JP4187718B2 - プローブカード - Google Patents
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Description
コンタクト用のバンプは半導体集積回路素子(半導体チップ)の品種により位置が異なるが、専用のアライメントマークは半導体集積回路素子の品種にかかわらず一定の位置に付加できるので、プローブカードを製造する際にロット間などでの品質の変化を把握し易く、アライメント装置側でも品種毎に画像処理の動作を設定する必要がない。
薄膜上に形成されるバンプは、薄膜の伸縮によって位置精度が大きく影響される。特許文献2では、上述したように、薄膜の伸縮の影響を回避すべくバンプの形成後にその位置精度を考慮してアライメントマークを付加しているのであるが、プローブカード製造時の位置精度に対応できるものの、その後の熱サイクルなどによる変化に対応できず、アライメントマークを付加する工程でバンプ位置との精度誤差が発生する不具合も発生する。
本発明の理解を容易にするために、ウエハ一括コンタクト技術について説明する。
図1(a)(b)に示すように、ウエハ1の半導体チップ領域2内に形成された複数の半導体チップ3のそれぞれに、電気特性を検査するためのパッド電極4(以下、電極4という)が形成されている。
ガラス基板9は、コンタクトプローブ11の電気的接続を図2に示した検査ボード5の多層配線基板7に繋ぐための配線基板である。
プローブカード6を具備した検査ボード5は、図示したようにステージ20上に載せられ、検査ボード位置決めローラ21と検査ボード位置決めシリンダ22により位置決めされるようになっている。
XYZθテーブル24に載せられたウエハトレイ23上にウエハ1を真空チャックで固定する。このウエハ1について、ウエハ用認識カメラ27によってウエハ1上の電極4をとらえ、その電極4の位置と高さを基準にして、XYZθテーブル24のXY軸に対する傾きをθ軸により修正すると共に、修正後のウエハ1のセンター座標を記憶しておく。
図7(a)に従来のアライメントマークのデザインを示す。このアライメントマーク29は、レーザービームによって径10μm〜20μm程度の開口として形成されたもので、実際にウエハ1上の電極4とコンタクトするバンプ12を形成して位置精度の測定を行い、その誤差を把握したうえで、最適な位置に付加される。
図7(b)に示すアライメントマーク19aは、上下に配列した2個のバンプ12aからなる。図7(c)に示すアライメントマーク19bは、上下左右に十字状に配列した5個のバンプ12aからなる。図7(d)に示すアライメントマーク19cは、上下左右に3列に配列した9個のバンプ12aからなる。
図7(b)に示したアライメントマーク19aは2個のバンプ12aを配列したものであるが、認識装置は理論上の交点の座標を記憶しているため、2個のバンプ12aの配列方向を利用して実際の交点の座標を画像上で容易に算出することができる。
図8(a)では、アライメントマーク19cの背景が黒っぽく表示されている。これは、アライメントマーク19cのバンプ12aも、先に図4を用いて説明したコンタクト用のバンプ12と同様に、薄膜15の裏面の銅薄膜16をバンプ周囲部分のみ残して形成した場合である。上述したようにバンプ付薄膜13の裏側には局在型異方導電ゴム10があり、この局在型異方導電ゴム10は一般に黒っぽい色であるため、アライメントマーク19cの背景に薄膜15を透して局在型異方導電ゴム10が黒っぽく表示される。この場合、画像処理によってもバンプ12aの外形境界部分が明瞭に画像に映り出されず、取り込み誤差を発生させる恐れがある。最悪の場合、画像が取り込めないエラーになる恐れもある。
前述したように、バンプ付薄膜13は、その製造過程で応力緩和によるバンプ再配置が起こり、そのバンプ再配置はバンプ付薄膜13の全面で均一に起こらず偏ることもあるし、コンタクト後の検査装置での125℃程度の加熱を繰り返すことで偏りが更に拡大することもある。そのため、バンプ位置精度の管理は、コンタクトプローブ11の製造時だけでなく、コンタクト直前にも常に必要である。規格の位置精度からはずれたコンタクトプローブ11を使用すると、コンタクト対象の電極4からバンプ12が外れることとなるので、正規の検査が出来ないばかりか、電極4以外のところにバンプ痕が残り、その部分の半導体チップが不良品となる場合もある。
2 半導体チップ領域
3 半導体チップ
4 電極
6 プローブカード
9 ガラス基板
10 局在型異方導電ゴム
11 コンタクトプローブ
12,12a バンプ
13 バンプ付薄膜フィルム
14 セラミックスリング
15 薄膜
16 銅薄膜
19 アライメントマーク
19a,19b,19c アライメントマーク
Claims (3)
- 半導体ウエハに形成された複数の半導体集積回路素子の電気特性を一括して検査するためのプローブカードであって、前記複数の半導体集積回路素子の検査用電極の全数に同時にコンタクトさせるための複数のバンプが形成され、剛性リングに保持されたバンプ付き薄膜を有し、前記バンプ付き薄膜に、前記コンタクト用のバンプと同時に形成されたバンプよりなるアライメントマークが付加され、該アライメントマークの背面側に、認識カメラを用いた画像処理でバンプと明暗差を生じる薄膜がアライメントマークよりも大きく設けられたプローブカード。
- アライメントマークが、複数のバンプを配列して形成された請求項1記載のプローブカード。
- アライメントマークが、コンタクト用のバンプの形成領域よりも外周側に、バンプ付き薄膜のセンターに関して互いに対称な2個を1組として、少なくとも2組形成された請求項1記載のプローブカード。
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