しかしながら、前述したように、透明樹脂を用いてマイクロレンズアレイ板を形成する場合、ライトバルブを構成する液晶装置では、比較的光強度の強い入射光が対向基板に入射されることにより透明樹脂が加熱される。よって、液晶装置を長時間駆動させると、マイクロレンズアレイ板において透明樹脂が経時劣化して変色し、透過率が変化して画像表示の品位も劣化する恐れがある。また、電気光学装置の製造時、透明樹脂を用いて形成されるマイクロレンズアレイ板を対向基板として、該対向基板上に配向膜や遮光膜を形成する際に、この対向基板を加熱すると、透明樹脂が変形することにより組み立て不良が生じるという問題がある。
更には、前述したように、マイクロレンズアレイ板がカバーガラスを有する場合、例えばカバーガラスを研磨することによりマイクロレンズの焦点距離を調整する。この際、研磨におけるマージンは例えば絶対値で10[μm]程度が限界となり、比較的大きい値となるため、マイクロレンズアレイ板におけるマイクロレンズの焦点距離がばらついて、表示画像における輝度が画素毎に異なり、高品質な画像表示を行うことができなくなる恐れがある。
本発明は上述の問題点に鑑みなされたものであり、例えば、電気光学装置の製造プロセスにおける歩留まりを向上させると共に、電気光学装置において安定して高品質な画像表示を行うことが可能なマイクロレンズアレイ板及びその製造方法、該マイクロレンズ板を備えた電気光学装置及び該電気光学装置を具備してなる電子機器を提供することを課題とする。
本発明のマイクロレンズアレイ板は上記課題を解決するために、アレイ状に配列された複数のマイクロレンズのレンズ曲面を夫々規定する複数のレンズ形成部を有する透明部材と、前記複数のレンズ曲面の各々と接合されており、前記透明部材のうち少なくとも前記複数のレンズ形成部と異なる屈折率を有する、ポリシランを含む透明材料から形成される第1の透明材料膜とを備える。
本発明のマイクロレンズアレイ板によれば、透明部材は、例えば石英等の透明基板により形成されており、透明部材の表面には、複数のレンズ形成部がアレイ状に形成されている。複数のレンズ形成部は夫々、マイクロレンズのレンズ曲面を規定しており、各レンズ形成部は、凹部又は凸部である。
そして、透明部材のレンズ形成部により規定される複数のレンズ曲面に、第1の透明材料膜が接合される。この第1の透明材料膜は、ポリシランを含む透明材料から形成される。より具体的には、レンズ曲面を規定する各凹部に、透明材料を塗布して充填し、これを硬化させることにより第1の透明材料膜は形成される。或いは、レンズ曲面を規定する各凸部を覆うように透明材料を塗布し、これを硬化させることにより第1の透明材料膜は形成される。
第1の透明材料膜は、複数のレンズ形成部と異なる屈折率を有する。例えば、レンズ形成部としての各凹部に充填されることで第1の透明材料膜が形成される場合には、第1の透明材料膜は、複数のレンズ形成部より大きい屈折率を有するように形成される。よって、この場合、各凹部に充填された第1の透明材料膜の一部により、集光機能を有する所謂平凸状のレンズが、マイクロレンズとして形成される。尚、この場合、第1の透明材料膜及びレンズ形成部間における屈折率の値の大小関係を、前述した関係と逆転させることによって、各凹部によって、光発散機能を有する所謂凹レンズが形成されるようにしてもよい。
或いは、レンズ形成部としての凸部を覆うように、第1の透明材料膜が形成される場合には、第1の透明材料膜は、複数のレンズ形成部より小さい屈折率を有するように形成される。よって、この場合、各凸部により、集光機能を有する所謂平凸状のレンズがマイクロレンズとして形成される。尚、この場合も、第1の透明材料膜及びレンズ形成部間における屈折率の値の大小関係を、前述した関係と逆転させることによって、各凸部を覆う第1の透明材料膜の一部によって、光発散機能を有する所謂凹レンズが形成されるようにしてもよい。
ここでポリシランは石英の屈折率(=1.6)より大きい屈折率(=1.75)を有しており、紫外線を照射すると、その組成が変化することにより、屈折率の値は低くなる。より具体的には、ポリシランに紫外線を照射することにより、最大値1.75から最小値1.55までの範囲内で、低屈折率化させることができる。よって、第1の透明材料膜を形成する際、透明材料に紫外線照射を行うことにより、第1の透明材料膜の屈折率を容易に変化させることができる。
また、ポリシランは無色透明で、例えば300℃以上に加熱しても、屈折率は変化せず且つ変色しないで、無機化する。よって、第1の透明材料膜は、耐熱性に優れ、且つ耐光性にも優れる。
更に、第1の透明材料膜は、ポリシランを含む透明材料を硬化させて形成される。よって、本発明のマイクロレンズアレイ板において、第1の透明材料膜にカバーガラスの機能を持たせることが可能となるため、当該マイクロレンズアレイ板において、カバーガラスは不要となる。当該マイクロレンズアレイ板において、各マイクロレンズの焦点距離を調整するには、第1の透明材料膜の膜厚を調整すればよい。この膜厚の調整は、透明材料を例えばスピンコート法により、透明部材を塗布することで、マージンを小さくして容易に行うことができる。
ここで、ポリシランは、分子量を変化させると、その粘性も変化する。よって、ポリシランの粘性を変化させることで、透明材料の粘性も変化させて、透明基板上に透明材料をスピンコート法により塗布すれば、第1の透明材料膜を、膜厚が所定値となるように形成すると共に、このような膜厚の調整におけるマージンをより小さくすることが可能となる。加えて、第1の透明材料膜において、各マイクロレンズのレンズ曲面と対向する面と反対側の面を平坦にすることが可能となる。その結果、本発明のマイクロレンズアレイ板によれば、各マイクロレンズの焦点距離をほぼ同等にすることが可能となる。
従って、以上説明したような本発明のマイクロレンズアレイ板を、例えば対向基板として用いて、電気光学装置として液晶装置を構成すれば、該液晶装置において、安定して高品質な画像表示を行うことが可能となる。また、本発明のマイクロレンズアレイ板において、第1の透明材料膜は耐熱性に優れるため、当該電気光学装置における組み立て精度を向上させることが可能となる。その結果、電気光学装置の製造プロセスにおける歩留まりを向上させることが可能となる。
本発明のマイクロレンズアレイ板の一態様では、前記複数のレンズ形成部は夫々、凹部であり、前記第1の透明材料膜は、前記凹部に充填されると共に前記複数のレンズ形成部より大きい屈折率を有する。
この態様によれば、各凹部に充填された第1の透明材料膜の一部により、集光機能を有する所謂平凸状のレンズをマイクロレンズとして形成することが可能となる。
本発明のマイクロレンズアレイ板の他の態様では、前記複数のレンズ形成部は夫々、凸部であり、前記第1の透明材料膜は、前記複数のレンズ形成部より小さい屈折率を有する。
この態様によれば、各凸部により、集光機能を有する所謂平凸状のレンズを、マイクロレンズとして形成することが可能となる。
本発明のマイクロレンズアレイ板の他の態様では、前記透明部材は、透明基板と、該透明基板上に、前記第1の透明材料膜と異なる屈折率を有するポリシランを含む透明材料から形成されると共に、前記複数のレンズ形成部を有する第2の透明材料膜とを含む。
この態様によれば、第2の透明材料膜は、アレイ状に配置された複数のレンズ形成部を有し、各レンズ形成部は、凹部又は凸部である。また、第2の透明材料膜は、第1の透明材料膜と同様に、ポリシランを含む透明材料を、透明基板上に塗布して硬化させることにより形成される。よって、第2の透明材料膜を形成する際、透明材料に紫外線を主に含む光を照射することにより、屈折率の値を容易に変化させることができる。この際、各凹部若しくは各凸部における屈折率の値が所定の分布となるように、該凹部若しくは凸部を平面的に見て、該凹部若しくは凸部に照射される光強度の分布即ち該凹部若しくは凸部における光強度の面内分布を調整して、透明材料に対して、光を照射させるようにしてもよい。このように、各凹部若しくは各凸部における屈折率を変化させることで、各マイクロレンズのレンズ曲面が実質的に所定の形状となるように微調整することが可能となる。
本発明のマイクロレンズアレイ板の他の態様では、前記透明部材と反対側における前記第1の透明材料膜上に、前記第1の透明材料膜と同一又は異なる屈折率を有するポリシランを含む透明材料から形成されたカバー部材を更に備える。
この態様によれば、透明部材と反対側における第1の透明材料膜上に、更に、ポリシランを含む透明材料を塗布して、これを硬化させることによりカバー部材が形成される。これにより、第1の透明材料膜は、透明部材及びカバー部材との間に挟持されることとなる。
カバー部材を形成する際、第1の透明材料膜上に、透明材料を、例えばスピンコート法により塗布することにより、その膜厚の調整を、マージンを小さくして容易に行うことができる。よって、このように第1の透明材料膜上に更に、カバー部材を形成することにより、各マイクロレンズの焦点距離を、カバー部材の膜厚を変化させることによっても、調整することが可能となる。尚、カバー部材を形成する際、透明材料に紫外線を主に含む光を照射することにより、その屈折率を変化させて、第1の透明材料膜と同等の値としてもよいし、該第1の透明材料膜と異なる値としてもよい。
本発明の電気光学装置は上記課題を解決するために、上述した本発明のマイクロレンズアレイ板(但し、その各種態様も含む)と、該マイクロレンズと対向する表示用電極と、該表示用電極に接続された配線又は電子素子とを備える。
本発明の電気光学装置によれば、上述した本発明のマイクロレンズ板を備えるので、該マイクロレンズにより光の利用効率を高め、各画素における光の透過率及びコントラストを向上させることができる。また、マイクロレンズ板は耐熱性及び耐光性に優れるため、本発明の電気光学装置では、高品質の画像表示を安定して行うことが可能となる。
また、電気光学装置の製造時、マイクロレンズアレイ板に対する加熱により第1の透明材料膜が変形するのを防止することができるため、当該電気光学装置における組み立て精度を向上させることが可能となる。その結果、電気光学装置の製造プロセスにおける歩留まりを向上させることができる。
尚、このような電気光学装置は、各画素毎に「表示用電極」として配置された島状の画素電極に、走査線、データ線等の配線や薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor;以下適宜、”TFT”と称する)、薄膜ダイオード(Thin Film Diode;以下適宜、”TFD”と称する)の電子素子が接続されてなるアクティブマトリクス駆動型液晶装置等の電気光学装置として構築される。
本発明の電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の電気光学装置を具備する。
本発明の電子機器は、上述した本発明の電気光学装置を具備してなるので、高品質の画像表示を安定して行うことが可能な、投射型表示装置、テレビ、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。また、本発明の電子機器として、例えば電子ペーパなどの電気泳動装置、電子放出装置(Field Emission Display及びConduction Electron-Emitter Display)、これら電気泳動装置、電子放出装置を用いた装置としてDLP(Digital Light Processing)等を実現することも可能である。
本発明のマイクロレンズアレイ板の製造方法は上記課題を解決するために、透明部材に、アレイ状に配列された複数のマイクロレンズのレンズ曲面を夫々規定する複数のレンズ形成部を形成する第1工程と、前記透明部材のうち少なくとも前記複数のレンズ形成部と異なる屈折率を有する、ポリシランを含む透明材料から、前記複数のレンズ曲面の各々と接合される第1の透明材料膜を形成する第2工程とを備える。
本発明のマイクロレンズアレイ板の製造方法によれば、第1工程において、透明部材として、例えば石英等の透明基板に対して、次のようにレジストを介してエッチング処理を施すことにより、複数のレンズ形成部として、夫々マイクロレンズのレンズ曲面を規定する複数の凹部又は複数の凸部を形成する。透明基板に対して、複数の凹部に対応する複数の開口部が形成されたレジストをマスクとして用いて、該複数の開口部を介して、例えばウエットエッチング法によりエッチング処理を施すことにより、複数の凹部をアレイ状に形成する。或いは、透明基板上に、夫々レンズ曲面に対応する曲面を有する複数の凸部を、レジストによりアレイ状に形成し、該レジスト及び透明基板に対して、例えばドライエッチング法によりエッチング処理を施す。これにより、レジストにより形成される複数の凸部が、透明基板に転写される。
続いて、第2工程では、透明部材である透明基板に形成された複数のレンズ曲面に夫々、第1の透明材料膜を接合させて形成する。より具体的には、透明基板の複数の凹部に、ポリシランを含む透明材料を例えばスピンコート法により塗布して充填し第1の前駆膜を成膜し、第1の前駆膜を例えば300℃以上に加熱して硬化させることにより、第1の透明材料膜を形成する。上述したように、ポリシランは石英より大きい屈折率を有するため、各凹部に充填された第1の透明材料膜の一部により、集光機能を有する所謂平凸状のレンズが、マイクロレンズとして形成されることとなる。
ここで、ポリシランの粘性を変化させて、透明材料の粘性を変化させることにより、第1の透明材料膜において、複数の凹部と対向する面と反対側の面が平坦となるように、且つ膜厚が所定値となるように形成するのが好ましい。或いは、第1の透明材料膜を形成した後に、該第1の透明材料膜において、複数の凹部と対向する面と反対側の面が平坦となるように、この面に対して更にポリシランを含む透明材料を塗布して硬化させるか、或いは研磨処理を施してもよい。
また、第1の前駆膜において、各凹部に充填されて形成された部分であって、該凹部に接合する接合部分に紫外線を主に含む光を照射して、該接合部分の屈折率を変化させるようにしてもよい。このように、接合部分の屈折率を変化させて、その値が各凹部より小さくなるようにすれば、各凹部により光発散機能を有する所謂凹レンズを形成することが可能となる。或いは、接合部分の屈折率の値が所定の分布となるように、接合部分を平面的に見て、該接合部分における光の強度の面内分布を調整して、該接合部分に光を照射すれば、各マイクロレンズのレンズ曲面が実質的に所定の形状となるように微調整することが可能となる。
或いは、透明基板の複数の凸部を覆うように、透明基板上に透明材料を塗布して第1の前駆膜を成膜し、第1の前駆膜を加熱して硬化させることにより第1の透明材料膜を形成する。この際、第1の前駆膜に紫外線を主に含む光を照射することにより、第1の前駆膜の屈折率を、複数の凸部より小さい値となるように変化させる。このように、第1の前駆膜の屈折率を変化させることにより、各凸部により、集光機能を有する所謂平凸状のレンズが、マイクロレンズとして形成されることとなる。尚、この際も、前述したように、第1の透明材料膜において、各凸部と対向する面と反対側の面が平坦となるように形成するのが好ましい。また、各凸部を覆い、該凸部に接合する接合部分の屈折率の値が所定の分布となるように、接合部分を平面的に見て、該接合部分における光の強度の面内分布を調整して、該接合部分に光を照射すれば、各マイクロレンズのレンズ曲面が実質的に所定の形状となるように微調整することが可能となる。加えて、第1の前駆膜に対して、紫外線照射を行わないようにしてもよい。これにより、第1の透明材料膜及びレンズ形成部間における屈折率の値の大小関係を、前述した関係と逆転させることができるため、各凸部を覆う第1の透明材料膜の一部によって、光発散機能を有する所謂凹レンズを形成することが可能となる。
以上説明したように製造されたマイクロレンズアレイ板では、第1の透明材料膜は、耐熱性に優れ、且つ耐光性にも優れる。また、各マイクロレンズの焦点距離をほぼ同等とすることが可能となる。
本発明のマイクロレンズアレイ板の製造方法の一態様では、前記第1工程では、前記複数のレンズ形成部として複数の凹部を形成し、前記第2工程は、前記凹部に、前記透明材料を充填することにより、前記複数のレンズ形成部より大きい屈折率を有する第1の前駆膜を成膜する工程と、前記第1の前駆膜を加熱して硬化させることにより前記第1の透明材料膜を形成する工程とを含む。
この態様によれば、各凹部に充填された第1の透明材料膜の一部により、集光機能を有する所謂平凸状のレンズを、マイクロレンズとして形成することが可能となる。
本発明のマイクロレンズアレイ板の製造方法の他の態様では、前記第1工程では、前記複数のレンズ形成部として複数の凸部を形成し、前記第2工程は、前記凸部を覆うように前記透明材料を塗布することにより紫外線照射を施すことで前記複数のレンズ形成部より小さい屈折率を有し得る第1の前駆膜を成膜する工程と、前記第1の前駆膜を加熱して硬化させることにより前記第1の透明材料膜を形成する工程とを含む。
この態様によれば、各凸部により、集光機能を有する所謂平凸状のレンズを、マイクロレンズとして形成することが可能となる。
この、第1工程において、複数のレンズ形成部として、複数の凹部若しくは複数の凸部を形成する態様では、前記第2工程は、前記第1の前駆膜を成膜する工程の後であって、前記第1の透明材料膜を形成する工程の前に、前記第1の前駆膜に紫外線を主に含む光を照射して、前記第1の前駆膜の屈折率を変化させる工程を更に含むように製造してもよい。
このように製造すれば、紫外線照射後に、各凸部より小さい屈折率を有し得る第1の前駆膜の屈折率を変化させて、その値が各凸部より小さくなるようにすれば、各凸部により平凸状のレンズをマイクロレンズとして形成することが可能となる。或いは、第1の前駆膜において、各凹部に充填されて形成された接合部分の屈折率を変化させて、その値が各凹部より小さくなるようにすれば、該凹部により凹レンズを形成することが可能となる。
この、第2工程が、第1の前駆膜の屈折率を変化させる工程を更に含む態様では、前記第1の前駆膜の屈折率を変化させる工程において、前記第1の前駆膜の、前記複数のレンズ曲面と接合される部分を平面的に見て、該部分における前記光の強度の面内分布が所定の分布となるように、前記第1の前駆膜に前記光を照射するように製造してもよい。
このように製造すれば、第1の前駆膜において、各凹部に充填されて形成された接合部分の屈折率の値、若しくは各凸部を覆い、該凸部に接合する接合部分の屈折率の値が所定の分布となるように、第1の前駆膜の屈折率を変化させることが可能となる。この際、第1の前駆膜における、前述の凹部若しくは凸部との接合部分を平面的に見て、該接合部分に照射される光の強度の分布即ち該接合部分における光の強度の面内分布が所定の分布となるように、第1の前駆膜に光を照射する。これにより、各マイクロレンズのレンズ曲面が実質的に所定の形状となるように微調整することが可能となる。
本発明のマイクロレンズアレイ板の製造方法の他の態様では、前記第1工程は、透明基板上に、前記複数のレンズ曲面に対応する複数の曲面が一面に形成された型を、前記一面が前記透明基板と対向するように配置して、該型及び前記透明基板の間にポリシランを含む透明材料を注入して、該型と対向する表面に、前記複数のレンズ形成部が形成された第2の前駆膜を成膜する工程と、該第2の前駆膜の屈折率が前記第1の透明材料膜と異なる値となるように、前記第2の前駆膜に紫外線を主に含む光を照射する工程と、前記第2の前駆膜を加熱して硬化させることにより第2の透明材料膜を形成する工程とを含む。
この態様によれば、複数のマイクロレンズのレンズ曲面に対応する曲面を有する複数の凸部が形成された型を、該複数の凸部が透明基板と対向するように配置し、型及び透明基板の間に、ポリシランを含む透明材料を注入して、第2の前駆膜を形成する。このように形成された第2の前駆膜において、型と対向する表面には、複数の凸部に対応して、夫々マイクロレンズのレンズ曲面を規定する複数の凹部が形成される。
或いは、複数のマイクロレンズのレンズ曲面に対応する曲面を有する複数の凹部が形成された型を、該複数の凹部が透明基板と対向するように配置し、型及び透明基板の間に、ポリシランを含む透明材料を注入して、第2の前駆膜を形成する。このように形成された第2の前駆膜において、型と対向する表面には、複数の凹部に対応して、夫々マイクロレンズのレンズ曲面を有する複数の凸部が形成される。
その後、第2の前駆膜に対して、紫外線を主に含む光を照射することにより、第2の前駆膜の屈折率が、第1の透明材料膜と異なる値となるように、変化させる。この際、第2の前駆膜に対して、各凹部若しくは各凸部における屈折率の値が所定の分布となるように、該凹部若しくは凸部を平面的に見て、該凹部若しくは凸部に照射される光強度の分布即ち該凹部若しくは凸部における光強度の面内分布を調整して、光を照射させるようにしてもよい。これにより、各マイクロレンズのレンズ曲面が実質的に所定の形状となるように微調整することが可能となる。
その後、第2の前駆膜を300℃以上に加熱して硬化させて、第2の透明材料膜を形成する。尚、第2の前駆膜に対する光の照射を行わないで、第2の前駆膜を硬化させるようにしてもよい。
本発明のマイクロレンズアレイ板の製造方法の他の態様では、前記第1の透明材料膜の表面を平坦化させる第3工程を更に備える。
この態様によれば、各マイクロレンズの焦点距離をほぼ同等とすることが可能となる。
本発明のマイクロレンズアレイ板の製造方法の他の態様では、前記透明部材と反対側における前記第1の透明材料膜上に、前記第1の透明材料膜と同一又は異なる屈折率を有する、ポリシランを含む透明材料を塗布して硬化させることにより、カバー部材を形成する第4工程を更に備える。
この態様によれば、各マイクロレンズの焦点距離を、カバー部材の膜厚を変化させることによっても、調整することが可能となる。
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
<1:第1実施形態>
本発明のマイクロレンズアレイ板に係る第1実施形態について、図1から図10を参照して説明する。
<1−1:マイクロレンズアレイ板>
先ず、本実施形態におけるマイクロレンズアレイ板について、図1及び図2を参照して説明する。ここに、図1は、マイクロレンズアレイ板の概略斜視図であり、図2(a)は、本実施形態のマイクロレンズアレイ板のうち4つのマイクロレンズに係る部分を拡大して示す部分拡大平面図であり、図2(b)は、本実施形態のマイクロレンズアレイ板の部分拡大断面図である。
図1に示すように、本実施形態のマイクロレンズアレイ板20は、例えば石英板等からなる透明部材210を備える。透明部材210のレンズ形成面には、アレイ状に多数の凹状の窪みが掘られることにより、複数の凹部211が夫々レンズ形成部として形成されている。即ち、本実施形態では、本発明に係る「レンズ形成部」は、凹状のレンズ曲面を規定する凹部211である。本実施形態では、係る「レンズ形成部」は、透明基板210の本体部と一体的に形成されており、両者の屈折率は当然にして等しい。
透明部材210に、ポリシランを含む透明材料を、各凹部211の凹状の窪みに充填して塗布し、これを硬化することにより第1の透明材料膜230が形成されている。更に、透明部材210のレンズ形成面と反対側における第1の透明材料膜230上に、ポリシランを含む透明材料を塗布して、これを硬化させることによりカバー部材200が形成されている。これらにより、アレイ状に平面配列された多数のマイクロレンズ500が構築されている。尚、本実施形態では、カバー部材200及び第1の透明材料膜230の各々の屈折率は、同等としてもよいし、異なっていてもよい。
図2(a)及び図2(b)に示すように、各マイクロレンズ500の曲面は、相互に屈折率が異なる透明部材210と第1の透明材料膜230とにより概ね規定されている。より具体的には、各凹部211は、マイクロレンズ500のレンズ曲面を規定する。また、ポリシランは、石英の屈折率(=1.6)より大きい屈折率(=1.75)を有するため、第1の透明材料膜230の屈折率は、各凹部211より大きい値となる。そして、各マイクロレンズ500は、各凹部211に充填された第1の透明材料膜230の一部により形成される。
尚、本実施形態では、図2(a)及び図2(b)を参照して説明した凹部211は、それが規定する球面又は非球面であるレンズ曲面が、隣接する凹部211が規定するレンズ曲面と、接するように形成されてもよいし、交わるように形成されてもよい。後者の如くレンズ曲面が交わるように形成すれば、各マイクロレンズ500においてレンズとして有効な領域を広くとることが可能となる。理想的には、各マイクロレンズ500のコーナー部501(図2(a)参照)において、4つのレンズ曲面が交わるようにすれば、各マイクロレンズ500の隅々にまで、集光機能を与えることが可能となり、光の利用効率を最大限に高めることが可能となる。
ここで、ポリシランは、例えば300℃以上に加熱しても、屈折率は変化せず且つ変色しないで、無機化する。よって、第1の透明材料膜230は、耐熱性に優れ、且つ耐光性にも優れる。
また、第1の透明材料膜230は、ポリシランを含む透明材料を硬化させて形成されるため、第1の透明材料膜230にカバーガラスの機能を持たせることが可能となる。よって、本実施形態では、第1の透明材料膜230上に更にカバー部材200が形成されているが、第1の透明材料膜230の膜厚を調整することにより、カバー部材200を設けないようにしてもよい。尚、このようにカバー部材200を形成すれば、各マイクロレンズ500の焦点距離を、カバー部材200の膜厚を変化させることによって、調整することが可能となる。
<1−2:電気光学装置>
次に、上述のマイクロレンズアレイ板20を、対向基板として備える電気光学装置について、その全体構成を図3及び図4を参照して説明する。ここに、図3は、TFTアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に、対向基板であるマイクロレンズアレイ板側から見た平面図であり、図4は、図3のH−H’断面図である。ここでは、電気光学装置の一例である駆動回路内蔵型のTFTアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例にとる。
図3及び図4において、本実施形態に係る電気光学装置では、TFTアレイ基板10と対向基板として用いられるマイクロレンズアレイ板20とが対向配置されている。TFTアレイ基板10とマイクロレンズアレイ板20との間に液晶層50が封入されており、TFTアレイ基板10とマイクロレンズアレイ板20とは、画像表示領域10aの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材52により相互に接着されている。
シール材52は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてTFTアレイ基板10上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。また、シール材52中には、TFTアレイ基板10とマイクロレンズアレイ板20との間隔(基板間ギャップ)を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。即ち、本実施形態の電気光学装置は、プロジェクタのライトバルブ用として小型で拡大表示を行うのに適している。
シール材52が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域10aの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜53が、マイクロレンズアレイ板20側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜53の一部又は全部は、TFTアレイ基板10側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。
画像表示領域10aの周辺に位置する周辺領域のうち、シール材52が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路101及び外部回路接続端子102がTFTアレイ基板10の一辺に沿って設けられている。また、走査線駆動回路104は、この一辺に隣接する2辺に沿い、且つ、前記額縁遮光膜53に覆われるようにして設けられている。更に、このように画像表示領域10aの両側に設けられた二つの走査線駆動回路104間をつなぐため、TFTアレイ基板10の残る一辺に沿い、且つ、前記額縁遮光膜53に覆われるようにして複数の配線105が設けられている。
また、マイクロレンズアレイ板20の4つのコーナー部には、両基板間の上下導通端子として機能する上下導通材106が配置されている。他方、TFTアレイ基板10にはこれらのコーナー部に対向する領域において上下導通端子が設けられている。これらにより、TFTアレイ基板10とマイクロレンズアレイ板20との間で電気的な導通をとることができる。
図4において、TFTアレイ基板10上には、画素スイッチング用のTFTや走査線、データ線等の配線が形成された後の画素電極9a上に、配向膜が形成されている。他方、詳細な構成については後述するが、マイクロレンズアレイ板20上には、対向電極21の他、格子状又はストライプ状の遮光膜23、更には最上層部分に配向膜が形成されている。また、液晶層50は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。
なお、図3及び図4に示したTFTアレイ基板10上には、これらのデータ線駆動回路101、走査線駆動回路104等に加えて、画像信号線上の画像信号をサンプリングしてデータ線に供給するサンプリング回路、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の当該電気光学装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路等を形成してもよい。
次に、以上の如く構成された電気光学装置における回路構成及び動作について、図5を参照して説明する。図5には、電気光学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路を示してある。
図5において、本実施形態における電気光学装置の画像表示領域10aを構成するマトリクス状に形成された複数の画素には、それぞれ、画素電極9aと当該画素電極9aをスイッチング制御するためのTFT30とが形成されており、画像信号が供給されるデータ線6aが当該TFT30のソースに電気的に接続されている。データ線6aに書き込む画像信号S1、S2、…、Snは、この順に線順次に供給しても構わないし、相隣接する複数のデータ線6a同士に対して、グループ毎に供給するようにしてもよい。
また、TFT30のゲートにゲート電極3aが電気的に接続されており、所定のタイミングで、走査線11a及びゲート電極3aにパルス的に走査信号G1、G2、…、Gmを、この順に線順次で印加するように構成されている。画素電極9aは、TFT30のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるTFT30を一定期間だけそのスイッチを閉じることにより、データ線6aから供給される画像信号S1、S2、…、Snを所定のタイミングで書き込む。
画素電極9aを介して電気光学物質の一例としての液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号S1、S2、…、Snは、マイクロレンズアレイ板20に形成された対向電極21との間で一定期間保持される。液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能とする。ノーマリーホワイトモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が減少し、ノーマリーブラックモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が増加され、全体として電気光学装置からは画像信号に応じたコントラストをもつ光が出射する。
ここで保持された画像信号がリークするのを防ぐために、画素電極9aと対向電極との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量70を付加する。この蓄積容量70は、走査線11aに並んで設けられ、固定電位側容量電極を含むとともに定電位に固定された容量電極300を含んでいる。
上述した電気光学装置に設けられたマイクロレンズアレイ板20の詳細な構成と、その機能について図6及び図7を参照して説明する。図6は、マイクロレンズアレイ板20における遮光膜23の構成を模式的に示す平面図であって、図7は、複数の画素について、図4に示す断面の構成をより詳細に示す図であって、各マイクロレンズ500の機能について説明するための断面図である。
マイクロレンズアレイ板20において、透明部材210上に、例えば図6に示すように格子状の平面パターンを有する遮光膜23が形成される。マイクロレンズアレイ板20において、遮光膜23によって非開口領域が規定され、遮光膜23によって区切られた矩形の領域が開口領域700となる。尚、遮光膜23を例えばストライプ状に形成し、該遮光膜23と、TFTアレイ基板10側に設けられる容量電極300やデータ線6a等の各種構成要素とによって、非開口領域を規定するように、即ち開口領域700を規定するようにしてもよい。
各マイクロレンズ500は各画素に対応するように配置される。より具体的には、図7に示すように、マイクロレンズアレイ板20において、各画素毎に開口領域700及び該開口領域700の周辺に位置する非開口領域を少なくとも部分的に含む領域にマイクロレンズ500が形成されている。
また、図7において、透明部材210上には遮光膜23を覆うように、透明導電膜からなる対向電極21が形成されている。更に、図7には図示しない配向膜が対向電極21上に形成されている。
他方、図7において、TFTアレイ基板10上の各開口領域700に対応する領域には画素電極9aが形成されている。また、画素スイッチング用のTFT30や、画素電極9aを駆動するための走査線11aやデータ線6a等の各種配線並びに蓄積容量70等の電子素子が、非開口領域に形成されている。このように構成すれば、当該電気光学装置における画素開口率を比較的大きく維持することが可能となる。更に、図7には図示しないが画素電極9a上には配向膜が設けられている。
図7において、マイクロレンズアレイ板20に入射される投射光等の光は、各マイクロレンズ500によって集光される。尚、図7中、一点鎖線によってマイクロレンズ500によって集光された光のようすを概略的に示してある。そして、各マイクロレンズ500によって集光された光は液晶層50を透過して画素電極9aに照射され、該画素電極9aを通過して表示光としてTFTアレイ基板10より出射される。よって、マイクロレンズアレイ板20に入射された光のうち非開口領域に向かう光も、マイクロレンズ500の集光作用により開口領域700に入射させることができるため、各画素における実行開口率を高めることができる。即ち、光の利用効率を高めることで、より明るい画像表示が可能となる。また、マイクロレンズ板20において、後述するように、各マイクロレンズ500の焦点距離をほぼ同等とすることが可能となると共に、第1の透明材料膜230は耐熱性及び耐光性に優れるため、電気光学装置において、高品質の画像表示を安定して行うことが可能となる。
また、電気光学装置の製造時、マイクロレンズアレイ板20に対する加熱により第1の透明材料膜230が変形するのを防止することができるため、当該電気光学装置における組み立て精度を向上させることが可能となる。その結果、電気光学装置の製造プロセスにおける歩留まりを向上させることができる。
上述した電気光学装置では、データ線駆動回路101や走査線駆動回路104をTFTアレイ基板10の上に設ける代わりに、例えばTAB(Tape Automated bonding)基板上に実装された駆動用LSIに、TFTアレイ基板10の周辺部に設けられた異方性導電フィルムを介して電気的及び機械的に接続するようにしてもよい。また、マイクロレンズアレイ板20の投射光が入射する側及びTFTアレイ基板10の出射光が出射する側には各々、例えば、TN(Twisted Nematic)モード、VA(Vertically Aligned)モード、PDLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal)モード等の動作モードや、ノーマリーホワイトモード/ノーマリーブラックモードの別に応じて、偏光フィルム、位相差フィルム、偏光板などが所定の方向で配置される。
尚、上述した電気光学装置では、対向基板として図1及び図2に示した如きマイクロレンズアレイ板20を用いているが、このようなマイクロレンズアレイ板20を、TFTアレイ基板10として利用することも可能である。或いは対向基板として(マイクロレンズアレイ板20ではなく)単純にガラス基板等に対向電極や配向膜が形成されたものを使用して、TFTアレイ基板10側にマイクロレンズアレイ基板20を取り付けることも可能である。即ち、本発明のマイクロレンズは、TFTアレイ基板10側に作り込むこと或いは取り付けることが可能である。
<1−3:マイクロレンズアレイ板の製造方法>
次に、本実施形態に係るマイクロレンズアレイ板20の製造方法について、図8から図10を参照して説明する。図8及び図10は、製造プロセスの各工程におけるマイクロレンズアレイ板20の断面の構成を順を追って概略的に示す工程図である。
先ず、図8(a)に示すように、透明部材として、例えば石英等の透明基板210aにおけるレンズ形成面上に、マスク900として例えばCVD(Chemical Vapor Deposition)等によりアモルファスシリコン膜を形成する。マスク900は耐フッ酸性を有するCr膜、ポリシリコン膜等でも良い。
続いて、図8(b)に示すように、マスク900において図1又は図2(b)に示す凹部211の形成位置に対応する個所に、例えば該マスク900に対するフォトリソグラフィ法を用いたパターニングにより、複数の開口部902を形成する。
ここで、図9は、マスク900の平面的な構成の一例を概略的に示す図である。マスク900において、複数の開口部902は夫々平面的に例えば円形状として形成され、且つ該開口部902に対応する凹部211より小さいサイズとして形成される。
続いて、図8(c)において、複数の開口部902が形成されたマスク900を介して、透明部材210aに対して等方性エッチングを施すことにより、複数の凹部211を形成する。より具体的には、該等方性エッチングは、好ましくは、フッ酸系などのエッチャントを用いたウエットエッチングにより行われる。
その後、図8(d)において、マスク900をエッチング処理によって除去する。
次に、図10(a)において、複数の凹部211に、ポリシランを含む透明材料として、例えばポリシランを有機溶媒に溶かしたものを例えばスピンコート法により塗布して充填し、第1の前駆膜230aを成膜する。これにより、第1の前駆膜230aの膜厚を所定値とすると共に、該膜厚の調整におけるマージンを小さくすることが可能となる。更にポリシランの粘性を変化させることで、透明材料の粘性も変化させて、透明部材210上に透明材料を塗布することにより、第1の前駆膜230aの膜厚の調整を行うようにしてもよい。この場合、第1の前駆膜230aの膜厚の調整におけるマージンをより小さくすることが可能となり、加えて第1の前駆膜230aにおいて各マイクロレンズのレンズ曲面と対向する面と反対側の面を平坦にすることが可能となる。或いは、第1の前駆膜230aを硬化させて第1の透明材料膜230を形成した後に、該第1の透明材料膜230において、複数の凹部211と対向する面と反対側の面が平坦となるように、この面に対して更にポリシランを含む透明材料を更に塗布して硬化させるか、或いは研磨処理を施してもよい。
続いて、図10(b)において、第1の前駆膜230aを例えば300℃以上に加熱して硬化させることにより、第1の透明材料膜230を形成する。
その後、図10(c)において、第1の透明材料膜230において、複数の凹部211と対向する側と反対側の面上に、ポリシランを含む透明材料を例えばスピンコート法により更に塗布して、カバー部材200の前駆膜200aを成膜する。この際、該前駆膜200aの膜厚の調整は、第1の前駆膜230aと同様に、マージンを小さくして容易に行うことができる。また、前駆膜200aの膜厚は、第1の前駆膜230aと同様に、透明材料の粘性を更に変化させることで、調整するようにしてもよい。
尚、図10(c)において、前駆膜230aに対して紫外線を主に含む光を照射させることにより、前駆膜230aの屈折率が、第1の透明材料膜230と異なる値となるように変化させてもよい。また、前述したように、透明材料の粘性を変化させることで、前駆膜230aにおいて、第1の透明材料膜230に対向する側と反対側の表面を平坦にするようにしてもよい。或いは、該表面に対して、前駆膜230aを硬化させてカバー部材200を形成した後に、第1の透明材料膜230と同様に、更にポリシランを含む透明材料を塗布して硬化させるか、或いは研磨処理を施してもよい。
続いて、図10(d)において、前駆膜200aを加熱して硬化させることにより、カバー部材200を形成する。従って、上述したように、膜厚が調整された第1の前駆膜230aを硬化させることにより形成された第1の透明材料膜230に加えて、カバー部材200を形成することにより、各マイクロレンズ500の焦点距離を調整して、同等とすることが可能となる。
尚、既に説明したように、第1の透明材料膜230上に、カバー部材200を設けないようにすれば、マイクロレンズ板20の製造に要する工程数を少なくすることが可能となる。
<1−4:変形例>
以上説明した本実施形態のマイクロレンズアレイ板20の製造方法について、その変形例を以下に説明する。マイクロレンズアレイ板20を製造する際、図10(a)を参照して説明したように、第1の前駆膜230aを成膜した後、図10(b)を参照して説明したように、第1の前駆膜230aを硬化させる前に、第1の前駆膜230aに紫外線を主に含む光を照射して、該第1の前駆膜230aの屈折率を変化させるようにしてもよい。
ここで、図11には、ポリシランの化学的な構造を模式的に示してある。ポリシランに紫外線を主に含む光を照射すると、図11に示すSi−Si結合が切断されて、このSi−Si結合の間に酸素(O)が導入され、Si−O−Si結合(シロキサン結合)が生成することによって、その組成が変化する。これにより、ポリシランは低屈折率化する。よって、第1の前駆膜230aに紫外線を主に含む光を照射することにより、その屈折率を容易に変化させることができる。
このように、第1の前駆膜230aを低屈折率化させて、その屈折率を各凹部211より小さくすることにより、各凹部211により凹レンズを形成することが可能となる。或いは、第1の前駆膜230aにおいて、各凹部211に充填されて形成された部分であって、該凹部211に接合する接合部分の屈折率の値が所定の分布となるように、該接合部分を平面的に見て、該接合部分に照射される光の強度の分布即ち該接合部分における光の強度の面内分布を所定の分布に調整して、第1の前駆膜230aに光を照射する。これにより、各マイクロレンズ500のレンズ曲面が実質的に所定の形状となるように微調整することが可能となる。
<2:第2実施形態>
本発明のマイクロレンズアレイ板に係る第2実施形態について、図12から図15を参照して以下に説明する。尚、以下において、第1実施形態と異なる点についてのみ説明し、第1実施形態との共通個所には図において同一の符号を付して示し、重複する説明は省略する。
先ず、第2実施形態におけるマイクロレンズアレイ板について、図12を参照して説明する。ここに、図12は、第2実施形態におけるマイクロレンズアレイ板の概略斜視図である。
図12に示すように、マイクロレンズアレイ板20において、透明部材210のレンズ形成面には、複数の凸部212が夫々レンズ形成部として形成されている。即ち、本実施形態では、本発明に係る「レンズ形成部」は、凸状のレンズ曲面を規定する凸部212である。本実施形態では、係る「レンズ形成部」は、透明基板210の本体部と一体的に形成されており、両者の屈折率は当然にして等しい。そして、各凸部212を覆うように第1の透明材料膜230が形成されている。更に、第1の透明材料膜230において、透明部材210と対向する側と反対側の面上に、即ち図12中、第1の透明材料膜230の下側に、カバー部材200が形成されている。これらにより、アレイ状に平面配列された多数のマイクロレンズ500が形成されている。
各凸部212は、マイクロレンズ500のレンズ曲面を規定する。また、第1の透明材料膜230の屈折率は、各凸部212より小さい値となる。そして、各マイクロレンズ500は、各凸部212により形成される。
よって、第2実施形態におけるマイクロレンズアレイ板20を、例えば液晶装置の対向基板として用いる場合にも、第1実施形態と同様の利益を享受することができる。尚、マイクロレンズアレイ板20を、対向基板として用いる場合には、各マイクロレンズ500は、図7に示す構成と同様に、画素電極9aに対して配置されるのが好ましい。この場合、遮光膜23や対向電極21は、カバー部材20上に形成される。
次に、第2実施形態におけるマイクロレンズアレイ板20の製造方法について、図13から図15を参照して説明する。図13から図15は、第2実施形態における製造プロセスの各工程におけるマイクロレンズアレイ板20の断面の構成を順を追って概略的に示す工程図である。
先ず、図13(a)において、透明部材として、例えば石英等の透明基板210aにおけるレンズ形成面上に、図12に示す凸部212の形成位置に対応する個所に、複数のレジスト910aを形成する。
続いて、図13(b)において、これら複数のレジスト910aに対してポストベークを行って、夫々レンズ曲面に対応する曲面を有する複数の凸部910を形成する。
その後、図13(c)において、複数の凸部910及び透明部材210aに対して、好ましくはドライエッチング法によりエッチング処理を施す。これにより、複数の凸部910が透明部材210aに転写され、これら複数の凸部910の曲面に対応するレンズ曲面を有する複数の凸部212が透明部材210に形成される。
続いて、図14(a)において、透明部材210上に、複数の凸部212を覆うように、ポリシランを含む透明材料を例えばスピンコート法により塗布し、第1の前駆膜230aを成膜する。
続いて、図14(b)において、第1の前駆膜230aに対して、紫外線を主に含む光を照射して、該第1の前駆膜230aの屈折率が、各凸部212より小さくなるように変化させる。ここで、第1の前駆膜230aにおいて、各凸部212を覆い、該凸部212に接合する接合部分の屈折率の値が所定の分布となるように、第1の前駆膜230aに所定の光強度分布を有する光を照射するようにしてもよい。これにより、各マイクロレンズ500のレンズ曲面が実質的に所定の形状となるように微調整することが可能となる。
続いて、図14(c)において、第1の前駆膜230aを加熱して硬化させることにより、第1の透明材料膜230を形成する。
その後、図15(a)において、第1の透明材料膜230において、複数の凸部212と対向する側と反対側の面上に、ポリシランを含む透明材料を例えばスピンコート法により更に塗布して、カバー部材200の前駆膜200aを成膜する。
続いて、図15(b)において、この前駆膜200aに対して、紫外線を主に含む光を照射して、前駆膜200aの屈折率を第1の透明材料膜230と同等の値に変化させる。尚、この際、第1の透明材料膜230の屈折率を、前駆膜230aと異なる値となるようにしてもよい。このようにする場合、紫外線照射を行わない場合があってもよい。
続いて、図15(c)において、前駆膜200aを加熱して硬化させることにより、カバー部材200を形成する。
尚、図14(b)を参照して説明した工程を省略する、即ち第1の前駆膜230aに対して、紫外線照射を行わないようにしてもよい。これにより、第1の透明材料膜230及び複数の凸部212間における屈折率の値の大小関係を、図12を参照して説明した関係と逆転させることができる。よって、各凸部212を覆う第1の透明材料膜230の一部によって凹レンズを形成することが可能となる。
<3;第1又は第2実施形態の変形例>
以上説明した、第1又は第2実施形態の変形例について、図16から図18を参照して説明する。
先ず、本変形例におけるマイクロレンズアレイ板の一の構成及びその製造方法について、図16及び図17を参照して説明する。図16(a)及び図16(b)は、本変形例におけるマイクロレンズアレイ板の一の構成を示す断面図であって、図17は、本変形例におけるマイクロレンズアレイ板の一の構成に係る製造方法について、特に、透明部材の製造における各工程での該透明部材の断面の構成を順を追って概略的に示す工程図である。
図16(a)及び図16(b)において、透明部材210は、石英等の透明基板220と、該透明基板220上に、ポリシランを含む透明材料から形成される第2の透明材料膜222とを含む。第2の透明材料膜222は、第1の透明材料膜230と異なる屈折率を有する。尚、第2の透明材料膜222は、第1の透明材料膜230に加えて若しくは代えて透明基板220と異なる屈折率を有するように形成されてもよい。
また、図16(a)に示すように、第2の透明材料膜222には、複数のレンズ形成部として複数の凹部211が、レンズ形成面にアレイ状に形成されている。或いは、図16(b)に示すように、第2の透明材料膜222には、複数のレンズ形成部として複数の凸部212が、レンズ形成面にアレイ状に形成されている。
次に、図16(a)及び図16(b)に示す透明部材210の製造に係る製造工程について、図17を参照して説明する。尚、図17には、図16(a)に示す透明部材210の製造工程における、該透明部材210の断面の構成を示してある。
先ず、図17(a)において、透明基板220上に、複数のマイクロレンズ500のレンズ曲面に対応する曲面を有する複数の凸部が形成された型950を、該複数の凸部が透明基板220と対向するように配置する。そして、型950及び透明基板220の間に、ポリシランを含む透明材料を注入して、第2の前駆膜222aを形成する。尚、図16(b)に示す透明部材210を製造する場合には、透明基板220上に、複数のマイクロレンズ500のレンズ曲面に対応する曲面を有する複数の凹部が形成された型950を、該複数の凹部が透明基板220と対向するように配置する。
続いて、図17(b)において、第2の前駆膜222aの屈折率が、第1の透明材料膜230と異なるように、例えば第1の透明材料膜230より小さくなるように、第2の前駆膜222aに対して、主に紫外線を含む光を照射する。尚、この際、透明部材210上に形成される第1の透明材料膜230の屈折率の値によっては、第2の前駆膜222aに対して紫外線照射を行わないようにしてもよい。
また、当該工程において、第2の前駆膜222aに対して、各凹部211若しくは各凸部212における屈折率の値が所定の分布となるように、凹部211若しくは凸部212を平面的に見て、凹部211若しくは凸部212に照射される光強度の分布即ち凹部211若しくは凸部212における光強度の面内分布を調整して、光を照射させるようにしてもよい。これにより、各マイクロレンズ500のレンズ曲面が実質的に所定の形状となるように微調整することが可能となる。
その後、図17(c)において、第2の前駆膜222aを加熱して硬化させることにより第2の透明材料膜222を形成する。
次に、本変形例におけるマイクロレンズアレイ板の他の構成について、図18を参照して説明する。図18は、本変形例におけるマイクロレンズアレイ板の他の構成を示す断面図である。
図18において、図1、図2(b)又は図16(a)に示す透明部材210を2枚用いて、該2枚の透明部材210を、互いに複数の凹部211が形成されたレンズ形成面が対向するように配置して、ポリシランを含む透明材料により相互に貼り合わせることによって、マイクロレンズアレイ板20が形成される。
ここで、ポリシランの粘性を変化させることにより、このように、透明材料を接着剤として用いることが可能となる。そして、2枚の透明部材210を貼り合わせるべく、該2枚の透明部材210の間に注入された透明材料を硬化させることにより、第1の透明材料膜230が形成される。
マイクロレンズアレイ板20において、2枚の透明部材210は、該2枚の透明部材210の各々に形成された複数の凹部211が、図18に示すように互いに向かい合うように配置されている。そして、このように互いに向かい合う凹部211の間に形成された第1の透明材料膜230の一部によって、両凸レンズ500がマイクロレンズとして形成されている。
よって、図18に示すマイクロレンズアレイ板20においても、第1又は第2実施形態と同様の利益を享受することが可能となる。
<4:電子機器>
次に、上述した電気光学装置をライトバルブとして用いた電子機器の一例たる投射型カラー表示装置の実施形態について、その全体構成、特に光学的な構成について説明する。ここに、図19は、投射型カラー表示装置の図式的断面図である。
図19において、投射型カラー表示装置の一例たる液晶プロジェクタ1100は、駆動回路がTFTアレイ基板上に搭載された液晶装置を含む液晶モジュールを3個用意し、それぞれRGB用のライトバルブ100R、100G及び100Bとして用いたプロジェクタとして構成されている。液晶プロジェクタ1100では、メタルハライドランプ等の白色光源のランプユニット1102から投射光が発せられると、3枚のミラー1106及び2枚のダイクロックミラー1108によって、RGBの三原色に対応する光成分R、G及びBに分けられ、各色に対応するライトバルブ100R、100G及び100Bにそれぞれ導かれる。この際特に、B光は、長い光路による光損失を防ぐために、入射レンズ1122、リレーレンズ1123及び出射レンズ1124からなるリレーレンズ系1121を介して導かれる。そして、ライトバルブ100R、100G及び100Bによりそれぞれ変調された三原色に対応する光成分は、ダイクロックプリズム1112により再度合成された後、投射レンズ1114を介してスクリーンにカラー画像として投射される。
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨、あるいは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴うマイクロレンズアレイ板及びその製造方法、該マイクロレンズアレイ板を備えた電気光学装置及び該電気光学装置を具備してなる電子機器もまた、本発明の技術的範囲に含まれるものである。