JP4289158B2 - 面位置検出装置、露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
また、この面位置検出装置によれば、複数の検出点のピッチずれを判別するピッチずれ判別手段を備えているため、複数の検出点のピッチずれを判別することができる。即ち、ある検出点からの反射光を受光する領域に別の検出点からの反射光が到達し、受光した場合においても、複数の検出点のうちの光照射領域の長手方向の両端に配置される2つの検出点からの反射光を受光する領域で別の検出点からの反射光を受光することがないため、複数の検出点のピッチずれを判別することができる。従って、被検面の面位置を正確に検出することができる。
また、この面位置検出装置によれば、光照射領域の長手方向の両端に配置される2つの検出点が検出光の入射方向の所定距離内に他の検出点が配置されない位置に配置されるため、確実に複数の検出点のピッチずれを判別することができる。即ち、複数の検出点のピッチずれが生じた場合においても、光照射領域の長手方向の両端に配置される2つの検出点からの反射光を受光する領域に他の検出点からの反射光が到達することがないため、複数の検出点のピッチずれを確実に判別することができる。従って、被検面の面位置を正確に検出することができる。
また、本発明の一態様のデバイス製造方法は、本発明の一態様の露光装置を用いて、前記パターンを前記感光性基板に転写する露光工程と、前記パターンが転写された前記感光性基板を現像し、前記パターンに対応する形状の転写パターン層を前記感光性基板に形成する現像工程と、前記転写パターン層を介して前記感光性基板を加工する加工工程とを含むことを特徴とする。
Claims (5)
- 被検面に対して斜め方向から検出光を送光し、該被検面により反射された前記検出光を受光して前記被検面の面位置を検出する面位置検出装置において、
前記被検面上に所定ピッチでマトリクス状に2次元的に配列される複数の検出点のそれぞれにスリット状の光照射領域を形成するために、前記被検面へ前記検出光を送光する送光系と、
前記複数の検出点のそれぞれにて反射された前記検出光を受光する受光系と、
前記複数の検出点のうち前記スリット状の光照射領域の長手方向における両端に配置される2つの検出点に対して前記送光系を介してスリット状の光照射領域を形成し、且つ前記両端に配置される前記2つの検出点からの反射光を前記受光系を介して受光して、前記被検面の高さ方向における位置ずれによって生じる前記スリット状の光照射領域のピッチずれを判別するピッチずれ判別手段と、
を備え、
前記検出光は、前記複数の検出点に形成される前記スリット状の光照射領域の長手方向に略直交する方向から入射し、
前記両端に配置される前記2つの検出点は、前記検出光の入射方向の所定距離内に他の検出点が配置されない位置に位置決めされることを特徴とする面位置検出装置。 - 前記両端に配置される前記2つの検出点は、前記マトリクス状に配列された前記検出点とは異なる位置であって、前記被検面が走査される走査方向または前記走査方向と直交する方向に沿って、前記所定のピッチで前記マトリクス状に配列される位置から所定量ずらして配列されていることを特徴とする請求項1記載の面位置検出装置。
- 感光性基板上に所定のパターンを転写する露光装置において、
前記感光性基板の面位置を調整するために該面位置を検出する請求項1または請求項2記載の面位置検出装置を備えることを特徴とする露光装置。 - 感光性基板上に所定のパターンを転写する露光方法において、
請求項1または請求項2記載の面位置検出装置を用いて前記感光性基板の面位置を検出する検出工程と、
前記検出工程の検出結果に基づいて前記感光性基板の面位置を調整する調整工程と、
前記調整工程によって面位置が調整された前記感光性基板上に前記所定のパターンを転写する転写工程と、
を含むことを特徴とする露光方法。 - 請求項3記載の露光装置を用いて、前記パターンを前記感光性基板に転写する露光工程と、
前記パターンが転写された前記感光性基板を現像し、前記パターンに対応する形状の転写パターン層を前記感光性基板に形成する現像工程と、
前記転写パターン層を介して前記感光性基板を加工する加工工程と、
を含むことを特徴とするデバイス製造方法。
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