JP4285946B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体装置に関し、特に、上下配線層がプラグで接続された多層配線構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図10〜図13は、従来の半導体装置の製造方法における配線形成を示す断面図である。
まず、単結晶シリコンなどから成る半導体基板1(図示せず)上の下層絶縁層2上の所定の領域に下層配線層3を形成し、この下層配線層3上を覆う全面に絶縁層としての層間絶縁膜4を形成する。その後、下層配線層3上の層間絶縁膜4に接続孔5を開口して、下層配線層3表面を露出する。次に、TiN膜/Ti膜から成るバリアメタル層6を、スパッタリング法またはCVD法により全面に成膜する(図10)。
次に、タングステン膜7aをCVD法により、接続孔5を埋め込むように全面に形成し(図11)、続いて、ドライエッチング法によりタングステン膜7aを全面エッチバックして接続孔5内にのみ残存させてタングステンプラグ7を形成し、層間絶縁膜4上のバリアメタル層6表面を露出させる。このとき、バリアメタル層6上にタングステン膜7aが残存して上層に形成する配線層間のショートが発生しないように、所定量のオーバーエッチングを施し、タングステン膜7aを層間絶縁膜4上のバリアメタル層6表面より0.10〜0.30μm程度後退させてリセス8を形成する(図12)。
【0003】
次いで、AlCu膜から成る上層アルミ膜9を、300〜500℃で成膜する高温アルミ成膜法により全面に成膜し、その後上層アルミ膜9およびバリアメタル層6をパターニングして、タングステンプラグ7により接続された上下配線層3、9の配線形成を完了する(図13)。
このように、従来の半導体装置の配線形成は、タングステンプラグ7上に接続形成する上層アルミ膜9を高温アルミ成膜法にて成膜していた。この高温アルミ成膜法は、成膜時にアルミ材料が流動状態で成膜されるため、良好なカバレジおよび表面平坦性で成膜できる技術である。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような上層アルミ膜9を形成する高温アルミ成膜法では、アルミ材料が良好に流動状態となることが良好なカバレジおよび表面平坦性を得るために重要である。しかしながら、後述する種々の要因によりアルミ材料の流動化が妨げられ、図13に示すように、タングステンプラグ7上のリセス部8で上層アルミ膜9中にボイド10が発生したり、また、図14に示すように窪み11が生じることがあった。このようなリセス部8での埋め込み不良は、特に接続孔5の開口径が0.3μmより小さい場合に顕著であり、上層アルミ膜9の配線としての信頼性に問題があった。
【0005】
高温アルミ成膜法における、アルミ材料の流動化が妨げられる要因の1つは、成膜時に半導体基板1、特に絶縁層から放出されるアウトガスに起因することが判っており、このため、成膜に先立って、半導体基板1を200〜300℃程度に加熱して予めアウトガスを放出させる脱ガス処理を従来から施している。この脱ガス処理により、絶縁層表面付近のガスは予め放出されるが、内部に残存したガスが上層アルミ膜9の成膜時に放出しアルミ材料の流動化を妨げることがあった。
また、ドライエッチング法によりタングステン膜7aを全面エッチバックしてタングステンプラグ7を形成し、バリアメタル層6表面を露出させる際、バリアメタル層6表面がエッチングダメージにより劣化する。このエッチングダメージは、オーバーエッチングにより接続孔5内にリセス8を形成する場合には顕著となる。このようなバリアメタル層6表面の劣化も、バリアメタル層6上に上層アルミ膜9を成膜する際に、アルミ材料の流動化が妨げられる要因となる。
【0006】
この発明は、上記のような問題点を解消するために成されたものであって、高温アルミ成膜法により成膜してタングステンプラグ上に接続形成する上層アルミ配線層を、成膜時に良好な流動性を有して、タングステンプラグ上にボイドや窪みを発生することなく成膜し、カバレジ特性および表面平坦性が良好で信頼性の高い上層アルミ配線層を得ることを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板上に、下層配線層と該下層配線層上に絶縁層を介して形成されたアルミを含む上層アルミ配線層とが、タングステンプラグにより接続された配線構造を有する製造方法であって、高温アルミ成膜法により300〜500℃の成膜温度で、上記半導体基板の周囲にアウトガス拡散防止用リングを装着し、成膜室内の上記半導体基板裏面側から排気する状態にて、上記上層アルミ配線層を成膜するとともに、アウトガス拡散防止用リングによって半導体基板の裏面に形成されている絶縁層からのアウトガスが半導体基板の表面側に拡散されるのを抑制するものである。
【0009】
上記高温アルミ成膜法による上記上層アルミ配線層の形成は、成膜に先だって上記半導体基板を350〜500℃に加熱して脱ガス処理を施した後、上記半導体基板を大気に晒すことなく、上記上層アルミ配線層を成膜するものであってもよい。
【0011】
上記下層配線層上に上記絶縁層を形成した後、該絶縁層に上記下層配線層に達する接続孔を開口する工程と、次いで該接続孔を埋め込むように、バリアメタル層を介してタングステン膜を全面に形成し、該タングステン膜をドライエッチングにより全面エッチバックして上記接続孔内にのみ残存させ上記タングステンプラグを形成すると共に、上記絶縁層上のバリアメタル層表面を露出する工程と、次いで、全面にTiN膜を形成した後、上記上層アルミ配線層を成膜し、該上層アルミ配線層、上記TiN膜および上記バリアメタル層をパターニングする工程とを有するものであってもよい。
【0012】
上記下層配線層上に上記絶縁層を形成した後、該絶縁層に上記下層配線層に達する接続孔を開口する工程と、次いで該接続孔を埋め込むように、バリアメタル層を介してタングステン膜を全面に形成し、該タングステン膜および上記バリアメタル層をドライエッチングにより全面エッチバックして、上記絶縁層表面よりも後退させた状態で上記接続孔内にのみ残存させ、上記タングステンプラグを形成すると共に、上記絶縁層表面を露出し、さらに上記接続孔開口端における上記絶縁層角部を除去する工程と、次いで、全面にTiN膜を形成した後、上記上層アルミ配線層を成膜し、該上層アルミ配線層および上記TiN膜をパターニングする工程とを有するものであってもよい。
【0014】
【発明の実施の形態】
実施の形態1.
以下、この発明の実施の形態1を図について説明する。
図1、図2は、この発明の実施の形態1による半導体装置の製造方法における配線形成を示す断面図であり、特に図1は、上層アルミ配線層の形成に先だって行う、裏面絶縁膜除去工程を示すもの、図2はその後の製造工程をしめすものである。
まず、単結晶シリコンなどから成る半導体基板1上の下層絶縁層2上の所定の領域に下層配線層3を形成し、この下層配線層3上を覆う全面に絶縁層としての層間絶縁膜4を形成する。この状態で、半導体基板1の裏面側にも裏面絶縁膜12が形成されている。次いで、層間絶縁膜4上の全面をホトレジスト膜13で覆い(図1(a))、フッ酸などのエッチング液によるウェットエッチングにより裏面絶縁膜12を除去し、その後ホトレジスト膜13を除去する(図1(b))。
【0015】
これ以降の処理は半導体基板1表面側についての処理であるため、図2は、便宜上、下層絶縁層2より上層部分のみの図示とする。
次いで、下層配線層3上の層間絶縁膜4に接続孔5を開口して、下層配線層3表面を露出する。次に、TiN膜/Ti膜から成るバリアメタル層6を、十分なバリア機能およびオーミックコンタクトを得るための膜厚で、スパッタリング法またはCVD法により全面に成膜する(図2(a))。
次に、タングステン(W)膜7aをCVD法により、接続孔5を埋め込むように全面に形成し(図2(b))、続いて、ドライエッチング法によりタングステン膜7aを全面エッチバックして接続孔5内にのみ残存させてタングステンプラグ7を形成し、層間絶縁膜4上のバリアメタル層6表面を露出させる。このとき、バリアメタル層6上にタングステン膜7aが残存して上層に形成する配線層間のショートが発生しないように、所定量のオーバーエッチングを施し、タングステン膜7aを層間絶縁膜4上のバリアメタル層6表面より0.10〜0.30μm程度後退させてリセス8を形成する(図2(c))。
次いで、半導体基板1を加熱して脱ガス処理をした後、続いて、上層アルミ配線層としてのAlCu膜から成る上層アルミ膜9を、300〜500℃で成膜する高温アルミ成膜法により全面に成膜し、その後上層アルミ膜9およびバリアメタル層6をパターニングして、タングステンプラグ7により接続された上下配線層3、9の配線形成を完了する(図2(d))。
【0016】
上記のように、この実施の形態では、半導体基板1裏面に形成された裏面絶縁膜12を除去し、その後、裏面に絶縁層がない状態で、高温アルミ成膜法により上記上層アルミ膜9を成膜する。このため、上層アルミ膜9の成膜時に、絶縁層を発生源としてアルミ材料の流動化を阻害するH2O、O2等のアウトガスの発生量を大きく低減でき、成膜時のアルミ材料の流動性を高めることができる。これにより、ボイドや窪みが発生することなく、カバレジ特性および表面平坦性が良好で信頼性の高い上層アルミ膜9が成膜できる。
【0017】
なお、上層アルミ膜9の成膜に先立って行う脱ガス処理を、成膜温度と同等の高温である350〜500℃に半導体基板1を加熱して行い、続いて半導体基板1を大気に晒すことなく上層アルミ膜9を成膜すると、脱ガス処理の効果がより高くなる。例えば、脱ガス処理を350〜400℃で90〜120secの条件で行った後、続いて450℃の成膜温度で上層アルミ膜9の成膜を行う。これにより成膜時のアウトガスの発生量がより効果的に低減でき、より信頼性の高い上層アルミ膜9が得られる。
【0018】
実施の形態2.
次に、この発明の実施の形態2について説明する。
図3は、この発明の実施の形態2による上層アルミ膜9の成膜時の様子を示す断面図である。
図において、14は成膜装置のチャンバ、15はステージ、16はステージ15上に載置されるウェハ(半導体基板)、17はウェハ16の周囲に装着されるアウトガス拡散防止用リング、18は排気口である。
この実施の形態では、上記実施の形態1による製造方法にて、裏面絶縁膜12除去に係る工程を省略した製造方法にて配線形成を行い、上層アルミ膜9の高温アルミ成膜法による成膜を、図3に示すように、ウェハ16の周囲にアウトガス拡散防止用リング17を装着し、チャンバ14内のウェハ裏面側に排気口18を設けて裏面側から排気する状態で行う。
これにより、ウェハ16裏面側に絶縁層が存在しても、裏面側からのアウトガスが表面側に拡散されるのが抑制され、上層アルミ膜9の成膜時に、アルミ材料の流動性を高めることができる。これにより、ボイドや窪みが発生することなく、カバレジ特性および表面平坦性が良好で信頼性の高い上層アルミ膜9が成膜できる。
【0019】
実施の形態3.
次に、この発明の実施の形態3について説明する。
図4〜図8は、この発明の実施の形態3による半導体装置の製造方法における配線形成および構造を示す断面図である。なお図4〜図8は、便宜上、下層絶縁層2より上層部分のみの図示とする。
まず、配線形成について説明する。
半導体基板1上の下層絶縁層2上の所定の領域に下層配線層3を形成し、この下層配線層3上を覆う全面に層間絶縁膜4を形成する。次いで、下層配線層3上の層間絶縁膜4に接続孔5を開口して、下層配線層3表面を露出する。次に、TiN膜/Ti膜から成るバリアメタル層6を、十分なバリア機能およびオーミックコンタクトを得るための膜厚で、スパッタリング法またはCVD法により全面に成膜する(図4)。
【0020】
次に、タングステン膜7aをCVD法により、接続孔5を埋め込むように全面に形成し(図5)、続いて、ドライエッチング法によりタングステン膜7aを全面エッチバックして接続孔5内にのみ残存させてタングステンプラグ7を形成し、層間絶縁膜4上のバリアメタル層6表面を露出させる。このとき、バリアメタル層6上にタングステン膜7aが残存して上層に形成する配線層間のショートが発生しないように、所定量のオーバーエッチングを施し、タングステン膜7aを層間絶縁膜4上のバリアメタル層6表面より0.10〜0.30μm程度後退させてリセス8を形成する(図6)。
次いで、第2のTiN膜6aを、スパッタリング法またはCVD法により10〜30nmの膜厚で全面に成膜する(図7)。
次いで、半導体基板1を加熱して脱ガス処理をした後、続いて、AlCu膜から成る上層アルミ膜9を、300〜500℃で成膜する高温アルミ成膜法により全面に成膜し、その後上層アルミ膜9、第2のTiN膜6aおよびバリアメタル層6をパターニングして、タングステンプラグ7により接続された上下配線層3、9の配線形成を完了する(図8)。
【0021】
このように形成された配線構造では、図8に示すように、下層配線層3に達する接続孔5内および層間絶縁膜4表面にバリアメタル層(TiN膜/Ti膜)が形成され、タングステン膜7aが接続孔5内にバリアメタル層6を介して埋め込まれてタングステンプラグ7を構成する。さらに、層間絶縁膜4表面に形成されたバリアメタル層6上およびタングステンプラグ7上に第2のTiN膜6aを介して上層アルミ膜9が形成される。
【0022】
この実施の形態では、タングステンプラグ7形成時におけるタングステン膜7aの全面エッチバックにおいて、層間絶縁膜4表面のバリアメタル層6を露出させてエッチングを終了するが、このとき、バリアメタル層(TiN膜/Ti膜)6表面、即ちTiN膜表面はエッチング時のプラズマなどによるダメージで劣化する。このようにバリアメタル層6表面(TiN膜表面)はダメージを受けているが、このバリアメタル層6およびタングステンプラグ7上を覆って、全面に第2のTiN膜6aを形成し、その上に、高温アルミ成膜法により上層アルミ膜9の成膜を行う。このように、上層アルミ膜9成膜時に下地(第2のTiN膜6a)の表面状態がダメージのない良好な状態であるため、成膜時のアルミ材料の流動性を阻害する下地の要因がなくなり、アルミ材料の流動性を高めることができる。これにより、ボイドや窪みが発生することなく、カバレジ特性および表面平坦性が良好で信頼性の高い上層アルミ膜9が成膜できる。
【0023】
なお、この実施の形態に、上記実施の形態1、2で示した方法を適用しても良く、上層アルミ膜9成膜時に、アウトガスによる悪影響が低減できて、成膜時のアルミ材料の流動性を一層高め、より信頼性の高い配線構造が得られる。
【0024】
実施の形態4.
次に、この発明の実施の形態4について説明する。
図9は、この発明の実施の形態4による半導体装置の製造方法を示す断面図である。なお図9は、便宜上、下層絶縁層2より上層部分のみの図示とする。
まず、上記実施の形態3と同様に、下層配線層3上の層間絶縁膜4に接続孔5を開口し、TiN膜/Ti膜から成るバリアメタル層6、タングステン膜7aを順次成膜する。続いて、ドライエッチング法によりタングステン膜7a、続いてバリアメタル層6を全面エッチバックして、接続孔5内にのみ残存させてタングステンプラグ7を形成し、層間絶縁膜4表面を露出させる。このとき、層間絶縁膜4上にタングステン膜7aが残存して上層に形成する配線層間のショートが発生しないように、所定量のオーバーエッチングを施し、タングステン膜7aを層間絶縁膜4表面より0.10〜0.30μm程度後退させてリセス8を形成する。このとき、接続孔開口端部4aにおける層間絶縁膜角部が除去されて、開口径が拡がった形状となる(図9(a))。
【0025】
次いで、第2のTiN膜6bを、スパッタリング法またはCVD法により20〜70nmの膜厚で全面に成膜し(図9(b))、この後、半導体基板1を加熱して脱ガス処理をした後、続いて、AlCu膜から成る上層アルミ膜9を、300〜500℃で成膜する高温アルミ成膜法により全面に成膜し、その後上層アルミ膜9、第2のTiN膜6bをパターニングして、タングステンプラグ7により接続された上下配線層3、9の配線形成を完了する(図9(c))。
【0026】
この実施の形態では、タングステンプラグ7形成時におけるタングステン膜7aの全面エッチバックにおいて、層間絶縁膜4表面を露出させてエッチングを終了する。このとき、接続孔開口端部4aが同時にエッチングされて開口径が拡がる。この後上層アルミ膜9のバリアメタルとなる第2のTiN膜6bを形成し、その上に、高温アルミ成膜法により上層アルミ膜9の成膜を行う。このように、上層アルミ膜9成膜時に下地(第2のTiN膜6b)の表面状態がダメージのない良好な状態であるため、成膜時のアルミ材料の流動性を阻害する下地の要因がなくなり、アルミ材料の流動性を高めることができる。また、タングステン膜7aの全面エッチバック時に接続孔5の開口径が拡がるため、上層アルミ膜9がリセス部8に埋め込み易くなる。これらにより、ボイドや窪みが発生することなく、カバレジ特性および表面平坦性が良好で信頼性の高い上層アルミ膜9が成膜できる。
【0027】
なお、この実施の形態においても、上記実施の形態1、2で示した方法を適用しても良く、上層アルミ膜9成膜時に、アウトガスによる悪影響が低減できて、成膜時のアルミ材料の流動性を一層高め、より信頼性の高い配線構造が得られる。
【0029】
【発明の効果】
この発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板上に、下層配線層と該下層配線層上に絶縁層を介して形成されたアルミを含む上層アルミ配線層とが、タングステンプラグにより接続された配線構造を有する製造方法であって、高温アルミ成膜法により300〜500℃の成膜温度で、上記半導体基板の周囲にアウトガス拡散防止用リングを装着し、成膜室内の上記半導体基板裏面側から排気する状態にて、上記上層アルミ配線層を成膜するため、上層アルミ配線層の成膜時に、半導体基板裏面からのアウトガスの影響を低減でき、成膜時のアルミ材料の流動性を高めて上層アルミ配線層をカバレジ特性および表面平坦性を良好に成膜でき、信頼性の高い配線構造が得られる。
【0030】
上記高温アルミ成膜法による上記上層アルミ配線層の形成が、成膜に先だって上記半導体基板を350〜500℃に加熱して脱ガス処理を施した後、上記半導体基板を大気に晒すことなく、上記上層アルミ配線層を成膜する場合、脱ガス処理による効果を高めて、上層アルミ配線層の成膜時に、アウトガスの発生量をさらに効果的に低減でき、より信頼性の高い上層アルミ配線層が成膜できる。
【0032】
上記下層配線層上に上記絶縁層を形成した後、該絶縁層に上記下層配線層に達する接続孔を開口する工程と、次いで該接続孔を埋め込むように、バリアメタル層を介してタングステン膜を全面に形成し、該タングステン膜をドライエッチングにより全面エッチバックして上記接続孔内にのみ残存させ上記タングステンプラグを形成すると共に、上記絶縁層上のバリアメタル層表面を露出する工程と、次いで、全面にTiN膜を形成した後、上記上層アルミ配線層を成膜し、該上層アルミ配線層、上記TiN膜および上記バリアメタル層をパターニングする工程とを有する場合、上層アルミ配線層成膜時にアウトガスによる影響が低減できると共に、下地の表面状態が改善でき、成膜時のアルミ材料の流動性を高めて上層アルミ配線層をカバレジ特性および表面平坦性をさらに良好に成膜でき、より信頼性の高い配線構造が得られる。
【0033】
上記下層配線層上に上記絶縁層を形成した後、該絶縁層に上記下層配線層に達する接続孔を開口する工程と、次いで該接続孔を埋め込むように、バリアメタル層を介してタングステン膜を全面に形成し、該タングステン膜および上記バリアメタル層をドライエッチングにより全面エッチバックして、上記絶縁層表面よりも後退させた状態で上記接続孔内にのみ残存させ、上記タングステンプラグを形成すると共に、上記絶縁層表面を露出し、さらに上記接続孔開口端における上記絶縁層角部を除去する工程と、次いで、全面にTiN膜を形成した後、上記上層アルミ配線層を成膜し、該上層アルミ配線層および上記TiN膜をパターニングする工程とを有する場合、上層アルミ配線層成膜時にアウトガスによる影響が低減できると共に、下地の表面状態および開口形状が改善でき、成膜時のアルミ材料の流動性を高めて上層アルミ配線層をカバレジ特性および表面平坦性をさらに良好に成膜でき、より信頼性の高い配線構造が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1による半導体装置の配線形成を示す断面図である。
【図2】 この発明の実施の形態1による半導体装置の配線形成を示す断面図である。
【図3】 この発明の実施の形態2による半導体装置の配線形成の様子を示す断面図である。
【図4】 この発明の実施の形態3による半導体装置の配線形成の一工程を示す断面図である。
【図5】 この発明の実施の形態3による半導体装置の配線形成の一工程を示す断面図である。
【図6】 この発明の実施の形態3による半導体装置の配線形成の一工程を示す断面図である。
【図7】 この発明の実施の形態3による半導体装置の配線形成の一工程を示す断面図である。
【図8】 この発明の実施の形態3による半導体装置の構造および配線形成の一工程を示す断面図である。
【図9】 この発明の実施の形態4による半導体装置の配線形成を示す断面図である。
【図10】 従来の半導体装置の配線形成の一工程を示す断面図である。
【図11】 従来の半導体装置の配線形成の一工程を示す断面図である。
【図12】 従来の半導体装置の配線形成の一工程を示す断面図である。
【図13】 従来の半導体装置の配線形成の一工程を示す断面図である。
【図14】 従来の半導体装置の配線形成の問題点を示す断面図である。
【符号の説明】
1 半導体基板、3 下層配線層、4 絶縁層としての層間絶縁膜、
4a 開口端部、5 接続孔、6 バリアメタル層(TiN膜/Ti膜)、
6a,6b TiN膜としての第2のTiN膜、7 タングステンプラグ、
7a タングステン膜、8 リセス、
9 上層アルミ配線層としての上層アルミ膜、12 裏面絶縁膜、
14 チャンバ、16 ウェハ、17 アウトガス拡散防止用リング、
18 排気口。
Claims (4)
- 半導体基板上に、下層配線層と該下層配線層上に絶縁層を介して形成されたアルミを含む上層アルミ配線層とが、タングステンプラグにより接続された配線構造を有する半導体装置の製造方法において、高温アルミ成膜法により300〜500℃の成膜温度で、上記半導体基板の周囲にアウトガス拡散防止用リングを装着し、成膜室内の上記半導体基板裏面側から排気する状態にて、上記上層アルミ配線層を成膜するとともに、上記アウトガス拡散防止用リングによって上記半導体基板の裏面に形成されている絶縁層からのアウトガスが上記半導体基板の表面側に拡散されるのを抑制することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 上記高温アルミ成膜法による上記上層アルミ配線層の形成は、成膜に先だって上記半導体基板を350〜500℃に加熱して脱ガス処理を施した後、上記半導体基板を大気に晒すことなく、上記上層アルミ配線層を成膜することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記下層配線層上に上記絶縁層を形成した後、該絶縁層に上記下層配線層に達する接続孔を開口する工程と、次いで該接続孔を埋め込むように、バリアメタル層を介してタングステン膜を全面に形成し、該タングステン膜をドライエッチングにより全面エッチバックして上記接続孔内にのみ残存させ上記タングステンプラグを形成すると共に、上記絶縁層上のバリアメタル層表面を露出する工程と、次いで、全面にTiN膜を形成した後、上記上層アルミ配線層を成膜し、該上層アルミ配線層、上記TiN膜および上記バリアメタル層をパターニングする工程とを有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 上記下層配線層上に上記絶縁層を形成した後、該絶縁層に上記下層配線層に達する接続孔を開口する工程と、次いで該接続孔を埋め込むように、バリアメタル層を介してタングステン膜を全面に形成し、該タングステン膜および上記バリアメタル層をドライエッチングにより全面エッチバックして、上記絶縁層表面よりも後退させた状態で上記接続孔内にのみ残存させ、上記タングステンプラグを形成すると共に、上記絶縁層表面を露出し、さらに上記接続孔開口端における上記絶縁層角部を除去する工程と、次いで、全面にTiN膜を形成した後、上記上層アルミ配線層を成膜し、該上層アルミ配線層および上記TiN膜をパターニングする工程とを有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
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