JP4252720B2 - 電子部品実装方法 - Google Patents

電子部品実装方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4252720B2
JP4252720B2 JP2000335494A JP2000335494A JP4252720B2 JP 4252720 B2 JP4252720 B2 JP 4252720B2 JP 2000335494 A JP2000335494 A JP 2000335494A JP 2000335494 A JP2000335494 A JP 2000335494A JP 4252720 B2 JP4252720 B2 JP 4252720B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
transfer
paste
electronic component
substrate
nozzle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000335494A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002141642A (ja
Inventor
正文 西田
信孝 安倍
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP2000335494A priority Critical patent/JP4252720B2/ja
Publication of JP2002141642A publication Critical patent/JP2002141642A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4252720B2 publication Critical patent/JP4252720B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、基板に電子部品を実装する電子部品実装方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
電子部品を基板に実装する方法として、導電性ペーストによる方法が知られている。この方法は、エポキシ樹脂などの接着材中に銀粉などの導電粒子を混入したものであり、導電性ペースト(以下、単に「ペースト」と略称する。)によって、電子部品を基板に固着させるとともに電気的な導通を得られるという特徴を有している。電子部品の実装に際しては、実装装置に設けられたペースト供給部に予めペーストを所定膜厚で成膜しておき、転写ピンをこのペースト塗膜に対して下降させてペーストを転写ピンに一旦転写し、この転写ピンを基板の塗布点に対して下降させることにより基板にペーストが転写される。そして転写によりペーストが部分的に除去された塗膜に対しては、スキージを塗膜表面に沿って移動させることにより塗膜を均すスキージングが行われる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の電子部品実装方法では、このスキージングは1つの転写ノズルによる転写動作の都度行われていた。このスキージング動作ではスキージを移動させる動作が伴うため、多数の実装点に対してペースト塗布を行う場合には、このスキージングに必要な時間は全体の転写動作時間に対して相当な割合を占める。このため、従来よりこのスキージング時間の短縮が望まれていた。
【0004】
そこで本発明は、ペースト供給部におけるスキージング時間を短縮し、生産性を向上させることができる電子部品実装方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の電子部品実装方法は、電子部品を供給する部品供給部から移載ヘッドに装着された複数の吸着ノズルによって電子部品をピックアップし、電子部品接合用のペーストが塗布された基板に実装する電子部品実装方法であって、前記移載ヘッドに装着された複数の吸着ノズルをノズル保持部に収容された前記ペースト転写用の複数の転写ノズルと交換する工程と、ペースト供給部に備えられた回転テーブルを回転駆動機構により回転させることにより、この回転テーブルの凹部に貯溜されたペーストの表面をこの凹部の底面と所定の隙間を保って配設されたスキージの下端部により掻き寄せて均す工程と、前記ペースト供給部まで前記複数の転写ノズルが装着された移載ヘッドを移動させる工程と、前記複数の転写ノズルを前記ペースト供給部の塗膜上に設定された転写範囲における異なる転写点に順次下降させてペーストを転写ノズルに転写する工程と、ペースト転写後の移載ヘッドを基板上に移動させ前記転写ノズルを基板上の塗布点に対して順次下降させることにより基板にペーストを塗布する工程と、ペーストが塗布された基板に吸着ノズルが装着された移載ヘッドによって電子部品を搭載する工程と、前記移載ヘッドがペースト供給部に転写のためにアクセスするごとに前記回転テーブルを所定角度回転させ、ペーストの表面を前記スキージにより均した新たな転写範囲が前記転写ノズルの転写位置に移動する工程とを含む。
【0006】
請求項2記載の電子部品実装方法は、電子部品を供給する部品供給部から移載ヘッドに装着された複数の吸着ヘッドによって電子部品をピックアップし電子部品接合用のペーストを転写した後に基板に実装する電子部品実装方法であって、ペースト供給部に備えられた回転テーブルを回転駆動機構により回転させることにより、この回転テーブルの凹部に貯溜されたペーストの表面をこの凹部の底面と所定の隙間を保って配設されたスキージの下端部により掻き寄せて均す工程と、前記ペースト供給部まで複数の吸着ノズルにそれぞれ電子部品を保持した移載ヘッドを移動させる工程と、前記複数の吸着ノズルを前記ペースト供給部の塗膜上に設定された転写範囲における異なる転写点に順次下降させてペーストを電子部品に転写する工程と、ペースト転写後の移載ヘッドを基板上に移動させ前記吸着ノズルを基板上の実装点に対して順次下降させることにより基板に電子部品を搭載する工程と、前記移載ヘッドがペースト供給部に転写のためにアクセスするごとに前記回転テーブルを所定角度回転させ、ペーストの表面を前記スキージにより均した新たな転写範囲が前記吸着ノズルの転写位置に移動する工程とを含む。
【0007】
本発明によれば、複数の転写ノズルを備えた移載ヘッドまたは複数の吸着ヘッドのそれぞれに電子部品を保持した移載ヘッドがペースト供給部にペースト転写のためにアクセスするが、この場合、転写ノズルや吸着ノズルはペースト塗膜上に設定された転写範囲における異なる転写点に順次下降させて転写ノズルや吸着ノズルにペーストを転写するようにし、且つこのアクセスをするごとに、回転駆動機構により回転テーブルを回転させてその凹部に貯溜されたペーストの塗膜の上面を均すスキージング動作を行うことにより、スキージング回数を低減して全体のスキージング時間を短縮することができる。
【0008】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図1は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の斜視図、図2は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の平面図、図3は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のノズル保持部の断面図、図4(a)は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のペースト供給部の平面図、図4(b)は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のペースト供給部の側断面図、図5,図6、図7,図8は本発明の一実施の形態の電子部品実装方法におけるペースト転写動作の工程説明図である。
【0009】
まず図1、図2を参照して電子部品実装装置について説明する。図1において、基台1の中央部にはX方向に搬送路2が配設されている。搬送路2は基板3を搬送し位置決めする位置決め部となっている。搬送路2の両側には電子部品を供給する部品供給部4が配設され、それぞれの部品供給部4には多数個のテープフィーダ5が並設されている。テープフィーダ5はテープに保持された電子部品を収納し、このテープをピッチ送りすることによりピックアップ位置5aに電子部品を供給する。
【0010】
X軸テーブル6上は、移載ヘッド7が装着されている。移載ヘッド7は、個別に昇降可能な単位移載ヘッド7A,7B,7Cを備えている。X軸テーブル6は平行に配置された2つのY軸テーブル8A,8Bに両端を支持されて架設されている。X軸テーブル6およびY軸テーブル8A,8Bを駆動することにより、移載ヘッド7は水平移動する。このとき、単位移載ヘッド7A,7B,7Cのそれぞれの下端部に電子部品吸着用の吸着ノズルを装着することにより、移載ヘッド7はテープフィーダ5のピックアップ位置5aから電子部品を真空吸着してピックアップし、基板3上に移載する。また単位移載ヘッド7A,7B,7Cのそれぞれの下端部にペースト転写用の転写ノズルを装着することにより、以下に説明するペースト供給部のペーストを転写ノズルによって基板3に塗布する。
【0011】
搬送路2と部品供給部4の間の移載ヘッドの移動経路には、ノズル保持部9、認識部10、ペースト供給部11が配設されている。ノズル保持部9は、移載ヘッド7に装着され電子部品の吸着保持に用いられる吸着ノズルや、ペースト転写に用いられる転写ノズルを多数ストックする。そして移載ヘッド7をノズル保持部9にアクセスさせることにより、各単位移載ヘッド7A,7B,7Cに装着されたノズルを交換することができる。
【0012】
図3に示すように、ノズル保持部9の頂板12にはノズル収納孔12aが多数設けられており、各ノズル収納孔12aには転写ノズルや吸着ノズルが収納される。図3では、転写ノズル7aが収納された状態を示している。なお吸着ノズルも転写ノズル7aと同様の形状であり、上部に設けられたテーパシャンク形状の装着部を単位移載ヘッド7A,7B,7Cの装着孔に挿入することにより、2種類の異なる用途のノズルを自在に交換することができるようになっている。
【0013】
頂板12の下面の収納孔12aの近傍には、図外のエア供給源と接続されたエアブローパイプ13が配設されている。エアブローパイプ13には、斜め下方に向けてエアブロー孔13aが多数設けられており、転写ノズル7aが収納孔12aに収納された状態でエアブローパイプ13にエアを供給することにより、エアブロー孔13aより、転写ノズル7aの転写軸7’aの下端部に付着したペースト19に対してエアが噴出される。
【0014】
これにより付着したペースト19はエアブローにより飛沫状態で除去され、反対側に配設された吸引ダクト14によって吸引される。吸引されたペースト19の飛沫は、ダクト14内に装着されたフィルタ15によって捕集される。このエアブローによるペースト除去を適宜行うことにより、転写ノズル7aの余分な部分にペーストが付着することによる不具合を防止することができるようになっている。
【0015】
認識部10はラインカメラを備えており、供給部4から電子部品をピックアップした移載ヘッド7が上方を通過する際に、ラインカメラにより吸着ノズルに保持された状態の電子部品を下方から撮像する。そして撮像結果を認識処理することにより電子部品の識別や位置検出を行う。
【0016】
認識部10に隣接してペースト供給部11が配設されている。図4に示すように、ペースト供給部11は、ペースト貯溜容器である回転テーブル16を備えており、回転テーブル16の上面には底面が平坦な凹部16aが同心円状に形成されている。凹部16a内には、電子部品接合用の導電性ペースト(以下、単に「ペースト」と略称)19が貯溜されている。回転テーブル16の下面は軸部16bに結合されており、軸部16bは回転駆動機構18によって回転駆動される。回転テーブル16の上方には、凹部16aの底面との間で所定の隙間を保った状態で、固定のスキージ17が配設されている。
【0017】
凹部16a内にペースト19を供給しスキージ17の下端部と凹部16aの底面との隙間を所定の塗膜厚さtに設定した状態で、回転駆動機構18を駆動することにより、凹部16a内のペースト19はスキージ17の下端部によってその表面が掻き寄せられて均され、所定の塗膜厚さtのペースト塗膜が形成される。このようにした表面が均されたペースト塗膜に対して転写ノズル7aを下降させることにより、転写軸7’aの下端部に所定量のペースト19が転写される。そしてこの状態で移載ヘッド7を基板3上に移動させ、転写ノズル7aを電子部品の実装点に対して下降させることにより、実装点には転写ノズル7aに付着したペースト19が塗布される。
【0018】
この電子部品実装装置は上記のように構成されており、以下電子部品実装動作において行われるペーストの転写動作について図5,図6を参照して説明する。この転写動作は、部品供給部4から電子部品をピックアップし電子部品接合用のペースト19が塗布された基板3に実装する電子部品実装動作において、移載ヘッド7による電子部品の搭載に先立って、各単位移載ヘッド7A,7B,7Cに転写ノズル7aを装着した移載ヘッド7によってペースト供給部11に形成されたペースト塗膜からペースト19を転写し、基板3に塗布するものである。
【0019】
まず転写動作に先立って、移載ヘッド7をノズル保持部9にアクセスさせ、各単位移載ヘッドに装着された複数の吸着ノズルを転写ノズル7aと交換する。次いで、図5(a)に示すように、各単位移載ヘッド7A、7B、7Cに転写ノズル7aが装着された移載ヘッド7をペースト供給部11まで移動させる。ここで行われる転写動作の順序について説明する。
【0020】
図5(b)に示すように、まず左端の単位移載ヘッド7Aを下降させ、図6(a)に示すように回転テーブル16の転写範囲(スキージ17の下流側(図6においてスキージ17の上側)で、ペースト19の表面が均された範囲)20に転写ノズル7aを下降させ、転写範囲20の最外側の転写点20aに転写軸7’aを接触させる。そしてこの後単位移載ヘッド7Aを上昇させることにより、転写ノズル7aには所定量のペースト19が転写される。
【0021】
次いで、図5(c)に示すように移載ヘッド7を左方向へ水平移動させ、中央に位置する単位移載ヘッド7Bの転写ノズル7aを転写範囲20の中央の転写点20b上に位置させる。そして図5(d)に示すように単位移載ヘッド7Bを下降させ、図6(b)に示すように転写範囲20に転写ノズル7aを下降させて転写点20bに転写軸7’aを接触させる。この後単位移載ヘッド7Bを上昇させ、図6(c)に示す転写点20cに転写軸7’aを接触させて同様に単位移載ヘッド7Cによる転写を行う。すなわち、この転写動作では、複数の転写ノズル7aをペースト供給部11の塗膜上の同一の転写範囲20内に設定された異なる転写点20a,20b,20cに順次下降させて、ペースト19を転写ノズル7aに転写する。
【0022】
次に、ペースト塗布動作に移行する。すなわちペースト転写後の移載ヘッド7を基板上3に移動させ、単位移載ヘッド7A,7B,7Cを基板3上の各実装点に対して順次下降させることにより、図7(a)に示すように基板3の実装点にに転写ノズル7aによってペースト19を塗布する。
【0023】
そしてこのペースト塗布動作と行して、ペースト供給部11ではスキージング動作が行われる。すなわち、図6(d)に示すように、回転テーブル16を所定角度だけ矢印方向に回転させることにより、図6(a)〜(c)における転写点20a,20b,20cを含んだ転写範囲20は所定角度だけ移動し、代わりにスキージ17によって表面を均された新たな転写範囲21が転写位置に移動する。
【0024】
基板3にペースト塗布動作を終えた移載ヘッド7が再度ペースト供給部11にアクセスしたならば、転写範囲21の転写点21aからペーストが転写される。すなわち、この転写動作においては、移載ヘッド7がペースト供給部11に転写のためにアクセスするごとにペースト塗膜の上面を均すスキージング動作が1回だけ行われる。これにより、従来は各転写動作ごとに行われていたスキージング動作の回数を大幅に減少させることができ、ペーストの転写動作に要する時間を短縮することができる。
【0025】
この後ペースト19が塗布された基板3上の実装点には、再度ノズル交換によって複数の吸着ノズルを装着した移載ヘッド7によって電子部品Pが搭載される。すなわち、図7(b)に示すように、電子部品Pを保持した吸着ノズル7bをペースト19に位置合わせして下降させ、図7(c)に示すようにペースト19上に電子部品Pを着地させる。
【0026】
なお上記実施の形態では、電子部品Pの搭載に先立って、基板3へペーストを塗布する例を示したが、本発明はこの実施例のみでなく、部品供給部4から移載ヘッド7によってピックアップされた電子部品に直接電子部品接合用のペースト19を転写した後に、移載ヘッド7を基板3上に移動させて電子部品を実装する場合においても、本発明を適用することができる。
【0027】
すなわち、まず各単位移載ヘッド7A,7B,7Cに装着された吸着ノズルにそれぞれ電子部品を保持させ、ペースト供給部11まで移動させる。そして図8(a)に示すように電子部品Pを保持した状態の各単位移載ヘッドの吸着ノズル7bをペースト供給部11のペースト19の塗膜上に設定された異なる転写点に順次下降させ、ペースト19を電子部品に転写する。
【0028】
この後、ペースト転写後の移載ヘッド7を基板3上に移動させ、図8(b)に示すように電子部品Pを保持した吸着ノズル7bを基板3上の実装点に対して順次下降させる。これにより、図8(c)に示すように、電子部品Pは基板3に実装される。そしてこの電子部品実装と平行して、ペースト供給部11においては、移載ヘッド7がペースト転写のためにアクセスするごとに、塗膜の上面を均すスキージング動作が1回だけ行われる。この場合においても、スキージング動作の回数を減少させて、ペーストの転写に要する時間を短縮することができる。
【0029】
さらに、上記実施の形態では、導電性ペーストを転写により塗布する例を示しているが、転写されるペーストとしてはこれに限定されず、フラックスなどのペースト状物質であってもよい。
【0030】
【発明の効果】
本発明によれば、複数の転写ノズルを備えた移載ヘッドまたは複数の吸着ヘッドのそれぞれに電子部品を保持した移載ヘッドがペースト供給部にペースト転写のためにアクセスするが、この場合、転写ノズルや吸着ノズルはペースト塗膜上に設定された転写範囲における異なる転写点に順次下降させて転写ノズルや吸着ノズルにペーストを転写するようにし、且つこのアクセスをするごとに、回転駆動機構により回転テーブルを回転させてその凹部に貯溜されたペーストの塗膜の上面を均すスキージング動作を行うようにしたので、スキージング回数を低減して全体のスキージング時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の斜視図
【図2】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の平面図
【図3】本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のノズル保持部の断面図
【図4】(a)本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のペースト供給部の平面図(b)本発明の一実施の形態の電子部品実装装置のペースト供給部の側断面図
【図5】本発明の一実施の形態の電子部品実装方法におけるペースト転写動作の工程説明図
【図6】本発明の一実施の形態の電子部品実装方法におけるペースト転写動作の工程説明図
【図7】本発明の一実施の形態の電子部品実装方法におけるペースト転写動作の工程説明図
【図8】本発明の一実施の形態の電子部品実装方法におけるペースト転写動作の工程説明図
【符号の説明】
3 基板
4 部品供給部
7 移載ヘッド
7a 転写ノズル
7b 吸着ノズル
11 ペースト供給部
17 スキージ
19 ペースト

Claims (2)

  1. 電子部品を供給する部品供給部から移載ヘッドに装着された複数の吸着ノズルによって電子部品をピックアップし、電子部品接合用のペーストが塗布された基板に実装する電子部品実装方法であって、前記移載ヘッドに装着された複数の吸着ノズルをノズル保持部に収容された前記ペースト転写用の複数の転写ノズルと交換する工程と、ペースト供給部に備えられた回転テーブルを回転駆動機構により回転させることにより、この回転テーブルの凹部に貯溜されたペーストの表面をこの凹部の底面と所定の隙間を保って配設されたスキージの下端部により掻き寄せて均す工程と、前記ペースト供給部まで前記複数の転写ノズルが装着された移載ヘッドを移動させる工程と、前記複数の転写ノズルを前記ペースト供給部の塗膜上に設定された転写範囲における異なる転写点に順次下降させてペーストを転写ノズルに転写する工程と、ペースト転写後の移載ヘッドを基板上に移動させ前記転写ノズルを基板上の塗布点に対して順次下降させることにより基板にペーストを塗布する工程と、ペーストが塗布された基板に吸着ノズルが装着された移載ヘッドによって電子部品を搭載する工程と、前記移載ヘッドがペースト供給部に転写のためにアクセスするごとに前記回転テーブルを所定角度回転させ、ペーストの表面を前記スキージにより均した新たな転写範囲が前記転写ノズルの転写位置に移動する工程とを含むことを特徴とする電子部品実装方法。
  2. 電子部品を供給する部品供給部から移載ヘッドに装着された複数の吸着ヘッドによって電子部品をピックアップし電子部品接合用のペーストを転写した後に基板に実装する電子部品実装方法であって、ペースト供給部に備えられた回転テーブルを回転駆動機構により回転させることにより、この回転テーブルの凹部に貯溜されたペーストの表面をこの凹部の底面と所定の隙間を保って配設されたスキージの下端部により掻き寄せて均す工程と、前記ペースト供給部まで複数の吸着ノズルにそれぞれ電子部品を保持した移載ヘッドを移動させる工程と、前記複数の吸着ノズルを前記ペースト供給部の塗膜上に設定された転写範囲における異なる転写点に順次下降させてペーストを電子部品に転写する工程と、ペースト転写後の移載ヘッドを基板上に移動させ前記吸着ノズルを基板上の実装点に対して順次下降させることにより基板に電子部品を搭載する工程と、前記移載ヘッドがペースト供給部に転写のためにアクセスするごとに前記回転テーブルを所定角度回転させ、ペーストの表面を前記スキージにより均した新たな転写範囲が前記吸着ノズルの転写位置に移動する工程とを含むことを特徴とする電子部品実装方法。
JP2000335494A 2000-11-02 2000-11-02 電子部品実装方法 Expired - Fee Related JP4252720B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000335494A JP4252720B2 (ja) 2000-11-02 2000-11-02 電子部品実装方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000335494A JP4252720B2 (ja) 2000-11-02 2000-11-02 電子部品実装方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002141642A JP2002141642A (ja) 2002-05-17
JP4252720B2 true JP4252720B2 (ja) 2009-04-08

Family

ID=18811228

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000335494A Expired - Fee Related JP4252720B2 (ja) 2000-11-02 2000-11-02 電子部品実装方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4252720B2 (ja)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5082358B2 (ja) * 2006-09-22 2012-11-28 ソニー株式会社 塗布装置、実装装置及び電子部品の製造方法
JP4992880B2 (ja) * 2008-10-20 2012-08-08 パナソニック株式会社 転写ツール保管装置および電子部品実装装置
CN103889203B (zh) * 2014-04-10 2017-02-01 广东欧珀移动通信有限公司 Pop贴片装置及其芯片清除治具
WO2016147390A1 (ja) * 2015-03-19 2016-09-22 富士機械製造株式会社 部品実装ライン、および部品実装ラインの段取り方法
WO2017141303A1 (ja) * 2016-02-15 2017-08-24 富士機械製造株式会社 対基板作業装置
JP6738996B2 (ja) * 2016-06-14 2020-08-12 パナソニックIpマネジメント株式会社 部品実装方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002141642A (ja) 2002-05-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI357381B (ja)
US7712652B2 (en) Component mounting apparatus and component mounting method
TWI480965B (zh) Solder ball inspection repair device and solder ball detection repair method
US5254362A (en) Method and apparatus for deposition of solder paste on a printed wiring board
KR20110028582A (ko) 클리닝 장치 및 스크린 인쇄 장치
JP2002185117A (ja) 粘性流体転写装置及び転写方法、電子部品実装装置及び実装方法、並びに半導体装置
JP2001148395A (ja) バンプ形成方法およびそのシステム
JP4252720B2 (ja) 電子部品実装方法
TWI671208B (zh) 具有網板穿梭組件的網板打印機
US6581282B2 (en) Apparatus for mounting electronic components
TW201028062A (en) Conductive ball mounting apparatus
JP2003273167A (ja) 電子部品搭載装置および電子部品搭載方法
JP2010225968A (ja) 電子部品実装装置
TW200924858A (en) Liquid material applying apparatus
CN103299725B (zh) 贴片周期内流体应用的方式及装置
JP4263347B2 (ja) 電子部品実装装置におけるペースト供給装置
JP2019067991A (ja) ボール配列用マスク、ボール搭載装置及びボール搭載方法
JP2003273166A (ja) 電子部品搭載装置および電子部品搭載方法
JP2000022395A (ja) 電子部品の実装方法および実装装置
JP3879386B2 (ja) 電子部品実装装置におけるフラックス供給装置およびフラックス供給方法
JP3583319B2 (ja) 電子部品実装装置
JP2003282640A (ja) 電子部品搭載装置および電子部品搭載方法
JP2625582B2 (ja) 外部端子接続用導電性ペーストの塗着装置
JP3252636B2 (ja) 半田ボール搭載装置及び半田ボール搭載方法
JPH11135572A (ja) 電子部品搭載装置

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20050630

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060630

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060711

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060831

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20061031

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090122

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120130

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130130

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130130

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees