JP4181807B2 - レーザ加工方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はレーザ加工方法に関し、更に詳細にはシリコン基板、樹脂基板又は樹脂フィルムから成る被加工物にレーザ光を照射して貫通孔を形成するレーザ加工方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、電子機器の高性能化、小型化に伴なって、パッケージ内に複数個の半導体チップを配置したマルチチップパッケージ(MCP)等が実用化され、半導体装置の高性能化と小型化とが図られている。
かかるMCPとしては、図4に示す三次元MCPや図5に示す二次元MCPがある。
図4に示す三次元MCPでは、積層された複数個の半導体チップ100,100・・は、相互にヴィア102で電気的に接続されている。
また、図5に示す二次元MCPでは、複数個の半導体チップ200,200・・は、パッケージ基板206上に載置されたシリコンインターポーザ202を介して形成された多層回路基板204上に搭載されている。この半導体チップ200,200・・の各々は、多層回路基板204内に形成された導体パターン及びシリコンインターポーザ202を貫通するヴィア208,208・・を介してパッケージ基板206と電気的に接続されている。
この様に、図4及び図5に示すMCPでは、半導体チップ100やシリコンインターポーザ202を貫通するヴィア102(208)が形成されている。
【0003】
かかるヴィア102(208)を形成するには、半導体チップ100やシリコンインターポーザ202に貫通孔104(図4)を形成することが必要である。従来、半導体チップ100やシリコンインターポーザ202の様なシリコン基板にヴィア形成用の貫通孔を形成する方法には、プラズマを用いたプラズマ加工方法やレーザ光を用いたレーザ加工方法がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
かかる方法のうち、プラズマ加工方法によれば、内壁面等に付着する付着物が極めて少ない清浄な貫通孔をシリコン基板に形成できる。
しかしながら、プラズマ加工方法は、貫通孔の形成コストが高くなり、低コストでシリコン基板に貫通孔を形成できる方法が要請されている。
一方、シリコン基板にレーザ光を照射して貫通孔を形成するレーザ加工方法によれば、プラズマ加工方法に比較して、シリコン基板に低コストで貫通孔を形成できるが、清浄な貫通孔を形成できない。
つまり、レーザ加工方法によってシリコン基板に貫通孔を形成する際には、図6に示す如く、空間部304が形成されたステージ302を用い、空間部304に貫通孔306を形成する個所が位置するように、ステージ302上に載置したシリコン基板300にレーザ光Lを照射する。
この様にして形成された貫通孔306には、そのレーザLの照射側の開口周縁近傍には、レーザ光Lの照射によってシリコン基板300から飛散した飛散物が付着・堆積して堆積物(レーザドロス)308が形成されている。
更に、飛散物は、貫通孔306の内壁及びステージ302に載置したシリコン基板300の載置面にも付着している。
【0005】
かかるレーザドロス308や飛散物を放置すると、後工程でシリコン基板300から剥離し、異物となって製品の信頼性等を低下させ易い。
このレーザドロス308や飛散物は、苛性カリ(KOH)溶液でシリコン基板300を洗浄することによって除去可能ではあるが、苛性カリ(KOH)溶液での洗浄中に、シリコン基板300の一面側に形成した配線パターン等を損傷するおそれがある。
また、レーザ光Lの照射で貫通孔306を形成すると、貫通孔306の形成中に、レーザ光Lの熱によってシリコン基板300が部分的に加熱されて焼けが生じることがある。かかる焼けが生じなくても、熱がシリコン基板300内に蓄熱されて配線パターン等が熱損傷を受けるおそれもある。
従って、従来は、レーザ光を照射してシリコン基板に貫通孔を形成するレーザ加工方法は、工業的に採用され難い。
しかしながら、レーザ加工方法によるシリコン基板の貫通孔の形成は、プラズマ加工による貫通孔の形成に比較して、シリコン基板に低コストで貫通孔を形成できる。
従って、レーザ加工中のシリコン基板300の放熱性を向上でき、形成された貫通孔の穴の開口周縁に形成されたレーザドロス308や貫通孔306の内壁面に付着した飛散物を容易に清掃できるならば、工業的に採用され易い。
このため、特開2002−18586号公報には、容器に貯めた水とシリコン基板300の一面側とを接触させた状態で、シリコン基板300の他面側にレーザ光Lを照射して貫通孔306を形成するレーザ加工方法が提案されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
前掲の公開公報で提案されたレーザ加工方法によれば、レーザ加工中のシリコン基板300の放熱性を向上できると共に、形成された貫通孔の穴の開口周縁に形成されたレーザドロス308や貫通孔306の内壁面に付着した飛散物を可及的に少なくできる。
しかしながら、レーザ加工の際には、常に、シリコン基板300の一面側を、容器に貯めた水と接触させておくことは、シリコン基板300の保持機構や水の圧力調整機構等が複雑となる。
特に、近年、ヴィア加工用の貫通孔を、薄化されたシリコン基板や樹脂フィルムに形成することも要請されつつある。このため、薄化されたシリコン基板や樹脂フィルムの一面側を、容器に貯めた水と接触させておくことは、その保持機構や水の圧力調整機構等が更に複雑化し、工業的に採用され難い。
そこで、本発明の課題は、薄化されたシリコン基板や樹脂フィルムから成る被加工物の一面側を容易に水と接触させつつ、その他面側にレーザ光を照射して貫通孔を形成するレーザ加工方法を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、前記課題を解決すべく検討した結果、寒天から成り、層内に水を保持する保水ゲル層をガラス板上に形成し、この保水ゲル層の表面に薄化されたシリコン基板の一面側を密着させてレーザ加工を施すことにより、レーザ加工中のシリコン基板の放熱性を向上でき、形成された貫通孔の穴の開口周縁に形成されたレーザドロスや貫通孔の内壁面に付着した飛散物を可及的に少なくできることを見出し、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、シリコン基板、樹脂基板又は樹脂フィルムから成る被加工物にレーザ光を照射して貫通孔を形成する際に、該被加工物を保持する保持板上に、前記レーザ光の照射によって加熱された前記被加工物の加熱部分を水の蒸発によって冷却できるように、層内に水を保持する保水ゲル層を形成した後、前記保水ゲル層の上面に一面側が密着するように載置した前記被加工物を、その他面側からレーザ光を照射して貫通孔を形成することを特徴とするレーザ加工方法にある。
かかる本発明において、保水ゲル層を、寒天、ゼラチン又はキトサンゲルによって形成することによって、容易に保水ゲル層を形成できる。
更に、保水ゲル層として、層内に補強材が配設されている保水ゲル層を用いることにより、保水ゲル層の取扱性を向上できる。
また、保持板を冷却してレーザ加工を施すことによって、レーザ加工中の被加工物の放熱性を更に向上できる。
【0008】
本発明によれば、シリコン基板、樹脂基板又は樹脂フィルムから成る被加工物の一面側を保水ゲル層に密着させた状態で、被加工物の他面側からレーザ光を照射するため、被加工物が薄化されていても、その保持を容易に行うことができる。
更に、レーザ光からの熱によって加熱された被加工物の加熱部分は、保水ゲル層に保持されている水の蒸発によって冷却され、焼けの発生は勿論のこと、配線パターンが形成されていても、熱による損傷を防止できる。
また、被加工物に貫通孔が貫通された際には、レーザ光が保水ゲル層にも照射される。このため、保水ゲル層の層内に保持されていた水がレーザ光によって急激に蒸発して貫通孔を吹き抜ける。その際に、レーザ加工によって形成された貫通孔の開口周縁のレーザドロスや貫通孔の内壁面に付着する飛散物を吹き飛ばす結果、形成した貫通孔の開口周縁のレーザドロスや貫通孔の内壁面に付着した飛散物を可及的に少なくできる。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明に係るレーザ加工方法の一例を図1に示す。図1では、互いに直交するX軸方向とY軸方向とに移動可能なX−Yテーブル10上に、ガラス製の保持板12が載置されており、この保持板12上には、寒天から成る保水ゲル層14が形成されている。保水ゲル層14の層内には、保水ゲル層14の全重量に対して90重量%以上の水が保持されている。
かかる保水ゲル層14の上面には、シリコン基板16が、その一面側を密着して載置されている。このため、シリコン基板16が薄化されていても、その保持を容易に行うことができる。
この様に、保水ゲル層14の一面側が密着されて保持されたシリコン基板16の他面側には、レーザ照射装置(図示せず)からレーザ光Lを所定個所に照射して貫通孔18を形成する。
この貫通孔18を形成する際に、シリコン基板16のレーザ光Lが照射された加熱部分は、保水ゲル層14に保持されている水が蒸発して冷却され、焼けの発生は勿論のこと、加熱部分に配線パターンが形成されていても、熱による損傷を防止できる。
また、シリコン基板16に貫通孔18が貫通された際には、レーザ光Lが保水ゲル層14にも照射される。このため、保水ゲル層Lの層内に保持されていた水がレーザ光Lの照射によって急激に蒸発して貫通孔18を吹き抜ける。その際に、貫通孔18の開口周縁のレーザドロスや貫通孔18の内壁面に付着する飛散物を吹き飛ばす結果、貫通孔18の開口周縁のレーザドロスや貫通孔の内壁面に付着した飛散物を可及的に少なくできる。
【0010】
更に、図6に示す従来のレーザ加工方法では、レーザ光Lの照射によって被加工物としてのシリコン基板300に貫通孔306が貫通した際には、レーザ光Lの照射によって形成された飛散物が、ステージ302に形成された空間部304内に広がる。このため、シリコン基板300のステージ側においても、貫通孔306の開口面周縁にレーザドロス308が付着する。
この点、図1に示すシリコン基板16の一面側は、保水ゲル層14に密着しているため、シリコン基板16に貫通孔18が貫通された際にも、レーザ光Lの照射によって形成された飛散物が、シリコン基板16の一面側に付着することを防止できる。
また、図6に示す従来のレーザ加工方法では、ステージ302に形成された空間部304と貫通孔306を形成するシリコン基板300の個所との位置合せが必要である。このため、ステージ302及びシリコン基板300には、特別の位置合せ用のマークが必要である。
一方、図1に示す加工方法では、シリコン基板16を、その一面側を保水ゲル層14の上面と密着させて載置することで足りるため、シリコン基板16の位置決めを容易とすることができる。
【0011】
ところで、図1に示すレーザ加工方法では、保水ゲル層14は、薄化されたシリコン基板16を載置する載置面が平坦面であり且つ厚さも一定である保水ゲル層14を用いる。
かかる保水ゲル層14を、図2に示す方法で形成することができる。図2に示す方法では、先ず、ガラス製の保持板12の一面側に、所定高さの枠状のスペーサ20を載置し、スペーサ20で囲まれた枠内に、寒天を加熱溶解した溶液をスペーサ20の上端面から表面張力で盛り上がる状態まで注ぎ込む。
次いで、スペーサ20の上端面にガラス製の平板状の蓋22を被せて冷却することによって、上面が平坦面で且つ厚さが一定の保水ゲル層14を保持板12上に形成できる。
この様に、保持板12上に保水ゲル層14を形成することによって、保水ゲル層14の搬送等を容易とすることができる。
かかる保水ゲル層14が形成された保持板12を、図1に示すレーザ加工の際に、冷却することによって、レーザ加工の際に、保水ゲル層14の形態を保持できると共に、レーザ光Lが照射されたシリコン基板16からの熱除去を更に効率的に施すことができる。
【0012】
図1に示す保水ゲル層14は、その形態をゲルのみで保持しているため、その取扱性が問題となる場合がある。
この場合、保水ゲル層14内に補強材としての網体、不織布又は紙等の多孔質体を配設することによって、保水ゲル層14の強度等の力学的特性を向上し、その取扱性を向上できる。
この補強材を保水ゲル層14内に配設するには、図3に示す様に、分割可能なスペーサ20a,20bを用いる。このスペーサ20a,20bの間に、補強材24の端部を挟み込み、保持板12の一面側に載置する。
次いで、スペーサ20a,20bで囲まれた枠内に、寒天を加熱溶解した溶液を、スペーサ20a,20bの上端面から表面張力で盛り上がる状態まで注ぎ込む。
その後、スペーサ20の上端面にガラス製の平板状の蓋22を被せて冷却することによって、上面が平坦面で且つ厚さが一定の保水ゲル層14であって、内部に補強材24が配設された保水ゲル層14を形成できる。
この様に、内部に補強材24が配設された保水ゲル層14は、その力学的特性が向上されているため、保持板12と別部材上で形成した後、保持板12上に容易に載置できる。
尚、図1〜図3に示す保水ゲル層14は、寒天によって形成しているが、ゼラチン又はキトサンゲルによっても形成できる。
【0013】
また、シリコン基板16のレーザ光Lが照射される他面側には、貫通孔18の形成途中に発生する飛散物が付着し易い。このため、シリコン基板16の他面側に剥離し易い紙等の剥離シートを貼着し、レーザ加工の終了後に剥離シートを剥離することによって、飛散物の付着が極めてすくない、貫通孔18が形成されたシリコン基板16を得ることができる。
或いは、シリコン基板16の他面側に金属めっき層を形成した後、レーザ光Lを照射して貫通孔18を形成する。その後、金属めっき層をエッチングで除去することによっても、飛散物の付着が極めてすくない、貫通孔18が形成されたシリコン基板16を得ることができる。
尚、以上の説明では、被加工物としてシリコン基板16について説明してきたが、樹脂基板又は樹脂フィルムを被加工物としても本発明を適用できる。
【0014】
【発明の効果】
本発明に係るレーザ加工方法によれば、被加工物の一面側を保水ゲル層に密着させた状態で、被加工物の他面側からレーザ光を照射するため、被加工物が薄化されていても、その保持を容易に行うことができる。
更に、レーザ加工後には、被加工物に焼けの発生は勿論のこと、配線パターンが形成されていても、熱による損傷を防止できるため、最終的に得られる電子部品の信頼性を向上できる。
しかも、レーザ加工によって被加工物に形成した貫通孔の開口周縁のレーザドロスや貫通孔の内壁面に付着した飛散物を可及的に少なくできるため、残留している飛散物等を容易に清掃できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るレーザ加工方法の一例を説明するための説明図である。
【図2】図1に示す保水ゲル層14の形成方法を説明するための説明図である。
【図3】他の保水ゲル層14の形成方法を説明するための説明図である。
【図4】マルチチップパッケージ(MCP)の一例を説明する部分断面図である。
【図5】マルチチップパッケージ(MCP)の他の例を説明する説明図である。
【図6】従来のレーザ加工方法を説明するための部分断面図である。
【図7】従来のレーザ加工方法で形成された貫通孔の状態を説明する部分断面図である。
【符号の説明】
10 テーブル
12 保持板
14 保水ゲル層
16 シリコン基板
18 貫通孔
20,20a,20b スペーサ
24 補強材
Claims (4)
- シリコン基板、樹脂基板又は樹脂フィルムから成る被加工物にレーザ光を照射して貫通孔を形成する際に、
該被加工物を保持する保持板上に、前記レーザ光の照射によって加熱された前記被加工物の加熱部分を水の蒸発によって冷却できるように、層内に水を保持する保水ゲル層を形成した後、
前記保水ゲル層の上面に一面側が密着するように載置した前記被加工物を、その他面側からレーザ光を照射して貫通孔を形成することを特徴とするレーザ加工方法。 - 保水ゲル層を、寒天、ゼラチン又はキトサンゲルによって形成する請求項1記載のレーザ加工方法。
- 保水ゲル層として、層内に補強材が配設されている保水ゲル層を用いる請求項1又は請求項2記載のレーザ加工方法。
- 保持板を冷却してレーザ加工を施す請求項1〜3のいずれか一項記載のレーザ加工方法。
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Cited By (1)
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