JP4206618B2 - フーリエ変換赤外分光光度計 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はフーリエ変換赤外分光光度計に関する。
【0002】
【従来の技術】
フーリエ変換赤外分光光度計(以下「FTIR」という)では、固定鏡及び移動鏡を含むマイケルソン型干渉計により時間的に振幅が変動する干渉波(インターフェログラム)を生成し、これを試料に照射してその透過光又は反射光を検出する。そして、この検出信号をフーリエ変換することにより、横軸に波数、縦軸に強度(吸光度)をとった吸収スペクトルを得ることができる。
【0003】
このようなFTIRの透過測定にあっては、目的試料を測定して吸光スペクトルを作成するとともに、同一光学系で試料を装着しないブランク測定を行ってバックグランドスペクトルを作成し、その両者の差分を計算することにより試料の透過率スペクトルを算出する、という処理が行われている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
従来よりFTIRでは、測定目的等に応じて波数分解能を外部から設定できるようになっている。上述のように透過率スペクトルを算出する際には、目的試料の吸光スペクトルとバックグランドスペクトルの波数分解能が同一でなければならないから、波数分解能を変更した場合には、変更後の波数分解能でのブランク測定を実行し、それに基づいたバックグランドスペクトルを作成する必要があった。一般に、FTIRでは、SN比を向上させるために多数回の繰り返し測定を行い、その測定結果を積算するという演算処理が行われる。そのため、或る1つの試料の測定を実行してスペクトルを得るまでに、短くても数秒程度の時間を要し、ブランク測定でも同一回数の積算を行うため、全体の測定時間はかなり長いものとなる。このように、試料測定毎にブランク測定を行うことは、測定効率の向上の大きな妨げとなっていた。
【0005】
本発明は上記問題を解決するために成されたものであり、その目的とするところは、波数分解能の如何に拘わらず、試料測定の度に行われていたブランク測定を省略することにより測定効率を改善できるフーリエ変換赤外分光光度計を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上述したようなブランク測定は目的試料の測定と略同一条件の下で実行される必要があるが、一般に、FTIRでは、不使用時にも常時通電する等、光学系を含む装置の安定化に注意が払われている。したがって、光源の発光強度の低下などといった長時間に亘る経時変化が無視できる程度の時間範囲内であれば、ブランク測定を目的試料の測定の直前又は直後に行わなくてもよい。そこで、本発明に係るフーリエ赤外分光光度計では、当該装置で選択可能な最高の波数分解能で予めブランク測定を行ってデータを取得し、これをバックグランドスペクトルの基本データとして保存しておく。そして、試料測定時に波数分解能が選択されると、その波数分解能で試料を測定するとともに、上記バックグランドスペクトルの基本データからその波数分解能に応じたデータのみを選択し、そのデータによりバックグランドスペクトルを作成する。これにより、試料測定時には実際にブランク測定を行う必要がなくなる。
【0007】
すなわち、本発明に係るフーリエ変換赤外分光光度計は、赤外光を発生する光源と、固定鏡及び移動鏡を含み、前記赤外光より干渉光を生成する干渉計と、該干渉光を検出する検出器と、該検出信号をフーリエ変換してスペクトルを得る処理部とを具備するフーリエ変換赤外分光光度計において、
a)当該装置で選択可能な最高の波数分解能で、試料を通さないブランク測定を実行して前記検出器で得られるインターフェログラムをデジタル化したデータを収集し、これを記憶手段に格納しておくブランク測定手段と、
b)目的試料の測定に際し、選択された波数分解能に応じて前記記憶手段からデータを選択する選択手段と、
c)該選択されたデータに基づいたバックグランドを用いて目的試料のスペクトルを算出するスペクトル作成手段と、
を備えることを特徴としている。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態によるFTIRについて図面を参照して説明する。図1は本FTIRの要部の構成図、図2は図1中のデータ処理部29における要部の機能ブロック図、図3は本FTIRの動作を説明するための波形図である。
【0009】
図1において、主干渉計は、赤外光源11、集光鏡12、コリメータ鏡13、ビームスプリッタ14、固定鏡15、移動鏡16等から構成され、スペクトル測定を行うための干渉赤外光を発生させる。すなわち、赤外光源11から出射された赤外光は、集光鏡12、コリメータ鏡13を介してビームスプリッタ14に照射され、ここで固定鏡15及び移動鏡16の二方向に分割される。固定鏡15及び移動鏡16にてそれぞれ反射した光はビームスプリッタ14によって再び合一され、放物面鏡21へ向かう光路に送られる。このとき、移動鏡16は前後(図1中の矢印の方向)に往復動しているため、合一された光は時間的に振幅が変動する干渉光(インターフェログラム)となる。放物面鏡21にて集光された光は試料室22内に照射され、試料室22に配置された試料23を通過した光は楕円面鏡24により光検出器25へ集光される。
【0010】
一方、コントロール干渉計は、レーザ光源17、ミラー18、ビームスプリッタ14、固定鏡15、移動鏡16等から構成され、干渉縞信号を得るためのレーザ干渉光を発生させる。すなわち、レーザ光源17から出射された光はミラー18を介してビームスプリッタ14に照射され、上記赤外光と同様に干渉光となって放物面鏡21の方向へ送られる。このレーザ干渉光は非常に小さな径の光束となって進行するため、光路中に挿入されたミラー19により反射されて光検出器20に導入される。
【0011】
なお、上記主干渉計を中心とする光学部品は気密室10内に配置されており、気密室10内は湿度がコントロールされている。これは、主として、潮解性を有するKBrを基板とするビームスプリッタ14を保護するためである。
【0012】
光検出器20の受光信号、つまりレーザ光干渉縞信号は信号生成部30に入力され、ここで赤外干渉光に対する受光信号をサンプリングするためのパルス信号が生成される。光検出器25で得られた受光信号はアンプ26で増幅され、サンプルホールド回路(S/H)27にて上記パルス信号によるタイミングでサンプリングされた後にA/D変換器(A/D)28によりデジタルデータに変換される。データ処理部29では、このデータに対しフーリエ変換を実行し吸収スペクトルを作成し、更に後述のようにバックグランドデータを用いて透過率スペクトルを作成する。なお、上記一連の測定動作は制御部31の制御の下に実行される。
【0013】
このFTIRでは、目的試料の測定を行う以前に、試料がない状態でのブランク測定が実行される。ブランク測定を行うための方法は各種考えられるが、最も単純には、試料室22内に試料23を配置せず、いわば試料室22内を素通りした光を測定する。また、目的とする試料が液体試料等である場合には、液体試料を収容するセルを、試料を入れない状態のまま試料室22内に配置し、該セルを通過する光を測定する。また、複数の試料を交換可能なサンプルチェンジャを試料室22内に設置し、その一つをブランク試料としておき、これを選択して測定するようにしてもよい。
【0014】
このブランク測定時には、本装置において最も分解能が高い波数分解能が選択される。このFTIRでは、赤外光源11の大きさが理想状態であると看做せば、波数分解能は光路差に依存している。つまり、必要とされる光路差は波数分解能毎に相違する。例えば、本装置で、波数分解能は、0.5、1、2、4、8、16cm−1の6種類であるとする。いま、最も分解能が高い波数分解能0.5cm−1 に対し2cmの光路差が必要であるとすると、波数分解能1cm−1 に対しては半分の1cmの光路差で充分である。更に低い波数分解能では、光路差はもっと短くて済む。
【0015】
ブランク測定の結果、光検出器25で得られるインターフェログラムが図3(a)に示す通りであるとすると、サンプルホールド回路27及びA/D変換器28によりデジタル化されたデータは図3(b)に示すようになる。このようなインターフェログラムでは横軸は光路差(つまり移動鏡16の移動距離)である。上述したように波数分解能は光路差に依存し、波数分解能が低くなるほど光路差は小さくなるから、最高の波数分解能を除く他の波数分解能に対する測定データは、この最高の波数分解能に対する測定データに全て包含されている。これが、ブランク測定時に最も高い波数分解能を選択する理由である。この図3(b)に示すようなデータは、データ処理部29に備えられたメモリに格納される。
【0016】
なお、ブランク測定を行う場合に、次のようにすると好ましい。FTIRでは、測定を複数回繰り返し、その結果得られたデータを積算することによりSN比を向上できることが知られている。ブランク測定においても、このような積算を行うことが望ましい。この積算回数は多いほどよいが、通常の試料測定時では時間的制限がある。そこで、例えば、夜間、或いは、昼間であっても比較的長く装置を使用しない時間帯に、自動的に又は手動でブランク測定を多数回繰り返し行い、その結果を積算して最終的なデータを取得する。このようにすれば、多数回の積算を行っても試料測定の邪魔になることがなく、しかも、高いSN比を達成することができる。
【0017】
図2において、バックグランドデータ記憶部40は上述したようなブランク測定の際に得られるデータが格納されるメモリである。積算処理が行われる場合には、格納されるデータは積算処理されたものである。
【0018】
目的とする試料23の測定時の本FTIRの動作は次の通りである。オペレータにより図示しない操作部を介して、データ処理部29に対し波数分解能が指示される。データ選択部41は、指示された波数分解能に応じてバックグランドデータ記憶部40からデータを選択して読み出す。例えば、最高波数分解能が指示された場合には、全てのデータを読み出す。また、それよりも波数分解能が低い場合には、上述したようにそれに対応する光路差に応じて数を減らしたデータを読み出す。バックグランドスペクトル作成部42は、上記選択されたデータに対してフーリエ変換を行ってバックグランドスペクトルを作成する。
【0019】
一方、試料室22に配置された試料23に対し上述したような測定が実行され、このとき取得されたデータが試料スペクトル作成部43へと入力される。試料スペクトル作成部43では、測定データに対しフーリエ変換を行い吸光スペクトルを作成する。差スペクトル演算部44は両スペクトルの差分を計算し、試料に対する透過率スペクトルを算出する。
【0020】
このFTIRでは、波数分解能が相違する試料測定が実行された際に、その波数分解能でのブランク測定を一々実行する必要はなく、既に格納されているバックグランドデータからその全て又は一部を選択しさえすればよい。したがって、試料測定時にブランク測定に時間を割く必要がなく、きわめて効率的に測定を進めることができる。更に、ブランク測定は充分に時間が確保できるときに行えばよいので、測定回数を非常に多くすることができ、データの積算回数が増してバックグランドスペクトル自体のSN比が向上し、最終的な透過スペクトルのSN比も改善される。
【0021】
なお、上記実施形態は本発明の一例であって、本発明の趣旨の範囲で適宜に修正や変更を行えることは明らかである。
【0022】
【発明の効果】
本発明に係るフーリエ変換赤外分光光度計によれば、試料測定の度毎に、その測定時の波数分解能に応じたブランク測定を行う必要はなく、試料測定のみを行うことによって、バックグランドの補正されたスペクトルを取得することができる。したがって、測定効率が大きく向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態であるFTIRの要部の構成図。
【図2】 図1中のデータ処理部における要部の機能ブロック図。
【図3】 本実施形態によるFTIRの動作を説明するための波形図。
【符号の説明】
10…気密室
11…赤外光源
12…集光鏡
13…コリメータ鏡
14…ビームスプリッタ
15…固定鏡
16…移動鏡
17…レーザ光源
18、19…ミラー
20、25…光検出器
21…放物面鏡
22…試料室
23…試料
24…楕円面鏡
26…アンプ
27…サンプルホールド回路
28…A/D変換器
29…データ処理部
30…信号生成部
31…制御部
40…バックグランドデータ記憶部
41…データ選択部(選択手段)
42…バックグランドスペクトル作成部
43…試料スペクトル作成部
44…差スペクトル演算部
Claims (1)
- 赤外光を発生する光源と、固定鏡及び移動鏡を含み、前記赤外光より干渉光を生成する干渉計と、該干渉光を検出する検出器と、該検出信号をフーリエ変換してスペクトルを得る処理部とを具備するフーリエ変換赤外分光光度計において、
a)当該装置で選択可能な最高の波数分解能で、試料を通さないブランク測定を実行して前記検出器で得られるインターフェログラムをデジタル化したデータを収集し、これを記憶手段に格納しておくブランク測定手段と、
b)目的試料の測定に際し、選択された波数分解能に応じて前記記憶手段からデータを選択する選択手段と、
c)該選択されたデータに基づいたバックグランドを用いて目的試料のスペクトルを算出するスペクトル作成手段と、
を備えることを特徴とするフーリエ変換赤外分光光度計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000211371A JP4206618B2 (ja) | 2000-07-12 | 2000-07-12 | フーリエ変換赤外分光光度計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000211371A JP4206618B2 (ja) | 2000-07-12 | 2000-07-12 | フーリエ変換赤外分光光度計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002022536A JP2002022536A (ja) | 2002-01-23 |
JP4206618B2 true JP4206618B2 (ja) | 2009-01-14 |
Family
ID=18707488
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000211371A Expired - Lifetime JP4206618B2 (ja) | 2000-07-12 | 2000-07-12 | フーリエ変換赤外分光光度計 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4206618B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5030629B2 (ja) * | 2007-03-20 | 2012-09-19 | 大塚電子株式会社 | ガス濃度の定量分析方法及び装置 |
US8742351B2 (en) | 2008-12-02 | 2014-06-03 | Shimadzu Corporation | Spectrophotometer |
JP2015021956A (ja) * | 2013-07-24 | 2015-02-02 | 株式会社島津製作所 | フーリエ変換赤外分光光度計 |
JP6885233B2 (ja) | 2017-07-07 | 2021-06-09 | 株式会社島津製作所 | フーリエ変換赤外分光光度計 |
-
2000
- 2000-07-12 JP JP2000211371A patent/JP4206618B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002022536A (ja) | 2002-01-23 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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