JP4234117B2 - 光変調器 - Google Patents
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Description
このLN光変調器にはz−カット基板を使用するタイプとx−カット基板(あるいはy−カット基板)を使用するタイプがある。ここでは、第1の従来技術としてx−カットLN基板とコプレーナウェーブガイド(CPW)進行波電極を使用したx−カット基板LN光変調器をとり上げ、その斜視図を図3に示す。図4は図3のA−A’における断面図である。なお、以下の議論はz−カット基板でも同様に成り立つ。
第1の従来技術におけるDCドリフトの問題を解決しようとする試みの上面から見た模式図を図8に第2の従来技術として示す。
本発明の請求項4の光変調器は、請求項1乃至請求項3の何れかに記載の光変調器において、前記バイアス電極の1つが、前記高周波電気信号の信号源の位置により規定される高周波電気信号の印加点よりも光入力側に形成されていることを特徴とする。
図1に本発明の第1の実施形態を示す。図8に示した第2の従来技術と同様に、中心導体4aと接地導体4b、4cからなりRF電気信号を印加する長さL4のRF電気信号用相互作用部20と、中心導体22aと接地導体22b、22cからなりDCバイアス電圧を印加する長さL5のバイアス電極をバイアス用相互作用部19(ここでは第1のDCバイアス用相互作用部と呼ぶ)に備えているが、本発明ではさらに、中心導体23aと接地導体23b、23cからなるとともにDCバイアス電圧を印加する長さL6の第2のバイアス電極をバイアス用相互作用部21(第2のDCバイアス用相互作用部と呼ぶ)にも具備している。なお、第1のDCバイアス用相互作用部19のD−D’における断面図は図9と同様である。また、このことは第2のDCバイアス用相互作用部21についても言える。
図1に示した本発明の第1の実施形態では、第1のDCバイアス用相互作用部19の中心導体22a、接地導体22b、22cと第2のDCバイアス用相互作用部21の中心導体23a、接地導体23b、23cとは、第2の従来技術の説明として示した図9と同様にx−カットLN基板1の上に直接形成されていた。
以上においては、進行波電極としてはCPW電極を例にとり説明したが、非対称コプレーナストリップ(ACPS)や対称コプレーナストリップ(CPS)などの各種進行波電極、あるいは集中定数型の電極でも良いことは言うまでもない。また、光導波路としてはマッハツェンダ型光導波路の他に、方向性結合器や直線など、その他の光導波路でも良いことは言うまでもない。
また、以上の実施形態においては、高周波電気信号用相互作用部を挟んで、光の伝搬する方向の前後にバイアス用相互作用部を各1個具備する形態としたが、本発明は、これに限定されるものではなく、それぞれの側又は片側に複数個のバイアス用相互作用部を設けてもよい。
2:SiO2バッファ層(バッファ層)
3:光導波路
3a、3b:相互作用部の光導波路(光導波路)
4:進行波電極
4a:中心導体
4b、4c:接地導体
5:筐体
6:RF電気信号入力用のコネクタ(コネクタ)
7:RF電気信号入力用のコネクタ6の芯線(芯線)
8:RF電気信号出力用のコネクタ(コネクタ)
9:RF電気信号出力用のコネクタ8の芯線(芯線)
10:コンデンサー
11:電気信号源
12:電気的な終端(終端)
13:コンデンサー
14:DC電源
15:相互作用部
16a:中心導体
16b、16c:接地導体
17:RF電気信号用相互作用部
18:DCバイアス用相互作用部
19:第1のDCバイアス用相互作用部(バイアス用相互作用部)
20:RF電気信号用相互作用部(高周波電気信号用相互作用部)
21:第2のDCバイアス用相互作用部(バイアス用相互作用部)
22a:中心導体
22b、22c:接地導体
23a:中心導体
23b、23c:接地導体
24a、24b、24c、24d:SiO2バッファ層(バッファ層)
B:RF電気信号を入力するために使用するコネクタ6の芯線7の位置
40、41、42:フィードスルー部(領域部)
Claims (4)
- 電気光学効果を有する基板と、該基板に形成された光を導波するための光導波路と、前記基板の一方の面側に形成され、前記光を変調する高周波電気信号を印加するための高周波電気信号用の中心導体及び接地導体からなる進行波電極と、前記光にバイアス電圧を印加するための中心導体及び接地導体からなるバイアス電極とを有し、
前記光導波路には前記進行波電極に前記高周波電気信号を印加することにより前記光の位相を変調するための高周波電気信号用相互作用部と、前記バイアス電極にバイアス電圧を印加することにより前記光の位相を調整するためのバイアス用相互作用部とが具備されている光変調器において、
前記高周波電気信号用相互作用部を挟んで、前記光が伝搬する方向の前後に前記バイアス用相互作用部を具備し、当該バイアス用相互作用部を構成する各々の前記バイアス電極の中心導体が電気的に接続されてなり、当該中心導体のうちの1つは接続すべき電源からバイアス電圧が供給されることを特徴とする光変調器。 - 前記バイアス用相互作用部の前記少なくとも2つの中心導体は、前記高周波電気信号用相互作用部の中心導体と接地導体との間を除く位置で電気的に接続されてなることを特徴とする請求項1に記載の光変調器。
- 前記基板がX−カット基板でなり、
前記バイアス用相互作用部における前記中心導体と前記接地導体とが相対向する部分の下方で、前記光導波路の直上を除く位置にバッファ層を具備することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の光変調器。 - 前記バイアス電極の1つが、前記高周波電気信号の信号源の位置により規定される高周波電気信号の印加点よりも光入力側に形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載の光変調器。
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