JP4320574B2 - エピタキシャル成長装置 - Google Patents
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Description
前記整流部材の内部でガス流を整流するための仕切り板が前記ガス流とほぼ平行に設けられ、
前記整流部材内部の下面に前記ガス流とほぼ直角に、該ガス流の一部をさえぎる衝突壁が設けられ、
前記ガス流を前記衝突壁でさえぎり前記原料ガスまたはキャリアガスの前記衝突壁との衝突による拡散効果および前記整流部材上面と前記衝突壁との狭い隙間を通ることによる整流効果により前記原料ガスの流れを均一化させることを特徴とする。
本発明のエピタキシャル成長装置は、ウェーハを収容するチャンバーと、前記チャンバー内に回転可能に設置され、前記ウェーハを支持するサセプタと、原料ガスもしくはキャリアガスを少なくとも含むガスを前記チャンバー内に供給するガス供給源と、前記ガス供給源から供給されるガスを整流化するための整流部材と、整流化された前記ガスをチャンバー内に流出させるガス流出口を有し、前記整流部材と前記ガス流出口とは、ほぼ水平方向を向いており、かつ両者間に段差が設けられており、両者を連結する接合部材がほぼ一定の傾斜で構成され、
前記整流部材の内部でガス流を整流するための仕切り板が前記ガス流とほぼ平行に設けられ、
前記整流部材内部の上面に前記ガス流とほぼ直角に、該ガス流の一部をさえぎる衝突壁が設けられ、
前記ガス流を前記衝突壁でさえぎり前記原料ガスまたはキャリアガスの前記衝突壁との衝突による拡散効果および前記整流部材下面と前記衝突壁との狭い隙間を通ることによる整流効果により前記原料ガスの流れを均一化させることを特徴とする。
本発明のエピタキシャル成長装置は、前記整流部材と前記衝突壁との前記隙間が該衝突壁の無い前記整流部材の内部断面積の16%から84%とされ、前記接合部材における傾斜部の水平面との角度が20°〜80°とされることができる。
本発明のエピタキシャル成長装置は、ウェーハ(図1の7)を収容するチャンバー(図1の2)と、前記チャンバー内に回転可能に設置され、前記ウェーハを支持するサセプタ(図1の6)と、原料ガスまたはキャリアガスを少なくとも含むガスを前記チャンバー内に供給するガス供給源(図1の3)と、前記ガス供給源から供給されるガスを整流化させるための整流部材(図1の5)と整流化された前記ガスをチャンバー内に流出させるガス流出口(図3の12)を有し、前記整流部材とガス流出口はほぼ水平方向を向いており、かつ両者間に段差が設けられている。
また、前記整流部材と前記ガス流出口を連結するための接合部材(図3の8)が組み込まれていて、前記接合部材がほぼ一定の傾斜を有することにより、流入ガスの流速がより均一化しエピタキシャル成長膜厚の均一性を良くする。このときの傾斜部の水平面との角度は20°〜80°が望ましい。
このときの前記接合部材の水平面との角度が20°未満では、傾斜が少なく、前記接合部材が前記整流部と直線的に結合している場合と同様に上記の通りの傾斜化する効果が少ない。またこのときの傾斜の水平面との角度が80°を超える場合は、前記整流部から前記接合部材に流れ込むガスが接合部材の壁面に衝突し、乱流を発生させ、ガス分布の粗密化が起こり、整流効果が無くなり、ウェーハ上方空間で速度分布が乱れる。
このとき隙間の内部断面積が16%未満だと壁面による拡散効果がない。またこのとき隙間の内部断面積が84%を超えると狭い隙間を通ることによる整流効果がない。また、衝突壁を下面でなく上面に設けても同様の効果がある。
さらに、整流部材(図3の5)、接合部材(図3の8)およびガス流出口(図3の12)の接続部を、なめらかな曲面で結合することも、ガスの流れをスムースにするため有効である。
さらに、エピタキシャル成長膜厚の均一性を良くするためには、ガスの流れを均一かつスムースにすることが必要なので、そのため接合部材(図2の8)をガス流出口(図3の10)と同心円の円弧を持ち前記ガス流出口を外周から囲む形状とすることも有効である。このときの前記接合部材の角度とは図2のA−A断面すなわち図3において整流部材の底面と前記接合部材のなす角度である。
さらに、整流部材(図3の5)、接合部材(図3の8)およびガス流出口(図3の12)の接続部を、なめらかな曲面で結合することも、ガスの流れをスムースにするため有効である。以上により、最良の結果が得られる。
(1)整流部材(図3の5)とガス流出口(図3の12)に段差をつける為、接合部(図3の8)を傾斜化し、整流部材(図3の5)内に高さ7.0mmの衝突壁(図3の10)を設けた図3で示す本発明の構造。かつ整流部材の内部の内部空間でガスの流れを整流するための仕切り板(図2の11)が設けられている。さらに、図1、図2に示すように、ガス流出口をウェーハ外周からほぼ等距離になるよう円弧状に湾曲させる。かつ、接合部材(図2の8)を前記ガス流出口と同心円の円弧を持ち前記ガス流出口を外周から囲む形状とする。このときの前記接合部材の角度とは図2のA−A断面すなわち図3において整流部材の底面と前記接合部材のなす角度である。このときの角度は45°である。
(2)整流部材(図3の5)とガス流出口(図3の12)に段差をつけない為、接合部(図3の8)に傾斜が存在せず、接合部が水平であり、ガスが整流部からウェーハ上面まで直接流れ、かつ整流部材(図3の5)内に衝突壁(図3の10)を設けない従来構造。ただし整流部材の内部の内部空間でガスの流れを整流するための仕切り板(図2の11)が設けられている。さらに、ガス流出口をウェーハ外周からほぼ等距離になるよう円弧状に湾曲させる。
この際、整流部材の数、原料ガスおよびキャリアガス流量、サセプター回転速度、温度など上記(1)および(2)に記述しないエピ条件は同じにした。以上のように同一条件でエピタキシャル成長した場合のエピ厚さ分布を図5に(1)、図6に(2)の測定結果を示す。本発明によれば、図5に示すようにウェーハ面上の膜厚の増加・減少領域がなくなり、膜厚の均一性が良くなっていることが明らかである。(2)の従来構造においては、図6に示すように、ウェーハ中心から±30mmの位置に局所的なエピタキシャル膜厚増加領域、±80mmの位置に膜厚減少領域が存在している。この結果から本発明のエピタキシャル成長装置の構成によってウエーハの平坦度が大幅に改善されることが実証された。
2 チャンバー
3 ガス供給源
4 配管
5 整流部材
6 サセプター
7 ウェーハ
8 接合部材
9 バッフル孔
10 衝突壁
11 仕切り板
12 ガス流出口
Claims (4)
- ウェーハを収容するチャンバーと、前記チャンバー内に回転可能に設置され、前記ウェーハを支持するサセプタと、原料ガスもしくはキャリアガスを少なくとも含むガスを前記チャンバー内に供給するガス供給源と、前記ガス供給源から供給されるガスを整流化するための整流部材と、整流化された前記ガスをチャンバー内に流出させるガス流出口を有し、前記整流部材と前記ガス流出口とは、ほぼ水平方向を向いており、かつ両者間に段差が設けられており、両者を連結する接合部材がほぼ一定の傾斜で構成され、
前記整流部材の内部でガス流を整流するための仕切り板が前記ガス流とほぼ平行に設けられ、
前記整流部材内部の下面に前記ガス流とほぼ直角に、該ガス流の一部をさえぎる衝突壁が設けられ、
前記ガス流を前記衝突壁でさえぎり前記原料ガスまたはキャリアガスの前記衝突壁との衝突による拡散効果および前記整流部材上面と前記衝突壁との狭い隙間を通ることによる整流効果により前記原料ガスの流れを均一化させることを特徴とするエピタキシャル成長装置。 - ウェーハを収容するチャンバーと、前記チャンバー内に回転可能に設置され、前記ウェーハを支持するサセプタと、原料ガスもしくはキャリアガスを少なくとも含むガスを前記チャンバー内に供給するガス供給源と、前記ガス供給源から供給されるガスを整流化するための整流部材と、整流化された前記ガスをチャンバー内に流出させるガス流出口を有し、前記整流部材と前記ガス流出口とは、ほぼ水平方向を向いており、かつ両者間に段差が設けられており、両者を連結する接合部材がほぼ一定の傾斜で構成され、
前記整流部材の内部でガス流を整流するための仕切り板が前記ガス流とほぼ平行に設けられ、
前記整流部材内部の上面に前記ガス流とほぼ直角に、該ガス流の一部をさえぎる衝突壁が設けられ、
前記ガス流を前記衝突壁でさえぎり前記原料ガスまたはキャリアガスの前記衝突壁との衝突による拡散効果および前記整流部材下面と前記衝突壁との狭い隙間を通ることによる整流効果により前記原料ガスの流れを均一化させることを特徴とするエピタキシャル成長装置。 - 前記整流部材と前記衝突壁との前記隙間が該衝突壁の無い前記整流部材の内部断面積の16%から84%とされ、前記接合部材における傾斜部の水平面との角度が20°〜80°とされることを特徴とする請求項1または、請求項2に記載のエピタキシャル成長装置。
- 前記整流部材、前記接合部材、前記ガス流出口の接続部をなめらかな曲面で結合したことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のエピタキシャル成長装置。
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