JP4183411B2

JP4183411B2 - Liquid material discharge device

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Publication number: JP4183411B2
Application number: JP2001338445A
Authority: JP
Inventors: 直也後藤
Original assignee: Apic Yamada Corp
Current assignee: Apic Yamada Corp
Priority date: 2001-11-02
Filing date: 2001-11-02
Publication date: 2008-11-19
Anticipated expiration: 2021-11-02
Also published as: JP2003137398A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液材吐出装置に関する。本発明は、例えば、チップを封止する樹脂封止装置に好適である。
【０００２】
【従来の技術】
電子機器に使用される半導体チップを製造するプロセスは、リソグラフィ技術によってウェハ上に回路を形成する前工程と、かかるウェハから半導体チップを製造する後工程とを含む。このうち後工程は、チップを保護するために液体吐出装置（以下、「ディスペンサ」という。）から熱硬化性樹脂等の液材を、チップを覆う型に流し込んでチップを封止する封止工程を含む。十分な封止を確保するためには、ディスペンサからチップに供給される液材の量を所期の量に維持する必要がある。
【０００３】
以下、図１１及び図１２を参照して、従来のディスペンサについて説明する。ここで、図１１は、従来のディスペンサ６００の概略断面図である。図１２は、ディスペンサ６００の動作を示す図である。図１１に示すように、ディスペンサ６００は、液材６１２を収容してディスペンサ６００と着脱可能な液材供給容器６１０と、三つの流路６３２乃至６３６を有して液材６１２の流れを制御する三方向弁６３０と、液材６１２の充填及び吐出を行うプランジャ（又はシリンダ）６４０と、プランジャ６４０の支持及び液材６１２を収容するシリンダブロック６５０とを有する。ディスペンサ６００は吐出口６２４から液材６１２を滴下して下段のチップに液材を供給してこれを封止する。
【０００４】
ディスペンサ６００は吐出動作を開始する前に、図１２を参照して以下に説明するようなエア抜き動作を行う。エア抜き動作はディスペンサ６００内のエアを除去して所期の量の液材供給を確保するために行われる。
【０００５】
まず、図１１及び図１２（ａ）に示すように、加圧エアが上部から与えられた液材供給容器６１０を供給口６２２に接続する。三方向弁６３０は、流路６３２が供給口６２２に連通し、流路６３４がプランジャ６４０に連通し、流路６３６が閉口するように、配置される。プランジャ６４０は最下位置に配置される。次に、図１２（ｂ）に示すように、三方向弁６３０の姿勢を維持したままでプランジャ６４０を上方に摺動し、液材６１２をディスペンサ６００内に流入させ、シリンダブロック６５０内に液材６１２を充填させる。
【０００６】
液材６１２の充填後、図１２（ｃ）に示すように、三方向弁６３０を時計回りに９０度回転させてバルブの切り替えを行う。これにより、流路６３２がプランジャ６４０に連通し、流路６３４が閉口し、流路６３６が吐出口６２４に連通する。次に、図１２（ｄ）に示すように、プランジャ６４０を下方に摺動することによって吐出口６２４から液材６１２を吐出する。この液滴は、ディスペンサ６００内にエアが混入して所期の吐出量が得られていないために廃棄される。
【０００７】
その後、三方向弁６３０を反時計回りに９０度回転させて、図１２（ｅ）に示す状態にする。図１２（ｅ）に示す状態は、図１２（ａ）に示す状態と比較すると、流路６３４に液材６１２が充填されている点、供給口６２２から流路６３２まで液材６１２が充填されている点で異なっている。次に、図１２（ｂ）と同様に、三方向弁６３０の姿勢を維持したままで、図１２（ｆ）に示すように、プランジャ６４０を上昇させて液材６１２をシリンダブロック６５０内に充填させる。図１２（ｅ）は、上述したように図１２（ａ）よりもエア抜きがなされているので、図１２（ｆ）は図１２（ｂ）よりも多量の液材６１２がシリンダブロック６５０に充填されている。
【０００８】
次に、図１２（ｃ）と同様に、液材６１２の充填後、図１２（ｇ）に示すように、三方向弁６３０を時計回りに９０度回転させてバルブの切り替えを行う。次に、図１２（ｄ）と同様に、図１２（ｈ）に示すように、プランジャ６４０を下方に摺動することによって吐出口６２４から液材６１２を吐出する。この液滴も、ディスペンサ６００内にエアが混入して所期の吐出量が得られていないために廃棄される。その後、三方向弁６３０を反時計回りに９０度回転させて、図１２（ｉ）に示す状態にする。図１２（ｉ）に示す状態は、図１２（ｅ）に示す状態と比較すると、流路６３６に液材６１２が充填されている点で異なっている。図１２（ｉ）に示す状態でエア抜きがようやく終了して封止工程が開始する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
このように、従来のディスペンサ６００は、エア抜き動作に時間がかかり、エア抜きで生じる廃液が多く、所期の量の液材を迅速にチップに供給することができなかった。また、上述のエア抜き動作を行っても、図１２（ｉ）に示すように、停留エア６３７及び６３８が発生してエア抜きが不確実である。更に、液材の種類を交換する場合にはディスペンサ内の停留液材の排出を行う必要があるが、プランジャ動作だけではエアの圧縮性のために完全に排出することができなく、また、エア排出を行ったとしても停留液材があるため完全に液材を排出することができなく時間もかかってしまう。また、液材の排出直前にエアによって液材が飛散する問題もある。これに対してディスペンサを分解すれば液材を確実に排出することはできるが、これでは煩雑である。
【００１０】
そこで、本発明は、所期の量の液材を短時間で確実に吐出することができると共に液材を迅速、容易かつ確実に交換可能な液材吐出装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明の一側面としての液材吐出装置は、液材供給容器を接続可能な供給口と液材を吐出する吐出口とを連通する流路を開閉する第１の開閉機構と、前記流路を開閉し、前記第１の開閉機構よりも下流に設けられた第２の開閉機構と、前記第１及び第２の開閉機構との間に設けられて前記液材を前記吐出口から吐出させるピストンと、を有する液材吐出装置において、前記第１の開閉機構は、第１の貫通孔を有する第１の開閉部と、前記第１の開閉部を支持する第１の支持部と、を有し、前記第１の貫通孔は、前記第１の開閉部が前記第１の支持部内を移動することによって前記流路に接続することができ、前記第２の開閉機構は、第２の貫通孔を有する第２の開閉部と、前記第２の開閉部を支持する第２の支持部と、を有し、前記第２の貫通孔は、前記第２の開閉部が前記第２の支持部内を移動することによって前記流路に接続することができ、前記ピストンは、プランジャと、前記プランジャと接触することができる固定ブロックと、前記プランジャと前記固定ブロックとを支持するシリンダブロックと、を有し、前記プランジャは、シリンダブロック内で軸方向に摺動可能であり、前記固定ブロックに接触したときに、前記プランジャと前記固定ブロックとで前記流路に接続する第３の貫通孔を形成することを特徴とする。かかる液材吐出装置によれば、供給口から吐出口までを連通流路とすることで流路に液材が引っかかることがなく停留液材の発生を防止することができるので、所定量の液材を確実に吐出することができる。また、連通状態とすることで初期動作時に流路内に停留するエアや余分な液材を容易に排出することも可能であり、所定量の液材を継続的に吐出することができる。これにより、例えば、チップに供給される液材の量を所期の量に維持することができ、結果として高品位な製品を提供することができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の例示的一態様である液材吐出装置について説明する。ただし、本発明はこれらの実施例に限定するものではなく、本発明の目的が達成される範囲において、各構成要素が代替的に置換されてもよい。
【００２８】
本発明に係る液材吐出装置１００の概略断面図を図１に示す。液材吐出装置１００は、ＩＣチップの配線を保護するためにチップを封止する熱硬化性樹脂などの液材１１２を供給する装置であり、液材供給容器１１０と、流路１２０と、供給口側開閉機構１３０と、ピストン１４０と、吐出口側開閉機構１９０とから構成される。かかる構成において、流路１２０の一端には液材供給容器１１０が接続され、流路１２０には液材供給容器１１０の接続された側から順に供給口側開閉機構１３０、ピストン１４０、吐出口側開閉機構１９０が流路１２０を貫通するように設けられている。
【００２９】
液材供給容器１１０は、チップを封止するための熱硬化性樹脂等の液材１１２を収容するものであり、上部１１４に加圧エアを送るための口と下部１１６に供給口と接続するための口を有している。下部１１６に設けられた口は、流路１２０に接続可能となるよう同一の断面積に形成されるが、継ぎ手などを利用することで任意の大きさの口を接続することもできる。
【００３０】
流路１２０は、液材吐出装置１００において液材供給容器１１０からチップまで液材１１２を通過させる部位であり、その端部に供給口１２２と吐出口１２４とを有する。また、流路１２０は、一定の断面積を有している。本実施例においては、流路１２０は断面形状が円形をしているがこれに限定されず、多角形などとして実現されても良い。供給口１２２は液材供給容器１１０を接続し流路１２０に液材１１２を供給する部位であり、吐出口１２４は流路１２０を介し押し出された液材１１２を吐出する部位である。
【００３１】
なお、上述したように流路１２０を同一断面積、更には図１又は図１３に示すように流路を直線とすることで、流路内のクリーニングを容易に行うことができメンテナンス性の向上にも寄与する。ここで、図１３は、図１に示す流路１２０又はピストン１４０のクリーニングの様子を示した概略断面図である。
【００３２】
更に、流路１２０は、図１４の（ａ）の流路１２０ａに示すように流路断面積が漸減してもよい。かかる流路１２０ａによれば、流路が漸減することにより供給口１２２側の流路径が大きいほどそれより下流に位置する流路１２０内の液材の流速を速くすることができるので、ピストン１４０に液材を貯留する時間を早めることができる。これにより、液剤吐出の動作時間を短縮することができるので、スループットの向上に寄与する。また、吐出口１２４側の流路径は小さくなるので、吐出口１２４の液切れを良好なものとすることができる。更に、図１４の（ｂ）の流路１２０ｂに示すように、流路の一部に同一断面積又は漸減する流路を設けてもよい。かかる流路形状であっても、上述した同一断面積の流路または漸減する流路と同一の作用を奏することができる。また、本発明において、上述した同一断面積の流路、漸減する流路、及び流路の一部が同一断面積又は漸減する流路であっても、流路の連通状態を維持するものであることは明らかである。ここで、図１４は、図１に示す流路１２０の変形例を示す概略断面図である。
【００３３】
供給口側開閉機構１３０は、液材供給容器１１０からの液材１１２の流れを調節するもので、開閉部１３２と支持部１３６とを有する。供給口側開閉機構１３０は、流路１２０を貫通するように設けられており、中空円筒形をした支持部１３６が流路１２０に接続されている。そして支持部１３６の中空領域１３７に円筒形の開閉部１３２が挿入されている。また、開閉部１３２は、支持部１３６に支持され軸方向に摺動または軸回転することができる。
【００３４】
開閉部１３２は、液材供給容器１１０からの液材１１２の流れを調節するものである。開閉部１３２は、円筒形をしており支持部と接触する円筒面１３３の中央に開閉部１３２を貫通する孔１３４を有する。孔１３４は、例示的に開閉部１３２の中央に設けられている。
【００３５】
孔１３４は、流路１２０に接続することで液材１１２を通過させる。孔１３４は、開閉部１３２を貫通するように設けられ供給口１２２と吐出口１２４とを連通する流路１２０と同一の断面積及び形状をしている。
【００３６】
支持部１３６は、開閉部１３２を支持するものである。支持部１３６は流路１２０に接着点１３８ａ、１３８ｂ、１３８ｃ、１３８ｄで接続されており、一対の中空円筒がそれぞれ中心軸を一致するように流路１２０に対して接続される。支持部１３６は、例えば、溶接などにより流路１２０に接続されている。支持部１３６は中空円筒形をしており、中空領域１３７に開閉部１３２を挿入できるようになっている。
【００３７】
ピストン１４０は、液材１１２をシリンダブロック１５０に充填させたり液材１１２を吐出させるものである。ピストン１４０はプランジャ１６０と、シリンダブロック１５０と、固定ブロック１７０、と孔１８０とを有し、流路１２０を貫通するように設けられている。ピストン１４０は、流路１２０を挟むように配置されている固定ブロック１７０とプランジャ１６０をシリンダブロック１５０が内装している。
【００３８】
シリンダブロック１５０は、プランジャ１６０を支持するものである。シリンダブロック１５０は中空円筒形をしており流路１２０と交差する接着点１５４ａ、１５４ｂ、１５４ｃ、１５４ｄにおいて溶接され、流路１２０を貫通するように配置される。また、シリンダブロック１５０の中空領域１５２に固定ブロック１７０を設置し、プランジャ１６０を挿入する。
【００３９】
プランジャ１６０は、液材１１２を装置内に充填させたり、液材１１２を押して吐出させたりするものである。プランジャ１６０は、固定ブロック１７０と接触する面１６２に流路１２０と同一の断面積をした孔１８０の半断面１８０ａを有する。また、プランジャ１６０は、軸方向に摺動することができる。
【００４０】
固定ブロック１７０は、中空円筒形をしているシリンダブロック１５０の中空領域１５２に設置される。固定ブロック１７０は、プランジャ１６０を最も流路１２０側に移動させた時にシリンダブロック１５０の中空領域１５２から液材１１２が漏れるのを防止すると共にプランジャ１６０をくい止める役目をしている。また、プランジャ１６０と接触する面１７２に流路１２０と一致させ接続するための孔１８０の半断面１８０ｂを有する。
【００４１】
孔１８０は、特に使用開始時に行うエア抜きの際にプランジャ１６０を固定ブロック１７０に押し当てた状態のままでも液材１１２を通過させることができるようにするものである。孔１８０は、プランジャ１６０側に設けられた半断面１８０ａと固定ブロック１７０側に設けられた半断面１８０ｂとが組み合わさって流路と同一形状の孔１８０が構成される。また、孔１８０の断面積は、流路１２０の断面積と同一である。
【００４２】
吐出口側開閉機構１９０は、装置内に充填された液材１１２を閉じ込めたり吐出する部位である。吐出口側開閉機構１９０は、供給口側開閉機構１３０と同様に開閉部１９２と支持部１９６から構成される。吐出口側開閉機構１９０は、流路１２０を貫通するように設けられており、中空円筒形をした支持部１９６の中空部１９７に円筒形の開閉部１９２が挿入される構造を有している。
【００４３】
開閉部１９２は、装置内の液材１１２を通過させたり遮断したりするものである。開閉部１９２は、支持部１９６と接触する円筒面１９７の中央に開閉部１９２を貫通する孔１９４を有する。本実施例においては、孔１９４を開閉部１９２の中央に設けたがこれに限定されない。また、開閉部１９２は、軸方向に摺動または軸回転することができる。
【００４４】
孔１９４は、流路１２０に接続することで液材１１２を通過させる。孔１９４は、開閉部１９２を貫通するように設けられ供給口１２２と吐出口１２４とを連通する流路１２０と同一の断面積及び形状をしている。
【００４５】
支持部１９６は、開閉部１９２を支持するものである。流路１２０と交差する接着点１９８ａ、１９８ｂ、１９８ｃ、１９８ｄで溶接され、流路１２０を貫通するように配置されている。また、支持部１９６は中空円筒形をしており、中空部１９７に開閉部１９２を挿入できるようになっている。
【００４６】
次に図２を参照して動作について説明する。装置１００内にエアが混入していると、液材１１２が均一な量吐出されなかったり、吐出時にエアにより液材１１２が飛散するなどの問題が起こるため、装置１００を使用する前には装置１００内のエアを取り除くエア抜きの作業を行う必要がある。
【００４７】
そこで、本発明の液材吐出装置１００は、図２（ａ）に示すように供給口側の開閉機構１３０と吐出口側の開閉機構１９０の開閉部１３２、１９２に設けられているそれぞれの孔１３４、１９４を開閉部１３２、１９２を軸方向に摺動または軸回転させて流路１２０と合致する位置に合わせる。また、ピストン１４０のプランジャ１６０を固定ブロック１７０に押し当てピストン１４０に設けられている孔１８０も流路１２０と一致させる。そして、ＩＣチップを封止するための液材１１２を収容している液材供給容器１１０を供給口１２２に接続して、液材供給容器１１０の上部１１４に加圧エアを与えながら液材１１２を装置１００内に流入させ、装置１００内に混入していたエアを液材１１２によって装置１００外に押し出すという工程を繰り返しエア抜きを行う。
【００４８】
この時、供給口１２２から吐出口１２４までを連通する流路１２０は、一定の流路断面積をしているので粘性を持った液材１１２であったとしても凹凸部に液材１１２が引っかかり停留してしまうということがない。よって、停留液材によって閉じ込められてしまうエアが発生しないので、エア抜きに要する液材１９２も少量ですみ、要する時間も短くすることができる。
【００４９】
次に、吐出動作について説明する。上記手順によりエア抜きが行われたら、図２（ｂ）に示すように吐出口側の開閉機構１９０に設けられた開閉部１９２を軸方向に摺動または軸回転させて、開閉部１９２に設けられている孔１９４が流路１２０と一致しないようにずらし開閉部１９２の円筒表面１９３で流路１２０を塞ぐ。その際、供給口側開閉機構１３０の開閉部１３２に設けられた孔１３４は流路１２０と合致させ、ピストン１４０に設けられた孔１８０は、プランジャ１６０を固定ブロック１７０に押し当て孔１８０が流路１２０と合致し流路１２０が開いた状態にしている。開閉機構１３０，１９０及びピストン１４０をこのように配置することで液材１１２は供給口１２２、供給口側開閉機構１３０、ピストン１４０の順に通過し吐出口側開閉機構１９０によってせき止められるのである。
【００５０】
次に、図２（ｃ）に示すように液材供給容器１１０の上部１１４より加圧エアを与えつつ、ピストン１４０のプランジャ１６０を引き出すように軸方向に摺動させることで液材１１２をシリンダブロック１５０に充填させる。必要量の液材１１２を充填したら図２（ｄ）に示すように供給口側開閉機構１３０の開閉部１３２を軸方向に摺動又は軸回転させて開閉部１３２に設けられている孔１３４を流路１２０からずらして液材供給容器１１０からの液材１１２をくい止め充填を終了する。
【００５１】
次に図２（ｅ）に示すように吐出口側開閉機構１９０の開閉部１９２に設けられている孔１９４を、開閉部１９２を軸方向に摺動または軸回転させて流路１２０と一致させ開ける。そして、図２（ｆ）に示すようにピストン１４０のプランジャ１６０を押すように軸方向に摺動させ、液材１１２を吐出口１２４から吐出させる。供給口側開閉機構１３０、吐出口側開閉機構１９０及びピストン１４０に設けられた孔１３４、１９４、１８０はすべて供給口１２２から吐出口１２４を連通する流路１２０と同じ断面積及び形状をしているため、孔１３４、１９４、１８０と流路１２０との接触部１３５、１９５、１８２に凹凸ができないので粘性を持った液材１１２でも停留することがなく確実に液材１１２を吐出させることができる。
【００５２】
再び液材の吐出作業を行う際には、図２（ｇ）に示すように吐出口側開閉機構１９０の開閉部１９２を軸方向に摺動または軸回転させて、開閉部１９２に設けられている孔１９４を流路１２０からずらし、図２（ｈ）に示すように供給口側開閉機構１３０の開閉部１３２を軸方向に摺動または軸回転させて、開閉部１３２に設けられている孔１３４を流路と一致させる。そして、以下図２（ｂ）乃至（ｇ）の工程を繰り返す。
【００５３】
作業終了時や液材１１２の種類を交換する時は、図２（ａ）に示すように供給口側開閉機構１３０の孔１３４と吐出口側開閉機構１９０の孔１９４は、それぞれの開閉部１３２、１９２を軸方向に摺動または軸回転させて流路１２０と一致させる。また、ピストン１４０に設けられた孔１８０も流路１２０と一致させるようにプランジャ１６０を固定ブロック１７０に押し当てた状態にする。そして、供給口１２２からエアを流してエアによって装置内に残留している液材１１２を押し出す。もしくは、流路１２０に棒を挿入して残留している液材１１２を掻き出すという方法もある。
【００５４】
以上のように本発明の液材吐出装置１００は、２つの開閉機構１３０、１９０の間にピストン１４０を設け、開閉機構１３０、１９０及びピストン１４０にそれぞれ流路１２０と接続するための孔１３４、１８０、１９４を有することで流路１２０内に残留しているエア及び液材１１２を容易に取り除くことができる。また、プランジャ１６０を流路側に最も移動した時にプランジャ１６０が流路１１２と接する位置になるように摺動可能にすることで液材１１２を完全に吐出することができるようにしている。また、供給口１２２から吐出口１２４までを連通する流路１２０が凹凸部のない一定の断面積をしていることから、粘性を持った液材１１２を流しても液材１１２が凹凸部に引っかかり停留することがない。よって、充填した一定量の液材１１２を確実に吐出させることができるのである。
【００５５】
次に、本発明の別の実施形態である液材吐出装置２００について説明する。図３（ａ）に本発明に係る液材吐出装置２００の概略図、図３（ｂ）にピストン２２０の円筒面展開図及び液材吐出装置２００の断面図を示す。図３に示す液材吐出装置２００は、中空円筒形のシリンダ２１０と円筒形のピストン２２０とを有し、シリンダ２１０の中空部２１３にピストン２２０を挿入した構造をしている。なお、上述した液材吐出装置１００と同一の構成については同一の参照符号を使用し、詳述は省略するものとする。
【００５６】
シリンダ２１０は、ピストン２２０を支持するものである。シリンダ２１０は、円筒形をしており軸と平行に位置する円筒面２１２に９０度の間隔をあけて供給口２１４と吐出口２１６を有している。また、シリンダ２１０は軸回りに回転することができる。供給口２１４は、図１を用いて説明した液材供給容器１１０を接続する部位である。吐出口２１６は、液材１１２を吐出する部位である。
【００５７】
ピストン２２０は、液材１１２を充填させたり液材１１２を押しだし吐出させるものである。ピストン２２０は、円筒形をしており軸と平行に位置する円筒面２２２に９０度の間隔をあけて２本の溝２２４を、軸に対して垂直に位置する底面２２８に円筒面２２２に設けられた２本の溝２２４を連結するための第３の溝２２５が設けられている。また、ピストン２２０は軸回転または軸方向に摺動することができる。溝２２４、２２５は、液材１１２を供給口２１４から吐出口２１６に送る流路の役目をしている。溝２２４は、ピストン２２０を完全にシリンダ２１０に押し入れた時に、溝２２４の上端２２６に供給口２１４もしくは吐出口２１６が位置するような長さになっている。
【００５８】
以下、液材吐出装置２００の動作について説明する。液材吐出装置２００の使用を開始する際には、装置２００内に混入しているエアを取り除く必要がある。エア抜きを行うときには、図４（ａ）に示すようにピストン２２０またはシリンダ２１０を軸回転させて供給口２１４と吐出口２１６の両方がピストン２２０に設けられた２本の溝２２４上にそれぞれ一致するように配置し、供給口２１４から吐出口２１６までを連通する。そして、供給口２１４から液材１１２を流し入れることで、液材１１２によって装置内に混入していたエアを押し出すことができる。
【００５９】
次に、吐出動作について説明する。上記手順によりエア抜きが行われたら、液材吐出装置２００は、液材１１２を収容している液材供給容器１１０をシリンダ２１０に設けられた供給口２１４に接続し、図４（ｂ）に示すように供給口２１４のみがピストン２２０に設けられた溝２２４上にのるようにピストン２２０またはシリンダ２１０を軸回転させて位置を合わせる。そして、図４（ｃ）に示すようにピストン２２０を上昇させるように軸方向に摺動させて液材１１２をシリンダ２１０内に充填する。このように供給口２１４のみに溝２２４をあわせることで、液材１１２を充填時に吐出口２１６から液材１１２が漏れないようにする。必要量の液材１１２を充填したら、図４（ｄ）に示すようにピストン２２０を反時計回りに１８０度回転させて（またはシリンダ２１０を時計回りに）、吐出口２１６のみが１本の溝２２４上にくるように配置して充填を停止する。そして、図４（ｅ）に示すようにピストン２２０を下降させることにより吐出口２１６から液材１１２を吐出させる。充填後、吐出口２１６にのみに溝２２４をあわせることで、液材１１２が供給口２１４から漏れるのを防ぎ、充填した液材１１２を確実に吐出口２１６から吐出させることができるようにしている。再び液材１１２の充填を行う際には、図４（ｆ）に示すように供給口２１４のみがピストン２２０に設けられた溝２２４上にのるようにピストン２２０またはシリンダ２１０を軸回転させて位置を合わせ、以下図４（ｂ）乃至（ｅ）の工程を繰り返す。
【００６０】
また、液材１１２を排出する際にも、供給口２１４と吐出口２１６の両方がピストン２２０に設けられた２本の溝２２４上にそれぞれ一致するように配置し、供給口２１４からエアを流すことで装置内に残留している液材１１２を押し出すことができる。
【００６１】
次に、本発明液材吐出装置２００の変形例である液材吐出装置２００ａについて説明する。ここで、図５（ａ）に本発明に係わる液材吐出装置２００ａの概略図、図５（ｂ）にピストン２２０の円筒面展開図及び液材吐出装置２００ａの断面図を示す。なお、上述した液材吐出装置２００と同一な構成については同一な参照符号を使用する。かかる図５に示す液材吐出装置２００ａは、図３に示した実施例とはシリンダ３１０に設けられた供給口３１４と吐出口３１６の間隔が１８０度である点が異なる。
【００６２】
本実施例の液材吐出装置２００ａは、中空円筒形のシリンダ３１０と円筒形のピストン２２０とを有する。そして、シリンダ３１０の中空部３１３にピストン２２０を挿入した構造をしている。
【００６３】
シリンダ３１０は、ピストン２２０を支持するものである。また、シリンダ３１０は中空円筒形をしておりピストン２２０を挿入するための中空部３１３を有し、軸に平行に位置する円筒面３１２に１８０度の間隔をあけて供給口３１４と吐出口３１６を有している。シリンダ３１０は、軸回転することができる。ピストン２２０は、円筒形をしており液材１１２を充填させたり液材１１２を押しだし吐出させるものである。
【００６４】
ピストン２２０は、軸に平行に位置する円筒面２２２に９０度の間隔をあけて２本の溝２２４が設けられており、軸に垂直に位置する底面２２８には円筒面２２２に設けられた２本の溝２２４を連結するための第３の溝２２５が設けられている。また、ピストン２２０は軸回転または軸方向に摺動することができる。
【００６５】
以下、動作を説明すると、液材吐出装置２００ａを使用開始する際には、装置内に混入しているエアを取り除く必要がある。エア抜きを行うときには、図６（ａ）に示すように供給口３１４及び吐出口３１６の両方に溝２２４がほぼ一致するような位置に合わせる。これにより、供給口３１４から吐出口３１６までがほぼ一本に連通するので、液材供給容器１１０をシリンダ３１０に設けられた供給口３１４に接続する。そして、液材供給容器１１０の上部から加圧エアを加えることで、供給口３１４から液材１１２を流入し、吐出口３１６から液材１１２を排出することにより、容易にエア抜きを行うことができる。
【００６６】
次に、吐出動作について説明する。上記手順によりエア抜きが行われたら、図６（ｂ）に示すように供給口３１４のみがピストン２２０に設けられた溝２２４上にのるようにピストン２２０またはシリンダ３１０を軸回転させて位置を合わせる。
【００６７】
そして、図６（ｃ）に示すようにピストン２２０を上昇させるように軸方向に摺動させて液材１１２をシリンダ３１０内に充填する。このように供給口３１４のみに溝２２４を合わせることで、液材１１２を充填時に吐出口３１６から液材１１２が漏れないようにする。必要量の液材１１２を充填したら、図６（ｄ）に示すようにピストン２２０を時計回りに９０度回転させて（またはシリンダ３１０を反時計回りに９０度回転させて）、吐出口３１６のみが１本の溝２２４上に来るように配置して充填を停止する。そして、ピストン２２０を下降させることにより吐出口３１６から液材１１２を吐出させるが、次の工程から液材供給容器１１０が常時エア加圧可仕様であるかエア加圧不可仕様かで異なる。
【００６８】
常時エア加圧不可仕様の時は、図６（ｅ）に示すようにピストン２２０をシリンダ３１０に突き当てるまで下降させて液材１１２を吐出させる。そして、吐出終了後、図６（ｆ）に示すようにピストン２２０またはシリンダ３１０を反時計回りに９０度回転させ供給口３１４のみに溝２２４を合わせる。一方、常時エア加圧可仕様の時は、図６（ｇ）に示すようにピストン２２０をシリンダ３１０に突き当てるまで下降させないで液材１１２を吐出させる。そして、吐出終了後、図６（ｈ）に示すようにピストン２２０またはシリンダ３１０を反時計回りに９０度回転させ供給口３１４のみに溝２２４をあわせる。以上の工程により均一な量の液材１１２を確実に吐出することができる。再び液材１１２の充填を行う時には、図６（ｃ）乃至（ｆ）または図６（ｃ）乃至（ｈ）の工程を繰り返す。
【００６９】
また、液材１１２を排出する際にも、エア抜きと同様の位置関係にし、供給口３１４からエアを流すことで装置内に残留している液材１１２を押し出す。
【００７０】
次に、本発明の別の実施形態である液材吐出装置４００について説明する。図７（ａ）に本発明に係る液材吐出装置４００の概略図、図７（ｂ）にバルブ４３０の円筒面展開図及び液材吐出装置４００の断面図を示す。なお、図１に示す液材吐出装置１００と同一な構成には同一の参照符号を付与し、ここでの詳細な説明は省略する。図７に良く示されるように、液材吐出装置４００は、ピストン４１０とシリンダ４２０とバルブ４３０とから構成され、中空円筒形のシリンダ４２０の中空部４２３に円筒のバルブ４３０と同じく円筒のピストン４１０が挿入されている構造をしている。
【００７１】
ピストン４１０は、円筒形をしており、軸方向に摺動することで液材１１２を充填したり、吐出させるものである。
【００７２】
シリンダ４２０は、中空円筒形をしておりピストン４１０を支持し、充填した液材１１２を収容するものである。シリンダ４２０は、軸に平行に位置する円筒面４２２に９０度の間隔をあけて供給口４２４と吐出口４２６とを有する。供給口４２４は、液材供給容器１１０を接続してシリンダ４２０に液材１１２を供給する部位である。吐出口４２６は、液材１１２を吐出する部位である。
【００７３】
バルブ４３０は、液材１１２の流れを調整するものであり、軸回転することができる。また、バルブ４３０は、軸に平行に位置する円筒面４３２に、９０度の間隔をあけて２本の溝４３４を有している。溝４３４は、供給口４２４から吐出口４２６に液材１１２を送るものであり、シリンダ４２０に設けられている供給口４２４もしくは吐出口４２６と同じ高さの位置から、ピストン４１０と接触する面４３６まで設けられており、バルブ４３０のピストン４１０との接触面４３６において、２本の溝４３４はつながっている。
【００７４】
以下、動作を説明する。液材吐出装置４００を使用開始する際には、装置４００内に混入しているエアを取り除く必要がある。エア抜きを行うときには、図８（ａ）に示すように、供給口４２４と吐出口４２６の両方に溝４３４がそれぞれ一致するようにバルブ４３０を軸回転させて位置を合わせる。これにより、供給口４２４から吐出口４２６までが一本に連通するので、液材１１２を供給口４２４から流入させるだけで、容易にエア抜きを行うことができる。また、バルブ４３０に設けられている溝４３４の径は供給口４２４及び吐出口４２６の口径に等しいので、液材１１２が漏れたり凹凸部に液材１１２が引っかかり停留液材が発生することがない。よって、確実に短時間でエア抜きを行うことができる。
【００７５】
次に、吐出動作について説明する。上記手順によりエア抜きが行われたら、液材吐出装置４００は、液材１１２を収容している液材供給容器１１０をシリンダ４３０に設けられた供給口４２４に接続し、液材供給容器１１０の上部から加圧エアを加えることで、供給口４２４から液材１１２を装置内に流入させる。次に、図８（ｂ）に示すように供給口４２４のみがバルブ４３０に設けられた溝４３４上にのるようにバルブ４３０を軸回転させて位置を合わせる。供給口４２４のみに溝４３４をあわせることで、液材１１２を流入時に吐出口４２６から液材１１２が漏れないようにしている。
【００７６】
次に、図８（ｃ）に示すようにピストン４１０を軸方向に摺動させ上昇させることで液材１１２をシリンダ４２０内に充填する。必要量の液材１１２を充填したら、図８（ｄ）に示すようにバルブ４３０を時計回りに１８０度回転させ、溝４３４が吐出口４２６に一致するような位置にして充填を終了させる。そして、図８（ｅ）に示すようにピストン４１０を軸方向に摺動して下降させることで、液材１１２を吐出口４２６から吐出させる。再度、吐出を行う時は、図８（ｆ）に示すようにバルブ４３０を反時計回りに１８０度回転させ、供給口４２４に溝４３４が一致するようにし、以下図８（ｂ）乃至（ｅ）の工程を繰り返す。
【００７７】
液材１１２の排出を行う時も、エア抜きと同様の位置関係にし、供給口４２４からエアを流すことで装置内に残留している液材１１２を確実に押し出すことができる。
【００７８】
次に、図７に示す液材吐出装置４００の変形例である液材吐出装置４００ａについて説明する。図９（ａ）に本発明に係わる液材吐出装置４００ａの概略図、図９（ｂ）にバルブ４３０の円筒面展開図及び液材吐出装置４００ａの断面図を示す。図９に示す液材吐出装置４００ａは、図７に示した実施例とはシリンダ５２０に設けられた供給口５２４と吐出口５２６の間隔が１８０度である点が異なる。以下、説明において、液材吐出装置４００と同一な構成には同一な参照符号を用い、詳述は省略する。
【００７９】
本実施例の液材吐出装置は、ピストン４１０とシリンダ５２０とバルブ４３０とからなる。ピストン４１０は、液材１１２を押し出すもので円筒形をしており軸方向に摺動可能である。シリンダ５２０は、ピストン４１０を支持するもので中空円筒形をしており中空部５２３にピストン４１０及びバルブ４３０を挿入する。また、１８０度の間隔をあけて軸に平行に位置する円筒面５２２に供給口５２４と吐出口５２６を設けている。バルブ４３０は、液材の流れを調節するもので円筒形をしており円筒面４３２に９０度の間隔をあけて２本の溝４３４が設けてあり軸回転することができる。また、２本の溝４３４はバルブ４３０のピストン４１０と接触する面４３６において繋がっている。
【００８０】
以下、動作を説明する。まず、液材吐出装置４００ａの使用開始する際には、装置４００ａ内に混入しているエアを取り除く必要がある。エア抜きを行うときには、図１０（ａ）に示すように供給口５２４及び吐出口５２６の両方に溝４３４がほぼ一致するような位置に合わせる。これにより、供給口５２４から吐出口５２６までがほぼ一本に連通するので、液材１１２を供給口５２４から流入させるだけで、容易にエア抜きを行うことができる。
【００８１】
次に、吐出動作について説明する。上記手順によりエア抜きが行われたら、液材吐出装置４００ａは、液材１１２を収容する液材供給容器１１０を供給口５２４に接続し、液材供給容器１１０の上部から加圧エアを加えることで、供給口５２４から液材１１２を装置内に流入する。このとき図１０（ｂ）に示すように、供給口５２４のみがバルブ４３０に設けられた溝４３４上にのるようにバルブ４３０を軸回転させて位置を合わせる。供給口５２４のみに溝４３４をあわせることで、液材１１２を流入時に吐出口５２６から液材１１２が漏れないようにしている。
【００８２】
次に、図１０（ｃ）に示すようにピストン４１０を軸方向に摺動させ上昇させることで液材１１２をシリンダ５２０内に充填する。必要量の液材１１２を充填したら加圧エアを停止し、図１０（ｄ）に示すようにバルブ４３０を反時計回りに９０度回転させ、溝４３４が吐出口５２６に一致するような位置にして充填を終了させる。そして、図１０（ｅ）に示すようにピストン４１０を軸方向に摺動して下降させることで、液材１１２を吐出口５２６から吐出させる。再度、吐出を行う時は、図１０（ｆ）に示すようにバルブ４３０を時計回りに９０度回転させ、供給口５２４のみに溝４３４が一致するようにし、以下図１０（ｂ）乃至（ｅ）の工程を繰り返す。
【００８３】
液材１１２の排出を行う時も、エア抜きと同様の位置関係にし、供給口５２４からエアを流すことで装置内に残留している液材１１２を確実に押し出すことができる。
【００８４】
【発明の効果】
本発明によれば、装置内に停留液材を発生させないことでエア抜きに要する時間を短縮し、かつ、均一な量の液材を吐出することができる液材吐出装置を提案することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る液材吐出装置の概略図である。
【図２】本発明に係る液材吐出装置の動作を示す概略図である。
【図３】本発明に係る液材吐出装置の概略図である。
【図４】本発明に係る液材吐出装置の動作を示す概略図である。
【図５】本発明に係る液材吐出装置の概略図である。
【図６】本発明に係る液材吐出装置の動作を示す概略図である。
【図７】本発明に係る液材吐出装置の概略図である。
【図８】本発明に係る液材吐出装置の動作を示す概略図である。
【図９】本発明に係る液材吐出装置の概略図である。
【図１０】本発明に係る液材吐出装置の動作を示す概略図である。
【図１１】従来の液材吐出装置の概略断面図である。
【図１２】従来の液材吐出装置の動作を示す概略図である。
【図１３】本発明に係る流路及びピストンのクリーニングの様子を示した概略図である。
【図１４】図１に示す流路の変形例を示す概略断面図である。
【符号の説明】
１００液材吐出装置
１２０流路
１２２供給口
１２４吐出口
１３０供給口側開閉機構
１３２開閉部
１３４孔
１３６支持部
１４０ピストン
１５０シリンダブロック
１６０プランジャ
１７０固定ブロック
１８０孔
１８０ａ孔のプランジャ側半断面
１８０ｂ孔の固定ブロック側半断面
１９０吐出口側開閉機構
１９２開閉部
１９４孔
１９６支持部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a liquid material discharge device. The present invention is suitable, for example, for a resin sealing device that seals a chip.
[0002]
[Prior art]
A process for manufacturing a semiconductor chip used in an electronic device includes a pre-process for forming a circuit on a wafer by lithography and a post-process for manufacturing a semiconductor chip from the wafer. Among these steps, a post-process is a sealing process in which a liquid material such as a thermosetting resin is poured from a liquid discharge device (hereinafter referred to as “dispenser”) into a mold that covers the chip to protect the chip. including. In order to ensure sufficient sealing, it is necessary to maintain the amount of liquid material supplied from the dispenser to the chip at a desired amount.
[0003]
Hereinafter, a conventional dispenser will be described with reference to FIGS. 11 and 12. Here, FIG. 11 is a schematic sectional view of a conventional dispenser 600. FIG. 12 is a diagram illustrating the operation of the dispenser 600. As shown in FIG. 11, the dispenser 600 has a liquid material supply container 610 that contains the liquid material 612 and is detachable from the dispenser 600, and three flow paths 632 to 636, and controls the flow of the liquid material 612. It has a three-way valve 630, a plunger (or cylinder) 640 that fills and discharges the liquid material 612, and a cylinder block 650 that supports the plunger 640 and accommodates the liquid material 612. The dispenser 600 drops the liquid material 612 from the discharge port 624 and supplies the liquid material to the lower chip to seal it.
[0004]
The dispenser 600 performs an air bleeding operation as described below with reference to FIG. 12 before starting the discharge operation. The air bleeding operation is performed in order to remove the air in the dispenser 600 and ensure the supply of the desired amount of liquid material.
[0005]
First, as shown in FIG. 11 and FIG. 12A, a liquid material supply container 610 to which pressurized air is applied from above is connected to a supply port 622. The three-way valve 630 is disposed such that the flow path 632 communicates with the supply port 622, the flow path 634 communicates with the plunger 640, and the flow path 636 closes. The plunger 640 is disposed at the lowest position. Next, as shown in FIG. 12 (b), the plunger 640 is slid upward while maintaining the posture of the three-way valve 630, the liquid material 612 flows into the dispenser 600, and the liquid enters the cylinder block 650. Material 612 is filled.
[0006]
After filling the liquid material 612, the three-way valve 630 is rotated 90 degrees clockwise as shown in FIG. As a result, the flow path 632 communicates with the plunger 640, the flow path 634 closes, and the flow path 636 communicates with the discharge port 624. Next, as shown in FIG. 12D, the liquid material 612 is discharged from the discharge port 624 by sliding the plunger 640 downward. These droplets are discarded because air is mixed in the dispenser 600 and the desired discharge amount is not obtained.
[0007]
Thereafter, the three-way valve 630 is rotated 90 degrees counterclockwise to obtain the state shown in FIG. The state shown in FIG. 12E is different from the state shown in FIG. 12A in that the liquid material 612 is filled in the flow path 634 and the liquid material 612 is filled from the supply port 622 to the flow path 632. Is different in that. Next, as in FIG. 12B, the plunger 640 is raised and the liquid material 612 is filled into the cylinder block 650 as shown in FIG. 12F while maintaining the posture of the three-way valve 630. Let In FIG. 12E, as described above, since air is vented more than in FIG. 12A, FIG. 12F fills the cylinder block 650 with a larger amount of liquid material 612 than in FIG. 12B. Has been.
[0008]
Next, as in FIG. 12C, after filling the liquid material 612, the three-way valve 630 is rotated 90 degrees clockwise as shown in FIG. Next, as in FIG. 12D, as shown in FIG. 12H, the liquid material 612 is discharged from the discharge port 624 by sliding the plunger 640 downward. This droplet is also discarded because air is mixed into the dispenser 600 and the desired discharge amount is not obtained. Thereafter, the three-way valve 630 is rotated 90 degrees counterclockwise to obtain the state shown in FIG. The state shown in FIG. 12 (i) is different from the state shown in FIG. 12 (e) in that the liquid material 612 is filled in the flow path 636. In the state shown in FIG. 12 (i), the air bleeding is finally finished and the sealing process is started.
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
As described above, the conventional dispenser 600 takes time for the air venting operation, and a large amount of waste liquid is generated by the air venting, so that a predetermined amount of liquid material cannot be quickly supplied to the chip. Further, even if the above-described air bleeding operation is performed, as shown in FIG. 12 (i), the stationary air 637 and 638 are generated and the air bleeding is uncertain. Furthermore, when changing the type of the liquid material, it is necessary to discharge the retained liquid material in the dispenser. However, the plunger operation alone cannot be completely discharged due to the compressibility of the air. Even if the liquid is discharged, the liquid material cannot be completely discharged because of the retained liquid material, which takes time. There is also a problem that the liquid material is scattered by the air immediately before the liquid material is discharged. On the other hand, if the dispenser is disassembled, the liquid material can be reliably discharged, but this is complicated.
[0010]
Therefore, an object of the present invention is to provide a liquid material discharge device that can reliably discharge a predetermined amount of liquid material in a short time and can quickly, easily and reliably replace the liquid material.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
Book A liquid material discharge device according to an aspect of the invention is a supply port to which a liquid material supply container can be connected And liquid Dispensing material Mouth and Flow path The Open and close First An opening and closing mechanism; The liquid material is disposed between the first opening / closing mechanism, the second opening / closing mechanism provided downstream of the first opening / closing mechanism, and the discharge port. To discharge from piston When, The Have In the liquid material discharge device, The first opening / closing mechanism includes a first opening / closing part having a first through hole, and a first support part for supporting the first opening / closing part. The first opening / closing part can be connected to the flow path by moving in the first support part, and the second opening / closing mechanism includes a second opening / closing part having a second through hole; A second support portion that supports the second opening / closing portion, and the second through hole is formed in the flow path when the second opening / closing portion moves in the second support portion. The piston includes a plunger, a fixed block capable of contacting the plunger, and a cylinder block supporting the plunger and the fixed block, and the plunger is in the cylinder block. It is slidable in the axial direction with the fixed block When you touch, and forming a third through hole which connects the flow path between the plunger and the fixed block . According to such a liquid material discharge device, since the liquid material is not caught in the flow path by using the communication flow path from the supply port to the discharge port, it is possible to prevent the retention liquid material from being generated. The material can be discharged reliably. In addition, by setting the communication state, it is possible to easily discharge air and excess liquid material that remain in the flow path during the initial operation, and a predetermined amount of liquid material can be continuously discharged. Thereby, for example, the amount of the liquid material supplied to the chip can be maintained at an intended amount, and as a result, a high-quality product can be provided.
[0027]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, a liquid material discharge device which is an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to these examples, and each constituent element may be alternatively substituted as long as the object of the present invention is achieved.
[0028]
A schematic cross-sectional view of a liquid material discharge device 100 according to the present invention is shown in FIG. The liquid material discharge device 100 is a device that supplies a liquid material 112 such as a thermosetting resin that seals a chip in order to protect the wiring of the IC chip, and includes a liquid material supply container 110, a flow path 120, and a supply The port side opening / closing mechanism 130, the piston 140, and the discharge port side opening / closing mechanism 190 are configured. In this configuration, the liquid material supply container 110 is connected to one end of the flow path 120, and the supply port side opening / closing mechanism 130, the piston 140, and the discharge port side are sequentially connected to the flow path 120 from the side where the liquid material supply container 110 is connected. An opening / closing mechanism 190 is provided so as to penetrate the flow path 120.
[0029]
The liquid material supply container 110 accommodates a liquid material 112 such as a thermosetting resin for sealing a chip, and is connected to a port for sending pressurized air to the upper part 114 and a supply port to the lower part 116. Have a mouth for. The mouth provided in the lower part 116 is formed to have the same cross-sectional area so that it can be connected to the flow path 120, but a mouth of any size can be connected by using a joint or the like.
[0030]
The flow path 120 is a part through which the liquid material 112 passes from the liquid material supply container 110 to the chip in the liquid material discharge apparatus 100, and has a supply port 122 and a discharge port 124 at an end thereof. Moreover, the flow path 120 has a fixed cross-sectional area. In the present embodiment, the flow path 120 has a circular cross-sectional shape, but is not limited thereto, and may be realized as a polygon. The supply port 122 is a part that connects the liquid material supply container 110 and supplies the liquid material 112 to the flow path 120, and the discharge port 124 is a part that discharges the liquid material 112 extruded through the flow path 120.
[0031]
As described above, the flow path 120 has the same cross-sectional area, and the flow path is straight as shown in FIG. 1 or FIG. Also contributes. Here, FIG. 13 is a schematic cross-sectional view showing a state of cleaning the flow path 120 or the piston 140 shown in FIG.
[0032]
Further, the channel 120 may have a gradually reduced channel cross-sectional area as shown by the channel 120a in FIG. According to the flow channel 120a, the flow rate of the liquid material in the flow channel 120 positioned downstream from the supply port 122 can be increased as the flow channel diameter on the supply port 122 side increases as the flow channel gradually decreases. The time for storing the liquid material can be shortened. As a result, the operation time for discharging the liquid agent can be shortened, which contributes to an improvement in throughput. In addition, since the flow path diameter on the discharge port 124 side is reduced, it is possible to improve the liquid drainage of the discharge port 124. Furthermore, as shown in the flow path 120b of FIG. 14B, a part of the flow path may be provided with the same cross-sectional area or a gradually decreasing flow path. Even with such a channel shape, the same action as the channel having the same cross-sectional area or the gradually decreasing channel can be obtained. Further, in the present invention, the flow path having the same cross-sectional area described above, the gradually decreasing flow path, and the flow path maintaining a continuous state even if a part of the flow path has the same cross-sectional area or a gradually decreasing flow path. It is clear that there is. Here, FIG. 14 is a schematic cross-sectional view showing a modification of the flow path 120 shown in FIG.
[0033]
The supply port side opening / closing mechanism 130 adjusts the flow of the liquid material 112 from the liquid material supply container 110, and includes an opening / closing portion 132 and a support portion 136. The supply port side opening / closing mechanism 130 is provided so as to penetrate the flow path 120, and a support portion 136 having a hollow cylindrical shape is connected to the flow path 120. A cylindrical opening / closing part 132 is inserted into the hollow region 137 of the support part 136. The opening / closing part 132 is supported by the support part 136 and can slide or rotate in the axial direction.
[0034]
The opening / closing part 132 adjusts the flow of the liquid material 112 from the liquid material supply container 110. The opening / closing part 132 has a cylindrical shape and has a hole 134 that penetrates the opening / closing part 132 at the center of the cylindrical surface 133 that contacts the support part. The hole 134 is exemplarily provided in the center of the opening / closing part 132.
[0035]
The hole 134 allows the liquid material 112 to pass through by being connected to the flow path 120. The hole 134 is provided so as to penetrate the opening / closing part 132, and has the same cross-sectional area and shape as the flow path 120 that communicates the supply port 122 and the discharge port 124.
[0036]
The support part 136 supports the opening / closing part 132. The support 136 is connected to the flow path 120 at adhesion points 138a, 138b, 138c, and 138d, and is connected to the flow path 120 so that the pair of hollow cylinders coincide with the central axis. The support part 136 is connected to the flow path 120 by welding etc., for example. The support portion 136 has a hollow cylindrical shape, and the opening / closing portion 132 can be inserted into the hollow region 137.
[0037]
The piston 140 fills the cylinder block 150 with the liquid material 112 and discharges the liquid material 112. The piston 140 has a plunger 160, a cylinder block 150, a fixed block 170, and a hole 180, and is provided so as to penetrate the flow path 120. In the piston 140, the cylinder block 150 includes a fixed block 170 and a plunger 160 that are arranged so as to sandwich the flow path 120.
[0038]
The cylinder block 150 supports the plunger 160. The cylinder block 150 has a hollow cylindrical shape, is welded at adhesion points 154 a, 154 b, 154 c, and 154 d that intersect the flow path 120, and is disposed so as to penetrate the flow path 120. Further, the fixed block 170 is installed in the hollow region 152 of the cylinder block 150, and the plunger 160 is inserted.
[0039]
The plunger 160 is for filling the liquid material 112 into the apparatus or for discharging the liquid material 112 by pushing it. The plunger 160 has a half cross section 180 a of a hole 180 having the same cross-sectional area as the flow path 120 on a surface 162 that contacts the fixed block 170. The plunger 160 can slide in the axial direction.
[0040]
The fixed block 170 is installed in the hollow region 152 of the cylinder block 150 having a hollow cylindrical shape. The fixed block 170 serves to prevent the liquid material 112 from leaking from the hollow region 152 of the cylinder block 150 and move the plunger 160 when the plunger 160 is moved to the most flow path 120 side. Moreover, it has the half cross section 180b of the hole 180 for making it correspond with the flow path 120 and connecting to the surface 172 which contacts the plunger 160. FIG.
[0041]
The hole 180 allows the liquid material 112 to pass through even when the plunger 160 is pressed against the fixed block 170 particularly when air is released at the start of use. In the hole 180, a half section 180a provided on the plunger 160 side and a half section 180b provided on the fixed block 170 side are combined to form a hole 180 having the same shape as the flow path. The cross-sectional area of the hole 180 is the same as the cross-sectional area of the flow path 120.
[0042]
The discharge port side opening / closing mechanism 190 is a part for confining or discharging the liquid material 112 filled in the apparatus. Similarly to the supply port side opening / closing mechanism 130, the discharge port side opening / closing mechanism 190 includes an opening / closing portion 192 and a support portion 196. The discharge port side opening / closing mechanism 190 is provided so as to penetrate the flow path 120, and has a structure in which a cylindrical opening / closing portion 192 is inserted into a hollow portion 197 of a hollow cylindrical supporting portion 196. .
[0043]
The opening / closing part 192 allows the liquid material 112 in the apparatus to pass or is blocked. The opening / closing part 192 has a hole 194 that passes through the opening / closing part 192 in the center of the cylindrical surface 197 that contacts the support part 196. In this embodiment, the hole 194 is provided at the center of the opening / closing part 192, but the present invention is not limited to this. The opening / closing part 192 can slide or rotate in the axial direction.
[0044]
The hole 194 allows the liquid material 112 to pass through by connecting to the flow path 120. The hole 194 has the same cross-sectional area and shape as the flow path 120 provided so as to penetrate the opening / closing part 192 and communicating the supply port 122 and the discharge port 124.
[0045]
The support part 196 supports the opening / closing part 192. They are welded at adhesion points 198 a, 198 b, 198 c, and 198 d that intersect the flow path 120, and are disposed so as to penetrate the flow path 120. The support portion 196 has a hollow cylindrical shape so that the opening / closing portion 192 can be inserted into the hollow portion 197.
[0046]
Next, the operation will be described with reference to FIG. If air is mixed in the apparatus 100, there is a problem that the liquid material 112 is not discharged in a uniform amount or the liquid material 112 is scattered by the air at the time of discharge. It is necessary to perform an air bleeding operation for removing the air in 100.
[0047]
Therefore, as shown in FIG. 2 (a), the liquid material discharge device 100 of the present invention has holes provided in the opening / closing portions 132 and 192 of the supply port side opening / closing mechanism 130 and the discharge port side opening / closing mechanism 190, respectively. 134 and 194 are slid or axially rotated in the axial direction of the open / close sections 132 and 192 so as to be aligned with the flow path 120. Also, the plunger 160 of the piston 140 is pressed against the fixed block 170 so that the hole 180 provided in the piston 140 is also aligned with the flow path 120. Then, the liquid material supply container 110 containing the liquid material 112 for sealing the IC chip is connected to the supply port 122, and the liquid material 112 is supplied while applying pressurized air to the upper portion 114 of the liquid material supply container 110. Is introduced into the apparatus 100, and the process of extruding the air mixed in the apparatus 100 out of the apparatus 100 by the liquid material 112 is repeated to release air.
[0048]
At this time, the flow path 120 that communicates from the supply port 122 to the discharge port 124 has a constant flow path cross-sectional area, so that even if the liquid material 112 is viscous, the liquid material 112 is caught by the uneven portion. There will never be a stop. Therefore, since air that is trapped by the stationary liquid material is not generated, only a small amount of liquid material 192 is required for air bleeding, and the time required can be shortened.
[0049]
Next, the discharge operation will be described. When air bleeding is performed according to the above procedure, as shown in FIG. 2B, the opening / closing part 192 provided in the opening-side opening / closing mechanism 190 is slid or rotated in the axial direction to be provided in the opening / closing part 192. The channel 120 is blocked by the cylindrical surface 193 of the opening / closing part 192 so that the formed hole 194 does not coincide with the channel 120. At that time, the hole 134 provided in the opening / closing part 132 of the supply port side opening / closing mechanism 130 matches the flow path 120, and the hole 180 provided in the piston 140 presses the plunger 160 against the fixed block 170 and the hole 180 flows. It matches with the channel 120 and the channel 120 is open. By disposing the opening / closing mechanisms 130 and 190 and the piston 140 in this way, the liquid material 112 passes through the supply port 122, the supply port side opening / closing mechanism 130, and the piston 140 in this order, and is blocked by the discharge port side opening / closing mechanism 190.
[0050]
Next, as shown in FIG. 2C, while applying pressurized air from the upper part 114 of the liquid material supply container 110, the liquid material 112 is moved to the cylinder by sliding in the axial direction so as to pull out the plunger 160 of the piston 140. The block 150 is filled. When the required amount of the liquid material 112 is filled, as shown in FIG. 2 (d), the opening / closing part 132 of the supply port side opening / closing mechanism 130 is slid or axially rotated in the axial direction to form the hole 134 provided in the opening / closing part 132. The liquid material 112 from the liquid material supply container 110 is shifted from the flow path 120 and the filling is finished.
[0051]
Next, as shown in FIG. 2 (e), the hole 194 provided in the opening / closing part 192 of the discharge port side opening / closing mechanism 190 is made to coincide with the flow path 120 by sliding or rotating the opening / closing part 192 in the axial direction. Open. Then, as shown in FIG. 2 (f), the plunger 160 of the piston 140 is slid in the axial direction so as to press, and the liquid material 112 is discharged from the discharge port 124. The holes 134, 194, and 180 provided in the supply port side opening / closing mechanism 130, the discharge port side opening / closing mechanism 190 and the piston 140 all have the same cross-sectional area and shape as the flow path 120 communicating the discharge port 124 from the supply port 122. Therefore, the contact portions 135, 195, and 182 between the holes 134, 194, 180 and the flow path 120 cannot be uneven, so that the liquid material 112 can be reliably discharged without stopping even the viscous liquid material 112. it can.
[0052]
When the liquid material is discharged again, as shown in FIG. 2G, the opening / closing portion 192 of the discharge port side opening / closing mechanism 190 is slid or rotated in the axial direction to be provided in the opening / closing portion 192. The hole 194 is displaced from the flow path 120 and the opening / closing part 132 of the supply port side opening / closing mechanism 130 is slid or rotated in the axial direction as shown in FIG. 134 is aligned with the flow path. Then, the steps shown in FIGS. 2B to 2G are repeated.
[0053]
When the operation is completed or when the type of the liquid material 112 is changed, as shown in FIG. , 192 are axially slid or axially rotated to coincide with the flow path 120. In addition, the plunger 160 is pressed against the fixed block 170 so that the hole 180 provided in the piston 140 also matches the flow path 120. Then, air is supplied from the supply port 122 and the liquid material 112 remaining in the apparatus is pushed out by the air. Alternatively, there is a method of scraping off the remaining liquid material 112 by inserting a rod into the flow path 120.
[0054]
As described above, the liquid material discharge device 100 of the present invention is provided with the piston 140 between the two opening / closing mechanisms 130, 190, and the opening / closing mechanisms 130, 190 and the piston 140 are connected to the flow path 120, respectively. By having 180 and 194, the air and the liquid material 112 remaining in the flow path 120 can be easily removed. Further, the liquid material 112 can be completely discharged by making the plunger 160 slidable so that the plunger 160 comes into contact with the flow path 112 when the plunger 160 is moved most to the flow path side. In addition, since the flow path 120 that communicates from the supply port 122 to the discharge port 124 has a constant cross-sectional area without an uneven portion, the liquid material 112 becomes an uneven portion even if a viscous liquid material 112 is flowed. It will not catch and stop. Therefore, a certain amount of filled liquid material 112 can be reliably discharged.
[0055]
Next, a liquid material discharge apparatus 200 that is another embodiment of the present invention will be described. 3A is a schematic diagram of the liquid material discharge device 200 according to the present invention, and FIG. 3B is a developed view of the cylindrical surface of the piston 220 and a cross-sectional view of the liquid material discharge device 200. The liquid material discharge device 200 shown in FIG. 3 has a hollow cylindrical cylinder 210 and a cylindrical piston 220, and has a structure in which the piston 220 is inserted into the hollow portion 213 of the cylinder 210. In addition, about the same structure as the liquid material discharge apparatus 100 mentioned above, the same referential mark is used and detailed description shall be abbreviate | omitted.
[0056]
The cylinder 210 supports the piston 220. The cylinder 210 has a cylindrical shape, and has a supply port 214 and a discharge port 216 at an interval of 90 degrees on a cylindrical surface 212 positioned parallel to the axis. Further, the cylinder 210 can rotate around the axis. The supply port 214 is a part to which the liquid material supply container 110 described with reference to FIG. 1 is connected. The discharge port 216 is a part that discharges the liquid material 112.
[0057]
The piston 220 fills the liquid material 112 or pushes and discharges the liquid material 112. The piston 220 has a cylindrical shape, and two grooves 224 are provided in the cylindrical surface 222 on the bottom surface 228 that is positioned perpendicular to the axis with a 90-degree interval between the cylindrical surface 222 that is positioned parallel to the axis. A third groove 225 for connecting the two grooves 224 formed is provided. Further, the piston 220 can be axially rotated or slid in the axial direction. The grooves 224 and 225 serve as a flow path for sending the liquid material 112 from the supply port 214 to the discharge port 216. The groove 224 has such a length that the supply port 214 or the discharge port 216 is positioned at the upper end 226 of the groove 224 when the piston 220 is completely pushed into the cylinder 210.
[0058]
Hereinafter, the operation of the liquid material discharge device 200 will be described. When starting to use the liquid material discharge device 200, it is necessary to remove air mixed in the device 200. When performing air bleeding, the piston 220 or the cylinder 210 is axially rotated as shown in FIG. 4A, and both the supply port 214 and the discharge port 216 coincide with each other on the two grooves 224 provided in the piston 220. The supply port 214 and the discharge port 216 communicate with each other. And by pouring the liquid material 112 from the supply port 214, the air mixed in the apparatus by the liquid material 112 can be pushed out.
[0059]
Next, the discharge operation will be described. When air bleeding is performed according to the above procedure, the liquid material discharge device 200 connects the liquid material supply container 110 containing the liquid material 112 to the supply port 214 provided in the cylinder 210, and FIG. As shown, the piston 220 or the cylinder 210 is axially rotated so that only the supply port 214 is on the groove 224 provided in the piston 220, thereby aligning the positions. Then, as shown in FIG. 4C, the piston 220 is slid in the axial direction so as to rise, and the liquid material 112 is filled into the cylinder 210. Thus, by aligning the groove 224 only with the supply port 214, the liquid material 112 is prevented from leaking from the discharge port 216 when the liquid material 112 is filled. When the required amount of the liquid material 112 is filled, the piston 220 is rotated 180 degrees counterclockwise (or the cylinder 210 clockwise) as shown in FIG. 4D, and only the discharge port 216 has one groove. Place it over 224 to stop filling. Then, the liquid material 112 is discharged from the discharge port 216 by lowering the piston 220 as shown in FIG. After filling, the groove 224 is aligned only with the discharge port 216, so that the liquid material 112 is prevented from leaking from the supply port 214, and the filled liquid material 112 can be reliably discharged from the discharge port 216. . When the liquid material 112 is filled again, the piston 220 or the cylinder 210 is axially rotated so that only the supply port 214 is on the groove 224 provided in the piston 220 as shown in FIG. After aligning the positions, the steps shown in FIGS. 4B to 4E are repeated.
[0060]
Further, when discharging the liquid material 112, both the supply port 214 and the discharge port 216 are arranged so as to coincide with each other on the two grooves 224 provided in the piston 220, and air is supplied from the supply port 214. As a result, the liquid material 112 remaining in the apparatus can be pushed out.
[0061]
Next, a liquid material discharge device 200a, which is a modification of the liquid material discharge device 200 of the present invention, will be described. Here, FIG. 5A shows a schematic view of the liquid material discharge device 200a according to the present invention, and FIG. 5B shows a developed view of the cylindrical surface of the piston 220 and a cross-sectional view of the liquid material discharge device 200a. Note that the same reference numerals are used for the same components as those of the liquid material discharge device 200 described above. The liquid material discharge device 200a shown in FIG. 5 is different from the embodiment shown in FIG. 3 in that the interval between the supply port 314 and the discharge port 316 provided in the cylinder 310 is 180 degrees.
[0062]
The liquid material discharge device 200 a of this embodiment includes a hollow cylindrical cylinder 310 and a cylindrical piston 220. In addition, the piston 220 is inserted into the hollow portion 313 of the cylinder 310.
[0063]
The cylinder 310 supports the piston 220. The cylinder 310 has a hollow cylindrical shape and has a hollow portion 313 for inserting the piston 220. The supply port 314 and the discharge port 316 are spaced 180 degrees apart from the cylindrical surface 312 positioned parallel to the axis. have. The cylinder 310 can rotate on the axis. The piston 220 has a cylindrical shape and fills the liquid material 112 or pushes and discharges the liquid material 112.
[0064]
The piston 220 is provided with two grooves 224 at a 90 degree interval on a cylindrical surface 222 positioned parallel to the axis, and 2 provided on the cylindrical surface 222 on a bottom surface 228 positioned perpendicular to the axis. A third groove 225 for connecting the two grooves 224 is provided. Further, the piston 220 can be axially rotated or slid in the axial direction.
[0065]
Hereinafter, the operation will be described. When the liquid material discharge device 200a is started to be used, it is necessary to remove air mixed in the device. When performing air bleeding, as shown in FIG. 6 (a), the groove 224 is aligned with both the supply port 314 and the discharge port 316. As a result, the supply port 314 to the discharge port 316 communicate with each other, so that the liquid material supply container 110 is connected to the supply port 314 provided in the cylinder 310. Then, by applying pressurized air from the upper part of the liquid material supply container 110, the liquid material 112 flows in from the supply port 314, and the liquid material 112 is discharged from the discharge port 316, so that air can be easily vented. it can.
[0066]
Next, the discharge operation will be described. When air bleeding is performed by the above procedure, the piston 220 or the cylinder 310 is axially rotated so that only the supply port 314 is on the groove 224 provided in the piston 220 as shown in FIG. Match.
[0067]
Then, as shown in FIG. 6C, the piston 220 is slid in the axial direction so as to rise, and the liquid material 112 is filled into the cylinder 310. Thus, by aligning the groove 224 only with the supply port 314, the liquid material 112 is prevented from leaking from the discharge port 316 when the liquid material 112 is filled. When the required amount of the liquid material 112 is filled, the piston 220 is rotated 90 degrees clockwise (or the cylinder 310 is rotated 90 degrees counterclockwise) as shown in FIG. Is placed on one groove 224 to stop filling. Then, the liquid material 112 is discharged from the discharge port 316 by lowering the piston 220, but it differs depending on whether the liquid material supply container 110 is always air-pressurizable or air-pressurizable from the next step.
[0068]
In the case of the specification that air pressure cannot be constantly applied, the liquid material 112 is discharged by lowering the piston 220 until it abuts against the cylinder 310 as shown in FIG. Then, after the discharge is finished, as shown in FIG. 6F, the piston 220 or the cylinder 310 is rotated 90 degrees counterclockwise so that the groove 224 is aligned only with the supply port 314. On the other hand, when the air pressure is always available, the liquid material 112 is discharged without being lowered until the piston 220 abuts against the cylinder 310 as shown in FIG. Then, after the end of the discharge, as shown in FIG. 6H, the piston 220 or the cylinder 310 is rotated 90 degrees counterclockwise to align the groove 224 only in the supply port 314. Through the above steps, a uniform amount of the liquid material 112 can be reliably discharged. When the liquid material 112 is filled again, the steps of FIGS. 6C to 6F or FIGS. 6C to 6H are repeated.
[0069]
Further, when discharging the liquid material 112, the liquid material 112 remaining in the apparatus is pushed out by flowing air from the supply port 314 in the same positional relationship as the air venting.
[0070]
Next, a liquid material discharge apparatus 400 that is another embodiment of the present invention will be described. FIG. 7A is a schematic view of the liquid material discharge device 400 according to the present invention, and FIG. 7B is a developed view of the cylindrical surface of the valve 430 and a cross-sectional view of the liquid material discharge device 400. The same reference numerals are given to the same components as those of the liquid material discharge device 100 shown in FIG. 1, and detailed description thereof is omitted here. As well shown in FIG. 7, the liquid material discharge device 400 includes a piston 410, a cylinder 420, and a valve 430. A cylindrical piston 410 is formed in a hollow portion 423 of a hollow cylindrical cylinder 420 as well as a cylindrical valve 430. Has a structure that is inserted.
[0071]
The piston 410 has a cylindrical shape, and fills or discharges the liquid material 112 by sliding in the axial direction.
[0072]
The cylinder 420 has a hollow cylindrical shape, supports the piston 410, and accommodates the filled liquid material 112. The cylinder 420 has a supply port 424 and a discharge port 426 with an interval of 90 degrees on a cylindrical surface 422 positioned parallel to the axis. The supply port 424 is a part that connects the liquid material supply container 110 and supplies the liquid material 112 to the cylinder 420. The discharge port 426 is a part that discharges the liquid material 112.
[0073]
The valve 430 adjusts the flow of the liquid material 112 and can rotate on a shaft. The valve 430 has two grooves 434 on a cylindrical surface 432 positioned parallel to the axis with an interval of 90 degrees. The groove 434 feeds the liquid material 112 from the supply port 424 to the discharge port 426, and is a surface 436 that contacts the piston 410 from the same height as the supply port 424 or the discharge port 426 provided in the cylinder 420. In the contact surface 436 of the valve 430 with the piston 410, the two grooves 434 are connected.
[0074]
The operation will be described below. When starting to use the liquid material discharge device 400, it is necessary to remove air mixed in the device 400. When performing air bleeding, as shown in FIG. 8A, the valve 430 is axially rotated and aligned so that the grooves 434 coincide with both the supply port 424 and the discharge port 426, respectively. As a result, since the supply port 424 to the discharge port 426 communicate with each other, the air can be easily vented only by flowing the liquid material 112 from the supply port 424. In addition, since the diameter of the groove 434 provided in the valve 430 is equal to the diameter of the supply port 424 and the discharge port 426, the liquid material 112 does not leak or the liquid material 112 is caught in the concavo-convex portion and no retained liquid material is generated. . Therefore, the air can be surely removed in a short time.
[0075]
Next, the discharge operation will be described. When air bleeding is performed according to the above procedure, the liquid material discharge device 400 connects the liquid material supply container 110 containing the liquid material 112 to the supply port 424 provided in the cylinder 430, and the liquid material supply container 110. By applying pressurized air from the upper part, the liquid material 112 flows into the apparatus from the supply port 424. Next, as shown in FIG. 8B, the valve 430 is axially rotated and aligned so that only the supply port 424 is on the groove 434 provided in the valve 430. By aligning the groove 434 only with the supply port 424, the liquid material 112 is prevented from leaking from the discharge port 426 when the liquid material 112 flows in.
[0076]
Next, as shown in FIG. 8C, the piston 410 is slid in the axial direction and lifted to fill the cylinder 420 with the liquid material 112. When the required amount of the liquid material 112 is filled, the valve 430 is rotated 180 degrees clockwise as shown in FIG. 8D, and the filling is finished at a position where the groove 434 coincides with the discharge port 426. Then, as shown in FIG. 8E, the liquid material 112 is discharged from the discharge port 426 by sliding and lowering the piston 410 in the axial direction. When discharging again, as shown in FIG. 8 (f), the valve 430 is rotated counterclockwise by 180 degrees so that the groove 434 is aligned with the supply port 424. ) Is repeated.
[0077]
When discharging the liquid material 112, the liquid material 112 remaining in the apparatus can be reliably pushed out by causing the air to flow from the supply port 424 in the same positional relationship as the air venting.
[0078]
Next, a liquid material discharge device 400a which is a modification of the liquid material discharge device 400 shown in FIG. 7 will be described. FIG. 9A is a schematic view of the liquid material discharge device 400a according to the present invention, and FIG. 9B is a developed view of the cylindrical surface of the valve 430 and a cross-sectional view of the liquid material discharge device 400a. The liquid material discharge device 400a shown in FIG. 9 differs from the embodiment shown in FIG. 7 in that the interval between the supply port 524 and the discharge port 526 provided in the cylinder 520 is 180 degrees. Hereinafter, in the description, the same components as those of the liquid material discharge device 400 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
[0079]
The liquid material discharge device of this embodiment includes a piston 410, a cylinder 520, and a valve 430. The piston 410 pushes out the liquid material 112, has a cylindrical shape, and can slide in the axial direction. The cylinder 520 supports the piston 410 and has a hollow cylindrical shape, and the piston 410 and the valve 430 are inserted into the hollow portion 523. Further, a supply port 524 and a discharge port 526 are provided on a cylindrical surface 522 that is positioned parallel to the axis with an interval of 180 degrees. The valve 430 adjusts the flow of the liquid material and has a cylindrical shape. The cylindrical surface 432 is provided with two grooves 434 at an interval of 90 degrees and can rotate about the shaft. Further, the two grooves 434 are connected at a surface 436 that contacts the piston 410 of the valve 430.
[0080]
The operation will be described below. First, when starting to use the liquid material discharge device 400a, it is necessary to remove air mixed in the device 400a. When performing air bleeding, as shown in FIG. 10A, the groove 434 is aligned with both the supply port 524 and the discharge port 526. As a result, the supply port 524 and the discharge port 526 communicate with each other substantially, so that the air can be easily removed simply by flowing the liquid material 112 from the supply port 524.
[0081]
Next, the discharge operation will be described. When air bleeding is performed according to the above procedure, the liquid material discharge device 400a connects the liquid material supply container 110 containing the liquid material 112 to the supply port 524 and applies pressurized air from the upper part of the liquid material supply container 110. Then, the liquid material 112 flows into the apparatus from the supply port 524. At this time, as shown in FIG. 10B, the valve 430 is axially rotated so that only the supply port 524 is on the groove 434 provided in the valve 430, and the position is adjusted. By aligning the groove 434 only with the supply port 524, the liquid material 112 is prevented from leaking from the discharge port 526 when the liquid material 112 flows in.
[0082]
Next, as shown in FIG. 10 (c), the piston 410 is slid in the axial direction and raised to fill the cylinder 520 with the liquid material 112. When the required amount of liquid material 112 is filled, the pressurized air is stopped, and the valve 430 is rotated 90 degrees counterclockwise as shown in FIG. 10 (d) so that the groove 434 coincides with the discharge port 526. To finish filling. Then, as shown in FIG. 10 (e), the liquid material 112 is discharged from the discharge port 526 by lowering the piston 410 by sliding in the axial direction. When discharging again, as shown in FIG. 10 (f), the valve 430 is rotated 90 degrees clockwise so that the groove 434 coincides only with the supply port 524. ) Is repeated.
[0083]
When discharging the liquid material 112, the liquid material 112 remaining in the apparatus can be reliably pushed out by causing the air to flow from the supply port 524 in the same positional relationship as the air venting.
[0084]
【The invention's effect】
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the liquid material discharge apparatus which can shorten the time required for air bleeding by not generating a stationary liquid material in an apparatus, and can discharge a uniform quantity of liquid material can be proposed. .
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic view of a liquid material discharge device according to the present invention.
FIG. 2 is a schematic view showing the operation of the liquid material discharge device according to the present invention.
FIG. 3 is a schematic view of a liquid material discharge device according to the present invention.
FIG. 4 is a schematic view showing the operation of the liquid material discharge device according to the present invention.
FIG. 5 is a schematic view of a liquid material discharge device according to the present invention.
FIG. 6 is a schematic view showing the operation of the liquid material discharge device according to the present invention.
FIG. 7 is a schematic view of a liquid material discharge device according to the present invention.
FIG. 8 is a schematic view showing the operation of the liquid material discharge device according to the present invention.
FIG. 9 is a schematic view of a liquid material discharge device according to the present invention.
FIG. 10 is a schematic view showing the operation of the liquid material discharge device according to the present invention.
FIG. 11 is a schematic cross-sectional view of a conventional liquid material discharge device.
FIG. 12 is a schematic view showing the operation of a conventional liquid material discharge device.
FIG. 13 is a schematic view showing a state of cleaning the flow path and the piston according to the present invention.
14 is a schematic cross-sectional view showing a modification of the flow path shown in FIG.
[Explanation of symbols]
100 Liquid material discharge device
120 flow path
122 Supply port
124 Discharge port
130 Supply port side opening / closing mechanism
132 Opening / closing part
134 holes
136 Supporting part
140 piston
150 cylinder block
160 Plunger
170 fixed block
180 holes
180a Plunger side half section of hole
180b Half section of fixed block side of hole
190 Discharge port side opening / closing mechanism
192 Opening and closing part
194 hole
196 Supporting part

Claims

液材供給容器を接続可能な供給口と液材を吐出する吐出口とを連通する流路を開閉する第１の開閉機構と、
前記流路を開閉し、前記第１の開閉機構よりも下流に設けられた第２の開閉機構と、
前記第１及び第２の開閉機構との間に設けられて前記液材を前記吐出口から吐出させるピストンと、を有する液材吐出装置において、
前記第１の開閉機構は、第１の貫通孔を有する第１の開閉部と、前記第１の開閉部を支持する第１の支持部と、を有し、前記第１の貫通孔は、前記第１の開閉部が前記第１の支持部内を移動することによって前記流路に接続することができ、
前記第２の開閉機構は、第２の貫通孔を有する第２の開閉部と、前記第２の開閉部を支持する第２の支持部と、を有し、前記第２の貫通孔は、前記第２の開閉部が前記第２の支持部内を移動することによって前記流路に接続することができ、
前記ピストンは、プランジャと、前記プランジャと接触することができる固定ブロックと、前記プランジャと前記固定ブロックとを支持するシリンダブロックと、を有し、
前記プランジャは、シリンダブロック内で軸方向に摺動可能であり、前記固定ブロックに接触したときに、前記プランジャと前記固定ブロックとで前記流路に接続する第３の貫通孔を形成することを特徴とする液材吐出装置。A first opening / closing mechanism that opens and closes a flow path that connects a supply port to which the liquid material supply container can be connected and a discharge port for discharging the liquid material;
A second opening / closing mechanism that opens and closes the flow path and is provided downstream of the first opening / closing mechanism;
In the liquid material discharge device having a piston to eject from the ejection opening said liquid material provided between the first and second opening and closing mechanism,
The first opening / closing mechanism includes a first opening / closing part having a first through hole, and a first support part for supporting the first opening / closing part. The first opening / closing part can be connected to the flow path by moving in the first support part,
The second opening / closing mechanism includes a second opening / closing part having a second through hole, and a second support part for supporting the second opening / closing part. The second opening / closing part can be connected to the flow path by moving in the second support part,
The piston has a plunger, a fixed block that can come into contact with the plunger, and a cylinder block that supports the plunger and the fixed block.
The plunger is slidable in the axial direction within the cylinder block, and when the plunger comes into contact with the fixed block, the plunger and the fixed block form a third through-hole connected to the flow path. A liquid material discharge device.

前記第１、第２及び第３の貫通孔に接続された前記流路は直線形状であることを特徴とする請求項１に記載の液材吐出装置。The liquid material discharge device according to claim 1, wherein the flow path connected to the first, second, and third through holes has a linear shape.

前記流路内のエア抜き動作を行う際に、前記第１、第２及び第３の貫通孔を前記流路に接続させてからエア抜きを行うことを特徴とする請求項１又は２に記載の液材吐出装置。The air venting is performed after the first, second, and third through holes are connected to the flow channel when performing the air bleeding operation in the flow channel. Liquid material discharge device.

前記第１及び第２の開閉部は、前記第１及び第２の支持部内を摺動又は回転することを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか一項に記載の液材吐出装置。Said first and second opening and closing part, the liquid material discharge according to any one of claims 1 to 3, wherein the first and second support portion, wherein the sliding or rotation to Rukoto the apparatus.

前記第１、第２及び第３の貫通孔と前記流路との接続部は互いに同じ断面積及び形状を有していることを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか一項に記載の液材吐出装置。The connection part of the said 1st, 2nd and 3rd through-hole and the said flow path has mutually the same cross-sectional area and shape, The any one of Claims 1 thru | or 4 characterized by the above-mentioned. Liquid material discharge device.

前記流路は、重力方向に前記液材を流すことを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか一項に記載の液材吐出装置。The liquid material discharge device according to claim 1, wherein the flow path causes the liquid material to flow in a gravitational direction.