JP4210668B2 - 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 - Google Patents
集積パネルと流体デバイスとの接続構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4210668B2 JP4210668B2 JP2005134236A JP2005134236A JP4210668B2 JP 4210668 B2 JP4210668 B2 JP 4210668B2 JP 2005134236 A JP2005134236 A JP 2005134236A JP 2005134236 A JP2005134236 A JP 2005134236A JP 4210668 B2 JP4210668 B2 JP 4210668B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fluid supply
- fluid
- annular
- discharge port
- port portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Quick-Acting Or Multi-Walled Pipe Joints (AREA)
- Joints With Pressure Members (AREA)
- Gasket Seals (AREA)
Description
前記第1流体給排口部1A及び前記第2流体給排口部2Aには、各端面に開口する前記各流体通路3,4,7,8の外径側部分に環状突起21,11,41,31が形成され、
前記各ガスケットG1,G2は、前記第1,第2流体給排口部1A,2Aの相対応する前記流体通路3,4,7,8どうしを連通すべく形成された流体経路W1,W2と、前記第1及び第2流体給排口部1A,2Aの端面に形成された前記環状突起21,11,41,31のそれぞれに嵌合すべく前記流体経路W1,W2の外径側部分に形成された一対の環状溝51,61とを有する可撓性を備えた材料から構成されており、
前記第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとが互いに前記複数のガスケットG1,G2を介して引寄せられて、前記第1流体給排口部1Aの前記環状突起21,41と前記各ガスケットG1,G2の一端の環状溝51,61とが、及び前記第2流体給排口部2Aの前記環状突起11,31と前記各ガスケットG1,G2の他端の前記環状溝51,61とがそれぞれ嵌め合わされて嵌合シール部10が形成された接合状態を維持する維持手段Iが装備されるとともに、
前記複数のガスケットG1,G2のうち、前記接合状態において内径側及び外径側の双方に前記流体通路が存在する中間ガスケットG1は、これの外周部55aが前記中間ガスケットG1の外径側に存する前記第1流体給排口部1Aの前記環状の流体通路8及び前記第2流体給排口部2Aの前記環状の流体通路4を連通する環状の流体経路W2を形成するための壁面となる状態に形成されており、
前記第1及び第2流体給排口部1A,2Aの端面における前記環状突起21,11,41,31の内及び外径側に、前記ガスケットG1,G2における前記環状溝51,61を形成するために軸心P方向に突出形成された内外の周壁端部52,53,62,63が、前記環状溝51,61と前記環状突起21,11,41,31との嵌合によって拡がり変形するのを抑制又は阻止する環状押え部分22,23,12,13,42,43,32,33が形成され、
前記環状押え部分22,23,12,13,42,43,32,33は、これと前記環状突起21,11,41,31とで囲まれた谷部24,25,14,15,44,45,34,35が奥窄まり状となるように前記環状突起側の側周面が傾斜したテーパ周面22a,23a,12a,13a,42a,43a,32a,33aを有する先窄まり状の環状突起に形成されており、前記周壁端部52,53,62,63は、前記環状押え部分22,23,12,13,42,43,32,33のテーパ周面22a,23a,12a,13a,42a,43a,32a,33aに当接するテーパ周面52a,53a,62a,63aを有して前記谷部24,25,14,15,44,45,34,35に入り込み自在な先窄まり状の環状突起に形成されて、前記接合状態においては前記周壁端部52,53,62,63が前記谷部24,25,14,15,44,45,34,35に入り込んで前記両テーパ周面どうし22a,23a,12a,13a,42a,43a,32a,33a、52a,53a,62a,63aが圧接されてシール部S2を形成するように構成され、
前記環状突起21,11,41,31の幅が前記環状溝51,61の幅よりも大きくなる関係に設定され、前記谷部全体の挟角αが前記周壁端部全体の向い角βよりも小となる関係に設定されていることを特徴とするものである。
前記ボルト66を前記ナット部67に螺着させて締付けることにより前記第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとが互いに前記複数のガスケットG1,G2を介して引寄せられるように構成されていることを特徴とするものである。
前記筒状ナット81の一端部には、前記外向きフランジ9の通過は許容し、かつ、前記割型リング82とは前記軸心P方向で干渉する開口部83aを有する内向きフランジ83が形成されており、
前記筒状ナット81の前記雄ネジ部1nへの締付け操作によって、前記第1流体給排口部1Aと第2流体給排口部2Aとが互いに前記複数のガスケットG1,G2を介して引寄せられるように構成されていることを特徴とするものである。
そして、維持手段によって、両流体給排口部どうしが互いにガスケットを介して引寄せられた接合状態を維持できるので、集積パネルと流体デバイスとが液漏れなく良好なシール性を確保し得る状態を長期に亘って維持可能となり、信頼性に優れる集積パネルと流体デバイスとの接続構造を提供することができる。
実施例1による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図1、図2に示す。この集積パネルと流体デバイスとの接続構造は、複数の管状の流体通路3,4が内部形成された集積パネル1と、これの上面1aに内外の計2個のリング状のガスケットG1,G2を介して搭載されるバルブ(開閉バルブ、ストップバルブ等)2とに跨って構成された縦向きの軸心Pを共有する同心状二重流路型のものである。
実施例2による集積パネルと流体デバイスとの接続構造は、図4に示すように、集積パネル1と、流体デバイスの一例であるポンプ(洗浄装置循環ライン用のベローズポンプ等)2とをフランジ配管71を介して連通接続させるものである。内外のガスケットG1,G2を介した接続部自体の構成は実施例1によるもの同一であるので、主な符号だけを付すとともに、その詳細な説明は割愛する。
実施例3による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図5,6に示す。これは実施例1によるものと維持手段Iが異なるのみであり、その第1別構造の維持手段Iについて説明する。なお、図5,6においては、図1〜3に示す実施例1のものと対応する箇所には対応する符号を付してある。第1別構造による維持手段Iは、図5及び図6に示すように、集積パネル1の上面に形成された平面視で円形を呈する突起状の第1流体給排口部1Aの外周部に雄ネジ1nを形成し、その雄ネジ1nに螺合自在な雌ネジ81nを備えた筒状ナット81と、バルブ2のバルブケース6の下端部に形成された外向きフランジ9に、環状の流体通路7の軸心P方向で干渉する二つ割り、または三つ割り以上の割型リング82とから構成されている。第1流体給排口部1Aの雄ネジ1nに雌ネジ81nを螺着させての筒状ナット81の締付け操作により、両流体給排口部1A,2Aを互いに2個のガスケットG1,G2を介して接近する方向に引寄せ可能に、かつ、引寄せ状態を維持可能な引寄せ機能付きの維持手段Iに構成されている。
実施例4による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図7,8に示す。これは実施例1によるものと維持手段Iが異なるのみであり、その第2別構造の維持手段Iについて説明する。なお、図7,8においては、図1〜3に示す実施例1のものと対応する箇所には対応する符号を付してある。第2別構造の維持手段Iは、第1及び第2流体給排口部1A,2Aをその端面側ほど径が大きくなるように拡径して成る第1及び第2円錐台状端部1D,2Dと、第1円錐台状端部1Dのテーパ外周面1dに当接する第1テーパ内周面84a、及び、第2円錐台状端部2Dのテーパ外周面2dに当接する第2テーパ内周面84bとによって断面が略く字状を呈する内周面を有する一対の半割円弧部材84,84で成る割型押えリング85と、半割円弧部材84,84どうしを引寄せるボルト86及び一方の半割円弧部材84に形成されたナット87とを有して構成されている。
実施例5による集積パネルと流体デバイスとの接続構造を図9に示す。これは実施例1によるものと維持手段Iが異なるのみであり、その第3別構造の維持手段Iについて説明する。なお、図9においては、図1〜3に示す実施例1のものと対応する箇所には対応する符号を付してある。第3別構造の維持手段Iは、集積パネル1の上面に、外周部に雄ネジ1nを有する状態で形成された平面視で円形を呈する突起状の第1流体給排口部1Aと、第2流体給排口部2Aにおいて外周部に雄ネジ9nを有する状態でバルブケース6の下端部に形成されたフランジ部9と、これら両雄ネジ1n,9nに螺着自在な雌ネジ91n,92nを有する第1及び第2リングナット91,92と、これらリングナット91,92の外周溝91m、92mに嵌着可能な断面形状が略コ字状の係合リング93とから構成されている。
図1〜3に示す集積パネルと流体デバイスとの接続構造においては、外径側の第2ガスケットG2は、図示は省略するが、外周壁63の上下端が内周壁53よりも短く、かつ、単に水平状に切断された構造のものでも良い。二重配管接続構造では、最外径側の第2ガスケットG2の外周壁63にはシール機能が無くても良い。実施例1〜5におけるガスケットG1,G2は上下及び左右に対称形状のものであるが、例えば、内外の周壁の長さや厚みの異なるものや、上下非対称のものなどでも良く、図示の形状に限定されない。また、外側の環状流体通路8のさらに外側に一又は複数の環状の流体通路を有する三重以上の集積パネルと流体デバイスとの接続構造も可能であり、最外側に位置するガスケット以外のガスケットは、その内外周面の双方が流体経路を兼ねる構成が採れる。
1A 第1流体給排口部
1n 雄ネジ部
2 流体デバイス
2A 第2流体給排口部
3a,7 管状の流体通路
4a,8 環状の流体通路
9 外向きフランジ
9a 貫通孔
10 嵌合シール部
11,21,31,41 環状突起
12,13,22,23,32,33,42,43 環状押え部分
12a,13a,22a,23a,32a,33a,42a,43a テーパ周面
14,15,24,25,34,35,44,45 谷部
51,61 環状溝
52,53,62,63 周壁端部
52a,53a,62a,63a テーパ周面
55a 中間ガスケットの外周部
66 ボルト
67 ナット部
81 筒状ナット
81n 雌ネジ部
82 割型リング
83 内向きフランジ
83a 開口部
G1,G2 ガスケット
P 軸心
S1 シール部
W1,W2 流体経路
X,Z 中心線
Claims (7)
- 管状の流体通路又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路とが同心状に形成されて開口する第1流体給排口部を備えた集積パネルの前記第1流体給排口部と、管状の流体通路又は環状の流体通路と一以上の環状の流体通路とが同心状に形成されて開口する第2流体給排口部を備えた流体デバイスの前記第2流体給排口部とを、それぞれの複数の流体通路が相対応され、かつ、前記第1流体給排口部と前記第2流体給排口部の間に介在される複数のリング状のガスケットによって各流体通路がシールされる状態で連通接続するにあたり、
前記第1流体給排口部及び前記第2流体給排口部には、各端面に開口する前記各流体通路の外径側部分に環状突起が形成され、
前記各ガスケットは、前記第1,第2流体給排口部の相対応する前記流体通路どうしを連通すべく形成された流体経路と、前記第1及び第2流体給排口部の端面に形成された前記環状突起のそれぞれに嵌合すべく前記流体経路の外径側部分に形成された一対の環状溝とを有する可撓性を備えた材料から構成されており、
前記第1流体給排口部と第2流体給排口部とが互いに前記複数のガスケットを介して引寄せられて、前記第1流体給排口部の前記環状突起と前記各ガスケットの一端の環状溝とが、及び前記第2流体給排口部の前記環状突起と前記各ガスケットの他端の前記環状溝とがそれぞれ嵌め合わされて嵌合シール部が形成された接合状態を維持する維持手段が装備されるとともに、
前記複数のガスケットのうち、前記接合状態において内径側及び外径側の双方に前記流体通路が存在する中間ガスケットは、これの外周面が、前記中間ガスケットの外径側に存する前記第1流体給排口部の前記環状の流体通路と前記第2流体給排口部の前記環状の流体通路とを連通する環状の流体経路を形成するための壁面となる状態に形成されており、 前記第1及び第2流体給排口部の端面における前記環状突起の内及び外径側に、前記ガスケットにおける前記環状溝を形成するために軸心方向に突出形成された内外の周壁端部が、前記環状溝と前記環状突起との嵌合によって拡がり変形するのを抑制又は阻止する環状押え部分が形成され、
前記環状押え部分は、これと前記環状突起とで囲まれた谷部が奥窄まり状となるように前記環状突起側の側周面が傾斜したテーパ周面を有する先窄まり状の環状突起に形成されており、前記周壁端部は、前記環状押え部分のテーパ周面に当接するテーパ周面を有して前記谷部に入り込み自在な先窄まり状の環状突起に形成されて、前記接合状態においては前記周壁端部が前記谷部に入り込んで前記両テーパ周面どうしが圧接されてシール部を形成するように構成され、
前記環状突起の幅が前記環状溝の幅よりも大きくなる関係に設定され、前記谷部全体の挟角が前記周壁端部全体の向い角よりも小となる関係に設定されている集積パネルと流体デバイスとの接続構造。 - 前記ガスケットの断面形状が、前記第1及び第2流体給排口部の軸心方向に沿う中心線、及び、その中心線に直交する中心線の双方に関して線対称となる略H型形状を呈するものに構成されている請求項1に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
- 前記維持手段は、前記第1流体給排口部と第2流体給排口部とを引寄せて前記接合状態を得るための引寄せ機能を発揮するものに構成されている請求項1又は2に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
- 前記維持手段が、前記第1流体給排口部と第2流体給排口部との少なくともいずれか一方の端部に形成された外向きフランジと、この外向きフランジに形成される貫通孔と、この貫通孔を通して前記第1流体給排口部と第2流体給排口部とのいずれか他方に設けられたナット部に螺着されるボルトとを有して構成されており、
前記ボルトを前記ナット部に螺着させて締付けることにより前記第1流体給排口部と第2流体給排口部とが互いに前記複数のガスケットを介して引寄せられるように構成されている請求項3に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。 - 前記維持手段が、前記第1流体給排口部と第2流体給排口部のいずれか一方の外周部に形成された雄ネジ部に螺合自在な雌ネジ部を備えた筒状ナットと、前記第1流体給排口部と第2流体給排口部のいずれか他方の端部に形成された外向きフランジに前記第1,2流体給排口部の軸心方向で干渉するよう前記第1流体給排口部と第2流体給排口部のいずれか他方の端部に外嵌された割型リングとから成り、
前記筒状ナットの一端部には、前記外向きフランジの通過は許容し、かつ、前記割型リングとは前記軸心方向で干渉する開口部を有する内向きフランジが形成されており、
前記筒状ナットの前記雄ネジ部への締付け操作によって、前記第1流体給排口部と第2流体給排口部とが互いに前記複数のガスケットを介して引寄せられるように構成されている請求項3に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。 - 前記ガスケットがフッ素樹脂によって形成されている請求項1〜5の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
- 前記第1及び第2流体給排口部がフッ素樹脂によって形成されている請求項1〜6の何れか一項に記載の集積パネルと流体デバイスとの接続構造。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005134236A JP4210668B2 (ja) | 2005-05-02 | 2005-05-02 | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 |
TW095112855A TW200702582A (en) | 2005-05-02 | 2006-04-11 | Structure for connection between integrated panel and fluid device |
US11/919,651 US20100013213A1 (en) | 2005-05-02 | 2006-04-28 | Structure for connection between integrated panel and fluid device |
PCT/JP2006/308957 WO2006118238A1 (ja) | 2005-05-02 | 2006-04-28 | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 |
KR1020077021593A KR20070106576A (ko) | 2005-05-02 | 2006-04-28 | 집적패널과 유체장치와의 접속구조 |
CNA2006800152154A CN101171450A (zh) | 2005-05-02 | 2006-04-28 | 集成板与流体器件的连接结构 |
EP06732460A EP1881253A1 (en) | 2005-05-02 | 2006-04-28 | Structure for connection between integrated panel and fluid device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005134236A JP4210668B2 (ja) | 2005-05-02 | 2005-05-02 | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 |
Related Child Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005203940A Division JP4512528B2 (ja) | 2005-07-12 | 2005-07-13 | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 |
JP2005203939A Division JP4257320B2 (ja) | 2005-07-12 | 2005-07-13 | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006308050A JP2006308050A (ja) | 2006-11-09 |
JP4210668B2 true JP4210668B2 (ja) | 2009-01-21 |
Family
ID=37475158
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005134236A Expired - Fee Related JP4210668B2 (ja) | 2005-05-02 | 2005-05-02 | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4210668B2 (ja) |
CN (1) | CN101171450A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006313008A (ja) * | 2005-07-13 | 2006-11-16 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 |
CN104075049A (zh) * | 2014-07-18 | 2014-10-01 | 王晓霖 | 一种管接头结构 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5198335B2 (ja) * | 2008-08-27 | 2013-05-15 | 日本メクトロン株式会社 | 電子機器のシール構造 |
JP2012241779A (ja) * | 2011-05-18 | 2012-12-10 | Nuflare Technology Inc | 真空接続装置、荷電粒子ビーム描画装置および排気装置の荷電粒子ビーム描画装置への取付方法 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS509605Y1 (ja) * | 1965-11-22 | 1975-03-25 | ||
JPS5068908U (ja) * | 1973-10-25 | 1975-06-19 | ||
GB1521546A (en) * | 1974-11-26 | 1978-08-16 | Hoke Inc | Tubular couplings |
JPS6436791U (ja) * | 1987-08-31 | 1989-03-06 | ||
ATE156576T1 (de) * | 1992-03-12 | 1997-08-15 | Vector International Limited | Abdichtungsring und rohrkupplung |
JPH0579126U (ja) * | 1992-03-31 | 1993-10-26 | 株式会社土屋製作所 | 弾性パッキンを有するシール装置 |
JPH06174158A (ja) * | 1992-12-14 | 1994-06-24 | Mitsubishi Motors Corp | 気体流路の結合部構造 |
JPH10169859A (ja) * | 1996-12-03 | 1998-06-26 | Benkan Corp | 集積化ガスパネルの制御機器取付用シールガスケット |
JP4431940B2 (ja) * | 2003-04-10 | 2010-03-17 | 旭有機材工業株式会社 | 配管部材の接続構造 |
JP2004315051A (ja) * | 2003-04-17 | 2004-11-11 | Onda Seisakusho:Kk | 合成樹脂製タンクの配管接続構造 |
-
2005
- 2005-05-02 JP JP2005134236A patent/JP4210668B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-04-28 CN CNA2006800152154A patent/CN101171450A/zh active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006313008A (ja) * | 2005-07-13 | 2006-11-16 | Nippon Pillar Packing Co Ltd | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 |
JP4512528B2 (ja) * | 2005-07-13 | 2010-07-28 | 日本ピラー工業株式会社 | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 |
CN104075049A (zh) * | 2014-07-18 | 2014-10-01 | 王晓霖 | 一种管接头结构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006308050A (ja) | 2006-11-09 |
CN101171450A (zh) | 2008-04-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2006033299A1 (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
JP4445918B2 (ja) | 流体用ガスケット | |
JP4324575B2 (ja) | フランジ配管どうしの接続構造 | |
WO2006118238A1 (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
WO2007007508A1 (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
JP4465335B2 (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
JP4268913B2 (ja) | 流体機器どうしの接続構造 | |
WO2007007507A1 (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
JP4210668B2 (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
JP4324576B2 (ja) | 流体機器どうしの接続構造 | |
JP4210669B2 (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
JP4257319B2 (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
JP4512526B2 (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
JP4048193B2 (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
JP2006161873A (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
JP4465254B2 (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
JP4644477B2 (ja) | 流体用ガスケット | |
JP4512528B2 (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
JP4210643B2 (ja) | 流体用ガスケット | |
JP4848467B2 (ja) | フランジ配管と流体機器との接続構造 | |
JP4257320B2 (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
JP4411304B2 (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
JP4210670B2 (ja) | 流体用ガスケット | |
JP4378329B2 (ja) | 集積パネルと流体デバイスとの接続構造 | |
JP4268914B2 (ja) | 流体機器どうしの接続構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080520 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080716 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080930 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081027 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111031 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |