JP4188252B2 - 弾性表面波装置 - Google Patents

Description

本発明は、弾性表面波装置に関し、特に弾性表面波フィルタ等の弾性表面波装置に関する。

弾性表面波装置は、携帯電話等の移動体通信機器のアンテナ共用器（デュープレクサ）等に用いられている。移動体通信機器の小型化、複雑化の傾向に伴い弾性表面波装置に対する更なる小型化が要求されている。

弾性表面波装置をアンテナ共用器（デュープレクサ）に用いる場合、小型化するために送信用弾性表面波（ＳＡＷ）フィルタと、受信用弾性表面波（ＳＡＷ）フィルタが共通の同一チップに形成される。

この場合、送信側端子より入力された信号が送信用共振子により弾性表面波に変換され、伝搬して受信側共振子に結合されるように短絡経路を形成する場合が生じる。かかる場合は、送受の分離特性(Isolation)は劣化し、フィルタの通過特性にスプリアスが発生す
る。

かかる不都合を解消するべく従来技術として、圧電基板上の二つのＳＡＷフィルタ間にダイシングにより溝を設ける技術（特許文献１、２）、あるいは、一方のフィルタにおいて、信号端子と接続される線路と、接地端子と接続される線路に交差する部分を持たせる技術（特許文献３）等が示されている。
特開平５−１０２７８３号公報 特開２０００−１３１７９号公報 特開２００３―５１７３１号公報

しかしながら、上記特許文献１、２に記載の発明では、加工技術は微細な加工が難しく、共振子の間隔および配置に関して制限がありチップサイズの大型化を招くおそれがある。さらに、ダイシングにより溝を設ける際に切り屑が共振子に飛ぶため特性の劣化を招いていた。

一方、特許文献３に記載の発明は、フィルタに流れる電流の影響によって発生する磁束を打ち消すために発生する相互誘導による減衰量やアイソレーションの悪化を防止することを目的としている。

したがって、本発明の目的は、特許文献３に記載の目的、構成とは異なり、短絡経路が生じることを防止するものである。さらに特許文献１、２の発明によっても問題となる微細な加工の困難性、チップサイズの大型化、並びにダイシングにより溝を設ける際に切り屑が生じることの問題を解消し、複数の弾性表面波フィルタを一つのチップ上に形成することが可能であり、より小型化が可能となる弾性表面波装置を提供することにある。

上記の課題を達成する本発明に従う弾性表面波装置の第１の態様は、圧電基板と、前記圧電基板に形成された第１の弾性表面波共振子と、前記第１の弾性表面波共振子の弾性表面波伝搬方向に、前記圧電基板に形成された第２の弾性表面波共振子とを有し、前記第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子の前記圧電基板に形成される位置は、前記第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子のそれぞれの開口を仮想的に延長することによって定義される弾性表面波伝搬領域で少なくとも一部が重なり合う関係にあり、更に前記重なり合う弾性表面波伝搬領域を上半分と下半分に分割し、前記分割された上半分の領域と下半分の領域において、前記第１の弾性表面波共振子から伝搬される弾性表面波の位相を互いに逆相の関係にする手段を有することを特徴とする。

上記の課題を達成する本発明に従う弾性表面波装置の第２の態様は、圧電基板と、前記圧電基板に形成された第１の弾性表面波共振子と、前記第１の弾性表面波共振子の弾性表面波伝搬方向に、前記圧電基板に形成された第２の弾性表面波共振子とを有し、前記第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子の前記圧電基板に形成される位置は、前記第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子のそれぞれの開口を仮想的に延長することによって定義される弾性表面波伝搬領域で少なくとも一部が重なり合う関係にあり、更に前記重なり合う弾性表面波伝搬領域を複数個に分割し、前記分割されたそれぞれにおける上半分の領域と下半分の領域において、前記第１の弾性表面波共振子から伝搬される弾性表面波の位相を互いに逆相の関係にする手段を有することを特徴とする。

上記の課題を達成する本発明に従う弾性表面波装置の第３の態様は、前記第１または、第２の態様において、前記第１の弾性表面波共振子から伝搬される弾性表面波の位相を互いに逆相の関係にする手段は、前記第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子との間で、前記圧電基板上に形成され、前記重なり合う弾性表面波伝搬領域の上半分の領域若しくは、下半分の領域に対応して、以下の関係にある長さＬの切り欠きを備えた金属膜である
Ｌ＝Ｖｍ＊Ｖｆ＊（２ｎ＋１）/（２＊（Ｖｆ−Ｖｍ）＊ｆ）（ｎ＝１，２・・・）
（ただし、Ｖｍは前記金属薄膜下での速度、Ｖｆは前記金属膜のない領域での速度、ｆは駆動周波数とする）
ことを特徴とする。

上記の課題を達成する本発明に従う弾性表面波装置の第４の態様は、前記第１または、第２の態様において、前記第１の弾性表面波共振子から伝搬される弾性表面波の位相を互いに逆相の関係にする手段は、前記第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子との間で、前記圧電基板上に形成され、前記重なり合う弾性表面波伝搬領域の上半分の領域若しくは、下半分の領域に対応して、以下の関係にある長さＬの金属膜である
Ｌ＝Ｖｍ＊Ｖｆ＊（２ｎ＋１）/（２＊（Ｖｆ−Ｖｍ）＊ｆ）（ｎ＝１，２・・・）
（ただし、Ｖｍは前記金属薄膜下での速度、Ｖｆは前記金属膜のない領域での速度、ｆは前記第１の弾性表面波共振子の駆動周波数とする）
ことを特徴とする。

さらに、上記の課題を達成する本発明に従う弾性表面波装置の第５の態様は、圧電基板と、前記圧電基板に形成された第１の弾性表面波共振子と、前記第１の弾性表面波共振子の弾性表面波伝搬方向に、前記圧電基板に形成された第２の弾性表面波共振子を有し、前記第１の弾性表面波共振子の前記第２の弾性表面波共振子に対向する側に配置される反射器を構成する複数電極のうち以下の関係にあるＮ本の電極は、前記反射器部分の開口幅の半分の大きさを有し、前記１／２の幅の上半分の領域と下半分の領域において、前記第１の弾性表面波共振子から伝搬される弾性表面波の位相を互いに逆相の関係にする
４＊Ｎ／λ＝Ｖｍ＊Ｖｆ＊（２ｎ＋１）/（２＊（Ｖｆ−Ｖｍ）＊ｆ）（ｎ＝１、２、・・・）
（ただし、λは伝搬する弾性表面波の波長であり、前記反射器の長さをλ／４とする）ことを特徴とする。

さらにまた、上記の課題を達成する本発明に従う弾性表面波装置の第６の態様は、縦続接続された少なくとも２つ以上の弾性表面波共振子を、圧電基板上に少なくとも２組以上配置した弾性表面波装置であって、異なる組の隣接する第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子の前記圧電基板に形成される位置は、前記第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子のそれぞれの開口を仮想的に延長することによって定義される弾性表面波伝搬領域で少なくとも一部が重なり合う関係にあり、更に前記隣接する第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子の間に、引き回し電極が形成され、前記引き回し電極は、前記重なり合う弾性表面波伝搬領域の上半分の領域若しくは、下半分の領域に対応して、以下の関係にある長さＬの切り欠きを備えている
Ｌ＝Ｖｍ＊Ｖｆ＊（２ｎ＋１）/（２＊（Ｖｆ−Ｖｍ）＊ｆ）（ｎ＝１，２・・・）
（ただし、Ｖｍは前記金属薄膜下での速度、Ｖｆは前記金属膜のない領域での速度、ｆは駆動周波数とする）
ことを特徴とする。

本発明の特徴は、以下に図面に従い説明される発明の実施の形態例から更に明らかになる。

本発明の構成により、ダイシングによる溝の形成をすることなく共通パッケージ内の共振子間の信号干渉を排除することができるので、複数の弾性表面波フィルタを一つのチップ上に形成することが可能であり、より小型化が可能となる弾性表面波装置を得ることができる。

以下に図面に従い本発明の実施の形態例を説明する。なお、実施の形態例は本発明の理解のためのものであり、本発明の技術的範囲は、これに限定されるものではない。

ここで、実施の形態例の説明に先立って、本発明の理解のために本発明が解決するべき課題について更に詳細に説明しておく。

図１は、２つのラダー（梯子）型弾性表面波フィルタにより構成されたアンテナ共用器（デュープレクサ）として機能する弾性表面波装置の従来構成例を示す図である。送信信号は、図１中にＴＰで示される送信側端子に印加され、弾性表面波（ＳＡＷ）共振子Ｔ１〜Ｔ４がラダー状に接続された送信側フィルタを経由して、アンテナパッドＡＮＴに達する。

さらに、図示しないアンテナには、ＳＡＷ共振子Ｒ１〜Ｒ４がラダー状に接続された受信側フィルタが、図示しない位相器を介して接続されている。

送信信号は上述のように送信フィルタを通してアンテナに達し、電波として発信されるが、一方で受信側フィルタに印加される。しかしながら送信周波数帯域では受信フィルタの帯域は減衰帯域にあり、送信信号は受信用低雑音増幅器に接続される受信側端子ＲＰまではほとんど到達しない。

受信周波数帯域の信号も、送信側フィルタでは減衰帯域、受信側フィルタでは通過帯域であるので、アンテナで受信された信号は位相器、アンテナ端子ＡＮＴを通して受信側端子ＲＰに達するが、送信側端子ＴＰにはほとんど到達しない。

ここで、分離（Isolation）特性は、送信側より入力された信号が、送信側ＳＡＷ共振
子Ｔ４→Ｔ３→Ｔ２→アンテナパッドＡＮＴ→受信側共振子Ｒ１→Ｒ２→Ｒ３を通り受信側端子ＲＰに出力される伝達特性を示す。望ましくは、かかる伝達特性は、−５０ｄＢ以下の減衰であることが望ましい。

しかしながら、送受信用フィルタが同一チップに存在する場合、送信側より入力された信号が、送信側共振子Ｔ３→弾性表面波伝搬→受信側共振子Ｒ３あるいは、送信側共振子Ｔ２→弾性表面波伝搬→受信側共振子Ｒ２の短絡経路を取り受信側端子ＲＰに出力されるケースが生じる。このような短絡経路により、分離特性は劣化し、スプリアスが発生する。

図２は、かかるフィルタ特性におけるスプリアスを説明する図であり、図２Ａは周波数に対する挿入損失で表される減衰特性であり、図１の破線円で囲まれた部分に、上記の従来構成において弾性表面波の短絡経路が形成されることによりスプリアスが生じる。図２Ｂは、かかるスプリアス成分を抜き出して示している。このようなスプリアスが生じることによりフィルタ特性が劣化する。

このような弾性表面波の短絡経路の形成によるスプリアスの発生を回避するために、従来における対策として、先に説明したように弾性表面波の隣接フィルタへの伝播を阻止するために、一の方法として図３に示すようなダイシングにより溝を形成する方法が取られる。

図３において、チップ中央部にダイシングによって溝２を形成し、送信側領域I及び受
信側領域IIの二つの領域に分離している。溝２により送信側領域Iの共振子から受信側領
域IIの共振子に弾性表面波が短絡伝播する経路が形成されることを防ぐことができる。

ここで、ダイシングによって形成される、短絡経路の形成を阻止し得る溝の最小幅は、約５０μｍ程度であるのでチップの小型化へは大きな支障はない。しかし、チップ中央部にダイシングが行われるために、チップ上のレイアウトに対する制限を与えることにある。さらに、ダイシングの際に生じる切りくずによる送受信フィルタへの影響の可能性が高いという問題がある。

さらに短絡経路が形成されることを防ぐための別の方法として、送受信フィルタ間に弾性表面波を吸収する粘性の高いエポキシ系樹脂を塗布する方法が想定される。図４は、かかる方法を説明する図である。送受信フィルタ間に溝２を形成する代わりに、エポキシ系樹脂３を塗布している。しかし、エポキシ系樹脂による化学的影響による特性に対する劣化の可能性がある。また、弾性表面波を吸収するために広い塗布面積を必要とし、チップの小型化が困難となる。

したがって、本発明はかかる従来方法による弾性表面波の短絡経路の形成を阻止する方法における問題を解決するものである。図５は、本発明を適用する弾性表面波装置の第１の実施の形態例である。

LiTaO3やLiNbO3等の圧電性を有した圧電基板１０の表面に、アルミニウムまたはアルミニウム合金等の金属薄膜により一対のＳＡＷ共振子１１、１２が対向して形成されている。さらに、このＳＡＷ共振子１１，１２の間には、金属膜４が形成されている。

ＳＡＷ共振子１１，１２は、弾性表面波装置において、弾性表面波装置の使用目的に対応して各々異なる周波数特性を有している。さらに、ＳＡＷ共振子１１，１２の圧電基板１０に形成される位置は、ＳＡＷ共振子１１とＳＡＷ共振子１２のそれぞれの開口を仮想的に延長することによって定義される弾性表面波伝搬領域で少なくとも一部が重なり合う関係にある。これらの要件は、以下に説明される実施の形態例においても同様である。

この一部が重なり合う関係により、ＳＡＷ共振子１１から伝搬する弾性表面波５が、ＳＡＷ共振子１２において受信される幅、即ち、ＳＡＷ共振子１２の電極と重なる幅が導かれ、この幅をＭとする。

ＳＡＷ共振子１１，１２の間に設けられる金属膜４には、ＳＡＷ共振子１２の電極と重なる幅の上半部である幅Ｍ／２に相当する部分に長さＬの切り欠きを設けている。この幅Ｍ／２、長さＬの電極切欠きによって、ＳＡＷ共振子１２に入力する弾性表面波５に関し、幅Ｍの上半部ＳＡＷ−Ｕと下半部ＳＡＷ−Ｄにおいて、位相差を生じる。

すなわち、金属膜４の下側領域での速度をＶｍ、金属膜４を有しない領域での速度をＶｆ、ｆを駆動周波数とすると、
Ｌ/Ｖm−Ｌ/Ｖf=（２ｎ+１）/（２＊ｆ）
⇒Ｌ＝Ｖｍ＊Ｖｆ＊（２ｎ＋１）/（２＊（Ｖｆ−Ｖｍ）＊ｆ）（ｎ＝１，２・・・）
・・・式１
の条件を満たす切り欠き長さＬの時に、伝搬される弾性表面波５のＳＡＷ共振子２に到達する上半分の弾性表面波ＳＡＷ−Ｕと下半分の弾性表面波ＳＡＷ−Ｄに関し、弾性表面波の半波長の奇数倍の位相差を有することになる。

これにより弾性表面波ＳＡＷ−Ｕと弾性表面波ＳＡＷ−Ｄとで逆相になる。したがって、ＳＡＷ共振子１１に対向するＳＡＷ共振子１２に到達する弾性表面波５の上半分の弾性表面波ＳＡＷ−Ｕと下半分の弾性表面波ＳＡＷ−Ｄとの位相が逆相であるために、お互いが相殺され、ＳＡＷ共振子２でスプリアス信号が受からなくなる。この結果スプリアス信号を低減することができる。

図６は、本発明の第２の実施の形態例である。図中、図５の第１の実施の形態例の要素と同じものには同一の参照番号を付してある。図５と同じようにＳＡＷ共振子１１，１２が圧電基板１０上に配置されている。

図６に示す実施の形態例では、図５の実施の形態例における金属膜４における幅Ｍ／２、長さＬに相当する切り欠きに対応する部分を反対に金属膜４１とする構成である。他の領域には、ＳＡＷ共振子１１と１２の間に電極は形成されていない。

この図６に示す実施の形態例によっても、金属膜４１の存在により、ＳＡＷ共振子１２に到達するＳＡＷ共振子１１から伝搬する弾性表面波５の上半分の弾性表面波ＳＡＷ−Ｕと、下半分の弾性表面波ＳＡＷ−Ｄにおいて位相差を生じる。よって、この実施の形態例においても同様に、上半分の弾性表面波ＳＡＷ−Ｕと下半分の弾性表面波ＳＡＷ−Ｄとの位相が逆相であるために、お互いが相殺され、ＳＡＷ共振子２でスプリアス信号が受からなくなる。この結果図５の実施の形態例と同様にスプリアス信号を低減することができる。

先の実施の形態例では第１のＳＡＷ共振子１１と第２のＳＡＷ共振子１２のそれぞれの開口を仮想的に延長することによって定義される弾性表面波伝搬領域を上半分と、下半分に分割した例である。本発明は、更に重なり合う弾性表面波伝搬領域を複数個に分割し、分割されたそれぞれにおける上半分の領域と下半分の領域において、ＳＡＷ共振子１１から伝搬される弾性表面波の位相を互いに逆相の関係にするようにすることも可能である。

図７は、本発明の第３の実施の形態例であり、重なり合う弾性表面波伝搬領域を２個に分割し、分割されたそれぞれにおける上半分の領域と下半分の領域において、弾性表面波の位相を互いに逆相の関係にした実施の形態である。

図７において、前述した実施の形態例の構成要素と同一のものには同一の参照番号を付してある。図６の実施の形態例と同じように共振子１１，１２が圧電基板１０上に配置されている。さらに、図６の実施の形態例におけるＳＡＷ共振子１１と１２の間に配置された幅Ｍ／２、長さＬの金属膜４１を更に、幅Ｍ／４の金属膜４１１，４１２に分割している。

かかる構成により、Ｍ／４幅、長さＬの２つの金属膜４１１，４１２がＳＡＷ共振子１１，１２の間に存在し、ＳＡＷ共振子１１から伝搬する弾性表面波５は金属膜４１１、４１２上を伝搬する弾性表面波ＳＡＷ−Ｕ１、Ｕ２と電極のない部分を伝搬する弾性表面波ＳＡＷ−Ｄ１，Ｄ２とに分離される。

したがって、金属膜４１１，４１２上を伝搬する弾性表面波ＳＡＷ−Ｕ１、Ｕ２と電極なしの部分を伝搬する弾性表面波ＳＡＷ−Ｄ１，Ｄ２が逆相になり、ＳＡＷ共振子１２に伝搬していくと、弾性表面波ＳＡＷ−Ｕ１とＤ１、弾性表面波ＳＡＷ−Ｕ２とＤ２が打ち消しあい、ＳＡＷ共振子１２でスプリアス信号を受信しない。この結果スプリアス信号を低減することができる。

図８は、更に本発明に従う別の実施の形態例である。図中、前述した実施の形態例の構成要素と同一のものには同一の参照番号を付してある。上記の各実施の形態例と同様に、圧電基板１０上にＳＡＷ共振子1１、１２が対向して配置されている。特徴として、ＳＡ
Ｗ共振子１１においてＳＡＷ共振子１２に向かい合う反射器１３の一部の開口幅を半分の大きさにする。すなわち、反射器１３を構成する複数の電極のうちＮ本の反射器部分電極１３−１の幅を半分にしている。

反射器１３の電極長を半分にした反射器部分１３−１の幅の長さを、上記各実施の形態例における長さＬ（実施の形態例１では共振子１１，１２間に配置される電極の切欠き部分の長さＬ、実施の形態例２，３では、共振子１１，１２間に配置される電極の長さＬ）と等しくなるようにする。

すなわち、λ／４の長さを持つ反射器１３において、
４＊Ｎ／λ＝Ｖｍ＊Ｖｆ＊（２ｎ＋１）/（２＊（Ｖｆ−Ｖｍ）＊ｆ）（ｎ＝１、２、・・・）
を満たすＮ本分の長さの反射器部分１３−１の開口幅を半分にすることで、上記実施の形態例と同様な作用、効果が得られる。ただし、Ｖｍは、反射器電極を有する部分の速度を、Ｖｆは、反射器電極を有しない部分の速度である。

反射器１３から放射される弾性表面波は、Ｎ本の反射器部分電極１３−１のない部分ＳＡＷ−Ｄとこの部分電極がある部分ＳＡＷ−Ｕとで音速差が生じ、位相差が生じる。

したがって、弾性表面波ＳＡＷ−Ｕと弾性表面波ＳＡＷ−Ｄが打ち消しあい、ＳＡＷ共振子１２でスプリアス信号を受信しない。この結果スプリアス信号を低減することができる。

図９は、上記各実施の形態例における効果を示すグラフであり、横軸は周波数(ＭＨｚ)であり、縦軸は挿入損失（ｄＢ）である。図２との比較により明らかなように、本発明によりスプリアスが低減されることが理解できる。

図１０は、本発明を更に２つのラダー型弾性表面波フィルタにより構成されたアンテナ共用器（デュープレクサ）として機能する弾性表面波装置に適用した実施の形態例である。

送信信号は、図１０中の送信側端子ＴＰに印加され、弾性表面波（ＳＡＷ）共振子Ｔ１〜Ｔ４がラダー状に接続された送信側フィルタを経由して、アンテナパッドＡＮＴに達する。

さらに、図示しないアンテナには、ＳＡＷ共振子Ｒ１〜Ｒ４がラダー状に接続された受信側フィルタが、図示しない位相器を介して接続されている。

ここで、図１０に示す構成では、送信側フィルタのＳＡＷ共振子Ｔ２、Ｔ３で生成される弾性表面波の伝搬路と、受信側フィルタのＳＡＷ共振子Ｒ２、Ｒ３の位置とが重なっている。したがって、これらの間で弾性表面波に対し、送受信フィルタ間で短絡経路を形成する可能性がある。

図１０に示す実施の形態例では、かかる短絡経路の形成を回避するために、図５の構成と同様に、送信側フィルタと受信側フィルタ間に形成される引き回し電極ＥＬ１、ＥＬ２に長さＬ、幅Ｍ／２の切り欠き１０１，１０２を形成する。これにより、図５において説明したと同様の原理により、送信側フィルタのＳＡＷ共振子Ｔ２，Ｔ３で生成された弾性表面波が受信側フィルタのＳＡＷ共振子Ｒ２，Ｒ３において短絡結合することが回避できる。これにより、図１０の実施の形態例においてもスプリアスが低減されることが理解できる。

図１１は、図１０の実施の形態例において、引き回し電極ＥＬ１，ＥＬ２に形成される長さＬの切り欠きについて、引き回し電極ＥＬ１，ＥＬ２の電極幅との関係を考察する図である。

図１１の右側に部分拡大して示す引き回し電極ＥＬ１、（ＥＬ２についても同様）の電極幅より小さい長さＬの切り欠きを形成する場合、上記式１において、
Ｖｍ＝4113.3（ｍ/ｓ）、Ｖｆ＝4210.3（ｍ/ｓ）、ｆ＝800MHzとすると、
Ｌ＝4113.3*4210.3*0.5/（800*97*106）（ｍ）
＝111 *10-6（ｍ）
＝111 （μｍ） が求められる。

したがって、現在使用されている移動体通信における周波数帯域において使用される通信機器の共用器におけるチップに用いられる電極幅を変えることなく、引き回し電極に上記長さＬの切り欠きを形成することが可能である。

本発明により、ＳＡＷ共振子間に溝を形成することや、弾性表面波の吸収剤を設けることも必要なく、共通パッケージに搭載される複数のＳＡＷ共振子間での弾性表面波の不要な結合を回避することができる。これにより、フィルタ特性において、不要なスプリアスを除去し、装置の小型化が可能な弾性表面波装置を提供することが可能であり、産業上寄与するところ大である。

また、上記の実施の形態例において、１ポート型ＳＡＷ共振子について説明を行ったが、本発明の適用はかかる場合に限定されない。すなわち、本発明の適用により弾性表面波伝搬方向に複数のＩＤＴ（櫛形電極変換子）が配置され、その両側にグレーティング反射器が設けられてなる２ポート型ＳＡＷ共振子やＤＭＳ（多重モードフィルタ）でも同様の作用が得られることは容易に理解できる。

２つのラダー型弾性表面波フィルタにより構成されたアンテナ共用器（デュ ープレクサ）として機能する弾性表面波装置の従来構成例を示す図である。 フィルタ特性におけるスプリアスを説明する図である。 弾性表面波の隣接フィルタへの伝播を阻止するために、溝を形成する方法を 説明する図である。 弾性表面波の隣接フィルタへの伝播を阻止するために、送受信フィルタ間に 弾性表面波を吸収する粘性の高いエポキシ系樹脂を塗布する方法を説明する図である 。 本発明を適用する弾性表面波装置の第１の実施の形態例である。 本発明の第２の実施の形態例である。 本発明の第３の実施の形態例である。 本発明に従う別の実施の形態例である。 各実施の形態例における効果を示すグラフである。 本発明を更に２つのラダー型弾性表面波フィルタにより構成されたアンテ ナ共用器として機能する弾性表面波装置に適用した実施の形態例である。 図１０の実施の形態例において、長さＬの切り欠きと引き回し電極ＥＬ１ ，ＥＬ２の電極幅との関係を考察する図である。

符号の説明

１ セラミックパッケージ２ ＩＤＴ
２ 溝
３ 弾性表面波吸収剤
１０ 圧電基板
１１ 送信側ＳＡＷ共振子
１２ 受信側ＳＡＷ共振子
４ 電極
５ 弾性表面波の伝搬路
ＳＡＷ−Ｕ 上半分の弾性表面波
ＳＡＷ−Ｄ 下半分の弾性表面波
１０１，１０２ 切り欠き
ＴＰ 送信側端子
ＲＰ 受信側端子
ＡＮＴ アンテナ端子
ＧＮＤ 接地端子
ＥＬ１，２ 引き回し電極
Ｔ１,Ｔ２,Ｔ３,Ｔ４ 送信側共振子
Ｒ１,Ｒ２,Ｒ３,Ｒ４ 受信側共振子

Claims (6)

1. 圧電基板と、
   前記圧電基板に形成された第１の弾性表面波共振子と、
   前記第１の弾性表面波共振子の弾性表面波伝搬方向に、前記圧電基板に形成された第２の弾性表面波共振子とを有し、
   前記第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子の前記圧電基板に形成される位置は、前記第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子のそれぞれの開口を仮想的に延長することによって定義される弾性表面波伝搬領域で少なくとも一部が重なり合う関係にあり、更に
   前記重なり合う弾性表面波伝搬領域を上半分と下半分に分割し、前記分割された上半分の領域と下半分の領域において、前記第１の弾性表面波共振子から伝搬される弾性表面波の位相を互いに逆相の関係にする手段を有する
   ことを特徴とする弾性表面波装置。
2. 圧電基板と、
   前記圧電基板に形成された第１の弾性表面波共振子と、
   前記第１の弾性表面波共振子の弾性表面波伝搬方向に、前記圧電基板に形成された第２の弾性表面波共振子とを有し、
   前記第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子の前記圧電基板に形成される位置は、前記第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子のそれぞれの開口を仮想的に延長することによって定義される弾性表面波伝搬領域で少なくとも一部が重なり合う関係にあり、更に
   前記重なり合う弾性表面波伝搬領域を複数個に分割し、前記分割されたそれぞれにおける上半分の領域と下半分の領域において、前記第１の弾性表面波共振子から伝搬される弾性表面波の位相を互いに逆相の関係にする手段を有する
   ことを特徴とする弾性表面波装置。
3. 請求項１又は２において、
   前記第１の弾性表面波共振子から伝搬される弾性表面波の位相を互いに逆相の関係にする手段は、前記第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子との間で、前記圧電基板上に形成され、前記重なり合う弾性表面波伝搬領域の上半分の領域若しくは、下半分の領域に対応して、以下の関係にある長さＬの切り欠きを備えた金属膜である
   Ｌ＝Ｖｍ＊Ｖｆ＊（２ｎ＋１）/（２＊（Ｖｆ−Ｖｍ）＊ｆ）（ｎ＝１，２・・・）
   （ただし、Ｖｍは前記金属薄膜下での速度、Ｖｆは前記金属膜のない領域での速度、ｆは駆動周波数とする）
   ことを特徴とする弾性表面波装置。
4. 請求項１又は２において、
   前記第１の弾性表面波共振子から伝搬される弾性表面波の位相を互いに逆相の関係にする手段は、前記第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子との間で、前記圧電基板上に形成され、前記重なり合う弾性表面波伝搬領域の上半分の領域若しくは、下半分の領域に対応して、以下の関係にある長さＬの金属膜である
   Ｌ＝Ｖｍ＊Ｖｆ＊（２ｎ＋１）/（２＊（Ｖｆ−Ｖｍ）＊ｆ）（ｎ＝１，２・・・）
   （ただし、Ｖｍは前記金属薄膜下での速度、Ｖｆは前記金属膜のない領域での速度、ｆは前記第１の弾性表面波共振子の駆動周波数とする）
   ことを特徴とする弾性表面波装置。
5. 圧電基板と、
   前記圧電基板に形成された第１の弾性表面波共振子と、
   前記第１の弾性表面波共振子の弾性表面波伝搬方向に、前記圧電基板に形成された第２の弾性表面波共振子を有し、
   前記第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子の前記圧電基板に形成される位置は、前記第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子のそれぞれの開口を仮想的に延長することによって定義される弾性表面波伝搬領域で少なくとも一部が重なり合う関係にあり、
   前記第１の弾性表面波共振子の前記第２の弾性表面波共振子に対向する側に配置される反射器を構成する複数電極のうちＮ本の電極は、前記反射器部分の開口幅の半分の大きさを有し、更に前記Ｎ本は、以下の関係を有し、
   ４＊Ｎ／λ＝Ｖｍ＊Ｖｆ＊（２ｎ＋１）／（２＊（Ｖｆ−Ｖｍ）＊ｆ）（ｎ＝１、２、・・・）
   （ただし、λは伝搬する弾性表面波の波長であり、前記反射器の長さをλ／４とし、Ｖｍは前記反射器を有する部分の速度、Ｖｆは前記反射器を有しない部分の速度である）
   前記１／２の幅の上半分の領域と下半分の領域において、前記第１の弾性表面波共振子から伝搬される弾性表面波の位相が互いに逆相の関係にある
   ことを特徴とする弾性表面波装置。
6. 縦続接続された少なくとも２つ以上の弾性表面波共振子を、圧電基板上に少なくとも２組以上配置した弾性表面波装置であって、
   異なる組の隣接する第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子の前記圧電基板に形成される位置は、前記第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子のそれぞれの開口を仮想的に延長することによって定義される弾性表面波伝搬領域で少なくとも一部が重なり合う関係にあり、更に
   前記隣接する第１の弾性表面波共振子と第２の弾性表面波共振子の間に、引き回し電極が形成され、
   前記引き回し電極は、前記重なり合う弾性表面波伝搬領域の上半分の領域若しくは、下半分の領域に対応して、以下の関係にある長さＬの切り欠きを備えている
   Ｌ＝Ｖｍ＊Ｖｆ＊（２ｎ＋１）/（２＊（Ｖｆ−Ｖｍ）＊ｆ）（ｎ＝１，２・・・）
   （ただし、Ｖｍは前記金属薄膜下での速度、Ｖｆは前記金属膜のない領域での速度、ｆは駆動周波数とする）
   ことを特徴とする弾性表面波装置。

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