JP4278764B2 - 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 - Google Patents
欠陥検査装置及び欠陥検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4278764B2 JP4278764B2 JP08433699A JP8433699A JP4278764B2 JP 4278764 B2 JP4278764 B2 JP 4278764B2 JP 08433699 A JP08433699 A JP 08433699A JP 8433699 A JP8433699 A JP 8433699A JP 4278764 B2 JP4278764 B2 JP 4278764B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- image data
- frame memory
- color
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、検査対象の欠陥をカラー画像を利用して検査する欠陥検査装置及び欠陥検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、各種物品の素材表面状況、模様、文字等の印刷状況、素材表面への焼き付けや塗装状況の良否を検査するに当たり、検査対象の表面をカメラで撮像して、得られた画像を処理することにより光学的に検査する装置が普及している。検査対象の良否判断は、表面の汚れ、傷、色等を検出することにより行われ、通常、検査は検査対象の物品を移動させた状態で行なう。特に、従来、撮像画像は白黒画像が主流であったが、カラーカメラを使用した色の検査も検査項目となってきており、更に、表面模様等の複雑化、高精度の検査仕様要求に対処できる検査装置が求められている。このような要請に沿った装置として、3板式CCDカラーカメラを使用したシート表面を検査する検査装置例を図3に示す。
【0003】
図3に示す検査装置は、先ず、検査対象として矢印31の方向に搬送されているシート32の表面を、3板式CCDカラーカメラ33により撮像する。シート32の表面にはカラーで印刷された矩形模様34が形成されている。3板式CCDカラーカメラ33は、受光用レンズ35と、光軸の調整された位置に配置された分光プリズム36と、分光プリズム36によって分けられた赤(R)、緑(G)、青(B)の3色の光成分を受光するカラーセンサとなるR−CCD37R、G−CCD37G、B―CCD37Bを有している。分光プリズム36の各反射面はバンドパスフィルタ処理が施されており、RGBに対応するそれぞれの反射面では定められた色成分のみを反射させる。
【0004】
3板式CCDカラーカメラ33で矩形模様34を撮像すると、各CCD37R、37G、37Bからの出力信号は、R画像フレームメモリ38R、G画像フレームメモリ38G、B画像フレームメモリ38Bにそれぞれ入力される。R、G、B画像フレームメモリ38R、38G、38Bに格納されている画像データは、R画像読取部39R、G画像読取部39G、B画像読取部39Bによりそれぞれ読み取られ、合成画像フレームメモリ40に格納される。その後、合成画像フレームメモリ40の画像データは主処理部41にて判定処理がなされ、検査対象の良否の判断が行われる。また、必要に応じて表示部42に合成画像を表示したり、印刷部43にて印字出力がなされる。R、G、B画像フレームメモリ38R、38G、38Bから各色の画像データの読み取りにあたっては、各フレームメモリ38R、38G、38Bからの読み出し走査角度が走査角度設定部44にて設定されており、この予め設定されている走査角度によって走査され、各画像データが読み出される。そして、この走査角度は各フレームメモリ38R、38G、38B共通に、標準的な略水平な角度に固定的に設定されている。いわゆる水平走査が行われる。
【0005】
さて、3板式CCDカラーカメラ33は、上述のように分光プリズム36、R、G、B−CCD37R、37G、37B等で構成されているが、これらを使用して検査対象の同一の個所を撮像するにあたっては、各構成部品の設計上の精度や設置精度が撮像画像の出力精度に大きく影響することになる。例えば、G−CCD38Gのみ正確に配置されているが、他のCCDであるR−CCD38R、B−CCD38Bの位置がずれているとすると、図3の各フレームメモリ38R、38G、38Bに示してあるように、Gフレームメモリ38Gのみ正常な略水平なG画像データ45Gが読み出されるが、Rフレームメモリ38Rでは右下下がりの斜めなR画像データ45Rが読み出され、Bフレームメモリ38Bでは左下下がりの同じく斜めなB画像データ45Bが読み出される。
【0006】
なお、図3に示すように合成画像フレームメモリ40には、各R、G、Bフレームメモリ38R、38G、38BからのRGB画像が合成された合成画像46が格納される。この合成画像46は、本来各R、G、B−CCD37R、37G、37Bの設置位置がいずれもずれなく正常に配置されていれば、各色の画像は完全に重なり一本の矩形状になるはずであるが、前述のようにR−CCD38R、B−CCD38Bの設置位置がずれている本例の場合には、模式的に強調して示したが、図のように交差した3本の横棒状画像が得られることになる。このことは、得られた合成画像にずれが発生していることになり、不鮮明な画像となってしまい、検査工程にて利用する画像が不鮮明なデータとなることを意味し、精度の高い検査ができないことになる。
【0007】
さて、RGBに対応する各CCDの位置ずれが、取り込んだ画像に及ぼす影響について、図4並びに図5を参照して説明する。図4は、図3に示した3板式CCDカラーカメラ33の要部を取り出して示したものであるが、この内、B−CCD37Bには受光レンズ35、分光プリズム36を介して青の光学情報が入力される。取り込んだ画像に影響を及ぼすCCDの位置ずれには種々考えられるが、いくつかの例を図4に示す。即ち、左右の矢印45は紙面に平行な横ずれを、回転矢印46は光学情報の到来方向を回転軸とするCCDの回転ずれを、また、円印47は紙面に垂直な方向のずれをそれぞれ表している。
【0008】
図5は、B−CCD37Bにより取り込んだ画像を模式的に示したものである。図5(a)は、CCDに位置ずれがなく画像が正常に取り込まれた例を示しており、矩形画像48aは画面に水平に撮像される。この場合、光学情報を取り込む走査線は、略水平に移動する方式となっている。図5(b)は、図4に示したB−CCD37Bに各方向への位置ずれがある場合の取り込んだ画像を示したもので、矩形画像48bは、画面にて右下へ傾斜した画像となっている。図5(b)において、CCDに位置ずれがなく、正常に画像を取り込むことができる場合には、点Lから走査が行われるが、図4の矢印45で示す左右方向へCCDがずれている場合には、点Lから左右にずれた距離に対応する距離だけずれた点Mから走査がなされてしまう。
【0009】
同様にして、CCDが図4の円印47で示した紙面に垂直方向にずれた場合には、走査開始位置が図5(b)の点Nにずれてしまう。従って、本来点Lから走査が開始されるべきところ、CCDのずれによって、点Pから走査されることになる。更に、CCDが図4の回転矢印46に示すように回転した場合には、図5(b)に角度αで示す傾きをもった画像となってしまう。図5(c)にはR−CCD37R、G−CCD37G、B−CCD37Bの一つは位置ずれがなく、他の二つに位置ずれがある場合の各色画像を重畳した合成画像49を示すものである。
【0010】
この図5(c)の画像では、もし3個のCCDの位置が全て正常である場合には、画像はずれることなく、横一線になるが、2個のCCDがずれている場合に起こりうる画像の例を示してある。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
上述したように、従来、3板式CCDカラーカメラにおいては、装着されている3個のCCDの位置ずれに係わりなく、各CCDからから読み込んだ光学情報データを走査し、画像データとして抽出する際の走査はいわゆる水平走査であって、画面に対して略水平に走査を行い画像データを取り出していた。この結果、CCDに位置ずれが生じていても、この位置ずれには係わりなく、画像データ取り出しのための走査は固定的な水平走査であって、取り出された画像データは、CCDの位置ずれに応じてずれが発生する。ずれた画像データを含む3種の画像データを合成して形成される合成画像には、解像度の低下並びに色にじみ等の不具合が発生してしまい、この不具合のある画像を用いて以後の工程で検査処理を行った場合、正確な検査が行えない欠点があった。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明の欠陥検査装置は、被検査体のカラー画像を撮像するカメラには受光レンズからの光の、赤成分、緑成分、青成分を分光する分光プリズム及び、この赤成分を受光する第1のカラーセンサ、緑成分を受光する第2のカラーセンサ、青成分を受光する第3のカラーセンサが組み込まれており、
前記第1のカラーセンサからの画像データを格納する第1のフレームメモリと、
前記第2のカラーセンサからの画像データを格納する第2のフレームメモリと、
前記第3のカラーセンサから出力される画像データを格納する第3のフレームメモリと、
前記第1のフレームメモリ、第2のフレームメモリ、第3のフレームメモリに格納された各画像データを入力し、それぞれが設定された走査条件に従って走査して各画像データを読み取る第1乃至第3読取部(画像読取部、走査角度指定部)と、
前記第1のフレームメモリ、第2のフレームメモリ、第3のフレームメモリに格納された各画像データを入力して、前記第1乃至第3のカラーセンサを構成する各センサの設置精度誤差に対応した傾斜角度及び補正走査開始点を求め、これを前記走査条件として、該当の前記第1乃至第3読取部に設定する走査角度設定処理部と、
前記第1乃至第3読取部で読み取られた前記各画像データを合成して後段に送出する合成部と、
前記合成部からの合成画像データに基づいて前記被検査体のカラー画像を検査する処理部とを備えたことを要旨とする。
【0014】
前記処理部には、前記第1乃至第3読取部からの画像データを合成して格納する合成画像フレームメモリと、この合成画像フレームメモリからの画像データに基づいて欠陥検出を行う欠陥検出部と、この欠陥検出部に接続された表示部並びに又は印刷部とを備えている。
【0015】
また、本発明の欠陥検査方法は、被検査体のカラー画像を複数のカラーセンサが組み込まれているカメラで撮像し、
前記複数のカラーセンサからの各画像データは前記複数のカラーセンサの各々に対応して格納され、
前記複数のカラーセンサの各々の設置精度データに基づき前記格納された各画像データ毎の各センサの設置精度誤差に対応した傾斜角度及び補正走査開始点を読取条件として決定し、
この決定された読取条件によって前記格納された各画像データを読み出し、この読み出された各画像データを用いて前記被検査体の検査対象画像を形成し、
この検査対象画像により前記被検査体の欠陥検査を行うことを要旨とする。
【0016】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の実施形態を示す概略構成図である。図1を説明するにあたっては、既に図3で示した構成と同一の部分は同一の符号を用い、その詳細な説明は省略する。検査対象であるシート32の矩形模様34を3板式CCDカラーカメラ33により撮像し、R−CCD37R、G−CCD37G、B−CCD37Bからの出力信号は、それぞれ対応するR画像フレームメモリ38R、G画像フレームメモリ38G、B画像フレームメモリ38Bに格納される。各フレームメモリに格納された画像信号は、本実施例においてR−CCD37R並びにB−CCD37Bに位置ずれがあり、図のようにR画像フレームメモリ38R並びにB画像フレームメモリ38Bに格納された画像データ45R、45Bは、模式的に傾斜した画像データとなっている。また、G−CCD37Gは位置ずれがなく適正に設置されているため、G画像フレームメモリ38Gに格納された画像データ45Gは、適正な画像データとなっている。
【0017】
各フレームメモリに格納された画像データは、R画像読取部39R、G画像読取部39G、B画像読取部39Bにて読み取られ、合成画像フレームメモリ40に格納される。合成画像フレームメモリ40に格納された合成画像は、主処理部41にて判定処理がなされ、検査対象の良否の判断が行われる。また、必要に応じて表示部42に合成画像を表示したり、印刷部43にて印字出力がなされる。
【0018】
さて、RGB画像フレームメモリ38R、38G、38Bに格納されている画像データは、RGB画像読取部39R、39G、39Bにより読み取るが、この際、各画像読取部毎に指定された走査角度によって読み取られる。この走査角度は、各々の画像読取部39R、39G、39Bに対応して、R走査角度指定部11R、G走査角度指定部11G、B走査角度指定部11Bにて指定される。そして、各走査角度指定部11R、11G、11Bへ供給する走査角度データは、走査角度設定処理部12にて処理設定する。走査角度設定処理部12においては、RGB画像フレームメモリ38R、38G、38Bに格納されている各画像データのずれ量、即ち、図4、図5で説明したような各種のずれ量を抽出して、このずれ量に基づき各フレームメモリ毎の走査角度を設定する。RGB画像フレームメモリ38R、38G、38Bに格納されている画像データのずれ量は、R、G、B−CCD37R、37G、37Bの位置ずれに相関しており、各CCDの位置ずれを表すデータとみなすことができる。走査角度設定処理部12にて設定された各フレームメモリ毎の走査角度は、RGB走査角度指定部11R、11G、11Bに送出し、この指定角度によってRGB画像読取部39R、39G、39Bから各フレームメモリ38R、38G、38Bを走査してそれぞれ出力画像データを得る。この結果、R−CCD37R並びにB−CCD37Bの位置ずれにも係わらず、補正された正規の画像データが合成画像フレームメモリ40に格納されることになる。
【0019】
上記した位置ずれ画像を補正する方法を、図2を用いて説明する。図2においては、図1のR−CCD37Rにより撮像した画像データを例に説明する。図2(a)は、R−CCD37Rで撮像し、R画像フレームメモリ38Rに格納された位置ずれ画像48の例である。即ち、CCD位置ずれに伴なう画像への影響については既に図4並びに図5により説明済みであるが、このR画像データ13は、x軸方向にx1、y軸方向にy1だけずれており、更に角度αr右下方向に傾斜した画像となっている。このようなR画像データ13のずれデータは走査角度設定処理部12に入力され、x1、y1のずれデータ及び傾斜角度αrに基づき補正走査座標を求める。この補正走査座標は、ずれ画像を表すずれデータ関数を作成し、本来の適正走査画像が得られるよう演算を行うことによって得ることができる。即ち、図2(b)において、補正走査座標(X、Y)は、
X=x1+i
Y=y1+i・tan(αr)
ここで、i=0、1、2、…n
のようになる。
【0020】
以上にように走査角度設定処理部12にて得られた補正走査座標は、R走査角度指定部11Rへ送られ、これらの補正データに基づいてR画像読取部39RがR画像フレームメモリ38Rから画像データを読み出す。即ち、図2(b)に示すように、R画像フレームメモリ内のR画像データは、図には示していないが、補正走査開始点(X1、Y1)から補正走査角度αrによって読取走査が行われる。図2(b)では、平行四辺形状の矢印で示した走査が行われることを示してある。このような補正走査を行うことにより、図2(c)に示すように、補正済みの画像データ48cは、適正な画像として補正がなされる。
【0021】
上記例ではR画像のみについて説明したが、走査角度設定処理部12にて、G画像並びにB画像についても同様の処理を行う。このようにしてG走査角度指定部11G、B走査角度指定部11Bを介してG画像フレームメモリ38G、B画像フレームメモリ38Bの画像データに対して補正処理を施すことにより、いずれの色の画像データも補正がなされ、これらの補正済み画像データを合成画像フレームメモリ40にそれぞれ入力することにより、図1に示すように合成画像14は完全に各色の画像が重なってずれのない画像を得ることができる。
【0022】
【発明の効果】
本発明によれば、3板式CCDカラーカメラを利用した検査装置において、各CCDの位置ずれに伴なう出力画像のずれを各色毎に補正できるようになり、この結果、各色成分の画像を合成した場合にずれのない正しい合成画像として抽出することができるようになった。このことから、検査対象として、滲みがなく鮮明な合成画像を利用することが可能となり、従来検出が困難な微細な欠陥や色の変化が微少な欠陥を検出することができるようになった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例の概略構成図である。
【図2】本発明の動作を説明する画像模式図である。
【図3】従来技術を説明する概略構成図である。
【図4】従来技術を説明する一部拡大構成図である。
【図5】従来技術の動作を説明する画像模式図である。
【符号の説明】
11R…R走査角度指定部
11G…G走査角度指定部
11B…B走査角度指定部
12…走査角度設定処理部
13…R画像データ
αr…傾斜角度
14…合成画像
32…シート
33…3板式CCDカラーカメラ
35…受光用レンズ
36…分光プリズム
37R…R−CCD
37G…G−CCD
37B…B−CCD
38R…R画像フレームメモリ
38G…G画像フレームメモリ
38B…B画像フレームメモリ
39R…R画像読取部
39G…G画像読取部
39B…B画像読取部
40…合成画像フレームメモリ
41…主処理部
42…表示部
43…印刷部
Claims (3)
- 被検査体のカラー画像を撮像するカメラには受光レンズからの光の、赤成分、緑成分、青成分を分光する分光プリズム及び、この赤成分を受光する第1のカラーセンサ、緑成分を受光する第2のカラーセンサ、青成分を受光する第3のカラーセンサが組み込まれており、
前記第1のカラーセンサからの画像データを格納する第1のフレームメモリと、
前記第2のカラーセンサからの画像データを格納する第2のフレームメモリと、
前記第3のカラーセンサから出力される画像データを格納する第3のフレームメモリと、
前記第1のフレームメモリ、第2のフレームメモリ、第3のフレームメモリに格納された各画像データを入力し、それぞれが設定された走査条件に従って走査して各画像データを読み取る第1乃至第3読取部(画像読取部、走査角度指定部)と、
前記第1のフレームメモリ、第2のフレームメモリ、第3のフレームメモリに格納された各画像データを入力して、前記第1乃至第3のカラーセンサを構成する各センサの設置精度誤差に対応した傾斜角度及び補正走査開始点を求め、これを前記走査条件として、該当の前記第1乃至第3読取部に設定する走査角度設定処理部と、
前記第1乃至第3読取部で読み取られた前記各画像データを合成して後段に送出する合成部と、
前記合成部からの合成画像データに基づいて前記被検査体のカラー画像を検査する処理部と
を具備することを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記処理部には、前記第1乃至第3読取部からの画像データを合成して格納する合成画像フレームメモリと、
この合成画像フレームメモリからの画像データに基づいて欠陥検出を行う欠陥検出部と、この欠陥検出部に接続された表示部並びに又は印刷部とを具備することを特徴とする請求項1記載の欠陥検査装置。 - 被検査体のカラー画像を複数のカラーセンサが組み込まれているカメラで撮像し、
前記複数のカラーセンサからの各画像データは前記複数のカラーセンサの各々に対応して格納され、
前記複数のカラーセンサの各々の設置精度データに基づき前記格納された各画像データ毎の各センサの設置精度誤差に対応した傾斜角度及び補正走査開始点を読取条件として決定し、
この決定された読取条件によって前記格納された各画像データを読み出し、この読み出された各画像データを用いて前記被検査体の検査対象画像を形成し、
この検査対象画像により前記被検査体の欠陥検査を行うことを特徴とする欠陥検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08433699A JP4278764B2 (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08433699A JP4278764B2 (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000275185A JP2000275185A (ja) | 2000-10-06 |
JP4278764B2 true JP4278764B2 (ja) | 2009-06-17 |
Family
ID=13827674
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP08433699A Expired - Fee Related JP4278764B2 (ja) | 1999-03-26 | 1999-03-26 | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4278764B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4979114B2 (ja) * | 2006-02-02 | 2012-07-18 | 株式会社ニレコ | ラミネートフィルムの欠陥検出装置及びラミネートフィルムの欠陥検出方法 |
KR20180079126A (ko) * | 2016-12-31 | 2018-07-10 | 세진 장 | 분광분석을 통한 평판 Display의 Panel과 모듈의 불량 검사 방법과 장치 |
WO2023089846A1 (ja) * | 2021-11-22 | 2023-05-25 | 株式会社Roxy | 検査装置および検査方法並びにこれに用いるプログラム |
-
1999
- 1999-03-26 JP JP08433699A patent/JP4278764B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000275185A (ja) | 2000-10-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4166585B2 (ja) | 外観検査装置および外観検査方法 | |
US20030164876A1 (en) | Procedure and device for measuring positions of continuous sheets | |
US9360776B2 (en) | Alignment correction method for substrate to be exposed, and exposure apparatus | |
JP6180674B1 (ja) | 複数のカメラによる画像検査方法 | |
JP2014035261A (ja) | 情報処理方法、情報処理装置、プログラム、撮像装置、検査方法、検査装置、及び基板の製造方法 | |
JP2008014700A (ja) | ワークの検査方法及びワーク検査装置 | |
JP4278764B2 (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
JP4028654B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
JP2001124700A (ja) | ラインセンサーカメラを備えた検査機のキャリブレーション方法 | |
JPH08276569A (ja) | 紙面上の画像の印刷品質を自動検査するために使用することが意図された基準モデルを作成するための方法 | |
JP6665903B2 (ja) | 特徴画像生成装置、検査装置、特徴画像生成方法及び特徴画像生成プログラム | |
JP2010149289A (ja) | 印刷物検査装置、及び印刷物検査方法 | |
JP3651718B2 (ja) | スクリーン印刷装置及び印刷方法 | |
JP2561193B2 (ja) | 印刷パターン検査装置 | |
JPH08181053A (ja) | 位置検出方法 | |
JPH0518372B2 (ja) | ||
JPH09133514A (ja) | 画像測定装置 | |
JP4997768B2 (ja) | 検査装置 | |
JP3095738B1 (ja) | 色間見当誤差修正方法 | |
JP3031286B2 (ja) | 印刷物の検査方法 | |
JPH0894534A (ja) | パターン欠陥検出装置 | |
JP2009210363A (ja) | 検査装置 | |
JP2733941B2 (ja) | 多色印刷機用見当制御装置 | |
JPH0663734B2 (ja) | 表示図柄のずれ検査装置 | |
JPH10289311A (ja) | 印刷物の検査方法及びこの装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050210 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070719 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070724 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080520 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080722 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090217 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090311 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120319 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |