from the surface has a thickness of 5 to 100 nm. The laminated substrate of the present invention has a
[0026]
(Porous silica membrane)
FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of the laminated substrate of the present invention. In the
[0027]
In the present invention, since the dense layer is formed in the surface layer region within a depth of 100 nm from the surface of the porous silica film, liquid such as water or an aqueous solution containing any solute enters the main body layer inside the porous silica film. Can be prevented. If the dense layer is formed in a region exceeding a depth of 100 nm from the surface, the liquid described above may enter the portion, and problems such as changes with time may occur. The dense layer is preferably formed in a surface layer region within a depth of 80 nm from the surface, and more preferably within 60 nm.
[0028]
In the present invention, since the dense layer is formed with a thickness of 5 to 100 nm, the liquid described above can be effectively prevented from entering the main body layer inside the porous silica film, and the refractive index. Generation of guided light based on a slightly larger dense layer does not occur. When the thickness of the dense layer is less than 5 nm, the above-described liquid intrusion cannot be effectively suppressed. When the thickness exceeds 100 nm, guided light may be generated based on the dense layer. The dense layer preferably has a thickness of 10 to 80 nm, more preferably 20 to 70 nm.
[0029]
In the present invention, since the pore diameter in the dense layer is 0 to 10 nm, the above-described liquid can be effectively prevented from entering the main body layer inside the porous silica film. When the pore diameter in the dense layer exceeds 10 nm, the liquid described above may gradually pass through the pores and enter the main body layer of the porous silica film.
[0030]
The structure of the dense layer having such characteristics is evaluated by electron image analysis using a scanning electron microscope (SEM). For example, the electron beam acceleration voltage is 5 kV and the observation magnification is 50000 times to 100000 times. As the SEM observation sample, a mechanical impact was applied in a state where the laminated substrate sample was cooled and embrittled with liquid nitrogen, and the brittle fracture surface at that time was used. The brittle fracture surface is not subjected to vapor deposition or the like of a thin film of a conductive material such as metal or carbon, which is generally performed for the purpose of improving the conductivity of the sample surface.
[0031]
The vacancies in the dense layer can be identified by observing the void image. Specifically, when the observation cross section of the sample is held perpendicular to the electron beam direction of the SEM, It is an area that is darkly observed, which is 50%, and is observed as an area where the brightness does not substantially change even if the observation cross section is changed within ± 5 degrees in an arbitrary direction. There is no particular limitation on the shape of the hole thus identified as a void image, and examples include a circle, ellipse, fan, spindle, polygon, strip, string, shape surrounded by an indefinite curve, star shape, etc. it can. The above-mentioned hole diameter is defined by the width of such a void image. Note that the width of the void image is a straight line connecting any two points on the outer peripheral line in the shape determined as the void image, and the length of the longest of the straight lines that does not cross the outer peripheral line of the figure. Defined. And the structure of such a dense layer is specified by analyzing any five different locations of a given laminated substrate. The width of the void image is cut in a plurality of planes parallel to the plane of the porous silica film (performed by cutting with a microtome), and SEM observation of those planes is performed based on the same porosity observation standard as described above, and an appropriate average is taken. Are similarly measured.
[0032]
The refractive index of the porous silica film is 1.10 to 1.35. This refractive index is a refractive index determined by ellipsometer measurement based on ASTM D-542, and is an average refractive index in the entire depth direction of the porous silica film including the dense layer and the main body layer. , Expressed as the value for the sodium D line (589.3 nm) at 23 ° C. In the main body layer made of a porous silica film, the higher the porosity, the smaller the refractive index. Therefore, the smaller the refractive index, the more the guided light can be suppressed and the light extraction efficiency can be improved. If the ratio is less than 1.10, the mechanical strength may be insufficient due to the high porosity. Considering these points, the preferable lower limit of the refractive index is 1.13, more preferably 1.15. On the other hand, when the refractive index exceeds 1.35, generation of guided light may not be sufficiently suppressed. Considering these points, the preferable upper limit of the refractive index is 1.30, more preferably 1.27.
[0033]
The main body layer of the porous silica film having the refractive index described above has an average pore diameter of 1 to 50 nm, and the upper limit value of the average pore diameter is 40 nm from the viewpoint of light transmittance and mechanical strength of the film. It is preferably 30 nm, more preferably 30 nm, and most preferably 20 nm. On the other hand, the lower limit value of the average pore diameter is preferably 2 nm, more preferably 3 nm, from the viewpoints of light transmittance and refractive index. If the average hole diameter is less than 1 nm, the refractive index increases and the generation of guided light cannot be suppressed, and the light extraction efficiency cannot be sufficiently improved. The average pore diameter is evaluated by analyzing an observation image using a transmission electron microscope (TEM) or a scanning electron microscope (SEM).
[0034]
There are no particular restrictions on the shape of the pores of the porous silica film of the present invention, and examples of possible shapes include closed cells, tunnels, and communication holes in which closed cells communicate with each other. A communication hole in which closed cells communicate with each other is preferable. The average pore diameter in the case of a communication hole in which tunnels or closed cells communicate with each other is defined as an average value of their widths.
[0035]
In addition, the maximum value of the unevenness | corrugation of the surface, ie, the above-mentioned dense layer surface, is normally 100 nm or less, Preferably it is 50 nm or less, More preferably, it is 30 nm or less. In addition, the lower limit of the maximum value of the surface unevenness is practically about 10 nm. The surface irregularities are measured using an atomic force microscope (AFM). Specifically, arbitrary five places on the surface of the given porous silica film are selected, and an area of 100 μm square is observed and evaluated by AFM. Further, the maximum value of the surface unevenness can also be determined by analyzing an electronic image photograph of a cross section by SEM. In this case, an electron microscope photograph with an electron beam acceleration voltage of 5 kV and an observation magnification of 1000 to 10,000 times can be taken and determined by the difference between the crest and trough of the cross section. In addition, as a SEM observation sample, the laminated substrate when this porous silica film was formed on the substrate was used as a sample, and mechanical shock was applied in a state where the sample was cooled and embrittled with liquid nitrogen. The brittle fracture surface was used. As this brittle fracture surface, a sample which was not deposited on a thin film of a conductive material such as metal or carbon, which is generally used for the purpose of improving the conductivity of the sample surface, was used.
[0036]
The porous silica membrane of the present invention is composed of silicon oxide (SiO 2 ) The composition is mainly used. The silica film has a SiOx composition (provided that the silicon atom-carbon atom bond exists in a part of the silica composition by a method such as copolymerization of organic silanes in silica synthesis by a sol-gel method, for example. Is a positive number greater than 0 and less than 2.
[0037]
This silica film may contain any chemical composition containing a positive element (sometimes abbreviated as an additional composition). For example, yttrium oxide, lanthanum oxide, cerium oxide, praseodymium oxide, samarium oxide, europium oxide, gadolinium oxide, terbium oxide, dysprosium oxide, holmium oxide, erbium oxide, thulium oxide, titanium oxide, zirconium oxide, chromium oxide, manganese oxide, Transition metal oxide compositions such as iron oxide, cobalt oxide, nickel oxide, copper oxide, zinc oxide, cadmium oxide, gallium oxide, indium oxide, germanium oxide, tin oxide, lead oxide; lithium oxide, sodium oxide, potassium oxide, oxide Alkali metal oxide compositions such as rubidium and cesium oxide; alkaline earth metal compositions such as magnesium oxide, calcium oxide, strontium oxide and barium oxide; boron oxide composition; aluminum oxide composition; It can be. In addition, known inorganic glass compositions such as chalcogenide glass compositions and fluoride glass compositions can also be mentioned.
[0038]
The silicon oxide composition constituting the porous silica film is contained in such a ratio that the ratio of silicon to all positive elements including silicon is 50 to 100 mol%. When the silicon content is less than 50 mol%, the refractive index of the porous silica film may become extremely large, or the mechanical strength of the porous silica film may be extremely lowered. A preferable lower limit is 70 mol%, more preferably 80 mol%, and most preferably 90 mol%, and a higher-quality porous silica film is formed as the silicon content is higher.
[0039]
The chemical composition of the porous silica film having such a composition can be specified by thermogravimetric-mass spectrum (TG-MS) analysis of a mechanically scraped sample. As for the porous silica film of the present invention, the peak of at least one substance among the alcohols having 1 to 4 carbon atoms is given by a TG-MS analysis at a temperature higher than the boiling point of the corresponding substance at 760 mmHg. Identified.
[0040]
The porous silica film thus identified has reduced brittleness and improved mechanical properties, and is excellent in adhesion to a substrate serving as a base substrate when the porous silica film is formed. The reason for this is not clear at the present time, but the alkoxy group having 1 to 4 carbon atoms and / or alcohols remaining in the porous silica film has an appropriate mechanical strength and adhesion to the substrate. It is thought that it has brought. At this time, the alcohol is preferably methanol or ethanol. In the TG-MS analysis, the reason why the peak of lower alcohols having 1 to 4 carbon atoms appears at a temperature higher than the boiling point of the substance at 760 mmHg is that the pore diameter of the porous silica film of the present invention is uniform and very high. Because of its small size, it takes energy larger than usual for the lower alcohol molecules to escape out of the porous silica film, or there are alcohols having 1 to 4 carbon atoms, and this is combined with porous silica. It is presumed that some kind of interaction such as hydrogen bonding works between the membrane. Such a phenomenon is considered to correlate closely with the excellent characteristics (for example, light transmittance, mechanical strength, etc.) of the porous silica film of the present invention.
[0041]
The total carbon concentration in the porous silica membrane is preferably 0.1 to 10% by weight (synonymous with mass%). When the total carbon concentration exceeds 10% by weight, the organic matter substantially remains, so that the release of the remaining organic matter occurs with time. For example, when it is used for an electroluminescence device, the emission characteristics The stability over time deteriorates. On the other hand, when the total carbon concentration is less than 0.1% by weight, the mechanical strength of the porous silica film may be extremely lowered. The upper limit value of the total carbon concentration of the porous silica film is preferably 8% by weight, more preferably 5%, and the lower limit value is preferably 0.2% by weight, more preferably 0.3% by weight. The total carbon concentration of the porous silica membrane is measured by using a commercially available total carbon concentration measuring device (for example, TOC5000 manufactured by Shimadzu Corporation), and in the gas generated when the test sample of the porous silica membrane is heated to 1450 ° C. It is determined by analyzing the amount of carbon.
[0042]
Furthermore, the porous silica film described above is also excellent in chemical resistance. Specifically, when the laminated substrate of the present invention on which the porous silica film is formed is immersed in a 20 wt% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 60 seconds and then washed with water, before and after the porous silica film The film thickness change is 0 to 10%, preferably 0 to 8%, more preferably 0 to 5%. The reason why the chemical resistance is excellent is that the dense layer described above is formed. The film thickness of the porous silica film is determined by SEM observation of the cross section.
[0043]
(Laminated substrate having porous silica film)
The laminated substrate of the present invention has the
[0044]
When the laminated substrate of the present invention is used for, for example, an electroluminescence element, it is preferable that the substrate is transparent. The substrate constituting the laminated substrate has a refractive index of 1.4 to 1.9, preferably 1.45 to 1. 70, more preferably 1.47 to 1.65, and most preferably 1.48 to 1.60. This refractive index is an average refractive index in the entire depth direction determined by an ellipsometer measurement based on ASTM D-542, and is represented by a value with respect to sodium D line (589.3 nm) at 23 ° C. As the substrate having such a refractive index, a transparent substrate made of a general-purpose material can be used. For example, various types of shot glass such as BK7, SF11, LaSFN9, BaK1, and F2, synthetic fused silica glass, optical crown glass, low expansion borosilicate glass, sapphire, soda glass, alkali-free glass, polymethyl methacrylate, and cross-linked Examples thereof include acrylic resins such as acrylate, aromatic polycarbonate resins such as bisphenol A polycarbonate, styrene resins such as polystyrene, amorphous polyolefin resins such as polycycloolefin, and synthetic resins such as epoxy resins. Of these, shot glass such as BK7 and BaK1, synthetic fused silica glass, optical crown glass, low expansion borosilicate glass, soda glass, alkali-free glass, acrylic resin, aromatic polycarbonate resin, and amorphous polyolefin resin are preferable. BK7 shot glass, synthetic fused silica glass, optical crown glass, low expansion borosilicate glass, soda glass, alkali-free glass, acrylic resin, and aromatic polycarbonate resin are particularly preferred.
[0045]
In the laminated substrate of the present invention, the thickness of the substrate is usually 0.1 to 10 mm. The lower limit of the substrate thickness is preferably 0.2 mm, more preferably 0.3 mm, from the viewpoint of mechanical strength and gas barrier properties. On the other hand, the upper limit value of the thickness of the substrate is preferably 5 mm, more preferably 3 mm, from the viewpoint of lightness and light transmittance.
[0046]
Regarding the transmittance of the substrate, the transmittance of the laminated substrate is 80% or more at the sodium D-line wavelength (589.3 nm) when measured by the transmittance of the laminated substrate combined with the porous silica film described later. Is more preferable, 85% or more is more preferable, and 90% or more is still more preferable.
[0047]
(Method for producing porous silica film and laminated substrate)
The porous silica film is formed by the following process. (1) a step of preparing a raw material liquid for forming a porous silica film, (2) a step of applying the raw material liquid on a substrate to form a primary film, and (3) a high molecular weight of the applied primary film. (4) a step of forming a porous silica film by bringing a water-soluble organic solvent into contact with the intermediate film, and (5) a catalytic substance for promoting a hydrolysis-condensation reaction in the porous silica film. Forming a dense layer in the surface layer region of the porous silica film, (6) washing the porous silica film, (7) drying the porous silica film, and (8) silylation process. Hereinafter, each step will be described.
[0048]
(1) A step of preparing a raw material liquid for forming a porous silica film;
The raw material liquid for forming the porous silica film is a hydrous organic solution containing a raw material compound that is mainly composed of alkoxysilanes and can be increased in molecular weight by hydrolysis reaction and dehydration condensation reaction.
[0049]
The water-containing organic solution that is a raw material liquid contains alkoxysilanes, a hydrophilic organic solvent, water, and a catalyst that is added as necessary.
[0050]
Examples of alkoxysilanes include tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, tetra (n-propoxy) silane, tetraisopropoxysilane, tetra (n-butoxy) silane, and the like, trimethoxysilane, triethoxysilane, and methyl. Trialkoxysilanes such as trimethoxysilane, methyltriethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, dialkoxysilanes such as dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, diphenyldimethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, bis (Trimethoxysilyl) methane, bis (triethoxysilyl) methane, 1,2-bis (trimethoxysilyl) ethane, 1,2-bis (triethoxysilyl) ethane, 1,4-bis (tri Toxylsilyl) benzene, 1,4-bis (triethoxysilyl) benzene, 1,3,5-tris (trimethoxysilyl) benzene and the like, in which two or more trialkoxysilyl groups are bonded, 3- Aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidyloxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidyloxypropyltriethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, 3-acryloyloxypropyltrimethoxysilane, An alkyl group substituted on a silicon atom, such as 3-carboxypropyltrimethoxysilane, has a reactive functional group, and may be a partial hydrolyzate or oligomer.
[0051]
Among these, tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, trimethoxysilane, triethoxysilane, tetramethoxysilane, or tetraethoxysilane oligomer is particularly preferable. In particular, tetramethoxysilane oligomers are most preferably used because of their reactivity and controllability of gelation.
[0052]
Furthermore, monoalkoxysilanes having 2 to 3 hydrogen, alkyl groups, or aryl groups on silicon atoms can be mixed with the alkoxysilanes. By mixing monoalkoxysilanes, the resulting porous silica membrane can be hydrophobized to improve water resistance. Examples of monoalkoxysilanes include triethylmethoxysilane, triethylethoxysilane, tripropylmethoxysilane, triphenylmethoxysilane, triphenylethoxysilane, diphenylmethylmethoxysilane, diphenylmethylethoxysilane, and the like. The mixing amount of monoalkoxysilanes is desirably 70 mol% or less of the total alkoxysilanes. If the mixing amount exceeds 70 mol%, gelation may not occur.
[0053]
Further, fluorinated alkyls such as (3,3,3-trifluoropropyl) trimethoxysilane, (3,3,3-trifluoropropyl) triethoxysilane, pentafluorophenyltrimethoxysilane, pentafluorophenyltriethoxysilane When an alkoxysilane having a group or a fluorinated aryl group is used in combination, excellent water resistance, moisture resistance, stain resistance and the like may be obtained.
[0054]
In this raw material solution, the oligomer may be a cross-linked or cage molecule (such as silsesquioxane). Practically, as the upper limit of the degree of condensate contained in the water-containing organic solution, the transparency of the solution is preferably in the range of 90 to 100% as the light transmittance at a wavelength of 400 nm, 23 ° C. and an optical path length of 10 mm, for example. Used. The lower limit of the light transmittance of the solution is preferably 92% or more, more preferably 95% or more.
[0055]
In addition, when applying the above-described raw material liquid, it is necessary that a certain degree of high molecular weight (that is, a state in which condensation has progressed to some extent) has already been achieved. It is preferable that high molecular weight is achieved to such an extent that insoluble matter cannot be formed. The reason is that if there are visible insolubles in the raw material solution before coating, large surface irregularities can be surely produced and the film quality is lowered.
[0056]
As the organic solvent, those having the ability to mix alkoxysilanes constituting the raw material liquid, water, and a hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher, which will be described later, are preferably used. Usable organic solvents include alcohols such as monohydric alcohols having 1 to 4 carbon atoms, dihydric alcohols having 1 to 4 carbon atoms, polyhydric alcohols such as glycerin and pentaerythritol; diethylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene Glycol dimethyl ether, 2-ethoxyethanol, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol methyl ether acetate and the like, ethers or esterified products of the above alcohols; ketones such as acetone and methyl ethyl ketone; formamide, N-methylformamide, N-ethylformamide, N , N-dimethylformamide, N, N-diethylformamide, N-methylacetamide, N-ethylacetamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-di Tylacetamide, N-methylpyrrolidone, N-formylmorpholine, N-acetylmorpholine, N-formylpiperidine, N-acetylpiperidine, N-formylpyrrolidine, N-acetylpyrrolidine, N, N′-diformylpiperazine, N, N Amides such as' -diformylpiperazine and N, N'-diacetylpiperazine; Lactones such as γ-butyrolactone; Ureas such as tetramethylurea and N, N'-dimethylimidazolidine; Dimethylsulfoxide and the like . These water-soluble organic solvents may be used alone or as a mixture. Among these, preferable organic solvents in terms of film-forming properties (particularly volatile) on the substrate include acetone, methyl ethyl ketone, monohydric alcohols having 1 to 4 carbon atoms, and the like. Among these, methanol, ethanol, n-propanol, isopropyl alcohol, and acetone are more preferable, and methanol or ethanol is most preferable.
[0057]
A hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher has a hydrophilic functional group such as a hydroxyl group, a carbonyl group, an ether bond, an ester bond, a carbonate bond, a carboxyl group, an amide bond, a urethane bond, or a urea bond in the molecular structure. It is an organic compound. The hydrophilic organic compound may have a plurality of hydrophilic functional groups among them in the molecular structure. The boiling point here is a boiling point under a pressure of 760 mmHg. When a hydrophilic organic compound having a boiling point of less than 80 ° C. is used, the porosity of the porous silica film may be extremely reduced. Preferable examples of the hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher include alcohols having 3 to 8 carbon atoms, polyhydric alcohols having 2 to 6 carbon atoms, and phenols. More preferred hydrophilic organic compounds include alcohols having 3 to 8 carbon atoms, diols having 2 to 8 carbon atoms, triols having 3 to 8 carbon atoms, and tetraols having 4 to 8 carbon atoms. More preferable hydrophilic organic compounds include alcohols having 4 to 7 carbon atoms such as n-butanol, isobutyl alcohol, t-butyl alcohol, n-pentanol, cyclopentanol, n-hexanol, cyclohexanol, benzyl alcohol, C2-C4 diols such as ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol, C3-C6 triols such as glycerol and trishydroxymethylethane, C4 such as erythritol and pentaerythritol -5 tetraols. In this hydrophilic organic compound, if the number of carbon atoms is too large, the hydrophilicity may decrease too much.
[0058]
A catalyst is mix | blended as needed. Examples of the catalyst include substances that promote the hydrolysis and dehydration condensation reactions of the alkoxysilanes described above. Specific examples include acids such as hydrochloric acid, nitric acid, sulfuric acid, formic acid, acetic acid, oxalic acid and maleic acid; amines such as ammonia, butylamine, dibutylamine and triethylamine; bases such as pyridine; Lewis such as acetylacetone complex of aluminum Acids; and the like.
[0059]
Examples of the metal species of the metal chelate compound used as the catalyst include titanium, aluminum, zirconium, tin, and antimony. Specific examples of the metal chelate compound include the following.
[0060]
Examples of aluminum complexes include di-ethoxy mono (acetylacetonato) aluminum, di-n-propoxy mono (acetylacetonato) aluminum, di-isopropoxy mono (acetylacetonato) aluminum, di-n-butoxy. Mono (acetylacetonato) aluminum, di-sec-butoxy mono (acetylacetonato) aluminum, di-tert-butoxy mono (acetylacetonato) aluminum, monoethoxy bis (acetylacetonato) aluminum, mono-n -Propoxy bis (acetylacetonato) aluminum, monoisopropoxy bis (acetylacetonato) aluminum, mono-n-butoxy bis (acetylacetonato) aluminum, mono-sec-butoxy bi (Acetylacetonato) aluminum, mono-tert-butoxy bis (acetylacetonato) aluminum, tris (acetylacetonato) aluminum, diethoxy mono (ethylacetoacetate) aluminum, di-n-propoxy mono (ethylacetoacetate) ) Aluminum, diisopropoxy mono (ethyl acetoacetate) aluminum, di-n-butoxy mono (ethyl acetoacetate) aluminum, di-sec-butoxy mono (ethyl acetoacetate) aluminum, di-tert-butoxy mono (Ethyl acetoacetate) aluminum, monoethoxy bis (ethyl acetoacetate) aluminum, mono-n-propoxy bis (ethyl acetoacetate) aluminum, monoisoprop Xy-bis (ethyl acetoacetate) aluminum, mono-n-butoxy bis (ethyl acetoacetate) aluminum, mono-sec-butoxy bis (ethyl acetoacetate) aluminum, mono-tert-butoxy bis (ethyl acetoacetate) Examples thereof include aluminum chelate compounds such as aluminum and tris (ethylacetoacetate) aluminum.
[0061]
Titanium complexes include triethoxy mono (acetylacetonato) titanium, tri-n-propoxy mono (acetylacetonato) titanium, triisopropoxy mono (acetylacetonato) titanium, tri-n-butoxy mono (acetyl). Acetonato) titanium, tri-sec-butoxy mono (acetylacetonato) titanium, tri-tert-butoxy mono (acetylacetonato) titanium, diethoxy bis (acetylacetonato) titanium, di-n-propoxy bis (Acetylacetonato) titanium, diisopropoxy bis (acetylacetonato) titanium, di-n-butoxy bis (acetylacetonato) titanium, di-sec-butoxy bis (acetylacetonato) titanium, di-tert -Butoxy bis (ace Ruacetonate) titanium, monoethoxy tris (acetylacetonato) titanium, mono-n-propoxy tris (acetylacetonato) titanium, monoisopropoxy tris (acetylacetonato) titanium, mono-n-butoxy tris (acetyl) Acetonato) titanium, mono-sec-butoxy-tris (acetylacetonato) titanium, mono-tert-butoxy-tris (acetylacetonato) titanium, tetrakis (acetylacetonato) titanium, triethoxy mono (ethylacetoacetate) titanium , Tri-n-propoxy mono (ethyl acetoacetate) titanium, triisopropoxy mono (ethyl acetoacetate) titanium, tri-n-butoxy mono (ethyl acetoacetate) titanium, tri-sec-butyl Xy mono (ethyl acetoacetate) titanium, tri-tert-butoxy mono (ethyl acetoacetate) titanium, diethoxy bis (ethyl acetoacetate) titanium, di-n-propoxy bis (ethyl acetoacetate) titanium, diiso Propoxy bis (ethyl acetoacetate) titanium, di-n-butoxy bis (ethyl acetoacetate) titanium, di-sec-butoxy bis (ethyl acetoacetate) titanium, di-tert-butoxy bis (ethyl acetoacetate) Titanium, monoethoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, mono-n-propoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, monoisopropoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, mono-n-butoxy tris (ethyl acetoacetate) Acetate) titanium, mono-sec-butoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, mono-tert-butoxy tris (ethyl acetoacetate) titanium, tetrakis (ethyl acetoacetate) titanium, mono (acetylacetonate) tris (ethyl aceto) Acetate) titanium, bis (acetylacetonato) bis (ethylacetoacetate) titanium, tris (acetylacetonato) mono (ethylacetoacetate) titanium and the like.
[0062]
In addition to these catalysts, weak alkaline compounds such as basic catalysts such as ammonia may be used. In this case, it is preferable to adjust silica concentration, organic solvent species, etc. as appropriate. Moreover, when preparing a water-containing organic solution, it is preferable not to increase the catalyst concentration in a solution rapidly. Specific examples include a method of mixing alkoxysilanes and a part of an organic solvent, then mixing water, and finally mixing the remaining organic solvent and base.
[0063]
In particular, hydrochloric acid that is highly volatile and easy to remove and Lewis acids such as acetylacetone complex of aluminum are preferable. The addition amount of the catalyst is usually 0.001-1 mol, preferably 0.01-0.1 mol, with respect to 1 mol of alkoxysilanes. When the addition amount of the catalyst exceeds 1 mol, a precipitate composed of coarse gel particles is generated, and a uniform porous silica film may not be obtained.
[0064]
The raw material liquid for forming the porous silica film of the present invention is formed by blending the above-mentioned raw materials. The blending ratio of the alkoxysilanes is preferably 10 to 60% by weight and more preferably 20 to 40% by weight with respect to the whole raw material liquid. When the compounding ratio of alkoxysilanes exceeds 60% by weight, the porous silica film may be broken during film formation. On the other hand, when the compounding ratio of alkoxysilanes is less than 10% by weight, the hydrolysis reaction and the dehydration condensation reaction are extremely slow, and the film formability may be deteriorated (film unevenness).
[0065]
Water is blended 0.01 to 10 times, preferably 0.05 to 7 times, more preferably 0.07 to 5 times the weight of the alkoxysilane to be used. When the blending amount of water is less than 0.01 times the weight of the alkoxysilanes, the degree of progress of hydrolysis condensation reaction becomes insufficient, and the film may become cloudy. On the other hand, when the amount of water exceeds 10 times the weight of the alkoxysilanes, the surface tension of the raw material liquid becomes extremely large, and the film formability may deteriorate (liquid repelling, etc.).
[0066]
Water is necessary for hydrolysis of alkoxysilanes, and is important from the viewpoint of improving the film forming property of the target porous silica film. Therefore, when the preferable amount of water is defined by the molar ratio with respect to the amount of alkoxide groups, the amount of water is 0.1 to 1.6 mol times, especially 0.3 to 1.2 mol times the amount of 1 mol of alkoxide groups in alkoxysilane. In particular, the amount is preferably 0.5 to 0.7 mole times.
[0067]
Water may be added at any time after the alkoxysilanes are dissolved in an organic solvent, but it is desirable to add water after sufficiently dispersing the alkoxysilanes, catalyst and other additives in the solvent. Most preferred.
[0068]
The purity of the water to be used may be one that has undergone either or both of ion exchange and distillation. When the porous silica film of the present invention is used in an application field that particularly dislikes minute impurities such as semiconductor materials and optical materials, a porous silica film with a higher purity is required, and thus distilled water is further ion-exchanged. It is desirable to use ultrapure water. In this case, for example, water passed through a filter having a pore size of 0.01 to 0.5 μm may be used.
[0069]
When a hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher is used in the water-containing organic solution, the content of the hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher is equal to the total content of the organic solvent and the hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher. On the other hand, it is important that the amount is not more than a specific amount. The content of the hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher with respect to the total content is 90% by weight or less, preferably 85% by weight or less.
[0070]
If the blending ratio of the hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher is too small, the porosity of the porous silica film becomes extremely small, and it may be difficult to achieve a low refractive index of the porous silica film. In general, the total content of the organic solvent and the hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher is preferably 30% by weight or more, more preferably 50% by weight or more, and particularly preferably 60% by weight or more. On the other hand, when the blending ratio of the hydrophilic organic compound exceeds 90% by weight of the total content, the coating film may become cloudy during the film formation or the porous silica film may be broken. Therefore, the content of the hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher in the water-containing organic solution is 30% to 90% by weight, particularly 50% to 85% by weight, particularly 60% to 85% by weight of the total content. % Or less is preferable.
[0071]
The atmospheric temperature in the preparation of the coating liquid and the mixing order are arbitrary, but in order to obtain a uniform structure formation in the coating liquid, water is preferably mixed last. Moreover, in order to suppress the extreme hydrolysis and condensation reaction of silicon alkoxide in the coating solution, the coating solution should be adjusted at a temperature range of 0 to 60 ° C., particularly 15 to 40 ° C., particularly 15 to 30 ° C. Is preferred.
[0072]
At the time of liquid preparation, the stirring operation of the coating liquid is arbitrary, but it is more preferable to stir with a stirrer for each mixing.
[0073]
Further, after the coating solution is prepared, the solution is preferably aged in order to hydrolyze and dehydrate and condense silicon alkoxides. During this aging period, it is preferable that the hydrolyzed condensate of silicon alkoxides to be generated is in a more uniformly dispersed state in the coating solution, and therefore it is preferable to stir the solution.
[0074]
The temperature during the aging period is arbitrary, and in general, it may be heated at room temperature or continuously or intermittently. Among them, it is preferable to perform rapid heat aging in order to form a three-dimensional nanoporous structure by a hydrolytic condensate of silicon alkoxides. Further, when heat aging is performed, heat aging immediately after adjusting the coating solution is preferable, and within 15 days after adjusting the coating solution, more preferably within 12 days, particularly within 3 days, and particularly within 1 day, it is preferable to start heating aging.
[0075]
Specifically, accelerated aging is preferably performed at 40 to 70 ° C. for 1 to 5 hours. At that time, in order to obtain a uniform porous structure, stirring is preferably performed. In particular, accelerated aging for 2 to 3 hours at a temperature in the vicinity of 60 ° C. is preferable from the viewpoint of porosity.
[0076]
The viscosity of the raw material liquid is 0.1 to 1000 centipoise, preferably 0.5 to 500 centipoise, more preferably 1 to 100 centipoise, and it is preferable from the viewpoint of production to use a raw material liquid having a viscosity in this range.
[0077]
(2) A step of forming a primary film from a raw material liquid;
The primary film is formed by applying a water-containing organic solution, which is a raw material liquid, on a substrate. Examples of the substrate include semiconductors such as silicon and germanium, compound semiconductors such as gallium-arsenic and indium-antimony, substrates such as ceramics and metals, and transparent substrates such as glass substrates and synthetic resin substrates.
[0078]
When the porous silica film of the present invention is formed on a substrate, the properties of the substrate surface may affect the properties of the porous silica film. Therefore, not only the cleaning of the substrate surface but also the surface treatment of the substrate may be performed in some cases. Examples of the substrate surface cleaning include immersion treatment in acids such as sulfuric acid, hydrochloric acid, nitric acid, phosphoric acid, alkalis such as aqueous sodium hydroxide, and mixed liquids having oxidizing properties such as hydrogen peroxide and concentrated sulfuric acid, hydrochloric acid, and ammonia. It is done. In particular, from the viewpoint of adhesion to a porous silica film, it is more preferable to perform a surface treatment with acids such as sulfuric acid and nitric acid on a silicon substrate and a transparent glass substrate.
[0079]
Examples of means for applying the raw material liquid include a casting method in which the raw material liquid is extended onto the substrate using a bar coater, an applicator or a doctor blade, a dip method in which the substrate is immersed in the raw material liquid, and a spin coating method. Well known. Of these means, the casting method and the spin coating method are preferably employed because the raw material liquid can be uniformly applied.
[0080]
When the raw material liquid is applied by the casting method, the casting speed is 0.1 to 1000 m / min, preferably 0.5 to 700 m / min, and more preferably 1 to 500 m / min.
[0081]
The rotation speed in the place where the raw material liquid is applied and formed by the spin coating method is 10 to 100,000 rotations / minute, preferably 50 to 50,000 rotations / minute, and more preferably 100 to 10,000 rotations / minute.
[0082]
In the dip coating method, the substrate may be dipped in the coating solution and pulled up at an arbitrary speed. The pulling speed at this time is preferably 0.01 to 50 mm / sec, more preferably 0.05 to 30 mm / sec, and particularly preferably 0.1 to 20 mm / sec. Although there is no restriction | limiting in the speed | rate which immerses a board | substrate in a coating liquid, It may be preferable to immerse a board | substrate in a coating liquid at a speed | rate comparable as a raising speed | rate. The substrate may be immersed for an appropriate time until the substrate is immersed in the coating solution and pulled up. The duration is usually 1 second to 48 hours, preferably 3 seconds to 24 hours, more preferably 5 seconds to 12 hours. It's time.
[0083]
The atmosphere during coating may be air or an inert gas such as nitrogen or argon, and the temperature is usually 0 to 60 ° C., preferably 10 to 50 ° C., more preferably 20 to 40 ° C. The humidity is usually 5 to 90%, preferably 10 to 80%, more preferably 15 to 70%. Since the dip coating method has a lower drying speed than the spin coating method, there is a tendency to form a stable film with less distortion by the sol-gel reaction after coating. Therefore, the film structure may be preferably controlled by the surface treatment of the substrate.
[0084]
The film forming temperature is 0 to 100 ° C., preferably 10 to 80 ° C., more preferably 20 to 70 ° C.
[0085]
(3) A process in which the applied film is polymerized to form an intermediate film;
The applied film has a high molecular weight, and an intermediate film is formed. This reaction is called a so-called sol-gel method, and the elementary reaction consists of two elementary reactions, a hydrolysis reaction of alkoxysilanes and a dehydration condensation reaction between silanol groups generated by the hydrolysis reaction.
[0086]
The hydrolysis reaction is caused by adding water, but the water can be added as an aqueous alcohol solution or as water vapor without being particularly limited. If water is added rapidly, depending on the type of alkoxysilane, the hydrolysis reaction and the dehydration condensation reaction occur too quickly, and precipitation may occur. Therefore, in order to prevent such precipitation, take sufficient time to add water, make the alcohol solvent coexist in a state where water is added uniformly, and add water at a low temperature. It is preferable to use means such as inhibiting the reaction alone or in combination.
[0087]
As the hydrolytic condensation reaction of alkoxysilanes by the sol-gel method proceeds, the condensation product of alkoxysilanes gradually increases in molecular weight. In the hydrolysis-condensation reaction, phase separation that may be caused by a change in phase equilibrium may occur. In the present invention, the composition of the raw material liquid, the alkoxysilanes used, and the hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher The degree of hydrophilicity is controlled so that phase separation occurs on the nanometer scale. As a result, the separated phase of the hydrophilic organic compound is formed on the substrate while being held in the gel network of the alkoxysilane condensate, thereby forming an intermediate film.
[0088]
For this reason, it is important to control the hydrophilicity of a hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher. When the hydrophilic organic compound is represented by a relative dielectric constant, it is preferably 10 to 20, more preferably 13 to 19 can be defined.
[0089]
From the viewpoint of balancing the degree of hydrophilicity, it is desirable that the water-containing organic solution that is the raw material liquid contains an organic solvent (specifically, methanol, ethanol, etc.) having a relative dielectric constant of 23 or more. In particular, when the weight ratio of the organic solvent having a relative dielectric constant of 23 or more and the hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or more (weight of the organic solvent / weight of the hydrophilic organic compound) is in the range of 5/5 to 2/8. Furthermore, the desired phase separation behavior is achieved. The weight ratio is most preferably 4/6 to 2/8.
[0090]
(4) Forming a porous silica film by bringing a water-soluble organic solvent into contact with the intermediate film (extraction process);
By bringing a water-soluble organic solvent into contact with the intermediate film, the hydrophilic organic compound in the intermediate film is extracted and removed, and water in the intermediate film is removed. The water present in the intermediate film is not only dissolved in the organic solvent but also adsorbed on the inner wall of the film constituent material. Therefore, in order to effectively remove the water in the intermediate film, the organic solvent Control the water content in it. Therefore, the content of water in the organic solvent is 0 to 10% by weight, preferably 0 to 5% by weight, and more preferably 0 to 3% by weight. If the dehydration is not sufficiently performed, the pores may collapse and disappear or become smaller in the subsequent heating or drying process of the film.
[0091]
As the means for extracting and removing the hydrophilic organic compound in the intermediate film, for example, immersing the intermediate film in a water-soluble organic solvent, washing the surface of the intermediate film with a water-soluble organic solvent, Examples thereof include spraying a water-soluble organic solvent on the surface and spraying water-soluble organic solvent vapor on the surface of the intermediate film. Of these, dipping means and cleaning means are preferred. Although the contact time between the intermediate film and the water-soluble organic solvent can be set in the range of 1 second to 24 hours, the upper limit of the contact time is preferably 12 hours and more preferably 6 hours from the viewpoint of productivity. On the other hand, the lower limit of the contact time is preferably 10 seconds and more preferably 30 seconds because the hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher and water must be sufficiently removed.
[0092]
(5) A step of forming a dense layer by bringing a catalytic substance into contact with the porous silica membrane (catalyst contact step);
This catalyst contact step is a step of forming a dense layer in the surface region of the porous silica membrane by bringing the porous silica membrane into contact with a catalyst substance that promotes the hydrolysis and condensation reaction. After or simultaneously with the extraction step, the intermediate film is contacted with acids or bases. By doing so, hydrolysis condensation reaction of alkoxysilanes can be promoted in the surface layer region of the intermediate film, and a dense layer is formed. The structure of the dense layer is as described above.
[0093]
Preferred acids to be contacted are hydrogen halides such as hydrogen chloride, hydrogen bromide and hydrogen iodide, sulfonic acids such as sulfuric acid, methanesulfonic acid, benzenesulfonic acid, toluenesulfonic acid, camphorsulfonic acid and hydroxybenzenesulfonic acid, Phosphoric acids such as phosphoric acid, methylphosphonic acid, benzenephosphonic acid, formic acid, acetic acid, propanoic acid, butanoic acid, pentanoic acid, hexanoic acid, malonic acid, succinic acid, malic acid, citric acid, lactic acid, glutamic acid, aspartic acid, thioapple Examples thereof include carboxylic acids such as acid, monochloroacetic acid, dichloroacetic acid, trichloroacetic acid, trifluoroacetic acid, benzoic acid, hydroxybenzoic acid, and gallic acid. Of these, acids that are easily vaporized such as hydrogen chloride, formic acid, acetic acid, and trifluoroacetic acid are preferable, and acids having excellent water solubility such as malic acid, citric acid, lactic acid, glutamic acid, aspartic acid, and thiomalic acid are preferable. . Particularly preferred are acids that are easily vaporized such as hydrogen chloride, formic acid, acetic acid, trifluoroacetic acid and the like.
[0094]
Preferred bases to be contacted include ammonia, methylamine, dimethylamine, trimethylamine, ethylamine, diethylamine, triethylamine, n-propylamine, di (n-propyl) amine, tri (n-propyl) amine, isopropylamine, diisopropylamine , Monoamines such as triisopropylamine, n-butylamine, di (n-butyl) amine, tri (n-butyl) amine, cyclopentylamine, cyclohexylamine, pyrrolidine, piperidine, morpholine, diaminoethane, 1,3-
[0095]
As a method for bringing the intermediate film into contact with acids or bases, liquids or solutions or vapors of acids or bases are used. Moreover, acids or bases can be dissolved in the above-mentioned water-soluble organic solvent used in the extraction step, and contacted simultaneously with the extraction step.
[0096]
(6) A step of washing the porous silica membrane;
You may add the washing | cleaning process of a porous silica film at the arbitrary time of the formation process of a porous silica film. The cleaning is performed by spraying the cleaning liquid on the porous silica film, immersing the porous silica film in the cleaning liquid, or casting the cleaning liquid on the porous silica film. Examples of the cleaning liquid include water, weakly acidic aqueous solution, weakly alkaline aqueous solution, alcohols having 1 to 4 carbon atoms, ketones such as acetone and methyl ethyl ketone, hydrophilic ethers such as diethyl ether and tetrahydrofuran, and water such as methyl acetate and ethyl acetate. May be exemplified by partially miscible esters, and a preferable cleaning liquid is water. In particular, it is preferable to add a washing step for the purpose of removing the acids or bases after the contact step (5) with the acids or bases.
[0097]
(7) drying the porous silica membrane;
The drying step is performed for the purpose of removing volatile components remaining in the porous silica membrane and / or for the purpose of promoting the hydrolysis condensation reaction of alkoxysilanes. The drying temperature is 20 to 500 ° C., preferably 30 to 400 ° C., more preferably 50 to 350 ° C., and the drying time is 1 minute to 50 hours, preferably 3 minutes to 30 hours, more preferably 5 minutes to 15 hours. The drying method can be performed by a known method such as blow drying or drying under reduced pressure, and may be combined. It should be noted that since the drying is too strong and the volatile components are removed rapidly, cracks are generated in the porous silica film, so that a gentle drying method such as blow drying is preferable. After the blast drying, vacuum drying for the purpose of sufficiently removing volatile components can be added.
[0098]
In addition, this drying process can be substituted for the extraction process described above (corresponding to claim 6). That is, the step of removing the hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher from the intermediate film formed in the step (3) is not limited to the extraction step (4), but the drying step described here. Can be implemented. However, even in this case, the drying step is always performed after the contact step (5) described above.
[0099]
The method for producing a laminated substrate capable of removing the hydrophilic organic compound in such a drying step includes a raw material compound mainly composed of alkoxysilanes that cause a hydrolysis reaction and a dehydration condensation reaction, and a hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher. A step of forming a primary film by applying a water-containing organic solution comprising a substrate, a step of forming an intermediate film by causing a hydrolysis reaction and a dehydration condensation reaction of the water-containing organic solution forming the primary film, Contacting the intermediate film with a catalytic substance that promotes hydrolysis and dehydration condensation reaction to form a dense layer in the surface layer region of the intermediate film; and drying the intermediate film to obtain the boiling point of 80 ° C. It can be specified by a configuration including at least a step of forming the porous silica film by removing the hydrophilic organic compound.
[0100]
(8) Silylation step;
It is preferable to treat the obtained porous silica membrane with a silylating agent. By treating with a silylating agent, hydrophobicity is imparted to the porous silica film, and the pores can be prevented from being contaminated by impurities such as alkaline water. Examples of the silylating agent include trimethylmethoxysilane, trimethylethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, dimethylethoxysilane, methyldiethoxysilane, dimethylvinylmethoxysilane, and dimethyl. Alkoxysilanes such as vinylethoxysilane, diphenyldimethoxysilane, diphenyldiethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenyltriethoxysilane, trimethylchlorosilane, dimethyldichlorosilane, methyltrichlorosilane, methyldichlorosilane, dimethylchlorosolane, dimethylvinylchlorosilane , Methyl vinyl dichlorosilane, methyl chloro disilane, triphenyl chloro silane, methyl diphenyl chloro Chlorosilanes such as silane, diphenyldichlorosilane, hexamethyldisilazane, N, N′-bis (trimethylsilyl) urea, N-trimethylsilylacetamide, dimethyltrimethylsilylamine, diethyltriethylsilylamine, trimethylsilylimidazole and other silazanes, (3, 3,3-trifluoropropyl) trimethoxysilane, (3,3,3-trifluoropropyl) triethoxysilane, pentafluorophenyltrimethoxysilane, pentafluorophenyltriethoxysilane, etc. And alkoxysilanes having a group. Silylation is performed by applying a silylating agent to the porous silica film, immersing the porous silica film in the silylating agent, or exposing the porous silica film to the vapor of the silylating agent. Can do.
[0101]
(Electroluminescence element)
As shown in FIG. 1, the electroluminescent element of the present invention has the above-described laminated substrate, and is characterized in that at least a transparent electrode, an electroluminescent layer, and a cathode are laminated in this order on the laminated substrate. is there.
[0102]
In particular, since the electroluminescent device of the present invention includes a laminated substrate having a porous silica film having a dense layer formed in the surface layer region, impurities in the manufacturing process of the electroluminescent device, particularly ITO on the porous silica film, etc. Alkaline water or the like when patterning a transparent electrode can be suppressed from remaining in the device, so that it is possible to suppress changes over time based on such impurities and is extremely effective in providing an electroluminescent device with excellent long-term reliability. It is.
[0103]
Furthermore, since the porous silica film has a smooth surface with a maximum surface irregularity of 100 nm or less, there is no protrusion or depression of the transparent electrode formed on the porous silica film, and a short circuit with the anode. Etc. do not occur. The thus obtained electroluminescent device has an advantage that it has excellent reliability and can bring out high light extraction efficiency based on the low refractive index of the porous silica film.
[0104]
(a) The transparent electrode functions as an anode of the electroluminescence element. As the transparent electrode, a composite oxide thin film such as indium oxide added with tin (commonly referred to as ITO) or zinc oxide added with aluminum (commonly referred to as AZO) is preferably used. In particular, ITO is preferable.
[0105]
The transparent electrode is formed by a vacuum film formation process such as vapor deposition or sputtering. The larger the light transmittance in the visible light wavelength region of the formed transparent electrode is, the more preferable, for example, 50 to 99%. A preferred lower limit is 60%, more preferably 70%. The electrical resistance of the transparent electrode is preferably as small as the sheet resistance value, but is usually 1 to 100Ω / □ (= 1 cm). 2 The upper limit is preferably 70Ω / □, and more preferably 50Ω / □. Further, the thickness of the transparent electrode is usually 0.01 to 10 μm as long as the above-described light transmittance and surface resistance value are satisfied. From the viewpoint of conductivity, the lower limit is preferably 0.03 μm, and 0.05 μm. Is more preferable. On the other hand, from the viewpoint of light transmittance, the upper limit is preferably 1 μm, and more preferably 0.5 μm. Such a transparent electrode is formed in a pattern necessary as an electrode of an electroluminescence element by a photolithography method or the like.
[0106]
(b) The electroluminescence layer is formed by a material that exhibits a light emission phenomenon when an electric field is applied. The material includes activated zinc oxide ZnS: X (where X is Mn, Tb , Cu, Sm, etc.)), CaS: Eu, SrS: Ce, SrGa. 2 S 4 : Ce, CaGa 2 S 4 : Ce, CaS: Pb, BaAl 2 S 4 : Conventionally used inorganic EL materials such as Eu, aluminum complexes of 8-hydroxyquinoline, aromatic amines, organic EL materials of low molecular dyes such as anthracene single crystals, poly (p-phenylene vinylene), poly Conventionally used are conjugated polymer organic EL materials such as [2-methoxy-5- (2-ethylhexyloxy) -1,4-phenylenevinylene], poly (3-alkylthiophene), and polyvinylcarbazole. Organic EL materials can be used. The thickness of the electroluminescence layer is usually 0.01 to 1 μm, preferably 0.03 to 0.5 μm, and more preferably 0.05 to 0.2 μm. The electroluminescent layer can be formed by a vacuum film formation process such as vapor deposition or sputtering.
[0107]
(c) The cathode is provided so as to face the above-described transparent electrode and sandwich the electroluminescence layer, and includes aluminum, tin, magnesium, indium, calcium, gold, silver, copper, nickel, chromium, palladium, platinum, magnesium- It is formed of a silver alloy, a magnesium-indium alloy, an aluminum-lithium alloy, or the like. In particular, it is preferable to form with aluminum. The thickness of the cathode is usually 0.01 to 1 μm, preferably 0.03 to 0.5 μm, and more preferably 0.05 to 0.3 μm. The cathode can be formed by a vacuum film formation process such as vapor deposition or sputtering.
[0108]
(d) A hole injection layer and a hole transport layer can be further laminated between the electroluminescence layer and the transparent electrode, and an electron injection layer and an electron are interposed between the electroluminescence layer and the cathode. A transport layer can be further laminated. Moreover, you may apply well-known layers other than these.
[0109]
【Example】
Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples and comparative examples.
[0110]
(Example 1)
MKC silicate MS51 (6.6 g, manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, MKC silicate is a registered trademark), which is a methoxysilane oligomer having a polymerization degree distribution of alkoxysilanes of about 2 to 20 and a peak average degree of polymerization of 3 to 4. Methanol (2.9 g) as an organic solvent, n-butanol (9.8 g) as a hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher, and a 5 wt% methanol solution (1.3 g) of an aluminum acetylacetonate complex as a catalyst And water (1.4 g) were mixed and stirred at 60 ° C. for 2.5 hours, and then allowed to stand at room temperature for 3 days to prepare a raw material liquid which was a water-containing organic solution.
[0111]
This raw material liquid was applied onto a glass substrate (thickness 0.7 mm) having a refractive index of 1.5 at 23 ° C. at a sodium D-line wavelength to form a primary film. Application of the raw material solution was performed by spin coating at a rotation speed of 3000 rpm for 20 seconds at room temperature and in the atmosphere, and left for 10 minutes to obtain an intermediate film.
[0112]
The obtained intermediate film was immersed in 300 mL of methanol, which is a water-soluble organic solvent, for 5 minutes, dried, and then dried in an oven at 150 ° C. for 30 minutes to obtain a porous silica film having a thickness of 400 nm. .
[0113]
The obtained porous silica film is allowed to stand for 5 minutes in a gas atmosphere containing ammonia vapor as a catalyst material, and has a dense layer having a thickness of 25 nm in a region about 30 nm deep from the surface of the porous silica film. A porous silica membrane was obtained.
[0114]
A void having a width of 1 to 5 nm was formed in the dense layer of the porous silica film thus obtained, and a void having a width of 15 to 20 nm was formed in the main body layer other than the dense layer. Also. The surface of the porous silica film was very flat, and the maximum surface roughness was 10 nm. From the refractive index measurement by ellipsometry, the refractive index of this porous silica film (main layer) was 1.3. The total carbon concentration in the porous silica film is 3%, 13 From the results of C solid state NMR measurement, it was found that methanol was present and methoxy groups derived from the raw material methoxysilane oligomer were not substantially observed. Moreover, as a result of TG-MS analysis, it was found that methanol contained in the film was released from the film at a temperature higher than the boiling point at 760 mmHg.
[0115]
(Measurement)
Structure of dense layer: The structure of the dense layer of the porous silica film was observed using a JSM6320F scanning electron microscope manufactured by JEOL Ltd., with an acceleration voltage of 5 kV, magnifications of 50000 times and 100000 times. The analysis of the structure of the dense layer is as described above.
[0116]
Maximum surface roughness: The maximum surface roughness of the porous silica film is obtained by polishing the sample in cross section and taking a photo of the secondary electron image using a scanning electron microscope (SEM). It was determined by measuring the maximum value of the bottom and the bottom of the valley. SEM was observed using an JEOL JSM6320F scanning electron microscope at an acceleration voltage of 5 kV and magnifications of 10000 and 50000 times. In addition, the measurement with an atomic force microscope was performed by the above-described method (5 locations; 100 μm square region) using SPI300, DFM mode manufactured by Seiko Co., Ltd., and the evaluation result of the maximum value of the surface unevenness by SEM was verified.
[0117]
Refractive index: The refractive index of the porous silica film was measured in the wavelength range of 250 to 850 nm by spectroscopic ellipsometry (GES-5 manufactured by SOPRA) and analyzed using modeling.
[0118]
Total carbon concentration: The total carbon concentration of the porous silica membrane was measured by placing the sample in a total carbon concentration measuring apparatus, heating to 1450 ° C., and analyzing the amount of carbon in the gas generated. The total carbon concentration measuring device used was TOC5000 manufactured by Shimadzu Corporation.
[0119]
Analysis of carbon components derived from carbon sources: 13 C solid state NMR measurement was performed and carbon source origin analysis was performed.
[0120]
TG-MS analysis: The temperature was raised to 25 to 600 ° C. under a nitrogen stream, and the vaporized substance was detected with a mass spectrometer.
[0121]
(Example 2)
The same raw material liquid as in Example 1 was used, and the raw material liquid was applied onto a glass substrate (thickness 0.7 mm) having a refractive index of 1.5 at 23 ° C. at a sodium D line wavelength to form a primary film. Application of the raw material solution was performed by spin coating at a rotation speed of 3000 rpm for 20 seconds at room temperature and in the atmosphere, and left for 10 minutes to obtain an intermediate film.
[0122]
The obtained intermediate film was allowed to stand for 5 minutes in a gas atmosphere containing ammonia vapor as a catalyst substance, and then dried in an oven at 150 ° C. to obtain a porous silica film. During this drying, n-butanol, which is a hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher, was removed.
[0123]
The obtained porous silica film had a dense layer with a thickness of 30 nm in a region about 50 nm deep from the surface. A void having a width of 1 to 5 nm was formed in the dense layer of the porous silica film thus obtained, and a void having a width of 15 to 20 nm was formed in the main body layer other than the dense layer. Also. The surface of the porous silica film was very flat, and the maximum surface roughness was 10 nm. From the refractive index measurement by ellipsometry, the refractive index of this porous silica film (main layer) was 1.3. The total carbon concentration in the porous silica film is 3%, 13 From the results of C solid state NMR measurement, it was found that methanol was present and methoxy groups derived from the raw material methoxysilane oligomer were not substantially observed. Moreover, as a result of TG-MS analysis, it was found that methanol contained in the film was released from the film at a temperature higher than the boiling point at 760 mmHg.
[0124]
(Example 3)
Using the multilayer substrate of Example 1 described above, an electroluminescence element was manufactured by the following procedure. {Circle around (1)} On the surface of the porous silica film of the laminated substrate obtained in Example 1, an ITO layer (thickness: 0.15 μm) as a transparent electrode was formed by sputtering. The surface of the ITO layer was washed with an aqueous surfactant solution and ultrapure water and dried to remove moisture. (2) Next, this transparent electrode was patterned. For patterning, a photoresist material is applied onto the entire surface of the transparent electrode by spin coating, and an ultra-high pressure mercury lamp (exposure intensity 230 mJ / cm 2 Then, the photoresist material in the unexposed portion was dissolved and removed (developed) with a dilute aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide (concentration: 2.4% by weight). The ITO exposed in the development was dissolved and removed (etched) with 6N hydrochloric acid at 45 ° C. After the etching, the remaining photoresist material that was hardly soluble upon exposure was peeled off. This peeling was performed by dipping in a concentrated tetramethylammonium hydroxide aqueous solution (concentration: 20% by weight). Then, it washed with ultrapure water. (3) Next, an interlayer insulating film was provided. The interlayer insulating film was provided in order to prevent a short circuit between the electroluminescent layer and the cathode to be formed after covering an excess portion of the patterned ITO with an insulating material (photoresist material). First, a photoresist material is applied to the entire surface by spin coating, and then exposed to a predetermined shape using an ultra-high pressure mercury lamp (exposure intensity 100 mJ / cm 2 Then, the unexposed photoresist material was dissolved and removed (developed) with the dilute aqueous solution of tetramethylammonium hydroxide. Then, washing with ultrapure water was performed. (4); Next, an electroluminescent layer was formed thereon. As the electroluminescence layer, an 8-hydroxyquinoline complex of aluminum (abbreviated as Alq3) was deposited with a thickness of about 200 nm. {Circle over (5)} On the electroluminescence layer thus formed, a lithium fluoride (thickness 0.5 nm) / aluminum layer (thickness 80 nm) as a cathode was formed by vapor deposition. Here, lithium fluoride was used for the purpose of promoting electron injection.
[0125]
(Evaluation of chemical resistance of porous silica membrane)
The surface of the porous silica membrane obtained in Example 1 and Example 2 was immersed in a 20 wt% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution at 23 ° C. for 60 seconds, and then washed with water. When the cross section of the film before and after this treatment was observed with an SEM and the rate of change in the thickness of the porous silica film was determined, both Example 1 and Example 2 were less than 5%. The film thickness change rate here is the ratio of the difference in film thickness t2 after processing to the film thickness t1 before processing (| t1-t2 | = Δt), that is, Δt / t1 × 100 (%). expressed.
[0126]
(Comparative Example 1)
An electroluminescent device of Comparative Example 1 was prepared in the same manner as Example 3 except that a commercially available glass substrate was used instead of the laminated substrate of Example 1. In addition, the maximum value of the surface unevenness of the glass substrate was about 10 nm.
[0127]
(Performance evaluation of electroluminescence element)
When an electric field of 3 to 15 V was applied to the electroluminescent elements of Example 3 and Comparative Example 1, the emission intensity of emitted light to the outside of the electroluminescent element of Example 3 was about 1.2 times that of Comparative Example 1. In addition, the electroluminescent element of Example 3 was not damaged by a short circuit. From these results, the electroluminescent element of Example 3 was able to form a transparent electrode with very few protrusions and depressions due to the excellent flatness of the porous silica film constituting it, and the refractive index due to the residual alkaline aqueous solution. It is thought that no increase has occurred.
[0128]
【The invention's effect】
As described above, according to the porous silica film of the present invention, the dense layer having pores with a diameter of 0 to 10 nm is present in the surface layer region of the film with a thickness of 5 to 100 nm. It acts to suppress the penetration of alkaline water and the like. As a result, even when alkaline water or the like is used during the process of laminating the porous silica film on the substrate, the inclusion of impurities such as alkaline water that may affect long-term reliability is effectively limited. can do.
[0129]
According to the multilayer substrate and the electroluminescent device of the present invention, the porous silica film has a dense layer that acts to suppress permeation of alkaline water or the like, and thus has, for example, the multilayer substrate or the multilayer substrate. Even when alkaline water or the like is used during the manufacturing process of the element, it is possible to effectively limit impurities such as alkaline water that may affect long-term reliability. Such a multilayer substrate of the present invention is particularly preferably used in the case of an electroluminescence element or the like that patterns a transparent electrode such as ITO on a porous silica film, and is extremely effective in maintaining the long-term reliability of the electroluminescence element. is there. In addition, since the porous silica film constituting the present invention has extremely smooth surface irregularities, for example, when this laminated substrate is used as a transparent substrate for an electroluminescence element, a transparent electrode is formed on the low refractive index layer. However, protrusions and depressions can be prevented from occurring in the transparent electrode, and as a result, the laminated substrate of the present invention can contribute to the formation of an electroluminescent element having excellent reliability.
[0130]
In addition, according to the multilayer substrate and the electroluminescence device of the present invention, since there are few residual organic components, particularly when used for an electroluminescence device, the change with time is small and the stability is excellent, and the light extraction efficiency is high. A good electroluminescent element can be provided.
[0131]
In addition, according to the method for producing a porous silica film and a laminated substrate of the present invention, the porous silica film that exhibits the above-described effects only by simple steps excellent in productivity, such as application of raw materials, surface treatment with chemicals, and drying. Can be produced.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of an electroluminescence element structure.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of an electroluminescence element not having a low refractive index layer.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of an electroluminescence element having a low refractive index layer.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of a laminated substrate of the present invention.
[Explanation of symbols]
1 Electroluminescence element
2 Substrate
3 Transparent electrodes
4 Electroluminescence layer
5 Cathode
6 Low refractive index layer (porous silica film)
7 Air
8 Dense layer
9 Body layer
10 Multilayer substrate
11 Light with a large emission angle
12 Waveguide light
Claims (12)
前記一次膜を形成する含水有機溶液が加水分解反応および脱水縮合反応を起こして中間体膜が形成される工程、
前記中間体膜に水溶性有機溶媒を接触させて多孔性シリカ膜を形成する工程、および、
前記多孔性シリカ膜に加水分解反応および脱水縮合反応を促進させる触媒物質を接触させて当該多孔性シリカ膜の表層領域に緻密層を形成する工程、を含むことを特徴とする多孔性シリカ膜の製造方法。A step of forming a primary film from a hydrous organic solution containing a raw material compound mainly composed of alkoxysilanes that undergoes a hydrolysis reaction and a dehydration condensation reaction and a hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher;
A step in which the water-containing organic solution forming the primary film undergoes a hydrolysis reaction and a dehydration condensation reaction to form an intermediate film,
Forming a porous silica film by bringing a water-soluble organic solvent into contact with the intermediate film; and
Forming a dense layer in a surface layer region of the porous silica film by contacting the porous silica film with a catalytic substance that promotes a hydrolysis reaction and a dehydration condensation reaction. Production method.
前記一次膜中の含水有機溶液が加水分解反応および脱水縮合反応を起こして中間体膜が形成される工程、
前記中間体膜に加水分解反応および脱水縮合反応を促進させる触媒物質を接触させて当該中間体膜の表層領域に緻密層を形成する工程、および、
前記中間体膜を乾燥させて前記の沸点８０℃以上の親水性有機化合物を除去して多孔性シリカ膜を形成する工程、を含むことを特徴とする多孔性シリカ膜の製造方法。A step of forming a primary film from a hydrous organic solution containing a raw material compound mainly composed of alkoxysilanes that undergoes a hydrolysis reaction and a dehydration condensation reaction and a hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher;
A step in which a water-containing organic solution in the primary film undergoes a hydrolysis reaction and a dehydration condensation reaction to form an intermediate film;
Contacting the intermediate film with a catalytic substance that promotes a hydrolysis reaction and a dehydration condensation reaction to form a dense layer in a surface layer region of the intermediate film; and
And a step of drying the intermediate film to remove the hydrophilic organic compound having a boiling point of 80 ° C. or higher to form a porous silica film.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002348812A JP4356308B2 (en) | 2002-11-29 | 2002-11-29 | Porous silica film, laminated substrate having the same, method for producing the same, and electroluminescence device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002348812A JP4356308B2 (en) | 2002-11-29 | 2002-11-29 | Porous silica film, laminated substrate having the same, method for producing the same, and electroluminescence device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004182491A JP2004182491A (en) | 2004-07-02 |
| JP4356308B2 true JP4356308B2 (en) | 2009-11-04 |
Family
ID=32751624
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002348812A Expired - Lifetime JP4356308B2 (en) | 2002-11-29 | 2002-11-29 | Porous silica film, laminated substrate having the same, method for producing the same, and electroluminescence device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4356308B2 (en) |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4470627B2 (en) | 2004-07-15 | 2010-06-02 | 日本電気株式会社 | Optical substrate, light emitting element, and display device |
| JP2006036598A (en) * | 2004-07-28 | 2006-02-09 | Ube Nitto Kasei Co Ltd | Method for producing porous silica-based thin film, porous silica-based thin film, and structure |
| JP4511440B2 (en) * | 2004-10-05 | 2010-07-28 | 三星モバイルディスプレイ株式會社 | ORGANIC LIGHT EMITTING ELEMENT AND METHOD FOR PRODUCING ORGANIC LIGHT EMITTING ELEMENT |
| KR100683693B1 (en) | 2004-11-10 | 2007-02-15 | 삼성에스디아이 주식회사 | Light emitting device |
| JP5007487B2 (en) * | 2004-11-29 | 2012-08-22 | 富士通株式会社 | Spin coating method, low dielectric constant interlayer insulating film manufacturing method, and semiconductor device manufacturing method |
| JP4938994B2 (en) * | 2005-04-22 | 2012-05-23 | ペンタックスリコーイメージング株式会社 | Silica airgel membrane and manufacturing method thereof |
| JP2006342049A (en) * | 2005-05-09 | 2006-12-21 | Hitachi Chem Co Ltd | Silica-based coating film, composition and method for forming the same and laminated body |
| JP2006342048A (en) * | 2005-05-09 | 2006-12-21 | Hitachi Chem Co Ltd | Silica-based coating film, composition for forming silica-based coating film, method for forming silica-based coating film, and laminated body |
| JP4893816B2 (en) * | 2009-12-15 | 2012-03-07 | 日本電気株式会社 | OPTICAL SUBSTRATE, LIGHT EMITTING ELEMENT, DISPLAY DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING THEM |
| JP5880238B2 (en) * | 2011-04-15 | 2016-03-08 | 日本化成株式会社 | LAMINATE MEMBER, MANUFACTURING METHOD THEREOF, AND LAMINATE |
| TWI615367B (en) | 2012-10-12 | 2018-02-21 | 康寧公司 | Articles having retained strength |
| JP2016001199A (en) * | 2012-10-15 | 2016-01-07 | 旭硝子株式会社 | Silica-based porous film, article with silica-based porous film and method of manufacturing the same |
| JP6702039B2 (en) * | 2016-07-05 | 2020-05-27 | 日亜化学工業株式会社 | Thin film manufacturing method, thin film forming material, optical thin film, and optical member |
| JP6606518B2 (en) | 2017-01-31 | 2019-11-13 | 日東電工株式会社 | Optical sheet for light guide plate type liquid crystal display, backlight unit for light guide plate type liquid crystal display, and light guide plate type liquid crystal display |
| JP6627828B2 (en) | 2017-07-19 | 2020-01-08 | 日亜化学工業株式会社 | Thin film manufacturing method, thin film forming material, optical thin film, and optical member |
| JP6911828B2 (en) * | 2018-10-01 | 2021-07-28 | Ａｇｃ株式会社 | Glass laminate, display front plate and display device |
| JP2020030435A (en) * | 2019-11-14 | 2020-02-27 | 日亜化学工業株式会社 | Thin film forming material, optical thin film, and optical member |
-
2002
- 2002-11-29 JP JP2002348812A patent/JP4356308B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2004182491A (en) | 2004-07-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4356308B2 (en) | Porous silica film, laminated substrate having the same, method for producing the same, and electroluminescence device | |
| JP4140541B2 (en) | Electroluminescence element | |
| JP4186847B2 (en) | Electroluminescence element | |
| JP2004296438A (en) | Electroluminescent element | |
| JP4186688B2 (en) | Electroluminescence element | |
| WO2004089042A1 (en) | Electroluminescence device | |
| JP5644825B2 (en) | Silica porous body, laminated body and composition for optical use, and method for producing silica porous body | |
| KR101186719B1 (en) | Composition for sealing semiconductor, semiconductor device, and process for manufacturing semiconductor device | |
| KR101220029B1 (en) | Composition and method for production thereof, porous material and method for production thereof, interlayer insulating film, semiconductor material, semiconductor device, and low-refractive-index surface protection film | |
| WO2007142000A1 (en) | Precursor composition for porous membrane, process for preparation of the precursor composition, porous membrane, process for production of the porous membrane, and semiconductor device | |
| JP4279064B2 (en) | Porous silica film and laminate having the same | |
| JPH0797548A (en) | Coating liquid for forming silicon oxide coating film | |
| JP2006500769A (en) | Interlayer adhesion promoter for low-k materials | |
| JP4279063B2 (en) | Porous silica film and laminate having the same | |
| US20090206453A1 (en) | Method for Preparing Modified Porous Silica Films, Modified Porous Silica Films Prepared According to This Method and Semiconductor Devices Fabricated Using the Modified Porous Silica Films | |
| CN1313371C (en) | Electronic device comprising a mesoporous silica layer and composition for preparing the mesoporous silica layer | |
| JP3909912B2 (en) | Silica-based thick film coating method | |
| JP4251927B2 (en) | Method for producing porous silica membrane | |
| JP5640310B2 (en) | Composition, antireflection film substrate, and solar cell system | |
| JP4927293B2 (en) | Porous silica film, laminated substrate having the same, and electroluminescence device | |
| JP5206653B2 (en) | Method for producing porous silica film and method for producing laminated substrate | |
| JP2012136559A (en) | Method for producing polysiloxane condensation reaction product varnish | |
| JP5685884B2 (en) | Silica body and method for producing the same | |
| JP5370241B2 (en) | Method for producing porous silica | |
| JP2012030592A (en) | Laminate having porous silica film, and method of manufacturing the same |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050905 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080903 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080916 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090317 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090514 |
|
| A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20090521 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090714 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090727 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120814 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4356308 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130814 Year of fee payment: 4 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |