JP4179718B2

JP4179718B2 - Paste film forming method and film forming apparatus

Info

Publication number: JP4179718B2
Application number: JP27891199A
Authority: JP
Inventors: 健治高橋; 真司金山; 浩之清村; 博那須; 信弥松村
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1999-09-30
Filing date: 1999-09-30
Publication date: 2008-11-12
Anticipated expiration: 2019-09-30
Also published as: JP2001102412A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、銀ペーストや銀パラペーストなどの粘性物質からなるペースト膜を、必要とする膜傾きと膜厚に高精度に自動調整可能なペースト膜自動調整機能を有するペースト膜形成方法及び装置に関するものである。このペースト膜形成方法及び装置は、例えば、２段突起形状等のバンプを付けた半導体チップ等を導電性接着剤等で配線基板の電極に直接接続するスタッドバンプボンディング（ＳＢＢ）法によるフリップチップ実装などに使用することができる導電性ペーストの膜形成方法及び装置として適用することができるものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、ペースト膜形成方法及び膜形成装置を図６〜８に示す。
【０００３】
図６の従来のペースト膜形成装置では、平坦なプレート１１１と、プレート１１１上にペースト膜を形成するブレード１１２の先端との間にギャップｇを設け、プレート１１１又はブレード１１２を回転又は直線方向に移動させることにより、ギャップｇに粘性物質１１３を通過させてプレート１１１上にペースト膜１１５を形成する図である。図６においては、必要なギャップｇを得るための調整は、ブレード１１２をプレート１１１上に支持するカラー１１４を異なる高さのカラー１１４と交換することによりカラー１１４の高さを変化させ、プレート１１１とブレード１１２との間のギャップｇを、ブレード１１２をプレート１１１に対して垂直方向に移動させることにより、行うようにしている。
【０００４】
また、図７は、ブレード１１２を、支点１１２ａ回りに回動可能なアーム１１２ｂの一端に支持し、アーム１１２ｂの他端にマイクロメータ１２１等の先端を接触させて、マイクロメータ１２１等の先端によりアーム１１２ｂの他端を支点１１２ａ回りに回動させることにより、ブレード１１２をプレート１１１に対して支点１１２ａ回りに円弧状に移動させて、ギャップｇを変化させるようにしている。
【０００５】
また、ペースト膜１１５の傾きは、図８に示すように、プレート１１１とブレード１１２との間の取付平行度によるため、ペースト膜１１５の傾きを調整するためには上記取付平行度を人手により調整する必要があった。
【０００６】
さらに、ペースト膜１１５が必要とする膜傾き及び膜厚であるか否かの確認には、プレートを膜形成装置から取り外して、プレート上に形成されたペースト膜を、膜形成装置とは別に配置された膜厚測定器により測定を行わなければならなかった。そして、測定器でペースト膜１１５の膜傾き及び膜厚測定を行い、必要とする膜傾きか否か、必要とする膜厚か否かを確認していた。必要とする膜傾き又は膜厚でない場合には、プレート１１１とブレード１１２の取付平行度を再度調整するとともに、ギャップｇの変更を行っていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記の様な従来の構成では、プレート１１１とブレード１１２の間のギャップｇを変化させるためには、必要とする膜厚毎に、カラー１１４を用意する必要があり、また、プレート１１１とブレード１１２との取付平行度の調整は、高度な熟練作業を必要とする。
【０００８】
また、必要とする膜傾き及び膜厚であるか否かを確認する為、一旦、プレート１１１、ブレード１１２を膜形成装置から取り外し、ペースト膜１１５の膜傾き及び膜厚を測定器にて確認を行い、必要とする膜傾き及び膜厚でない場合には、再調整を必要とし、また、必要とする膜傾き膜厚であったとしても、再度、プレート１１１を装置に取付ける為、信頼性に欠け、調整確認作業に多大な時間を必要とするといった課題があった。
【０００９】
そこで、本発明は、上記課題を解決するものであって、プレートとブレードを膜形成装置から取り外すことなく、プレートとブレードとの間の取付平行度の調整に高度な熟練作業を必要とせず、また、必要とする膜傾き及び膜厚を短時間でかつ高信頼性にペースト膜を形成することができるペースト膜形成方法及び装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１１】
本発明の第１態様によれば、平坦なプレートとブレードとの隙間にペーストを通過させることによりペースト膜を上記プレート上に形成し、
上記プレート上に上記ペースト膜が形成された状態で上記ペースト膜の膜厚を測定し、
上記ペースト膜が必要とする膜傾き及び膜厚でないとき、上記測定結果に基づき、上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整し、
上記プレート上から上記ペースト膜を取り外すことなく当該ペースト膜と上記ブレードとの隙間にペーストを通過させて、上記ペースト膜の膜傾き又は膜厚を調整するようにしたことを特徴とするペースト膜形成方法を提供する。
【００１２】
本発明の第２態様によれば、上記ペースト膜を上記プレート上に形成するとき、
上記プレートと上記ブレードとの隙間に上記ペーストを通過させることにより上記ペースト膜の一部分を上記プレート上に形成し、
上記プレート上に上記ペースト膜の一部分が形成された状態で当該ペースト膜の一部分の膜厚を測定し、
上記測定結果に基づき、上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整し、
上記プレートと上記ブレードとの隙間にペーストを通過させて、上記ペースト膜の残りの部分を上記プレート上に形成するようにした第１態様に記載のペースト膜形成方法を提供する。
【００１３】
本発明の第３態様によれば、上記ペースト膜（４１）の上記プレート（１１）に対する傾きの差は、｛（Ｔ₁−Ｔ₂）／Ｌ₁｝−｛（ｔ₁−ｔ₂）／Ｌ₃｝の式より求めるものであって、ここで、Ｔ₁は上記ペースト膜が形成された上記プレートの上記ペースト膜近傍の任意の第１点での上記プレートの基準面から上記プレート表面までの距離、Ｔ₂は上記ペースト膜の上記一端とは反対側の他端の近傍の任意の第２点での上記基準面から上記プレートの表面までの距離、ｔ₁は上記任意の第１点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第３点での上記プレートの基準面から上記ペースト膜表面までの距離、ｔ₂は上記任意の第２点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第４点での上記プレートの基準面から上記ペースト膜表面までの距離であり、Ｌ₁は上記第１点から上記第２点までの距離であり、Ｌ₃は上記第３点から上記第４点までの距離である一方、上記ペースト膜の厚みは、｛（ｔ₁＋ｔ₂）／２｝−｛（Ｔ₁＋Ｔ₂）／２｝の式より求めるようにした第１又は２態様に記載のペースト膜形成方法。
【００１４】
本発明の第４態様によれば、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき上記ペースト膜の膜傾きを算出し、算出された膜傾きに基づき、上記プレートに対して上記ブレードを、上記ブレードの移動方向に対する大略直交面内で回転させることにより、上記プレートに対する上記ブレードの傾きを調整するようにした第１〜３のいずれかの態様に記載のペースト膜形成方法を提供する。
【００１５】
本発明の第５態様によれば、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき、上記プレートに対して上記ブレードを接離させることにより、上記ペースト膜の膜厚を調整するようにした第１〜４のいずれかの態様に記載のペースト膜形成方法を提供する。
【００１６】
本発明の第６態様によれば、平坦なプレートとブレードとを備え、上記プレートと上記ブレードの隙間にペーストを通過させることにより上記プレート上にペースト膜を形成するペースト膜形成ユニットと、
上記プレート上に上記ペースト膜が形成された状態で上記ペースト膜の膜厚を測定する膜厚測定ユニットと、
上記プレート及び上記ブレードを上記ペースト膜形成ユニットから取り外すことなく、上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整可能な調整ユニットと、
上記膜厚測定ユニットの測定結果に基づき、上記ペースト膜形成ユニットと上記調整ユニットの駆動を制御して、上記ペースト膜の膜傾き又は膜厚を調整する制御装置と、
を備え、
上記制御装置は、
上記測定結果に基づいて上記ペースト膜が必要とする膜傾き及び膜厚であるか否かを自動的に判断し、上記ペースト膜が上記必要とする膜傾き及び膜厚でないとき、上記プレート上に上記ペースト膜が形成された状態のまま、上記調整ユニットにより上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整したのち、上記ペースト膜形成ユニットにより上記プレート上の上記ペースト膜と上記ブレードとの隙間にペーストを通過させて、上記ペースト膜の膜傾き又は膜厚を調整することを特徴とするペースト膜形成装置を提供する。
【００１７】
本発明の第７態様によれば、上記制御装置は、上記ペースト膜形成ユニットが上記プレート上に上記ペースト膜を形成するとき、上記プレート上に上記ペースト膜の一部分が形成されるように上記ペースト膜形成ユニットの駆動を制御し、上記膜厚測定ユニットが測定した上記ペースト膜の一部分の膜厚の測定結果に基づき、上記調整ユニットにより上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整したのち、上記プレート上に上記ペースト膜の残りの部分が形成されるように上記ペースト膜形成ユニットの駆動を制御する第６態様に記載のペースト膜形成装置を提供する。
【００１８】
本発明の第８態様によれば、上記膜厚測定ユニットにおいて、上記ペースト膜の上記プレートに対する傾きの差は、｛（Ｔ₁−Ｔ₂）／Ｌ₁｝−｛（ｔ₁−ｔ₂）／Ｌ₃｝の式より求めるものであって、ここで、Ｔ₁は上記ペースト膜が形成された上記プレートの上記ペースト膜近傍の任意の第１点での上記プレートの基準面から上記プレート表面までの距離、Ｔ₂は上記ペースト膜の上記一端とは反対側の他端の近傍の任意の第２点での上記基準面から上記プレートの表面までの距離、ｔ₁は上記任意の第１点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第３点での上記プレートの基準面から上記ペースト膜表面までの距離、ｔ₂は上記任意の第２点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第４点での上記プレートの基準面から上記ペースト膜表面までの距離であり、Ｌ₁は上記第１点から上記第２点までの距離であり、Ｌ₃は上記第３点から上記第４点までの距離である一方、上記ペースト膜の厚みは、｛（ｔ₁＋ｔ₂）／２｝−｛（Ｔ₁＋Ｔ₂）／２｝の式より求めるようにした第６又は７態様に記載のペースト膜形成装置を提供する。
【００１９】
本発明の第９態様によれば、上記調整ユニットは、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき、上記プレートに対して上記ブレードを、上記ブレードの移動方向に対する大略直交面内で回転させることにより、上記プレートに対する上記ブレードの傾きを調整する膜傾き調整ユニットを備えるようにした第６〜８のいずれかの態様に記載のペースト膜形成装置を提供する。
【００２０】
本発明の第１０態様によれば、上記調整ユニットは、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき、上記プレートに対して上記ブレードを接離させることにより、上記ペースト膜の膜厚を調整する膜厚調整ユニットを備えるようにした第６〜９のいずれかの態様に記載のペースト膜形成装置を提供する。
【００２１】
本発明の第１１態様によれば、上記膜傾き調整ユニットは、上記プレートに固定された第１アクチュエータと、上記第１アクチュエータの駆動により上記ブレードを支持するアームを該アームの軸方向回りに回転させる回転部材とを備えて、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき上記第１アクチュエータを駆動して、上記プレートに対して上記回転部材を回転させ上記アームを介して上記ブレードを、上記ブレードの移動方向に対する大略直交面内で回転させることにより、上記プレートに対する上記ブレードの傾きを調整するようにした第９態様に記載のペースト膜形成装置を提供する。
【００２２】
本発明の第１２態様によれば、上記膜厚み調整ユニットは、上記プレートに固定された第２アクチュエータと、上記第２アクチュエータの駆動により上記アームを該アームの軸方向と大略直交する方向回りに回動させる回動支点とを備え、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき上記第２アクチュエータの駆動により、上記プレートに対して上記アームを回動させて上記プレートに対して上記ブレードを接離させることにより、上記ペースト膜の膜厚を調整するようにした第１０態様に記載のペースト膜形成装置を提供する。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明の実施形態について図面に基づき説明する。
【００２４】
本発明の第１実施形態にかかるペースト膜形成方法及びその方法を実施するためのペースト膜形成装置は、図１に示すように、ペースト膜を形成するペースト膜形成ユニット７０と、膜厚を測定する測定ユニット７１と、膜傾き及び膜厚を変化させる自動調整ユニット７２，７３を備えるものであり、プレート１１及びブレード１２をペースト膜形成装置から取り外すことなく、また、プレート１１とブレード１２との間の取付平行度の高精度な調整を必要とせず、必要とするペースト膜傾き及び膜厚を短時間でかつ高信頼・高精度に得ることができるものである。以下に、詳細に説明する。
【００２５】
上記ペースト膜形成ユニット７０においては、円形のプレート１１の表面と大略平板状のブレード１２の下端との間にギャップを設けて、図１において支持台３９にアーム６２を介して支持されたブレード１２の右側のプレート１１上に粘性物質１３を載置し、プレート１１を時計方向に回転させて、上記ギャップに粘性物質１３を通過させることにより、ペースト膜４１を形成する。粘性物質１３を通過させるためには、ブレード１２を固定してプレート１１を直線又は回転移動させるか、プレート１１を固定してブレード１２を直線又は回転移動させることにより行う。図１の装置は、ブレード１２を固定しておき、モータ２１などによりプレート１１を回転させる。図１において、２２は一度形成したペースト膜を掻き取る掻き取りブレードを有する掻き取り装置、５１は膜厚測定器である。
【００２６】
図２は、上記ペースト膜形成装置のペースト膜４１の傾きと厚みを測定する測定ユニット７１を示す。例えば市販の公知のレーザ測定器から構成される膜厚測定器５１を固定として膜形成装置をロボットなどの移動装置により移動、又は、膜形成装置を固定とし膜厚測定器５１をロボットなどの移動装置により移動させることにより、レーザ光を利用して、プレート１１からのペースト膜４１の傾き及び厚みを測定する。
【００２７】
図３は、上記測定器５１を利用して、上記ペースト膜形成装置のペースト膜４１の傾き及び厚みの推定方法を示す。
【００２８】
まず、プレート１１上のポイント１，２及びペースト膜４１のポイント３，４での上記ペースト膜形成装置の基準面からの距離を膜測定器５１によりそれぞれ測定する。ペースト膜４１のプレート（１１）に対する傾きの差は、プレート１１の傾きとペースト膜４１の傾きの差を演算することにより、すなわち、
【００２９】
【数１】
傾きの差＝｛（Ｔ₁−Ｔ₂）／Ｌ₁｝−｛（ｔ₁−ｔ₂）／Ｌ₃｝
の式より求められる。ここで、Ｔ₁はポイント１（上記ペースト膜が形成された上記プレートの上記ペースト膜近傍の任意の第１点）でのペースト膜形成装置の基準面からプレート１１の表面まで距離、Ｔ₂はポイント２（上記ペースト膜の上記一端とは反対側の他端の近傍の任意の第２点）での上記基準面からプレート１１の表面までの距離、ｔ₁はポイント３（上記任意の第１点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第３点）でのプレート１１の基準面からペースト膜表面までの距離、ｔ₂はポイント４（上記任意の第２点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第４点）でのプレート１１の基準面からペースト膜表面までの距離である。ここで、図３に示すように、ポイント１からポイント２までの距離をＬ₁とし、ポイント３からポイント４までの距離をＬ₃とし、ポイント１とポイント２との間の中心線と、ポイント３とポイント４との間の中心線とが一致するようになっている。ただし、（ｔ₁＋ｔ₂）＞（Ｔ₁＋Ｔ₂）となっている。よって、ペースト膜４１の厚みは、
【００３０】
【数２】
ペースト膜厚＝｛（ｔ₁＋ｔ₂）／２｝−｛（Ｔ₁＋Ｔ₂）／２｝
の式より求められる。
【００３１】
図４は、上記ペースト膜形成装置のペースト膜４１の傾き及び厚みを自動調整する場合のフローチャートを示す。
【００３２】
まず、ステップＳ１で、初期のペースト膜４１の傾き及び厚さを膜測定器５１により測定する。次いで、ステップＳ２で、後記する傾き自動調整ユニット７２及び厚み自動調整ユニット７３により、プレート１１とブレード１２との平行度、及び、プレート１１とブレード１２との間のギャップをそれぞれ変化させたのち、ペースト膜形成ユニット７０によりペースト膜４１を再度形成する。ステップＳ３で、再度、膜測定器５１により、ステップＳ２で形成されたペースト膜４１の傾きと厚さを測定し、必要とする膜傾き及び膜厚であるか否かを自動的に確認する。すなわち、測定器５１からの測定値が後記する制御装置４０に入力され、制御装置４０に予め入力されていた必要とする傾きと厚みの値と上記入力された値とをそれぞれ比較し、許容範囲内か否か自動的に判断する。必要とする膜傾き及び膜厚が形成されていない場合は、再度、ステップＳ２に戻り、プレート１１とブレード１２平行度及びプレート１１とブレード１２との間のギャップを変化させてペースト膜を形成し、ステップＳ３で再度ペースト膜傾き及び厚さを測定するといった再調整を行う。この再調整を行うか否かの判断も制御装置４０で自動的に行う。このような動作を、必要とする膜傾き及び厚さが得られるまで、制御装置４０で自動的に続ける。ただし、所定回数続けても得られない場合には、この調整動作を中止するようにしてもよい。
【００３３】
図５は、図１のペースト膜形成装置のペースト膜４１の傾きの自動調整ユニット７２の部分を示す斜視図である。この傾き自動調整ユニット７２は、ペースト膜形成ユニット７０のプレート１１に対するブレード１２の支持機構に組み込まれたものである。この傾き自動調整ユニット７２は、ペースト膜４１の傾き測定の結果より、ブレード１２の傾きをピエゾ素子又はモータ等のアクチュエータ８１により変化させることによりペースト膜４１傾きを調整するものである。すなわち、傾き自動調整ユニット７２では、Ｌ字状部材と逆Ｌ字状部材とが一体的に組み合わせられた形状の支持部材６０がプレート１１の支持台３９に固定されている。支持部材６０には、その上端６０ａから下向きにアクチュエータ８１が取り付けられている。また、プレート１１を回転可能に支持する支持台３９には、支持部材６０の近傍に、回転ガイド８２により正逆回転可能に回転部材６１が取り付けられている。支持部材６０の上端６０ａより横方向に突出した突起６０ｂとこれに対向する回転部材６１の突起６１ｂとの間には、両突起６０ｂ，６１ｂを互いに接近するように付勢するスプリング８３が配置されて、スプリング８３の付勢力により、回転部材６１の一端６１ｄの上面に、支持部材６０に固定されたアクチュエータ８１の下端駆動部が常時接触するようにしている。なお、アーム６２の長手軸方向と上記回転部材６１の回転中心軸とは大略平行になっている。
【００３４】
また、アクチュエータ８１の駆動は制御装置４０により制御されている。この制御装置４０は、ブレード１２に対してプレート１１を回転させてペースト膜４１をプレート１１上で形成するときプレート１１を回転させるためのモータ３８の駆動を制御するとともに、測定器５１で測定された測定結果の情報が入力されるようになっている。また、この制御装置４０では、測定器５１から入力された測定結果情報に基づき、ペースト膜４１の傾き及び膜厚を上記２つの式で演算することも行うようにしている。
【００３５】
よって、測定器５１から入力された測定結果情報のペースト膜４１の厚み測定結果に基づき算出されたペースト膜の傾きに基づき、アクチュエータ８１の下端駆動部を上向きに移動させるように引き込むか（ピエゾ素子の場合には縮ませるか）又は下向きに移動させるように突出させる（ピエゾ素子の場合には伸ばす）と、スプリング８３の付勢力により回転部材６１の一端６１ｄがアクチュエータ８１の下端駆動部に追随するように移動するため、回転部材６１が矢印Ａで示すように回転ガイド８２回りに反時計方向に回転又は時計方向に回転する。この結果、回転部材６１の上部に回転ガイド６３を介して回動可能に支持されたアーム６２の先端のブレード１２が、矢印Ｂで示すように反時計方向に回転するか又は時計方向に回転することになり、ブレード１２下端のプレート１１に対する傾き言い換えれば平行度を調整することができる。
【００３６】
また、上記図５は、図１のペースト膜形成装置のペースト膜４１の厚みの自動調整ユニット７３の部分を示す斜視図でもある。この厚み自動調整ユニット７３もまた、ペースト膜形成ユニット７０のプレート１１に対するブレード１２の支持機構に組み込まれたものである。厚み自動調整ユニット７３では、回転部材６１の横方向に延びた支持部６１ｅの上面には、上向きにピエゾ素子又はモータ等のアクチュエータ８５が取り付けられている。アーム６２の後部６２ｅの後端の突起６２ｃとこれに対向する回転部材６１の突起６１ｃとの間には、両突起６２ｃ，６１ｃを互いに接近するように付勢するスプリング８４が配置されて、スプリング８４の付勢力により、アーム６２の後部６２ｅの下面に、回転部材６１の支持部６１ｅに固定されたアクチュエータ８５の上端駆動部が常時接触するようにしている。なお、アーム６２の長手軸方向とアーム６２の回動中心軸とは大略大略直交するようになっている。また、アクチュエータ８１の駆動は制御装置４０により制御されている。
【００３７】
よって、測定器５１から制御装置４０に入力されたペースト膜４１の厚み測定結果に基づき、アクチュエータ８５の上端駆動部を上向きに移動させるように突出させるか（ピエゾ素子の場合には伸ばすか）又は下向きに移動させるように引き込む（ピエゾ素子の場合には縮ませる）と、スプリング８４の付勢力によりアーム６２の後部６２ｅの下面がアクチュエータ８５の上端駆動部に追随するように移動するため、アーム６２が矢印Ｃで示すように回転ガイド８３回りに時計方向に回動又は反時計方向に回動する。この結果、アーム６２の先端のブレード１２が、矢印Ｄで示すように時計方向に回動又は反時計方向に回動することになり、ブレード１２下端のプレート１１に対するギャップを調整して、ペースト膜の厚さを調整することができる。
【００３８】
なお、本発明は、円環状のペースト膜を１枚完全に形成したのち、膜厚の測定を行い、調整作業を行ったのち、再び円環状の１枚のペースト膜を完全に形成するものに限定されるものではなく、円環状のうち一部分（例えば４分の１程度）のペースト膜を形成した時点で一時中断し、膜厚を測定して調整したのち、再び、円環状の残りの部分（４分の３程度）のペースト膜を形成し、その部分の膜厚を測定して所望の値が得られたならば、形成されたペースト膜は廃棄せずに、円環状の１枚のペースト膜を再形成するようにしてもよい。
【００３９】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、ペースト膜をプレート上に形成したのち、プレート上に形成されたままでペースト膜の膜厚を測定し、測定結果に基づき算出された膜厚又は傾きに基づき、プレートとブレードとのギャップ又はプレートとブレードとの平行度を調整して上記ペースト膜の膜厚又は傾きを調整することができる。よって、プレート及びブレードをペースト膜形成装置から取り外すことなく、また、プレートとブレードとの間のペースト膜形成装置に対する取付平行度に高精度な調整を必要とせず、必要とする膜傾き及び膜厚を短時間でかつ高信頼性・高精度に形成できるという有利な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態にかかるペースト膜形成装置のペースト膜形成ユニットの斜視図である。
【図２】上記ペースト膜形成装置のペースト膜傾き及び厚み測定ユニットの斜視図である。
【図３】上記ペースト膜形成装置のペースト膜傾き及び厚みの推定方法を示す説明図である。
【図４】上記ペースト膜形成装置のペースト膜傾き及び厚み自動調整フローチャートである。
【図５】上記ペースト膜形成装置のペースト膜形成ユニットの一部に組み込まれたペースト膜傾き自動調整ユニット及び厚み自動調整ユニットの斜視図である。
【図６】従来のペースト膜形成装置を示す説明図である。
【図７】従来の別のペースト膜形成装置を示す説明図である。
【図８】従来のプレートとブレードの取付平行度調整を説明するための説明図である。
【符号の説明】
１１平坦なプレート
１２ペースト膜形成用ブレード
１３粘性物質（ペースト）
２１マイクロメータ
４１ペースト膜
５１膜厚測定器
７０ペースト膜形成ユニット
７１ペースト膜厚測定ユニット
７２ペースト膜傾き自動調整ユニット
７３ペースト膜厚み自動調整ユニット
８１，８５アクチュエータ
８２回転ガイド
８３，８４スプリング[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a paste film forming method and apparatus having a paste film automatic adjustment function capable of automatically adjusting a paste film made of a viscous material such as silver paste and silver parapaste to a required film inclination and film thickness with high accuracy. Is. This paste film forming method and apparatus are, for example, flip chip mounting by a stud bump bonding (SBB) method in which a semiconductor chip or the like with a bump having a two-step projection shape or the like is directly connected to an electrode of a wiring board with a conductive adhesive or the like. The present invention can be applied as a film forming method and apparatus for a conductive paste that can be used for, for example.
[0002]
[Prior art]
Conventional paste film forming methods and film forming apparatuses are shown in FIGS.
[0003]
In the conventional paste film forming apparatus of FIG. 6, a gap g is provided between the flat plate 111 and the tip of the blade 112 that forms the paste film on the plate 111, and the plate 111 or the blade 112 is rotated or linearly moved. FIG. 5 is a diagram for forming a paste film 115 on a plate 111 by causing the viscous substance 113 to pass through the gap g by being moved. In FIG. 6, adjustment to obtain the required gap g is accomplished by changing the height of the collar 114 by replacing the collar 114 that supports the blade 112 on the plate 111 with a collar 114 of a different height. A gap g between the blade 112 and the blade 112 is achieved by moving the blade 112 in a direction perpendicular to the plate 111.
[0004]
7 shows that the blade 112 is supported on one end of an arm 112b that can rotate around a fulcrum 112a, and the tip of the micrometer 121 or the like is brought into contact with the other end of the arm 112b. By rotating the other end of the arm 112b around the fulcrum 112a, the blade 112 is moved in an arc around the fulcrum 112a with respect to the plate 111, thereby changing the gap g.
[0005]
Further, since the inclination of the paste film 115 depends on the mounting parallelism between the plate 111 and the blade 112 as shown in FIG. 8, in order to adjust the inclination of the paste film 115, the above mounting parallelism is manually adjusted. There was a need to do.
[0006]
Further, in order to confirm whether the paste film 115 has the required film inclination and film thickness, the plate is removed from the film forming apparatus, and the paste film formed on the plate is disposed separately from the film forming apparatus. Measurements had to be made with a film thickness measuring instrument. Then, the film inclination and film thickness of the paste film 115 were measured with a measuring instrument, and it was confirmed whether the film inclination was required and whether the film thickness was required. When the required film inclination or film thickness was not required, the mounting parallelism of the plate 111 and the blade 112 was adjusted again, and the gap g was changed.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
However, in the conventional configuration as described above, in order to change the gap g between the plate 111 and the blade 112, it is necessary to prepare the collar 114 for each required film thickness. Adjustment of the mounting parallelism with the blade 112 requires highly skilled work.
[0008]
In addition, in order to confirm whether or not the required film inclination and film thickness are satisfied, the plate 111 and blade 112 are once removed from the film forming apparatus, and the film inclination and film thickness of the paste film 115 are confirmed with a measuring instrument. If the required film tilt and film thickness are not satisfied, readjustment is required, and even if the required film tilt film thickness is required, the plate 111 is attached to the apparatus again, so that the reliability is insufficient. There has been a problem that a great amount of time is required for the adjustment confirmation work.
[0009]
Therefore, the present invention solves the above-mentioned problems, without removing the plate and blade from the film forming apparatus, without requiring highly skilled work to adjust the mounting parallelism between the plate and the blade, Another object of the present invention is to provide a paste film forming method and apparatus capable of forming a paste film with a required film inclination and film thickness in a short time and with high reliability.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows.
[0011]
According to a first aspect of the present invention, the paste film formed on the plate by passing the paste into the gap between the flat plate and the blade,
Measure the thickness of the paste film with the paste film formed on the plate,
When the paste film does not have the required film inclination and film thickness, based on the measurement results, adjust the blade inclination or position relative to the plate,
Paste film formation characterized in that the paste film is passed through the gap between the paste film and the blade without removing the paste film from the plate to adjust the film inclination or film thickness of the paste film. Provide a method.
[0012]
According to the second aspect of the present invention, when the paste film is formed on the plate,
A portion of the paste film is formed on the plate by passing the paste into the gap between the plate and the blade,
Measure the thickness of a part of the paste film in a state where a part of the paste film is formed on the plate,
Based on the measurement results, adjust the inclination or position of the blade relative to the plate,
The paste film forming method according to the first aspect, wherein the paste is passed through the gap between the plate and the blade to form the remaining part of the paste film on the plate .
[0013]
According to the third aspect of the present invention, the difference in inclination of the paste film (41) with respect to the plate (11) is {(T ₁ −T ₂ ) / L ₁ } − {(t ₁ −t ₂ ) / L ₃ }, where T ₁ is from the reference surface of the plate to the plate surface at an arbitrary first point in the vicinity of the paste film of the plate on which the paste film is formed. , T ₂ is the distance from the reference surface to the surface of the plate at an arbitrary second point in the vicinity of the other end opposite to the one end of the paste film, and t ₁ is the arbitrary first point. The distance from the reference surface of the plate to the paste film surface at an arbitrary third point on the paste film in the vicinity of t, and t ₂ is an arbitrary fourth point on the paste film in the vicinity of the arbitrary second point. The distance from the reference plane of the plate to the paste film surface at a point, L ₁ is the distance from the first point to the second point, and L ₃ is the distance from the third point to the fourth point, while the thickness of the paste film is {(t ₁ + t ₂ ) / 2}-{(T ₁ + T ₂ ) / 2} The paste film forming method according to the first or second aspect, which is obtained from the formula:
[0014]
According to the fourth aspect of the present invention, the film inclination of the paste film is calculated based on the measured film thickness of the paste film, and the blade is attached to the plate based on the calculated film inclination. The paste film forming method according to any one of the first to third aspects is provided in which the inclination of the blade with respect to the plate is adjusted by rotating in a plane substantially orthogonal to the movement direction of the plate.
[0015]
According to the fifth aspect of the present invention, the thickness of the paste film is adjusted by bringing the blade into and out of contact with the plate based on the measured thickness of the paste film. The paste film formation method as described in any one of -4 is provided.
[0016]
According to the sixth aspect of the present invention, the paste film forming unit includes a flat plate and a blade, and forms a paste film on the plate by allowing the paste to pass through a gap between the plate and the blade ;
A film thickness measuring unit for measuring the film thickness of the paste film in a state where the paste film is formed on the plate;
The upper Symbol plate and the blade without removing from the paste film formation unit, and adjustable adjustment unit the inclination or the position of the blade relative to the plate,
Based on the measurement result of the film thickness measurement unit, the controller for controlling the paste film formation unit and the adjustment unit to adjust the film inclination or film thickness of the paste film;
Equipped with a,
The control device
Based on the measurement result, it is automatically determined whether the paste film has the required film inclination and film thickness. When the paste film is not the required film inclination and film thickness, After the paste film is formed, the adjustment unit adjusts the inclination or position of the blade with respect to the plate, and then the paste film formation unit pastes the paste into the gap between the paste film and the blade on the plate. The paste film forming apparatus is characterized in that the film inclination or the film thickness of the paste film is adjusted by passing the filter.
[0017]
According to a seventh aspect of the present invention, when the paste film forming unit forms the paste film on the plate, the control device is configured so that a part of the paste film is formed on the plate. After controlling the driving of the film forming unit and adjusting the inclination or position of the blade with respect to the plate by the adjustment unit based on the measurement result of the film thickness of a part of the paste film measured by the film thickness measurement unit, A paste film forming apparatus according to a sixth aspect is provided that controls the drive of the paste film forming unit so that the remaining portion of the paste film is formed on a plate .
[0018]
According to the eighth aspect of the present invention, in the film thickness measurement unit, the difference in inclination of the paste film with respect to the plate is {(T ₁ −T ₂ ) / L ₁ } − {(t ₁ −t ₂ ). / L ₃ }, where T ₁ is the plate surface from the reference plane of the plate at an arbitrary first point in the vicinity of the paste film of the plate on which the paste film is formed. , T ₂ is the distance from the reference plane to the surface of the plate at an arbitrary second point in the vicinity of the other end opposite to the one end of the paste film, and t ₁ is the optional first The distance from the reference surface of the plate to the paste film surface at an arbitrary third point on the paste film in the vicinity of the point, t ₂ is an arbitrary first point on the paste film in the vicinity of the arbitrary second point 4 points from the reference plane of the plate to the paste film surface Be away, L ₁ is the distance from the first point to the second point, while L ₃ is the distance from the third point to the fourth point, the thickness of the paste film, {( The paste film forming apparatus according to the sixth or seventh aspect, wherein the paste film forming apparatus is obtained from an equation of t ₁ + t ₂ ) / 2} − {(T ₁ + T ₂ ) / 2}.
[0019]
According to the ninth aspect of the present invention, the adjusting unit rotates the blade with respect to the plate in a plane substantially orthogonal to the moving direction of the blade based on the measured thickness of the paste film. The paste film forming apparatus according to any one of the sixth to eighth aspects is provided with a film inclination adjusting unit that adjusts the inclination of the blade with respect to the plate.
[0020]
According to the tenth aspect of the present invention, the adjustment unit adjusts the thickness of the paste film by bringing the blade into and out of contact with the plate based on the measured thickness of the paste film. The paste film forming apparatus according to any one of the sixth to ninth aspects is provided with a film thickness adjusting unit.
[0021]
According to an eleventh aspect of the present invention, the film tilt adjusting unit rotates a first actuator fixed to the plate and an arm supporting the blade by driving the first actuator about the axial direction of the arm. A rotating member for driving the first actuator based on the measured film thickness of the paste film to rotate the rotating member relative to the plate, and the blade through the arm. The paste film forming apparatus according to the ninth aspect is configured such that the inclination of the blade with respect to the plate is adjusted by rotating in a plane substantially orthogonal to the moving direction.
[0022]
According to a twelfth aspect of the present invention, the film thickness adjusting unit includes: a second actuator fixed to the plate; and the driving of the second actuator causes the arm to rotate about a direction substantially orthogonal to the axial direction of the arm. A rotation fulcrum for rotation, and the second actuator is driven on the basis of the measured film thickness of the paste film to rotate the arm with respect to the plate to bring the blade into contact with the plate. The paste film forming apparatus according to the tenth aspect, wherein the film thickness of the paste film is adjusted by separating the paste film, is provided.
[0023]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0024]
A paste film forming method and a paste film forming apparatus for carrying out the method according to the first embodiment of the present invention, as shown in FIG. 1, a paste film forming unit 70 for forming a paste film, and measuring the film thickness Measuring unit 71 and automatic adjustment units 72 and 73 for changing the film inclination and film thickness, without removing the plate 11 and the blade 12 from the paste film forming apparatus, and between the plate 11 and the blade 12. The required paste film inclination and film thickness can be obtained in a short time, with high reliability and high accuracy, without requiring high-precision adjustment of the mounting parallelism. This will be described in detail below.
[0025]
In the paste film forming unit 70, a gap is provided between the surface of the circular plate 11 and the lower end of the substantially flat blade 12, and the blade 12 supported on the support base 39 via the arm 62 in FIG. 1. A paste film 41 is formed by placing the viscous material 13 on the right plate 11 and rotating the plate 11 clockwise to pass the viscous material 13 through the gap. In order to pass the viscous substance 13, the blade 12 is fixed and the plate 11 is linearly or rotationally moved, or the plate 11 is fixed and the blade 12 is linearly or rotationally moved. In the apparatus of FIG. 1, the blade 12 is fixed, and the plate 11 is rotated by a motor 21 or the like. In FIG. 1, 22 is a scraping device having a scraping blade for scraping the paste film once formed, and 51 is a film thickness measuring device.
[0026]
FIG. 2 shows a measuring unit 71 for measuring the inclination and thickness of the paste film 41 of the paste film forming apparatus. For example, a film thickness measuring device 51 composed of a commercially available known laser measuring device is fixed and the film forming apparatus is moved by a moving device such as a robot, or the film forming device is fixed and the film thickness measuring device 51 is moved by a robot or the like. By moving by the apparatus, the inclination and thickness of the paste film 41 from the plate 11 are measured using laser light.
[0027]
FIG. 3 shows a method for estimating the inclination and thickness of the paste film 41 of the paste film forming apparatus using the measuring device 51.
[0028]
First, the distance from the reference plane of the paste film forming apparatus at points 1 and 2 on the plate 11 and points 3 and 4 of the paste film 41 is measured by the film measuring device 51. The difference in inclination of the paste film 41 with respect to the plate (11) is obtained by calculating the difference between the inclination of the plate 11 and the inclination of the paste film 41, that is,
[0029]
[Expression 1]
Difference in slope = {(T ₁ −T ₂ ) / L ₁ } − {(t ₁ −t ₂ ) / L ₃ }
It can be obtained from the following formula. Here, T ₁ is a distance from the reference surface of the paste film forming apparatus to the surface of the plate 11 at point 1 (any first point in the vicinity of the paste film of the plate on which the paste film is formed), and T ₂ is The distance from the reference plane to the surface of the plate 11 at point 2 (arbitrary second point near the other end opposite to the one end of the paste film), t ₁ is point 3 (arbitrary _first point The distance from the reference surface of the plate 11 to the paste film surface at an arbitrary third point on the paste film in the vicinity of the point, t ₂ is point 4 (on the paste film in the vicinity of the optional second point) This is the distance from the reference plane of the plate 11 to the paste film surface at an arbitrary fourth point). Here, as shown in FIG. 3, the distance from point 1 to point 2 is L ₁ , the distance from point 3 to point 4 is L ₃ , the center line between point 1 and point 2, and the point The center line between 3 and point 4 coincides. However, (t ₁ + t ₂ )> (T ₁ + T ₂ ). Therefore, the thickness of the paste film 41 is
[0030]
[Expression 2]
Paste film thickness = {(t ₁ + t ₂ ) / 2} − {(T ₁ + T ₂ ) / 2}
It can be obtained from the following formula.
[0031]
FIG. 4 is a flowchart for automatically adjusting the inclination and thickness of the paste film 41 of the paste film forming apparatus.
[0032]
First, the inclination and thickness of the initial paste film 41 are measured by the film measuring instrument 51 in step S1. Next, in step S2, the parallelism between the plate 11 and the blade 12 and the gap between the plate 11 and the blade 12 are changed by the inclination automatic adjustment unit 72 and the thickness automatic adjustment unit 73 described later, respectively. The paste film 41 is formed again by the paste film forming unit 70. In step S3, the film measuring device 51 again measures the inclination and thickness of the paste film 41 formed in step S2, and automatically confirms whether or not the film inclination and film thickness are required. That is, the measured value from the measuring instrument 51 is input to the control device 40 to be described later, and the necessary inclination and thickness values previously input to the control device 40 are compared with the input values, respectively, and the allowable range. It is automatically determined whether it is within or not. If the required film inclination and film thickness are not formed, the process returns to step S2 again to change the parallelism between the plate 11 and the blade 12 and the gap between the plate 11 and the blade 12 to form a paste film. In step S3, readjustment is performed such that the inclination and thickness of the paste film are measured again. The control device 40 also automatically determines whether or not to perform this readjustment. Such an operation is automatically continued by the control device 40 until the required film inclination and thickness are obtained. However, this adjustment operation may be stopped if it cannot be obtained after a predetermined number of times.
[0033]
FIG. 5 is a perspective view showing a portion of the automatic adjustment unit 72 of the inclination of the paste film 41 of the paste film forming apparatus of FIG. This automatic tilt adjustment unit 72 is incorporated in the support mechanism of the blade 12 with respect to the plate 11 of the paste film forming unit 70. The automatic inclination adjustment unit 72 adjusts the inclination of the paste film 41 by changing the inclination of the blade 12 by an actuator 81 such as a piezo element or a motor based on the result of the measurement of the inclination of the paste film 41. That is, in the automatic tilt adjustment unit 72, the support member 60 having a shape in which the L-shaped member and the inverted L-shaped member are integrally combined is fixed to the support base 39 of the plate 11. An actuator 81 is attached to the support member 60 downward from its upper end 60a. In addition, a rotation member 61 is attached to the support base 39 that rotatably supports the plate 11 in the vicinity of the support member 60 so that the rotation guide 82 can rotate forward and backward. A spring 83 that urges the protrusions 60b and 61b to approach each other is disposed between the protrusion 60b that protrudes laterally from the upper end 60a of the support member 60 and the protrusion 61b of the rotating member 61 that faces the protrusion 60b. Accordingly, the lower end driving portion of the actuator 81 fixed to the support member 60 is always in contact with the upper surface of the one end 61 d of the rotating member 61 by the biasing force of the spring 83. The longitudinal axis direction of the arm 62 and the rotation center axis of the rotating member 61 are substantially parallel.
[0034]
The drive of the actuator 81 is controlled by the control device 40. The control device 40 controls the drive of the motor 38 for rotating the plate 11 when the plate 11 is rotated with respect to the blade 12 to form the paste film 41 on the plate 11, and is measured by the measuring device 51. Measurement result information is input. Further, in the control device 40, the inclination and film thickness of the paste film 41 are also calculated by the above two formulas based on the measurement result information input from the measuring device 51.
[0035]
Therefore, based on the inclination of the paste film calculated based on the thickness measurement result of the paste film 41 in the measurement result information input from the measuring device 51, the lower end drive part of the actuator 81 is pulled upward (piezo element). In this case, it is contracted) or is projected so as to move downward (in the case of a piezo element, it is extended), and the one end 61d of the rotating member 61 follows the lower end driving portion of the actuator 81 by the urging force of the spring 83. Therefore, the rotating member 61 rotates counterclockwise around the rotation guide 82 or rotates clockwise as indicated by an arrow A. As a result, the blade 12 at the tip of the arm 62 rotatably supported on the upper portion of the rotating member 61 via the rotation guide 63 rotates counterclockwise or clockwise as indicated by an arrow B. That is, the inclination of the lower end of the blade 12 with respect to the plate 11 in other words, the parallelism can be adjusted.
[0036]
5 is also a perspective view showing a portion of the automatic adjustment unit 73 for the thickness of the paste film 41 of the paste film forming apparatus of FIG. This automatic thickness adjusting unit 73 is also incorporated in the support mechanism of the blade 12 with respect to the plate 11 of the paste film forming unit 70. In the automatic thickness adjusting unit 73, an actuator 85 such as a piezo element or a motor is attached upward on the upper surface of the support portion 61 e extending in the lateral direction of the rotating member 61. Between the protrusion 62c at the rear end of the rear part 62e of the arm 62 and the protrusion 61c of the rotating member 61 opposite to the protrusion 62c, a spring 84 that urges the protrusions 62c and 61c to approach each other is disposed. The upper end drive portion of the actuator 85 fixed to the support portion 61e of the rotating member 61 is always in contact with the lower surface of the rear portion 62e of the arm 62 by the urging force of 84. Note that the longitudinal axis direction of the arm 62 and the rotation center axis of the arm 62 are substantially orthogonal to each other. The drive of the actuator 81 is controlled by the control device 40.
[0037]
Therefore, based on the thickness measurement result of the paste film 41 input from the measuring device 51 to the control device 40, the upper end drive unit of the actuator 85 is projected to move upward (or extended in the case of a piezo element), or When retracted so as to move downward (shrink in the case of a piezo element), the lower surface of the rear portion 62e of the arm 62 moves so as to follow the upper end drive portion of the actuator 85 by the urging force of the spring 84. As shown by an arrow C, it rotates clockwise or counterclockwise around the rotation guide 83. As a result, the blade 12 at the tip of the arm 62 is rotated clockwise or counterclockwise as indicated by an arrow D, and the paste film is adjusted by adjusting the gap with respect to the plate 11 at the lower end of the blade 12. The thickness can be adjusted.
[0038]
In the present invention, after one annular paste film is completely formed, the film thickness is measured and adjusted, and then one annular paste film is completely formed again. It is not limited, and when the paste film of a part (for example, about one-fourth) of the annular shape is formed, it is temporarily stopped, and after measuring and adjusting the film thickness, the remaining part of the annular shape is again formed. If a desired value is obtained by measuring the thickness of the paste film (about three-quarters), the formed paste film is not discarded, and one annular sheet is formed. The paste film may be re-formed.
[0039]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, after the paste film is formed on the plate, the thickness of the paste film is measured while being formed on the plate, and the film thickness or the slope calculated based on the measurement result is measured. The thickness or inclination of the paste film can be adjusted by adjusting the gap between the plate and the blade or the parallelism between the plate and the blade. Therefore, without removing the plate and the blade from the paste film forming apparatus, and without requiring a highly accurate adjustment of the mounting parallelism with respect to the paste film forming apparatus between the plate and the blade, the required film inclination and film thickness are required. Can be formed in a short time, with high reliability and high accuracy.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of a paste film forming unit of a paste film forming apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view of a paste film inclination and thickness measuring unit of the paste film forming apparatus.
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a method for estimating the paste film inclination and thickness of the paste film forming apparatus.
FIG. 4 is a flowchart of paste film inclination and thickness automatic adjustment of the paste film forming apparatus.
FIG. 5 is a perspective view of a paste film inclination automatic adjustment unit and a thickness automatic adjustment unit incorporated in a part of the paste film formation unit of the paste film formation apparatus.
FIG. 6 is an explanatory view showing a conventional paste film forming apparatus.
FIG. 7 is an explanatory view showing another conventional paste film forming apparatus.
FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining conventional adjustment of the mounting parallelism of a plate and a blade.
[Explanation of symbols]
11 Flat plate 12 Paste film forming blade 13 Viscous substance (paste)
21 Micrometer 41 Paste film 51 Film thickness measuring device 70 Paste film forming unit 71 Paste film thickness measuring unit 72 Paste film inclination automatic adjustment unit 73 Paste film thickness automatic adjustment unit 81, 85 Actuator 82 Rotating guide 83, 84 Spring

Claims

平坦なプレートとブレード（１２）との隙間にペーストを通過させることによりペースト膜（４１）を上記プレート（１１）上に形成し、
上記プレート上に上記ペースト膜が形成された状態で上記ペースト膜の膜厚を測定し、
上記ペースト膜が必要とする膜傾き及び膜厚でないとき、上記測定結果に基づき、上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整し、
上記プレート上から上記ペースト膜を取り外すことなく当該ペースト膜と上記ブレードとの隙間にペーストを通過させて、上記ペースト膜の膜傾き又は膜厚を調整するようにしたことを特徴とするペースト膜形成方法。Paste film (41) formed on the plate (11) by passing the paste into the gap between the flat plate and the blade (12),
Measure the thickness of the paste film with the paste film formed on the plate,
When the paste film is not required for film inclination and film thickness, based on the measurement results, adjust the inclination or position of the blade relative to the plate,
Paste film formation characterized in that the paste film is passed through the gap between the paste film and the blade without removing the paste film from the plate to adjust the film inclination or film thickness of the paste film. Method.

上記ペースト膜を上記プレート上に形成するとき、
上記プレートと上記ブレードとの隙間に上記ペーストを通過させることにより上記ペースト膜の一部分を上記プレート上に形成し、
上記プレート上に上記ペースト膜の一部分が形成された状態で当該ペースト膜の一部分の膜厚を測定し、
上記測定結果に基づき、上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整し、
上記プレートと上記ブレードとの隙間にペーストを通過させて、上記ペースト膜の残りの部分を上記プレート上に形成するようにした請求項１に記載のペースト膜形成方法。 When forming the paste film on the plate,
A portion of the paste film is formed on the plate by passing the paste into the gap between the plate and the blade,
Measure the thickness of a part of the paste film in a state where a part of the paste film is formed on the plate,
Based on the measurement results, adjust the inclination or position of the blade relative to the plate,
The paste film forming method according to claim 1, wherein the paste is passed through a gap between the plate and the blade to form the remaining part of the paste film on the plate .

上記ペースト膜（４１）の上記プレート（１１）に対する傾きの差は、｛（Ｔ₁−Ｔ₂）／Ｌ₁｝−｛（ｔ₁−ｔ₂）／Ｌ₃｝の式より求めるものであって、ここで、Ｔ₁は上記ペースト膜が形成された上記プレートの上記ペースト膜近傍の任意の第１点での上記プレートの基準面から上記プレート表面までの距離、Ｔ₂は上記ペースト膜の上記一端とは反対側の他端の近傍の任意の第２点での上記基準面から上記プレートの表面までの距離、ｔ₁は上記任意の第１点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第３点での上記プレートの基準面から上記ペースト膜表面までの距離、ｔ₂は上記任意の第２点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第４点での上記プレートの基準面から上記ペースト膜表面までの距離であり、Ｌ₁は上記第１点から上記第２点までの距離であり、Ｌ₃は上記第３点から上記第４点までの距離である一方、上記ペースト膜の厚みは、｛（ｔ₁＋ｔ₂）／２｝−｛（Ｔ₁＋Ｔ₂）／２｝の式より求めるようにした請求項１又は２に記載のペースト膜形成方法。The difference in inclination of the paste film (41) with respect to the plate (11) is obtained from the equation {(T ₁ −T ₂ ) / L ₁ } − {(t ₁ −t ₂ ) / L ₃ }. Here, T ₁ is the distance from the reference surface of the plate to the plate surface at an arbitrary first point in the vicinity of the paste film of the plate on which the paste film is formed, and T ₂ is the distance of the paste film The distance from the reference plane to the surface of the plate at an arbitrary second point in the vicinity of the other end opposite to the one end, t ₁ is an arbitrary value on the paste film in the vicinity of the arbitrary first point The distance from the reference plane of the plate at the third point to the paste film surface, t ₂ is the reference plane of the plate at any fourth point on the paste film in the vicinity of the arbitrary second point. L ₁ is the distance to the paste film surface, and L ₁ is the first point to the second point. L ₃ is the distance from the third point to the fourth point, while the thickness of the paste film is {(t ₁ + t ₂ ) / 2} − {(T ₁ + T ₂ ) The paste film forming method according to claim 1, wherein the paste film forming method is obtained from an expression of / 2}.

上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき上記ペースト膜の膜傾きを算出し、算出された膜傾きに基づき、上記プレートに対して上記ブレードを、上記ブレードの移動方向に対する大略直交面内で回転させることにより、上記プレートに対する上記ブレードの傾きを調整するようにした請求項１〜３のいずれかに記載のペースト膜形成方法。 The film inclination of the paste film is calculated based on the measured film thickness of the paste film, and the blade is rotated with respect to the plate in a plane substantially orthogonal to the moving direction of the blade based on the calculated film inclination. The paste film forming method according to claim 1, wherein the inclination of the blade with respect to the plate is adjusted by adjusting the inclination of the blade.

上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき、上記プレートに対して上記ブレードを接離させることにより、上記ペースト膜の膜厚を調整するようにした請求項１〜４のいずれかに記載のペースト膜形成方法。 The paste according to any one of claims 1 to 4, wherein the thickness of the paste film is adjusted by bringing the blade into and out of contact with the plate based on the measured thickness of the paste film. Film forming method.

平坦なプレートとブレードとを備え、上記プレートと上記ブレードの隙間にペーストを通過させることにより上記プレート上にペースト膜（４１）を形成するペースト膜形成ユニット（７０）と、
上記プレート上に上記ペースト膜が形成された状態で上記ペースト膜の膜厚を測定する膜厚測定ユニット（７１）と、
上記プレート及び上記ブレードを上記ペースト膜形成ユニットから取り外すことなく、上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整可能な調整ユニット（７２，７３）と、
上記膜厚測定ユニットの測定結果に基づき、上記ペースト膜形成ユニットと上記調整ユニットの駆動を制御して、上記ペースト膜の膜傾き又は膜厚を調整する制御装置と、
を備え、
上記制御装置は、
上記測定結果に基づいて上記ペースト膜が必要とする膜傾き及び膜厚であるか否かを自動的に判断し、上記ペースト膜が上記必要とする膜傾き及び膜厚でないとき、上記プレート上に上記ペースト膜が形成された状態のまま、上記調整ユニットにより上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整したのち、上記ペースト膜形成ユニットにより上記プレート上の上記ペースト膜と上記ブレードとの隙間にペーストを通過させて、上記ペースト膜の膜傾き又は膜厚を調整することを特徴とするペースト膜形成装置。A paste film forming unit (70) comprising a flat plate and a blade, and forming a paste film (41) on the plate by passing the paste through a gap between the plate and the blade ;
A film thickness measurement unit (71) for measuring the film thickness of the paste film in a state where the paste film is formed on the plate;
The upper Symbol plate and the blade without removing from the paste film formation unit, an adjustable adjusting unit (72, 73) the inclination or the position of the blade relative to the plate,
Based on the measurement result of the film thickness measurement unit, the controller for controlling the paste film formation unit and the adjustment unit to adjust the film inclination or film thickness of the paste film;
Equipped with a,
The control device
Whether the film tilt and thickness of the paste layer needs based on the measurement results automatically determined, when the paste layer does not thick slope and film requiring the above plate In the state where the paste film is formed on the plate, the adjustment unit adjusts the inclination or position of the blade with respect to the plate, and then the paste film formation unit sets the gap between the paste film and the blade on the plate. A paste film forming apparatus, wherein the paste is passed to adjust the film inclination or film thickness of the paste film.

上記制御装置は、上記ペースト膜形成ユニットが上記プレート上に上記ペースト膜を形成するとき、上記プレート上に上記ペースト膜の一部分が形成されるように上記ペースト膜形成ユニットの駆動を制御し、上記膜厚測定ユニットが測定した上記ペースト膜の一部分の膜厚の測定結果に基づき、上記調整ユニットにより上記プレートに対する上記ブレードの傾き又は位置を調整したのち、上記プレート上に上記ペースト膜の残りの部分が形成されるように上記ペースト膜形成ユニットの駆動を制御する請求項６に記載のペースト膜形成装置。 The control device controls driving of the paste film forming unit so that a part of the paste film is formed on the plate when the paste film forming unit forms the paste film on the plate, Based on the measurement result of the film thickness of a part of the paste film measured by the film thickness measurement unit, the adjustment unit adjusts the inclination or position of the blade with respect to the plate, and then the remaining part of the paste film on the plate The paste film forming apparatus according to claim 6, wherein the driving of the paste film forming unit is controlled such that the paste film is formed.

上記膜厚測定ユニットにおいて、上記ペースト膜（４１）の上記プレート（１１）に対する傾きの差は、｛（Ｔ₁−Ｔ₂）／Ｌ₁｝−｛（ｔ₁−ｔ₂）／Ｌ₃｝の式より求めるものであって、ここで、Ｔ₁は上記ペースト膜が形成された上記プレートの上記ペースト膜近傍の任意の第１点での上記プレートの基準面から上記プレート表面までの距離、Ｔ₂は上記ペースト膜の上記一端とは反対側の他端の近傍の任意の第２点での上記基準面から上記プレートの表面までの距離、ｔ₁は上記任意の第１点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第３点での上記プレートの基準面から上記ペースト膜表面までの距離、ｔ₂は上記任意の第２点の近傍の上記ペースト膜上の任意の第４点での上記プレートの基準面から上記ペースト膜表面までの距離であり、Ｌ₁は上記第１点から上記第２点までの距離であり、Ｌ₃は上記第３点から上記第４点までの距離である一方、上記ペースト膜の厚みは、｛（ｔ₁＋ｔ₂）／２｝−｛（Ｔ₁＋Ｔ₂）／２｝の式より求めるようにした請求項６又は７に記載のペースト膜形成装置。In the film thickness measurement unit, the difference in inclination of the paste film (41) with respect to the plate (11) is {(T ₁ −T ₂ ) / L ₁ } − {(t ₁ −t ₂ ) / L ₃ }. Where T ₁ is the distance from the reference surface of the plate to the plate surface at an arbitrary first point in the vicinity of the paste film of the plate on which the paste film is formed, T ₂ is the distance from the reference surface to the surface of the plate at an arbitrary second point near the other end opposite to the one end of the paste film, and t ₁ is the vicinity of the arbitrary first point. The distance from the reference plane of the plate at the arbitrary third point on the paste film to the surface of the paste film, t ₂ is the value at the arbitrary fourth point on the paste film in the vicinity of the arbitrary second point. The distance from the reference plane of the plate to the paste film surface L ₁ is the distance from the first point to the second point, while L ₃ is the distance from the third point to the fourth point, the thickness of the paste film, {(t ₁ + t ₂ ) / 2} - {(T 1 + T 2) / 2} paste film forming apparatus according to claim 6 or 7 so as to obtain the equation of.

上記調整ユニットは、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき、上記プレートに対して上記ブレードを、上記ブレードの移動方向に対する大略直交面内で回転させることにより、上記プレートに対する上記ブレードの傾きを調整する膜傾き調整ユニット（７２）を備えるようにした請求項６〜８のいずれかに記載のペースト膜形成装置。 Based on the measured film thickness of the paste film, the adjusting unit rotates the blade with respect to the plate in a plane substantially orthogonal to the moving direction of the blade, thereby adjusting the inclination of the blade with respect to the plate. The paste film forming apparatus according to any one of claims 6 to 8, further comprising a film inclination adjusting unit (72) to be adjusted.

上記調整ユニットは、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき、上記プレートに対して上記ブレードを接離させることにより、上記ペースト膜の膜厚を調整する膜厚調整ユニット（７３）を備えるようにした請求項６〜９のいずれかに記載のペースト膜形成装置。 The adjustment unit includes a film thickness adjustment unit (73) for adjusting the film thickness of the paste film by bringing the blade into and out of contact with the plate based on the measured film thickness of the paste film. The paste film forming apparatus according to any one of claims 6 to 9.

上記膜傾き調整ユニットは、上記プレートに固定された第１アクチュエータ（８１）と、上記第１アクチュエータの駆動により上記ブレードを支持するアーム（６２）を該アームの軸方向回りに回転させる回転部材（６１）とを備えて、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき上記第１アクチュエータを駆動して、上記プレートに対して上記回転部材を回転させ上記アームを介して上記ブレードを、上記ブレードの移動方向に対する大略直交面内で回転させることにより、上記プレートに対する上記ブレードの傾きを調整するようにした請求項９に記載のペースト膜形成装置。 The film tilt adjusting unit includes a first actuator (81) fixed to the plate and a rotating member (rotating member) that rotates the arm (62) supporting the blade by driving the first actuator about the axial direction of the arm. 61), and the first actuator is driven based on the measured film thickness of the paste film to rotate the rotating member relative to the plate so that the blade is connected to the blade via the arm. The paste film forming apparatus according to claim 9, wherein the inclination of the blade with respect to the plate is adjusted by rotating in a plane substantially orthogonal to the moving direction.

上記膜厚み調整ユニットは、上記プレートに固定された第２アクチュエータ（８５）と、上記第２アクチュエータの駆動により上記アームを該アームの軸方向と大略直交する方向回りに回動させる回動支点とを備え、上記測定されたペースト膜の膜厚に基づき上記第２アクチュエータの駆動により、上記プレートに対して上記アームを回動させて上記プレートに対して上記ブレードを接離させることにより、上記ペースト膜の膜厚を調整するようにした請求項１０に記載のペースト膜形成装置。 The film thickness adjusting unit includes: a second actuator (85) fixed to the plate; and a rotation fulcrum that rotates the arm about a direction substantially orthogonal to the axial direction of the arm by driving the second actuator. And the second actuator is driven based on the measured thickness of the paste film to rotate the arm with respect to the plate and bring the blade into and out of contact with the plate. The paste film forming apparatus according to claim 10, wherein the film thickness of the film is adjusted.