JP4321552B2 - アクチュエータ装置及び液体噴射ヘッド - Google Patents
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Description
かかる第1の態様では、下電極に薄肉部及び凹部を設けることによって、下電極の剛性を維持して駆動耐久性を維持しつつ、変位特性を向上することができる。また、凹部の内面及び開口縁部を曲面状に形成することで、凹部の剛性を向上して、さらに確実に駆動耐久性を向上することができる。
かかる第2の態様では、下電極の駆動耐久性を維持しつつ、圧電素子の変位特性を向上することができる。
かかる第3の態様では、大気中の水分等に起因する圧電素子の破壊を防止することができる。また、凹部の内面及び開口縁部を曲面状に設けることで、保護膜の付きまわりを向上して、さらに確実に圧電素子の破壊を防止することができる。
かかる第4の態様では、大気中の水分等に起因する圧電素子の破壊を防止することができる。
かかる第5の態様では、上電極及び下電極によって、圧電体能動部の長手方向及び短手方向の端部を規定することができ、圧電素子の高密度化を実現できる。
かかる第6の態様では、駆動耐久性を向上して信頼性を向上すると共に、液体噴射特性を向上した液体噴射ヘッドを実現できる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、流路形成基板の平面図及び圧力発生室の長手方向の断面図であり、図3は、図2(b)のA−A′断面図及びその要部拡大断面図である。図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では結晶面方位が(110)面のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化によって二酸化シリコンからなる厚さ0.5〜2μmの弾性膜50が形成されている。
以上、本発明の実施形態1について説明したが、本発明の基本的構成は、上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1では、保護膜200を複数の圧電素子300(圧電体能動部320)に亘って連続して設けるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、保護膜200を各圧電素子300毎に設けるようにしてもよい。
Claims (6)
- 基板の一方面に設けられた下電極、圧電体層及び上電極を備えた複数の圧電素子を有すると共に、前記下電極が複数の前記圧電素子に亘って形成されており、
前記下電極の互いに隣接する前記圧電素子の間の領域が前記圧電素子に設けられた領域よりも厚さが薄い薄肉部となっていると共に、前記薄肉部の前記圧電素子との境界部分には、少なくとも一部が薄肉部よりも厚さが薄い凹部が設けられており、且つ該凹部の内面及び当該凹部の前記圧電素子とは反対側の開口縁部が曲面状に設けられていることを特徴とするアクチュエータ装置。 - 前記薄肉部及び前記凹部が前記圧電素子の長手方向に亘って設けられていることを特徴とする請求項1記載のアクチュエータ装置。
- 前記圧電素子の少なくとも前記圧電体層の側面及び前記凹部を覆う絶縁体からなる保護膜が設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のアクチュエータ装置。
- 前記保護膜が、複数の圧電素子に亘って設けられていることを特徴とする請求項3記載のアクチュエータ装置。
- 前記上電極が各圧電素子毎に独立して設けられていると共に、当該上電極の前記圧電素子の短手方向の端部が当該圧電素子の実質的な駆動部となる圧電体能動部の短手方向の端部を規定しており、且つ前記下電極の前記圧電素子の長手方向の端部が、前記圧電体能動部の長手方向の端部を規定していることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のアクチュエータ装置。
- 請求項1〜5の何れかに記載のアクチュエータ装置を液体を噴射させるための液体吐出手段として具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
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