JP4238255B2 - Vacuum gate valve and method for opening and closing the vacuum gate valve - Google Patents

Vacuum gate valve and method for opening and closing the vacuum gate valve Download PDF

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JP4238255B2 JP2006135952A JP2006135952A JP4238255B2 JP 4238255 B2 JP4238255 B2 JP 4238255B2 JP 2006135952 A JP2006135952 A JP 2006135952A JP 2006135952 A JP2006135952 A JP 2006135952A JP 4238255 B2 JP4238255 B2 JP 4238255B2
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Description

本発明は、半導体製造装置等の真空室内を真空状態に維持するために使用されるゲートバルブ（真空用仕切弁）に関する。   The present invention relates to a gate valve (vacuum gate valve) used for maintaining a vacuum chamber in a semiconductor manufacturing apparatus or the like in a vacuum state.

従来、この種のゲートバルブには種々の機構のものが提案されている。   Conventionally, various types of gate valves have been proposed.

特許文献１には、弁箱の弁座面及び台座面にそれぞれ対向し互いに平行に配置された弁板及び対向板と、この弁板と対向板との間に設けられた支持板とにより弁軸に対して垂直な方向にスライド可能な弁体部を構成し、弁板と対向板の向かい合うそれぞれの面に、可撓性を有する板バネを弁体部のスライド方向と鋭角θをなして固定し、弁板及び対向板に対して支持板を相対移動させて閉弁する際、支持板によって板バネを屈曲させて鋭角θを拡大させ閉弁するように構成した真空用仕切弁が記載されている。   In Patent Document 1, a valve plate and a counter plate, which are respectively opposed to and parallel to a valve seat surface and a base surface of a valve box, and a support plate provided between the valve plate and the counter plate are used. The valve body is slidable in a direction perpendicular to the axis, and a flexible leaf spring is formed on each face of the valve plate and the opposing plate at an acute angle θ with the sliding direction of the valve body. A vacuum gate valve configured to close and close a valve plate by bending a leaf spring with the support plate to enlarge the acute angle θ when the support plate is moved relative to the valve plate and the opposing plate. Has been.

特許文献２には、半導体プロセスクラスタアーキテクチャ配置で使用されるデュアルスロットバルブであって、第１の面および第２の面を有するハウジングと、同ハウジングは、第1のモジュールおよび第２のモジュールの間で基板を通過させるための前記第１の面に位置する第１のスロットおよび前記第２の面に位置する第２のスロットを有する第２のスロットを有することと、前記第１のモジュールは前記ハウジングの前記第１の面に取り付けられ、前記第２のモジュールは前記ハウジングの前記第２の面に取り付けられることと、前記第１のスロットを閉塞可能とするために前記ハウジング内に移動可能に装着された第１のドアと、前記第２のスロットを閉塞可能とするために前記ハウジング内に移動可能に装着された第２のドアとを備えるデュアルスロットバルブが記載されている。   Patent Document 2 discloses a dual slot valve used in a semiconductor process cluster architecture arrangement, which includes a housing having a first surface and a second surface, and the housing includes a first module and a second module. Having a second slot having a first slot located on the first surface and a second slot located on the second surface for passing a substrate therebetween, the first module comprising: Attached to the first surface of the housing, the second module is attached to the second surface of the housing and is movable within the housing to allow the first slot to be closed And a second door movably mounted in the housing to allow the second slot to be closed. Dual slot valves are described.

特許文献３には、ａ）内部空間、および流体該内部空間に流出入できるようにする１対の弁箱開口を有するハウジングと、ｂ）前記内部空間内で、流体が第１弁箱開口を通ることができるようにする全開位置と、前記第１弁箱開口を密封して流体が通ることができないようにする全閉位置との間を移動可能な第１弁体と、ｃ）前記内部空間内で、流体が第２弁箱開口を通ることができるようにする全開位置と、前記第２弁箱開口を密封して流体が通ることができないようにする全閉位置との間を枢動移動可能な第２弁体とを備えた弁アセンブリが記載されている。   In Patent Document 3, a) a housing having a space and a pair of valve box openings that allow fluid to flow into and out of the space; and b) a fluid within the space that has a first valve box opening. A first valve body movable between a fully open position that allows passage and a fully closed position that seals the first valve box opening so that fluid cannot pass; and c) the interior. In the space, it pivots between a fully open position that allows fluid to pass through the second valve box opening and a fully closed position that seals the second valve box opening and prevents fluid from passing therethrough. A valve assembly with a second movable valve body is described.

本件出願人にあっても、特許文献４に示されるゲートバルブの提案を行っている。   Even the applicant of the present application has proposed a gate valve shown in Patent Document 4.

特許第２７１４４７３号公報Japanese Patent No. 2714473 特表第２００２−５４０６１２号公報Japanese translation of PCT publication No. 2002-540612 特表第２００４−５０２１０５号公報Special Table No. 2004-502105 特開２００５−７６８３６号公報JP 2005-76836 A

上述のように従来、第１および第２の弁箱開口を有する弁箱と、内部空間の弁箱開口の縁部の周囲に設けられる弁座と、それぞれ第１および第２の弁箱開口を開閉する第１および第２の弁体を備えるようにしていることは知られているが、圧力条件のよい方向、すなわち同圧、正圧方向へシールさせるものでないために弁の開閉に大きな負荷を要するものであったり、弁の開閉動作とシール動作とを一体で行うものであるために操作部で弁元部を保持するようにしている。このために、弁への負荷が大きくなり、操作部の大型化及びバルブ大重量化の原因となっていた。   Conventionally, as described above, the valve box having the first and second valve box openings, the valve seat provided around the edge of the valve box opening in the internal space, and the first and second valve box openings respectively. Although it is known that the first and second valve bodies that open and close are provided, a large load is required to open and close the valve because it is not sealed in a direction with good pressure conditions, that is, in the same pressure or positive pressure direction. In other words, the valve opening and closing operation and the sealing operation are integrally performed, so that the valve base portion is held by the operation portion. For this reason, the load on the valve is increased, resulting in an increase in the size of the operation unit and an increase in the weight of the valve.

本発明は、かかる点に鑑み、弁への負荷を軽減し、弁の開閉動作とシール動作とを独立させて小型・軽量かつ安価なゲートバルブを提供することを目的とする。   In view of the above, an object of the present invention is to provide a gate valve that is small, light, and inexpensive by reducing the load on the valve and making the opening / closing operation and the sealing operation of the valve independent.

本発明は、対向配置された２つの開口を持つ弁箱と、前記弁箱の内面であって、それぞれの弁箱開口の周囲に形成された弁箱座面を、シールリングを介してシールする２枚の弁板を有する弁体アッセンブリ、および該弁体アッセンブリを垂直方向に保持するゲートコア（弁軸）を備え、前記弁箱の内部に延在する弁体アッセンブリと、該弁体アッセンブリを垂直方向にスライドさせる第１の駆動装置を備えたゲートバルブにおいて、前記弁体アッセンブリの長手方向にあって、前記弁箱に固定された２つの第２の駆動装置を有し、前記第２の駆動装置と前記弁体アッセンブリの間に前記第２の駆動装置によって生成した長手方向の操作力を直角方向の操作力に変換する操作方向変換部を備え、前記第１の駆動装置によって、前記弁体アッセンブリを垂直方向に移動させて該弁体アッセンブリを前記弁箱に対していずれにも非接触状態である中立位置に保持し、前記第２の駆動装置によって、長手方向の操作力を生成し、前記操作方向変換部によって、長手方向の操作力をいずれかの直角方向の操作力に変換して中立位置にある前記弁体アッセンブリをいずれかの直角方向に移動させて、一方の前記弁箱開口を前記シールリングを介して前記弁体アッセンブリの一方の弁板でシールし、中立位置にあった弁体アッセンブリの他方の弁板を他方の前記弁箱開口から更に開放することを特徴とするゲートバルブを提供する。   The present invention seals a valve box having two openings arranged opposite to each other, and an inner surface of the valve box, which is formed around each valve box opening, through a seal ring. A valve body assembly having two valve plates, and a gate core (valve shaft) that holds the valve body assembly in the vertical direction, the valve body assembly extending inside the valve box, and the valve body assembly vertically A gate valve having a first drive device that slides in a direction, the second drive device having two second drive devices fixed in the valve box in a longitudinal direction of the valve body assembly. An operation direction conversion unit that converts an operation force in the longitudinal direction generated by the second drive device into an operation force in a perpendicular direction between the device and the valve body assembly; and Assen The valve body assembly is held in a neutral position that is in a non-contact state with respect to the valve box, and a longitudinal operating force is generated by the second driving device, The operation direction conversion section converts the operation force in the longitudinal direction into any one of the orthogonal operation forces to move the valve body assembly in the neutral position in any one of the orthogonal directions, thereby opening one of the valve box openings. Is sealed with one valve plate of the valve body assembly through the seal ring, and the other valve plate of the valve body assembly in a neutral position is further opened from the other valve box opening. Provide a valve.

また、本発明は、弁箱と、前記弁箱の内面であって、それぞれの開口の周囲に形成された弁箱座面を、シールリングを介してシールする２枚の弁板を有する弁体アッセンブリ、および該弁体アッセンブリを垂直方向に保持するゲートコア（弁軸）を備えて前記弁箱の内部で延在する弁体アッセンブリと、該弁体アッセンブリを垂直方向にスライドさせる第１の駆動装置を備えたゲートバルブにおいて、前記弁体アッセンブリの長手方向にあって、前記弁箱に固定された２つの第２の駆動装置を有し、前記第２の駆動装置は、長手方向に延在するシリンダロッドと、該シリンダロッドの先端部に取り付けた転動体を備え、対向する２つの前記転動体は、間隙Ｌを置いて配置され、前記弁体アッセンブリは、長手方向に、間隙Ｌ方向で間隙Ｌよりも大きな係合幅を有していずれかの転動体と係合する係合部を有し、前記転動体の一方が前記係合体に係合したときに他方の転動体は前記係合体に係合しないことによって、前記弁体アッセンブリを係合しない転動体側に移動させて一方の前記弁箱開口を前記シールリングを介して前記弁体アッセンブリの一方の弁板でシールし、他方の前記弁箱開口を他方の前記弁体アッセンブリから更に開放することを特徴とするゲートバルブを提供する。   Further, the present invention provides a valve body, and a valve body having two valve plates for sealing a valve box seating surface formed around each opening on the inner surface of the valve box through a seal ring. An assembly, a valve body assembly that includes a gate core (valve shaft) that holds the valve body assembly in the vertical direction and extends inside the valve box, and a first drive device that slides the valve body assembly in the vertical direction The gate valve has two second drive devices fixed to the valve box in the longitudinal direction of the valve body assembly, and the second drive device extends in the longitudinal direction. A cylinder rod and a rolling element attached to the tip of the cylinder rod are provided, and the two opposing rolling elements are arranged with a gap L therebetween, and the valve assembly is spaced in the longitudinal direction and in the gap L direction. From L It has an engagement part which has a large engagement width and engages with one of the rolling elements, and when one of the rolling elements engages with the engaging element, the other rolling element engages with the engaging element. The valve body assembly is moved to the non-engaging rolling element side, and one of the valve box openings is sealed with one valve plate of the valve body assembly via the seal ring, and the other valve box is sealed. There is provided a gate valve characterized in that the opening is further opened from the other valve body assembly.

また、本発明は、前記転動体は、前記弁箱の内面に沿って転動することを特徴とするゲートバルブを提供する。   Further, the present invention provides a gate valve characterized in that the rolling element rolls along the inner surface of the valve box.

また、本発明は、前記弁体アッセンブリは、２枚の弁板と、これらの弁板間に、開閉方向に設けたピンと、これらの弁体の間に配設され、かつ前記第１駆動装置のシリンダロッドに接続されたゲートコアを前記ピンに対して摺動可能に備えることを特徴とするゲートバルブを提供する。   According to the present invention, the valve body assembly is provided between two valve plates, a pin provided between the valve plates in an opening / closing direction, and the valve body, and the first driving device. A gate valve comprising a gate core connected to the cylinder rod is slidable with respect to the pin.

また、本発明は、前記第２駆動装置は、前記弁体アッセンブリの長手方向の双方側に対向して設けられ、双方の対向する転動体は同期して作動することを特徴とするゲートバルブを提供する。   According to the present invention, there is provided a gate valve characterized in that the second driving device is provided opposite to both sides in the longitudinal direction of the valve body assembly, and both opposing rolling elements operate synchronously. provide.

更に、本発明は、弁箱と、その内面にある座面を、シールリングを介してシールする弁体アッセンブリ、および該弁体アッセンブリを垂直方向に保持するゲートコアを備えて前記弁箱の内部で延在する弁体アッセンブリと、該弁体アッセンブリを垂直方向にスライドさせる第１の駆動装置を備え前記弁体アッセンブリの長手方向にあって、前記弁箱に固定された２つの第２の駆動装置、および該第２の駆動装置によって生成した長手方向の操作力を直角方向の操作力に変換する変換部を備えたゲートバルブによるゲート開閉方法において、前記第１の駆動装置によって、前記弁体アッセンブリを垂直方向に移動させて該弁体アッセンブリを前記弁箱に対していずれにも非接触状態である中立位置に保持するステップと、前記第２の駆動装置によって、長手方向の操作力を生成するステップと、前記操作方向変換部によって、長手方向の操作力をいずれかの直角方向の操作力に変換して中立位置にある前記弁体アッセンブリをいずれかの直角方向に移動させて、一方の前記弁箱を前記シールリングを介して前記弁体アッセンブリの一方の弁板でシールし、中立位置にあった他方の前記弁体アッセンブリを他方の前記弁箱座面から更に開放することを特徴とするゲートバルブの開閉方法を提供する。   Furthermore, the present invention includes a valve box, a valve body assembly that seals a seating surface on the inner surface thereof through a seal ring, and a gate core that holds the valve body assembly in a vertical direction. Two second drive devices that are provided in the longitudinal direction of the valve body assembly and are fixed to the valve box, the valve body assembly extending, and a first drive device that slides the valve body assembly in the vertical direction. , And a gate opening / closing method using a gate valve provided with a conversion unit that converts a longitudinal operation force generated by the second drive device into a right-angle operation force, the valve body assembly by the first drive device. Holding the valve body assembly in a neutral position in a non-contact state with respect to the valve box, and And generating the operating force in the longitudinal direction and converting the operating force in the longitudinal direction into any one of the operating forces in the perpendicular direction by the operating direction conversion unit, and The valve body is sealed with one valve plate of the valve body assembly through the seal ring, and the other valve body assembly in the neutral position is sealed with the other valve box. There is provided a gate valve opening / closing method characterized by further opening from a seating surface.

また、本発明は、前記ゲートバルブが真空搬送室と真空処理室と真空処理室との間に設けられているときに、前記真空処理室の真空を開放あるいは真空を弱める場合には、弁体アッセンブリの前記真空搬送室側の弁板の一方の弁箱開口にシールリングを介してシールして弁体アッセンブリの他方の弁板を他方の弁箱開口から更に開放することを特徴とするゲートバルブの開閉方法を提供する。   In the present invention, when the gate valve is provided between the vacuum transfer chamber, the vacuum processing chamber, and the vacuum processing chamber, when the vacuum of the vacuum processing chamber is opened or weakened, the valve body A gate valve characterized by sealing one valve box opening of the valve plate on the vacuum transfer chamber side of the assembly through a seal ring to further open the other valve plate of the valve body assembly from the other valve box opening. Provide an opening and closing method.

本発明によれば、弁の開閉動作とシール動作が独立しており、シール動作が弁座に対して垂直方向に押し付けられる操作となるために操作部で弁体部を保持する必要がなく、小型・安価なゲートバルブを提供することができる。また、圧力条件のよい同圧・正圧方向でシールすることができ、弁への負担を軽減することが可能になる。   According to the present invention, the opening / closing operation and the sealing operation of the valve are independent, and the sealing operation is an operation to be pressed in the vertical direction with respect to the valve seat, so there is no need to hold the valve body portion at the operation portion, A small and inexpensive gate valve can be provided. In addition, sealing can be performed in the same pressure / positive pressure direction with good pressure conditions, and the burden on the valve can be reduced.

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図１は、本発明の実施例のゲートバルブ１００の外観を示す図である。図１において、ゲートバルブ（弁）１００は、鎖線で示す弁箱（ハウジング）１と、この弁箱１内に収納されて弁箱１の対向する位置にそれぞれ設けられた図３の開口１７，１８の開閉を行う弁体アッセンブリ２と、弁体アッセンブリ２の開閉動作を行う第１の駆動装置である第１のシリンダ３と、弁体アッセンブリ２のシール動作を行う第２の駆動装置である第２のシリンダ４とを備える。弁箱１は、開口１７，１８が形成されている。第１のシリンダ３と第２のシリンダ４とは、弁体アッセンブリ２による開閉動作とシール動作を独立して行うようにシステムの制御装置（図示せず）によって制御される。図１に矢印によって開閉動作およびシール動作がなされ、各シリンダ３、４にはＡｉｒ（空気）源６からＡｉｒが供給され、各シリンダ３、４のシリンダロッド７、８が動作することになる。５は、弁体アッセンブリ２に設けたシールリング（シール材）としての、例えばＯリングである。   FIG. 1 is a view showing an appearance of a gate valve 100 according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, a gate valve (valve) 100 includes a valve box (housing) 1 indicated by a chain line, and openings 17 in FIG. 3 respectively housed in the valve box 1 and provided at positions facing the valve box 1. 18 is a valve body assembly 2 that opens and closes 18, a first cylinder 3 that is a first drive device that opens and closes the valve body assembly 2, and a second drive device that performs a seal operation of the valve body assembly 2. A second cylinder 4. The valve box 1 has openings 17 and 18 formed therein. The first cylinder 3 and the second cylinder 4 are controlled by a system control device (not shown) so that the opening / closing operation and the sealing operation by the valve body assembly 2 are performed independently. In FIG. 1, an opening / closing operation and a sealing operation are performed by arrows, and each cylinder 3, 4 is supplied with Air from an Air (air) source 6, and the cylinder rods 7, 8 of each cylinder 3, 4 operate. Reference numeral 5 denotes, for example, an O-ring as a seal ring (seal material) provided in the valve body assembly 2.

図１に示すように、弁体アッセンブリ２は左右に配置した２つの第１のシリンダ３によって垂直方向に上下動され、弁体アッセンブリ２の長手方向の両側位置に配設された各２つずつの第２のシリンダ４によって垂直方向に対して直角方向に動作される。第２のシリンダ４による長手方向の操作力が直角方向の操作力に変換されるメカニズムについては後述する。従って、ここでは直角方向とは、垂直方向に直角方向であって、弁箱１に設けた開口１７，１８の方向ということになる。各２つずつの第２のシリンダ４は長手方向並置され、各第２のシリンダ４に装着されるシリンダロッド８は特定の間隔に設定され、長手方向の水平方向に配設される。   As shown in FIG. 1, the valve body assembly 2 is moved up and down in the vertical direction by two first cylinders 3 arranged on the left and right, and two each of the valve body assemblies 2 arranged at both longitudinal positions of the valve body assembly 2. The second cylinder 4 is operated in a direction perpendicular to the vertical direction. The mechanism by which the operating force in the longitudinal direction by the second cylinder 4 is converted into the operating force in the perpendicular direction will be described later. Accordingly, herein, the right-angle direction is the direction perpendicular to the vertical direction and the direction of the openings 17 and 18 provided in the valve box 1. The two second cylinders 4 are juxtaposed in the longitudinal direction, and the cylinder rods 8 attached to the second cylinders 4 are set at specific intervals and are arranged in the horizontal direction in the longitudinal direction.

左右に配設される各２つずつの第２のシリンダによる弁体アッセンブリ２の操作は同期されて同一の動作をするので、以下、片側の第２のシリンダ４について主に説明するが、他側の第２のシリンダ４についてはその説明が援用されるものとする。第１のシリンダ３についても同様である。   Since the operations of the valve assembly 2 by the two second cylinders arranged on the left and right are synchronized and perform the same operation, the second cylinder 4 on one side will be mainly described below. The description of the second cylinder 4 on the side is incorporated. The same applies to the first cylinder 3.

図３は、第１のシリンダ３の部分で断面した弁箱１および弁体アッセンブリ２の断面図である。   FIG. 3 is a cross-sectional view of the valve box 1 and the valve body assembly 2 taken along a section of the first cylinder 3.

図２，図３において、弁箱１は、上下でボルト１３によって一体化された上フタ１５、フタ１６を備える。弁箱1には、開口部１７，１８が形成され、開口部１７，１８は、例えば半導体製造装置の真空搬送室および真空処理室のそれぞれに向けて配置される。   2 and 3, the valve box 1 includes an upper lid 15 and a lid 16 that are integrated with bolts 13 at the top and bottom. Openings 17 and 18 are formed in the valve box 1, and the openings 17 and 18 are disposed, for example, toward the vacuum transfer chamber and the vacuum processing chamber of the semiconductor manufacturing apparatus, respectively.

弁箱１の下方には第１のシリンダ３が設けられ、ボルト１９によって下フタ１６に固定される。第１のシリンダ３は上方に、すなわち弁箱１の空間２１に伸びるシリンダロッド７を備える。２０はシリンダロッド７と下フタ１６との間に設けたグランドである。   A first cylinder 3 is provided below the valve box 1 and is fixed to the lower lid 16 by a bolt 19. The first cylinder 3 includes a cylinder rod 7 that extends upward, that is, into the space 21 of the valve box 1. Reference numeral 20 denotes a ground provided between the cylinder rod 7 and the lower lid 16.

空間２１内で、開口１７，１８に対向する形で弁体アッセンブリ２が設けてあり、この弁体アッセンブリ２は弁体板部２２，２３を備え、連結片２４，２５がボルト３０によって弁体アッセンブリ２に取り付けられている。   A valve body assembly 2 is provided in the space 21 so as to face the openings 17 and 18. The valve body assembly 2 includes valve body plate portions 22 and 23, and connecting pieces 24 and 25 are connected to the valve body by bolts 30. It is attached to the assembly 2.

図３において、弁体アッセンブリ２の空間３１（弁体板部２２，２３の間の空間）に垂直方向にゲートコア（弁軸）３２が設けられ、ゲートコア３２に設けた長穴３３を貫通するシリンダロッド７とはボルト３４によって一体化されている。弁体アッセンブリ２２の外方面上には弁箱１の内面の座面（弁箱座面）に向けてOリング５（５Ａ，５Ｂ）が設けてある。   In FIG. 3, a cylinder in which a gate core (valve shaft) 32 is provided in a vertical direction in a space 31 (a space between the valve body plate portions 22 and 23) of the valve body assembly 2 and penetrates a long hole 33 provided in the gate core 32. The rod 7 is integrated with a bolt 34. An O-ring 5 (5A, 5B) is provided on the outer surface of the valve body assembly 22 toward the seating surface (valve box seating surface) of the inner surface of the valve box 1.

以上のように、弁箱１の開口１７，１８の内側周囲に形成された座面を、Ｏリング５を介してシールする弁体板部２２，２３および弁体板部を垂直方向に保持するゲートコア３２を備えて弁体アッセンブリ２が構成される。弁体アッセンブリ２は弁箱１の内部の空間２１を上下方向に延在して設けられることになる。そして、第１のシリンダ３は弁体アッセンブリ２を垂直方向にスライド、すなわち上下動させることになる。   As described above, the valve body plate portions 22 and 23 for sealing the seating surface formed around the inside of the openings 17 and 18 of the valve box 1 through the O-ring 5 and the valve body plate portion are held in the vertical direction. The valve body assembly 2 is configured to include the gate core 32. The valve body assembly 2 is provided by extending the space 21 inside the valve box 1 in the vertical direction. The first cylinder 3 slides the valve assembly 2 in the vertical direction, that is, moves it up and down.

図４は、第１のシリンダ３の断面部よりも外方の位置での弁箱１および弁体アッセンブリ２の断面図である。   FIG. 4 is a cross-sectional view of the valve box 1 and the valve body assembly 2 at a position outside the cross-sectional portion of the first cylinder 3.

図４において、弁体板部２２，２３およびゲートコア３２には連通した空間４１が形成され、この空間４１には直角方向（水平方向）に円柱状のピン４２、このピン４２の周囲に設けたツバ部４７を有するガイド４３、弁体板部２２，２３の外面側に設けたピン押え４４，４５およびバネ４６、４８が設けられる。バネ４６は、ゲートコア３２に設けた段差にガイド４３のツバ部４７が係合するようにツバ部４７を段差方向に押しつけている。   In FIG. 4, a space 41 communicating with the valve body plate portions 22 and 23 and the gate core 32 is formed. In this space 41, a cylindrical pin 42 is provided in a right angle direction (horizontal direction), and provided around the pin 42. A guide 43 having a flange portion 47, pin retainers 44 and 45 and springs 46 and 48 provided on the outer surface side of the valve body plate portions 22 and 23 are provided. The spring 46 presses the flange portion 47 in the step direction so that the flange portion 47 of the guide 43 is engaged with the step provided on the gate core 32.

このような構成によって、シリンダロッド７（図２）によってゲートコア３２は上下動動作され、これに伴ってピン４２を介して弁体板部２２，２３も上下動動作される。更に、この状態で弁体板部２２，２３が直角方向に動作されてピン４２が直角方向に動作してもガイド４３とツバ部４７との関係位置は変化せず、すなわちゲートコア３２は中立位置を保つ。従って第１のシリンダ３の操作が阻害されることがない。   With such a configuration, the gate core 32 is moved up and down by the cylinder rod 7 (FIG. 2), and the valve body plate portions 22 and 23 are also moved up and down via the pins 42 in accordance therewith. Further, even if the valve body plate portions 22 and 23 are moved in the right angle direction and the pin 42 is moved in the right angle direction in this state, the relative position between the guide 43 and the flange portion 47 does not change, that is, the gate core 32 is in the neutral position. Keep. Therefore, the operation of the first cylinder 3 is not hindered.

図５は、第２のシリンダ４の長手方向の操作力を回転方向動作を加えることなく直角方向の操作力に変換する操作方向変換部５０の構成を示す図である。   FIG. 5 is a diagram illustrating a configuration of the operation direction conversion unit 50 that converts the operation force in the longitudinal direction of the second cylinder 4 into an operation force in a perpendicular direction without applying a rotation direction operation.

弁箱１の長手方向の端部に設けたグランド５１を介して２つの第２のシリンダ４（４Ａ），４（４Ｂ）が設けられる。第２のシリンダ４は、それぞれシリンダロッド５２，５３を備えており、シリンダロッド５２，５３は弁箱１の長手方向の端部に形成した２つの並列する貫通孔５４，５５の方向に延在する。シリンダロッド５２，５３の先端にはボルト５６，５７で取り付けられた転動体保持部５８，５９が設けてあり、これらの転動体保持部５８，５９の先端にはそれぞれ転動体６０，６１が回転可能に取り付けてある。   Two second cylinders 4 (4A) and 4 (4B) are provided via a gland 51 provided at an end portion of the valve box 1 in the longitudinal direction. The second cylinder 4 includes cylinder rods 52 and 53, respectively, and the cylinder rods 52 and 53 extend in the direction of two parallel through holes 54 and 55 formed at the longitudinal ends of the valve box 1. To do. Rolling body holding portions 58 and 59 attached by bolts 56 and 57 are provided at the ends of the cylinder rods 52 and 53, and the rolling bodies 60 and 61 are rotated at the ends of the rolling body holding portions 58 and 59, respectively. It is attached as possible.

シリンダロッド５２，５３が長手方向に動作すると、転動体保持部５８，５９および転動体６０，６１が長手方向に移動する。この場合に、転動体６０，６１は弁箱１にそれぞれボルト６２，６３によって取り付けたローラガイド６４，６５の上を転動する。そして転動体６０，６１は鎖線で示す位置まで転動することができる。   When the cylinder rods 52 and 53 move in the longitudinal direction, the rolling element holding portions 58 and 59 and the rolling elements 60 and 61 move in the longitudinal direction. In this case, the rolling elements 60 and 61 roll on roller guides 64 and 65 attached to the valve box 1 by bolts 62 and 63, respectively. And the rolling elements 60 and 61 can roll to the position shown with a chain line.

一方、弁体板部２２，２３の長手方向端部には保持板７０が設けられ、この保持板７０にはボルト６５，６６によって弁押えガイド６７が取り付けてある。弁押えガイド６７の角部は球面状として円滑なものとされている。   On the other hand, a holding plate 70 is provided at the longitudinal ends of the valve body plate portions 22 and 23, and a valve pressing guide 67 is attached to the holding plate 70 by bolts 65 and 66. The corners of the valve presser guide 67 are spherical and smooth.

転動体６０，６１は間隙Lを置いて配設される。すなわち、転動体６０，６１の向い合う下端面、上端面間の間隙がＬとされる。これに対して係合体を構成する弁押えガイド６７の上面、下面間の幅ｌはＬよりも若干長いものとされる。これらの長さＬ，ｌは、弁体アッセンブリ２と座面との間隙長さおよび０リングの大きさに依存して定める。   The rolling elements 60 and 61 are disposed with a gap L therebetween. That is, the gap between the lower end surface and the upper end surface of the rolling elements 60 and 61 facing each other is set to L. On the other hand, the width l between the upper and lower surfaces of the valve presser guide 67 constituting the engaging body is slightly longer than L. These lengths L and l are determined depending on the gap length between the valve body assembly 2 and the seating surface and the size of the O-ring.

シリンダロッド５２，５３は選択されたいずれか一方が長手方向に延びるように構成されており、従っていずれか一方の転動体のみが弁押えガイド６７に係合する。例えば、第１のシリンダ４の内４Ａが作動すると、転動体６０が弁押えガイド６７に係合するが転動体６１は弁押えガイド６７に係合しない。転動体６０が弁押えガイド６７に係合すると、間隙Ｌとの関係で転動体６０の進行に伴なって弁押えガイド６７は直角方向（図５では下方向）に移動する。逆に、第１のシリンダ４のうち４Ｂが作動すると、転動体６１が弁押えガイド６７に係合するが転動体６０は弁押えガイド６７に係合しない。転動体６１が弁押えガイド６７に係合すると、間隙Ｌとの関係で転動体６１の進行に伴なって弁押えガイド６７は直角方向（図では上方向）に移動する。   The selected one of the cylinder rods 52 and 53 is configured to extend in the longitudinal direction, so that only one of the rolling elements is engaged with the valve presser guide 67. For example, when 4 </ b> A of the first cylinder 4 operates, the rolling element 60 engages with the valve presser guide 67, but the rolling element 61 does not engage with the valve presser guide 67. When the rolling element 60 is engaged with the valve presser guide 67, the valve presser guide 67 moves in a right angle direction (downward in FIG. 5) as the rolling element 60 advances in relation to the gap L. Conversely, when 4B of the first cylinder 4 operates, the rolling element 61 engages with the valve presser guide 67, but the rolling element 60 does not engage with the valve presser guide 67. When the rolling element 61 engages with the valve presser guide 67, the valve presser guide 67 moves in a right angle direction (upward in the drawing) as the rolling element 61 advances in relation to the gap L.

この場合に、弁押えガイド６７は直接的に直角方向に移動し、弁押えガイド６７に一体化された弁体アッセンブリ２、すなわち弁体板部２２，２３も直角方向に移動するが、図３に示す構成で説明したように、弁体板部２２，２３が直角方向に移動してもゲートコア３２は中立位置を保つ。   In this case, the valve presser guide 67 moves directly in the right angle direction, and the valve body assembly 2 integrated with the valve presser guide 67, that is, the valve body plate portions 22 and 23 also move in the right angle direction. As described in the configuration shown in FIG. 4, the gate core 32 maintains the neutral position even when the valve body plate portions 22 and 23 move in the right-angle direction.

このようにして、第２のシリンダ４と弁体アッセンブリ２との間に第２のシリンダ４によって生成した長手方向の操作力を直接的に直角方向の操作力に変換する操作方向変換部５０が構成される。   In this way, the operation direction conversion unit 50 that directly converts the operation force in the longitudinal direction generated by the second cylinder 4 between the second cylinder 4 and the valve body assembly 2 into the operation force in the perpendicular direction is provided. Composed.

操作方向変換部５０は長手方向の操作力を直角方向の操作力に変換するものであれば周知の構成を採用してもよい。   The operation direction conversion unit 50 may adopt a known configuration as long as it converts the operation force in the longitudinal direction into the operation force in the right angle direction.

以上の構成によれば、第１のシリンダ３によって弁体アッセンブリ２を垂直方向に移動させて弁体アッセンブリ２を弁板部１１，１２に対していずれにも非接触状態である中立位置に保持され、次いで第２のシリンダ４によって長手方向の操作力が生成され、操作方向変換部５０によって、長手方向の操作力をいずれかの直角方向の操作力に変換して中立位置にある弁体アッセンブリ２をいずれかの直角方向に移動させ、この場合にゲートコア３２は中立位置を継続し、一方の弁座面をＯリングを介して一方の内弁座面にシールし、中立位置にあった他方の内弁座面を他方の外弁座面から更に開放することがなされることになる。   According to the above configuration, the valve body assembly 2 is moved in the vertical direction by the first cylinder 3 to hold the valve body assembly 2 in the neutral position in which the valve plate portions 11 and 12 are not in contact with each other. Then, a longitudinal operation force is generated by the second cylinder 4, and the valve body assembly in the neutral position is converted by the operation direction conversion unit 50 into any one of the orthogonal operation forces. In this case, the gate core 32 continues in the neutral position, and seals one valve seat surface to one inner valve seat surface via the O-ring, and the other in the neutral position. The inner valve seat surface is further opened from the other outer valve seat surface.

更に具体的には、弁体板部２２，２３の長手方向にあって、弁箱１に固定された２つの第２のシリンダ４を有し、第２のシリンダ４は、長手方向に延在するシリンダロッド５２，５３と、シリンダロッド５２，５３の先端部に取り付けた転動体６０，６１を備え、対向する２つの転動体６０，６１は間隙Ｌを置いて配置され、弁体アッセンブリ２は長手方向に間隙Ｌ方向で間隙Ｌよりも大きな係合幅（すなわち幅ｌ）を有していずれかの転動体６０，６１と係合する係合体（弁押えガイド６７）を有して弁箱１および弁体アッセンブリ２が構成され、この構成によれば、転動体６０，６１の一方が係合体と係合したときに他方の転動体は係合体に係合しないことによって、弁体アッセンブリ２を係合しない転動体の側に移動（直角方向移動）させて一方の外弁座面をＯリング５を介して一方の内弁座面でシールし、他方の外弁座面を他方の内弁座面から更に開放することがなされることになる。   More specifically, it has two second cylinders 4 fixed to the valve box 1 in the longitudinal direction of the valve body plate portions 22 and 23, and the second cylinder 4 extends in the longitudinal direction. Cylinder rods 52 and 53, and rolling elements 60 and 61 attached to the tip ends of the cylinder rods 52 and 53, the two opposing rolling elements 60 and 61 are arranged with a gap L therebetween, and the valve assembly 2 is A valve box having an engagement body (valve presser guide 67) that has an engagement width (that is, width l) larger than the gap L in the longitudinal direction in the gap L direction and that engages with any of the rolling elements 60 and 61. 1 and the valve body assembly 2 are configured. According to this configuration, when one of the rolling elements 60 and 61 is engaged with the engaging body, the other rolling element is not engaged with the engaging body, whereby the valve body assembly 2 is configured. Moves to the side of the rolling element that does not engage Allowed to seal one of the outer valve seat surface in the O-ring 5 to one of the inner valve seat surface through further be made that is made to open the other of the outer valve seat surface from the other of the inner valve seat surface.

上述した構成になるゲートバルブ１００の３動作について図６を用いて説明する。
図６（ａ）はゲートバルブ開状態を示し、図６（ｂ）はゲートバルブ開状態を示し、図６（ｃ）は弁シール状態を示し、図６（ｄ）は図６（ｃ）の弁シール状態を拡大して示している。 Three operations of the gate valve 100 configured as described above will be described with reference to FIG.
6 (a) shows the gate valve open state, FIG. 6 (b) shows the gate valve open state, FIG. 6 (c) shows the valve seal state, and FIG. 6 (d) shows FIG. 6 (c). The valve seal state is shown enlarged.

図６（ａ）に示すゲートバルブ開状態にあっては第１のシリンダ３の不作動によって弁体アッセンブリ２は下方に移動させ、最下置に位置し、弁体アッセンブリ２は弁箱１の弁箱開口１７，１８に対して開放の状態にある。この状態では真空搬送室と真空処理室とは同一の真空状態とされる。   When the gate valve is in the open state shown in FIG. 6A, the valve body assembly 2 is moved downward by the inoperative operation of the first cylinder 3 and is located at the lowest position. The valve box openings 17 and 18 are open. In this state, the vacuum transfer chamber and the vacuum processing chamber are in the same vacuum state.

図６（ｂ）に示すゲートバルブ開状態にあってはＡｉｒ源６からＡｉｒが第１のシリンダ３に供給されて作動し、弁体垂直方向に上向き動作する。これによって弁箱１７，１８は閉状態となる。しかし、この状態でシールははまだなされておらず、弁体アッセンブリ２は弁箱１に対して中立位置にある。   In the gate valve open state shown in FIG. 6B, Air is supplied from the Air source 6 to the first cylinder 3 to operate, and the valve body operates upward in the valve body vertical direction. As a result, the valve boxes 17 and 18 are closed. However, in this state, sealing has not yet been performed, and the valve body assembly 2 is in a neutral position with respect to the valve box 1.

図６（ｃ）に示す弁シール状態にあっては第１のシリンダ３へのＡｉｒ供給は止められ、第２のシリンダ４へのＡｉｒ供給がなされる。システムの制御装置からの指示によって操作方向変換部５０の作用方向が決定され、いずれかの転動体６０，６１が係合部（弁押えガイド６７）を押圧して長手方向の操作力を直角方向の操作力に変換し、いずれかの内弁座面を外弁座面にＯリング５を介して接着させ、弁シールを行う。この場合に、ゲートバルブ１００が真空搬送室と真空処理室との間に設けているときに、真空搬送室の真空を開放あるいは真空を弱める場合には、真空処理室側２位置する弁体アッセンブリ２を座面にシールリング（Ｏリング５）を介してシールして真空搬送室側から弁体アッセンブリ２を他方の座面から更に開放することを行う。   In the valve seal state shown in FIG. 6C, the air supply to the first cylinder 3 is stopped, and the air supply to the second cylinder 4 is performed. The direction of operation of the operation direction conversion unit 50 is determined by an instruction from the control device of the system, and any one of the rolling elements 60 and 61 presses the engagement unit (valve presser guide 67), thereby causing the operation force in the longitudinal direction to be perpendicular. The inner valve seat surface is bonded to the outer valve seat surface via the O-ring 5 to perform valve sealing. In this case, when the gate valve 100 is provided between the vacuum transfer chamber and the vacuum processing chamber, when the vacuum in the vacuum transfer chamber is opened or weakened, the valve body assembly located at the vacuum processing chamber side 2 is provided. 2 is sealed to the seating surface through a seal ring (O-ring 5), and the valve body assembly 2 is further opened from the other seating surface from the vacuum transfer chamber side.

以上の構成によれば、第１の駆動装置によって、弁体アッセンブリを垂直方向に移動させて弁体アッセンブリを外弁板部に対していずれにも非接触状態である中立位置に保持するステップと、第２の駆動装置によって、長手方向の操作力を生成するステップと、を有して、操作方向変換部によって、長手方向の操作力をいずれかの直角方向の操作力に変換して中立位置にある弁体アッセンブリ２をいずれかの直角方向に移動させて、一方の座面をシールリングを介してシールし、中立位置にあった弁体アッセンブリ２を他方の座面から更に開放することができる。   According to the above configuration, the first drive device moves the valve body assembly in the vertical direction to hold the valve body assembly in a neutral position that is in a non-contact state with respect to the outer valve plate part. And a step of generating a longitudinal operation force by the second driving device, and converting the longitudinal operation force into any one of the orthogonal operation forces by the operation direction conversion unit. The valve body assembly 2 located in the neutral position is sealed through a seal ring so that the valve body assembly 2 in the neutral position is further opened from the other seat surface. it can.

また、第１の駆動装置によって、弁体アッセンブリ２を垂直方向に移動させて弁体アッセンブリ２を弁板部１１，１２に対していずれにも非接触状態である中立位置に保持するステップと、第２の駆動装置によって、長手方向の操作力を生成するステップと、を有して、転動体および係合体の係合によって、長手方向の操作力をいずれかの直角方向の操作力に変換して中立位置にある弁体アッセンブリ２をいずれかの直角方向に移動させて、シールリングを介して一方の座面でシールし、中立位置にあった弁体アッセンブリ２を他方の座面から更に開放することができる。   A step of moving the valve body assembly 2 in the vertical direction by the first driving device to hold the valve body assembly 2 in a neutral position in a non-contact state with respect to the valve plate portions 11 and 12; Generating a longitudinal operating force by the second driving device, and converting the longitudinal operating force into any one of the orthogonal operating forces by the engagement of the rolling elements and the engaging body. The valve body assembly 2 in the neutral position is moved in one of the right-angled directions and sealed on one seat surface through the seal ring, and the valve body assembly 2 in the neutral position is further opened from the other seat surface. can do.

図６（ｄ）は、この弁シール状況を拡大して示す。非接触状態の中立位置にあった弁体アッセンブリ２は操作方向変換部５０の作用によって図において下側にあるＯリング５を介して弁箱開口を塞いでいる。   FIG. 6D shows an enlarged view of this valve seal situation. The valve body assembly 2 in the neutral position in the non-contact state closes the valve box opening through the O-ring 5 on the lower side in the drawing by the operation of the operation direction changing portion 50.

以上の実施例によれば、次に示す特徴ある構成、メリットを提供することができる。   According to the above embodiment, the following characteristic configuration and merit can be provided.

１）２方向選択シール方式
従来の片面シールで同圧〜逆圧まで保持する機構ではなく、圧力条件の良い方向（同
圧・正圧）へシールさせることでバルブへの負荷を軽減させることができる。 1) Two-way selective sealing method Instead of a mechanism that maintains the same pressure to reverse pressure with a conventional single-sided seal, it is possible to reduce the load on the valve by sealing in a direction with good pressure conditions (same pressure / positive pressure). it can.

２）操作部の小型化（ダウンサイジング）
弁の開閉動作とシール動作が独立していることにより、従来のように操作部で弁体部
を保持する必要がなくなったため小型化することができる。 2) Miniaturization of operation part (downsizing)
Since the opening / closing operation and the sealing operation of the valve are independent, it is not necessary to hold the valve body portion with the operation portion as in the conventional case, and the size can be reduced.

３）イージーメンテナンス
シールリング、例えばＯリングを交換するには、弁箱から上フタを取り外し開閉用シ
リンダのシリンダロッドと連結されているボルト２本を取り外すことにより、弁体ア
ッセンブリだけを取り出すことが可能である。従来のように、バルブ操作部毎外す必
要がなくなる。 3) Easy maintenance To replace the seal ring, for example, the O-ring, remove the upper lid from the valve box and remove the two bolts connected to the cylinder rod of the open / close cylinder, and take out only the valve assembly. It is possible. There is no need to remove each valve operating part as in the past.

４）低パーティクル
シール動作用に転動体を使用することにより、発塵箇所を極限まで押えることができ
る。 4) Low particle By using rolling elements for sealing operation, the dust generation location can be kept to the limit.

５）超低振動、静かな動作
弁体アッセンブリの開閉動作、シール動作共にエアクッション付シリンダを用いるこ
とにより実現できる。 5) Ultra-low vibration and quiet operation The valve assembly assembly can be opened and closed and sealed using a cylinder with an air cushion.

６）シール面に対し完璧な垂直シール動作を行うため、シールリング、例えばＯリング捻
れを低減
弁体アッセンブリの開閉動作とシール動作が独立しており、シール動作は全く垂直に
押し付けられる構造とすることができる。 6) Torsion of the seal ring, for example, O-ring, is reduced to perform perfect vertical sealing operation against the sealing surface. The opening / closing operation of the valve body assembly and the sealing operation are independent, and the sealing operation is pressed completely vertically. can do.

７）シールリング、例えばＯリングが長寿命化すなわちメンテサイクルも長期化すること
ができる。（過剰なシールリング潰し力を与えないため）
従来の片面シールで正圧〜逆圧まで保持する構造とは異なり、２方向（選択式）で弁
シールを行うため逆圧に耐えるという過剰な負荷を考慮しなくて良い。すなわち同圧
でのみシール力を保持すれば良いためシール材であるＯリングなどに過剰な負荷を与
えずに済む。 7) A seal ring, for example, an O-ring, can have a long life, that is, a maintenance cycle can be prolonged. (In order not to give excessive seal ring crushing force)
Unlike the conventional structure in which a single-sided seal is used to maintain positive pressure to reverse pressure, the valve seal is performed in two directions (selective), so there is no need to consider the excessive load that can withstand reverse pressure. In other words, since it is sufficient to maintain the sealing force only at the same pressure, it is not necessary to apply an excessive load to the O-ring as a sealing material.

８）プロセス中の僅かな圧力上昇に対してシール可能である。
３と少々相反するが、実際の装置取り付け状態での運転ではプロセス中のガス導入の
ため少々の微逆圧が生じることがままある。本実施例のゲートバルブ１００は、それ
を考慮し片面で同圧〜微逆圧までのシールを可能としている。 8) It can be sealed against a slight pressure increase during the process.
Although it is a little contradictory to 3, in operation with the actual device attached, a slight slight back pressure may still occur due to gas introduction during the process. In consideration of this, the gate valve 100 of the present embodiment enables sealing from the same pressure to a slight reverse pressure on one side.

本発明の実施例であるゲートバルブの概略外観図。The schematic external view of the gate valve which is an Example of this invention. 実施例であるゲートバルブの中央部の縦面図。The vertical view of the center part of the gate valve which is an Example. 図１のシリンダの部分における縦断面図。The longitudinal cross-sectional view in the cylinder part of FIG. シリンダの部分よりやや外方部分における縦断面図。The longitudinal cross-sectional view in a part slightly outside from the part of a cylinder. 操作方向変換部の構成図。The block diagram of an operation direction conversion part. 本実施例の３モーション（動作）図。3 motion (operation) diagram of the present embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

１…弁箱、２…弁体アッセンブリ、３…第１のシリンダ（第１の駆動装置）、４…第２のシリンダ（第２の駆動装置）、５…Ｏリング（シールリング）、６…Ａｉｒ（空気）源、７…シリンダロッド、１１，１２…弁板部、１７，１８…弁箱開口、２１…空間、２２，２３…弁体板部、３１…空間、３２…ゲートコア（弁軸）、４１…空間、４２…ピン、４３…ガイド、４４、４５…ピン押え、４６…バネ、４７…ツバ部、５０…操作方向変換部、５１…グランド、５２，５３…シリンダロッド、５４，５５…貫通孔、５８，５９…転動体保持部、６０，６１…転動体、１００…ゲートバルブ。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Valve box, 2 ... Valve body assembly, 3 ... 1st cylinder (1st drive device), 4 ... 2nd cylinder (2nd drive device), 5 ... O-ring (seal ring), 6 ... Air (air) source, 7 ... cylinder rod, 11, 12 ... valve plate part, 17, 18 ... valve box opening, 21 ... space, 22, 23 ... valve body plate part, 31 ... space, 32 ... gate core (valve shaft) , 41 ... Space, 42 ... Pin, 43 ... Guide, 44, 45 ... Pin presser, 46 ... Spring, 47 ... Hook part, 50 ... Operation direction changing part, 51 ... Ground, 52, 53 ... Cylinder rod, 54, 55 ... Through-hole, 58, 59 ... Rolling body holding part, 60, 61 ... Rolling body, 100 ... Gate valve.

Claims (7)

対向配置の弁箱開口を有する弁箱と、該弁箱の弁箱開口の内面にそれぞれ対向配置される座面を、シールリングを介してシールする弁体アッセンブリと、該弁体アッセンブリを垂直方向に保持するゲートコアと、前記弁体アッセンブリを垂直方向にスライドさせる第１の駆動装置と、を備えたゲートバルブにおいて、
前記弁体アッセンブリの水平方向に操作力を発生させる、前記弁箱に固定された２つの第２の駆動装置を有し、前記第２の駆動装置と前記弁体アッセンブリの間に前記第２の駆動装置によって生成した水平方向の操作力を座面方向の操作力に変換する操作方向変換部を備え、前記第１の駆動装置によって、前記弁体アッセンブリを垂直方向に移動させて該弁体アッセンブリを前記弁箱の対向する座面いずれにも非接触状態である中立位置に保持し、
前記第２の駆動装置によって、水平方向の操作力を生成し、
前記操作方向変換部によって、前記水平方向の操作力を対向する座面のいずれかの座面方向の操作力に変換して中立位置にある前記弁体アッセンブリをいずれかの座面方向に移動させて、前記弁箱開口の一方を前記シールリングを介して前記弁体アッセンブリでシールすること
を特徴とするゲートバルブ。 A valve body having a valve box opening disposed opposite to the valve body, a valve body assembly that seals a seating surface opposed to the inner surface of the valve box opening of the valve box through a seal ring, and the valve body assembly in a vertical direction. in the gate valve with a Getokoa for holding a first driving device for sliding the valve body assembly in a vertical direction, to,
Two second drive devices fixed to the valve box for generating an operating force in a horizontal direction of the valve body assembly, and the second drive device and the valve body assembly between the second drive device and the second drive device. An operation direction conversion unit that converts a horizontal operation force generated by the driving device into a seating surface operation force is provided, and the valve body assembly is moved in the vertical direction by the first driving device, thereby the valve body assembly. Is held in a neutral position that is not in contact with any of the opposing seating surfaces of the valve box,
A horizontal operating force is generated by the second driving device,
The operation direction conversion unit converts the horizontal operation force into an operation force in any seating surface direction of the opposing seating surface, and moves the valve body assembly in the neutral position in any seating surface direction. Te, gate valve, characterized in sea away Rukoto one of said valve body opening in the valve body Assenbu Li through the seal ring. 対向配置の弁箱開口を有する弁箱と、該弁箱の弁箱開口の内面にそれぞれ対向配置される座面を、シールリングを介してシールする弁体アッセンブリと、該弁体アッセンブリを垂直方向に保持するゲートコアと、前記弁体アッセンブリを垂直方向にスライドさせる第１の駆動装置と、を備えたゲートバルブにおいて、
前記弁体アッセンブリの水平方向に操作力を発生させる、前記弁箱に固定された２つの第２の駆動装置を有し、
前記第２の駆動装置は、水平方向に延在するシリンダロッドと、該シリンダロッドの先端部に取り付けた２つの対向する転動体を備え、
対向する２つの前記転動体は、間隙Ｌを置いて配置され、
前記弁体アッセンブリは、間隙Ｌ方向で間隙Ｌよりも大きな係合幅を有して、座面方向に転動する転動体のいずれかと係合する係合部を有し、
前記転動体の一方が前記係合体に係合したときに他方の転動体は前記係合体に係合しないことによって、前記弁体アッセンブリを係合しない転動体側に移動させて前記弁箱開口の一方を前記シールリングを介して前記弁体アッセンブリでシールすること
を特徴とするゲートバルブ。 A valve casing having a valve body opening arranged opposite the bearing surface are respectively opposed to the inner surface of the valve body opening of the valve box, a valve body assembly for sealing with a seal ring, the vertical direction the valve body assembly in the gate valve with a Getokoa for holding a first driving device for sliding the valve body assembly in a vertical direction, to,
Two second driving devices fixed to the valve box for generating an operation force in a horizontal direction of the valve body assembly;
The second drive device includes a cylinder rod extending in the horizontal direction and two opposing rolling elements attached to the tip of the cylinder rod,
The two opposing rolling elements are arranged with a gap L therebetween,
Said valve body assembly, has a greater engagement width than the gap L between gap L direction, an engagement portion which engages with one of the rolling elements that roll on the seat surface direction,
When one of the rolling elements is engaged with the engaging body, the other rolling element is not engaged with the engaging body, so that the valve body assembly is moved to the non-engaging rolling element side, and the valve box opening is opened. gate valve according to claim sea away Rukoto before Kibentai Assenbu Li through the seal ring one. 請求項２において、前記転動体は、前記弁箱の内面に沿って転動することを特徴とするゲートバルブ。   3. The gate valve according to claim 2, wherein the rolling element rolls along an inner surface of the valve box. 請求項２において、前記弁体アッセンブリは、２枚の弁板と、これらの弁板間に、開閉方向に設けたピンと、これらの弁板の間に配設され、かつ前記第１駆動装置のシリンダロッドに接続されたゲートコアを前記ピンに対して摺動可能に備えることを特徴とするゲートバルブ。   3. The valve body assembly according to claim 2, wherein the valve body assembly includes two valve plates, a pin provided between the valve plates in an opening / closing direction, and the cylinder rod of the first drive device. A gate valve comprising a gate core connected to the pin so as to be slidable with respect to the pin. 請求項２において、前記第２駆動装置は、前記弁体アッセンブリの水平方向に並置して対向して設けられ、対向する転動体は同期して作動し得ることを特徴とするゲートバルブ。 According to claim 2, wherein the second driving device, horizontally juxtaposed provided opposite, the rolling elements against countercurrent gate valve, wherein the resulting Rukoto operate synchronously in the valve body assembly. 対向配置の弁箱開口を有する弁箱と、該弁箱の弁箱開口の内面にそれぞれ対向配置される座面を、シールリングを介してシールする弁体アッセンブリと、該弁体アッセンブリを垂直方向に保持するゲートコアと、前記弁体アッセンブリを垂直方向にスライドさせる第１の駆動装置と、前記弁体アッセンブリの水平方向にあって、前記弁箱に固定された２つの第２の駆動装置と、該第２の駆動装置によって生成した水平方向の操作力を座面方向の操作力に変換する変換部と、を備えたゲートバルブのゲート開閉方法において、
前記第１の駆動装置によって、前記弁体アッセンブリを垂直方向に移動させて該弁体アッセンブリを前記弁箱の弁箱開口に対していずれにも非接触状態である中立位置に保持するステップと、
前記第２の駆動装置によって、水平方向の操作力を生成するステップと、
前記操作方向変換部によって、水平方向の操作力を対向する座面のいずれかの座面方向の操作力に変換して中立位置にある前記弁体アッセンブリをいずれかの座面方向に移動させて、前記弁箱開口の一方を前記シールリングを介して前記弁体アッセンブリでシールし、中立位置にあった前記弁体アッセンブリを当該弁箱の開口に対向する他方の弁箱開口から更に開放すること
を特徴とするゲートバルブの開閉方法。 A valve body having a valve box opening disposed opposite to the valve body, a valve body assembly that seals a seating surface opposed to the inner surface of the valve box opening of the valve box through a seal ring, and the valve body assembly in a vertical direction. and Getoko a holding in a first driving device for sliding the valve body assembly in a vertical direction, before there in the horizontal direction of the Kibentai assembly, fixed two second driving device to the valve body When a conversion unit for converting the horizontal direction of the operating force produced by the second drive unit to the operating force of the seat surface direction, the gate opening and closing method of the gate valve with a
Moving the valve body assembly in the vertical direction by the first driving device to hold the valve body assembly in a neutral position that is not in contact with any of the valve box openings of the valve box ;
Generating a horizontal operating force by the second driving device;
The operation direction conversion unit converts the horizontal operation force into an operation force in any seating surface direction of the opposing seating surface and moves the valve body assembly in the neutral position in any seating surface direction. , before sealed with the valve body Assenbu Li through the seal ring one of Kiben box opening, the Kibentai assembly before that was in the neutral position further from the other valve body opening opposite to the opening of the valve body A gate valve opening and closing method characterized by opening. 請求項６において、前記ゲートバルブが真空搬送室と真空処理室との間に設けられているときに、前記真空処理室の真空を開放あるいは真空を弱める場合には、弁体アッセンブリが備えた前記真空搬送室側の弁板で一方の弁箱開口にシールし、該弁体アッセンブリが備えた他方の弁板の一方を他方の弁箱開口から更に開放することを特徴とするゲートバルブの開閉方法。 The valve element assembly according to claim 6, wherein when the gate valve is provided between the vacuum transfer chamber and the vacuum processing chamber, when the vacuum of the vacuum processing chamber is opened or weakened, the valve assembly is provided. and sheet Lumpur in one valve body aperture in the valve plate of the vacuum transfer chamber side, of the gate valve, characterized by further opening the one of the other valve plate to which the valve body assembly having the other of the valve box opening Opening and closing method.
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