JP4251171B2 - ドーナツ状ガラス基板のエッチング方法 - Google Patents
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Description
(1)中央に円孔を有する複数枚のドーナツ状ガラス基板を、前記円孔で円筒孔が形成されるように揃えて積層し、この積層された複数枚のドーナツ状ガラス基板の内周端面を該エッチング液またはエッチングガスにより同時にエッチング処理する方法であって、前記複数枚のドーナツ状ガラス基板が積層された積層体の両端のドーナツ状ガラス基板の露出した主表面に触れさせることなくエッチング液またはエッチングガスを前記円筒孔の一端から供給しその内部を流動させて円筒孔の他端から排出させるドーナツ状ガラス基板のエッチング方法。
(2)積層された複数枚のドーナツ状ガラス基板を前記円筒孔の中心軸が垂直になるように保持した状態でエッチング処理する上記(1)のドーナツ状ガラス基板のエッチング方法。
(3)上記(2)に記載のドーナツ状ガラス基板のエッチング方法であって、前記円筒孔の直径と実質的に同一の直径の流路を有するパッキングを介して同じ直径の流路を有する導管を円筒孔の一端に接続し、このようにして形成された流路を用いてエッチング液またはエッチングガスを円筒孔の前記一端に供給するドーナツ状ガラス基板のエッチング方法。
(4)エッチング処理後のエッチング液またはエッチングガスを循環使用する上記(1)、(2)または(3)のドーナツ状ガラス基板のエッチング方法。
(5)積層された複数枚のドーナツ状ガラス基板を前記円筒孔の中心軸の周りに回転させながらエッチング処理する上記(1)〜(4)のいずれかのドーナツ状ガラス基板のエッチング方法。
(6)内周端面のエッチング量が3〜50μmである上記(1)〜(5)のいずれかのドーナツ状ガラス基板のエッチング方法。
(7)エッチング処理をエッチング液によって行う上記(1)〜(6)のいずれかのドーナツ状ガラス基板のエッチング方法。
耐水性:80℃の水にガラスを24時間浸漬したときの、ガラスからの成分溶出に伴うガラスの減量(溶出量)が0.02mg/cm2以下のもの。
耐酸性:80℃の0.1規定塩酸水溶液にガラスを24時間浸漬したときの、ガラスからの成分溶出に伴うガラスの減量(溶出量)が0.06mg/cm2以下のもの。
耐アルカリ性:80℃の0.1規定水酸化ナトリウム水溶液にガラスを24時間浸漬したときの、ガラスからの成分溶出に伴うガラスの減量(溶出量)が1mg/cm2以下、より好ましくは0.18mg/cm2以下のもの。
3:エッチング液 4:パッキング
5、5B:押え板 6:固定具
5A:導管(ディスク押えノズル) 7:タンク
8:ポンプ 9:流路
10:ガラス基板積層体
Claims (6)
- 中央に円孔を有する複数枚のドーナツ状ガラス基板を、前記円孔で円筒孔が形成されるように揃えて積層し、この積層された複数枚のドーナツ状ガラス基板の内周端面をエッチング液またはエッチングガスにより同時にエッチング処理する方法であって、前記複数枚のドーナツ状ガラス基板を前記円筒孔の中心軸が垂直になるように積層して両側から該円筒孔の直径と実質的に同一の直径の流路を有するパッキングを介して保持し、積層された積層体の両端のドーナツ状ガラス基板の露出した主表面に触れさせることなくエッチング液またはエッチングガスを前記円筒孔の一端から供給しその内部を流動させて円筒孔の他端から排出させることを特徴とするドーナツ状ガラス基板のエッチング方法。
- 前記円筒孔の一端に前記パッキングを介して円筒孔と実質的に同じ直径の流路を有する導管を接続し、このようにして形成された流路を用いてエッチング液またはエッチングガスを円筒孔の前記一端に供給する請求項1に記載のドーナツ状ガラス基板のエッチング方法。
- エッチング処理後のエッチング液またはエッチングガスを循環使用する請求項1または2に記載のドーナツ状ガラス基板のエッチング方法。
- 積層された複数枚のドーナツ状ガラス基板を前記円筒孔の中心軸の周りに回転させながらエッチング処理する請求項1〜3のいずれかに記載のドーナツ状ガラス基板のエッチング方法。
- 内周端面のエッチング量が3〜50μmである請求項1〜4のいずれかに記載のドーナツ状ガラス基板のエッチング方法。
- エッチング処理をエッチング液によって行う請求項1〜5のいずれかに記載のドーナツ状ガラス基板のエッチング方法。
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