JP4254868B2 - 磁気センサ及びこれを用いた磁気エンコーダ - Google Patents
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Description
2 磁気センサ
21,22,23,24 磁気抵抗効果素子
25 第1の素子群
26 第2の素子群
200 下地層
201 反強磁性層
202 強磁性固定層
203 非磁性中間層
204 強磁性自由層
205 保護層
2041 第一の軟磁性強磁性層
2042 反強磁性結合層
2043 第二の軟磁性強磁性層
3 信号磁界
Claims (13)
- 非磁性中間層を介して積層された強磁性固定層と強磁性自由層を備え、形状が略長方形で略同一な磁気抵抗変化特性を有し、前記強磁性固定層の磁化方向が一致している4n個(nは自然数)の磁気抵抗効果素子を含み、
前記4n個の磁気抵抗効果素子は、それぞれ2n個の素子からなる第一の素子群と第二の素子群を構成し、各素子群を構成する磁気抵抗効果素子は素子短辺方向に先端の素子から後端の素子まで距離λを隔てて等間隔に配置されると共に素子長辺方向に直列接続されており、前記第一の素子群の後端の素子と前記第二の素子群の先端の素子は素子短辺方向に距離λ/2を隔てて位置し、前記第一の素子群の先端の素子は電源に後端の素子は前記第二の素子群の先端の素子に接続され、前記第二の素子群の後端の素子は接地されており、前記第一の素子群と前記第二の素子群の接続部から中点電位を取ることで外部磁界を検出する磁気センサであって、
前記磁気抵抗効果素子は、素子短辺方向に平行な外部磁界に応じて生じる抵抗変化の過程において、最大の抵抗変化量ΔRに対して、ΔR×10%からΔR×50%の抵抗変化に要する磁界をH10-50、ΔR×50%からΔR×90%の抵抗変化に要する磁界をH50-90とするとき、
H10-50<H50-90
の関係を満たすことを特徴とする磁気センサ。 - 請求項1記載の磁気センサにおいて、前記磁気抵抗効果素子は、
1.5<H50-90/H10-50<4.0
の関係を満たすことを特徴とする磁気センサ。 - 請求項1記載の磁気センサにおいて、前記非磁性中間層は局所的に不均一な膜厚分布を有することを特徴とする磁気センサ。
- 請求項1記載の磁気センサにおいて、前記強磁性固定層と前記強磁性自由層は前記非磁性中間層を介して強磁性的な層間相互作用を有しており、該層間相互作用の大きさが局所的に不均一であることを特徴とする磁気センサ。
- 請求項1記載の磁気センサにおいて、前記強磁性固定層の磁化方向は素子短辺方向であることを特徴とする磁気センサ。
- 請求項1記載の磁気センサにおいて、前記強磁性固定層の磁化方向が素子短辺方向に対して、30度以下の範囲内で乖離していることを特徴とする磁気センサ。
- 磁気センサと、
磁化の向きが周期的に交互に反転した着磁領域を有し、隣接する一対の着磁領域の長さの和が2λである磁気媒体とを有し、
前記磁気媒体は、前記磁気センサに対して所定の間隔で対向して、前記着磁領域の配列方向に相対的に移動し、
前記磁気センサは、それぞれが非磁性中間層を介して積層された強磁性固定層と強磁性自由層を備え、形状が略長方形で略同一な磁気抵抗変化特性を有し、前記強磁性固定層の磁化方向が一致している4n個(nは自然数)の磁気抵抗効果素子を含み、
前記4n個の磁気抵抗効果素子は、それぞれ2n個の素子からなる第一の素子群と第二の素子群を構成し、各素子群を構成する磁気抵抗効果素子は素子短辺方向に先端の素子から後端の素子まで距離λを隔てて等間隔に配置されると共に素子長辺方向に直列接続されており、前記第一の素子群の後端の素子と前記第二の素子群の先端の素子は素子短辺方向に距離λ/2を隔てて位置し、前記第一の素子群の先端の素子は電源に後端の素子は前記第二の素子群の先端の素子に接続され、前記第二の素子群の後端の素子は接地されており、前記第一の素子群と前記第二の素子群の接続部から中点電位を取ることで外部磁界を検出し、
前記磁気抵抗効果素子は、素子短辺方向に平行な外部磁界に応じて生じる抵抗変化の過程において、最大の抵抗変化量ΔRに対して、ΔR×10%からΔR×50%の抵抗変化に要する磁界をH10-50、ΔR×50%からΔR×90%の抵抗変化に要する磁界をH50-90とするとき、
H10-50<H50-90
の関係を満たすことを特徴とする磁気エンコーダ。 - 請求項7記載の磁気エンコーダにおいて、前記磁気センサと前記磁気媒体とは前記磁気媒体の着磁方向に相対的に移動し、前記強磁性固定層の磁化方向と前記磁気媒体の着磁方向が同じであることを特徴とする磁気エンコーダ。
- 請求項7記載の磁気エンコーダにおいて、前記磁気抵抗効果素子は、
1.5<H50-90/H10-50<4.0
の関係を満たすことを特徴とする磁気エンコーダ。 - 請求項7記載の磁気エンコーダにおいて、前記非磁性中間層は局所的に不均一な膜厚分布を有することを特徴とする磁気エンコーダ。
- 請求項7記載の磁気エンコーダにおいて、前記強磁性固定層と前記強磁性自由層は前記非磁性中間層を介して強磁性的な層間相互作用を有しており、該層間相互作用の大きさが局所的に不均一であることを特徴とする磁気エンコーダ。
- 請求項7記載の磁気エンコーダにおいて、前記強磁性固定層の磁化方向は素子短辺方向であることを特徴とする磁気エンコーダ。
- 請求項7記載の磁気エンコーダにおいて、前記強磁性固定層の磁化方向が素子短辺方向に対して、30度以下の範囲内で乖離していることを特徴とする磁気エンコーダ。
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