JP4174885B2 - 排気装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はプラズマディスプレイパネルや蛍光表示管等の平板型ディスプレイパネルの真空排気を行うための排気装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のプラズマディスプレイパネル等の製造工程で用いられる排気装置について、図7および図8を用いて説明する。図7は従来の排気装置の側面図であり、図8は図7のX−X線から見た平面図である。
【0003】
図7および図8に示すように、台車1の底部には真空ポンプからなる真空排気系2が内蔵されており、真空排気系2に連結されたステンレス等からなる排気パイプ3の端部には排気ヘッド4が設けられている。また、排気ヘッド4を冷却するためのステンレス等からなる冷却配管5が設けられている。この台車1上にガラス製の排気管6がそれぞれ設けられた複数のガラス製のパネル7を設置し、排気管6を排気ヘッド4に接続して、加熱炉8の内部に台車1を移動させる。図7および図8は台車1を加熱炉8の内部に移動させた時の状態を示している。図7では加熱炉8の側壁部8a(図8参照)を省略している。
【0004】
次に、加熱炉8を約2時間かけて約350℃まで昇温加熱して、その温度で2時間保持した後、約2時間かけて約100℃まで降温し、この時点で台車1を加熱炉8から引き出してパネル7の温度が常温になるまで約1時間自然空冷する。パネル7の温度が常温になってから、パネル7に所定のガスを封入した後、排気管6をガスバーナで加熱して封止を完了する。封止が完了したパネル7を台車1から取り出した後、未排気のパネルを設置して上記動作を繰り返してパネルの排気を順次行う。
【0005】
このような従来の排気装置の排気ヘッド4等のあたりを拡大して図9に示す。図10は図9の矢印Aの方向から見た図である。図9または図10に示すように、パネル7に固定された排気管6は排気ヘッド4に接続され、排気ヘッド4の内部には真空シールのためのOリング(図示せず)が設けられており、Oリングは熱に弱いため、排気ヘッド4に冷却水を流すための冷却配管5が設けられている。冷却配管5は、周囲との断熱を図るため断熱材9で覆われている。また、排気ヘッド4には金具10が固定されており、金具10を支え台11の上に載置することにより、排気ヘッド4を支持している。排気パイプ3の一端部は排気ヘッド4を介して排気管6と接続され、他端部は連結用配管12を介して真空排気系2(図7参照)に接続されており、冷却配管5は連結用配管13を介して冷却水循環用ポンプ(図示せず)に接続されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
このような従来の排気パイプ3や冷却配管5等を有する台車1にパネル7を設置して加熱炉8内で昇温加熱すると、排気パイプ3は図9中に矢印Bで示した向きに熱膨張する。一方、冷却配管5には冷却水が常時流れているため、冷却配管5の温度上昇はほとんどなく熱膨張しない。このため排気ヘッド4は、排気パイプ3の熱膨張により同図中に矢印Cで示した向きに回転するため、金具10が支え台11に密着する。この状態でパネル7が熱膨張により図10中に矢印Dで示した方向に熱膨張した場合、排気ヘッド4は矢印Dの方向に円滑に動かないため、排気管6に矢印Dの方向のたわみが発生し、排気管6が折れるという課題があった。
【0007】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、排気管が折れることがなく、信頼性の高い排気装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、本発明の排気装置は、パネルを排気するための真空排気系と、前記パネルに設けられた排気管に接続するための排気ヘッドと、前記排気ヘッドの内部に冷却水を供給し回収するための冷却配管と、一端が前記排気ヘッドに接続され他端が前記真空排気系に接続された排気パイプとを有し、前記冷却配管と前記排気パイプとは弾性を持たせるとともに、蛇行形状に形成し、かつ前記冷却配管と前記排気パイプとを密接させるとともに、前記冷却配管と前記排気パイプとを断熱材で覆ったことを特徴とするものである。
【0009】
この構成により、パネルの熱膨張による排気管が移動した場合においても、排気管の移動に伴って排気ヘッドが円滑に移動することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【0011】
本発明の一実施の形態のプラズマディスプレイパネル等の製造工程で用いられる排気装置について、図4および図5を用いて説明する。図4は本実施の形態の排気装置の側面図であり、図5は図4のY−Y線から見た平面図である。
【0012】
図4および図5に示すように、台車1の底部には真空ポンプからなる真空排気系2が内蔵されており、真空排気系2に連結された排気パイプ14の端部には排気ヘッド4が設けられている。また、排気ヘッド4を冷却するための冷却配管15が設けられている。この台車1上にガラス製の排気管6がそれぞれ設けられた複数のガラス製のパネル7を設置し、排気管6を排気ヘッド4に接続して、加熱炉8の内部に台車1を移動させる。図4および図5は台車1を加熱炉8の内部に移動させた時の状態を示している。図4では加熱炉8の側壁部8a(図5参照)を省略している。
【0013】
次に、加熱炉8を約2時間かけて約350℃まで昇温加熱して、その温度で2時間保持した後、約2時間かけて約100℃まで降温し、この時点で台車1を加熱炉8から引き出して図6に示す状態でパネル7の温度が常温になるまで約1時間自然空冷する。パネル7の温度が常温になってから、パネル7に所定のガスを封入した後、排気管6をガスバーナで加熱して封止を完了する。封止が完了したパネル7を台車1から取り出した後、未排気のパネルを設置して上記動作を繰り返してパネルの排気を順次行う。
【0014】
図1は図4の排気ヘッド4等のあたりを拡大して示したものであり、図2は図1の矢印Eの方向から見た図である。排気ヘッド4には冷却水を循環させるための冷却配管15が接続されており、冷却配管15は冷却水を供給するための供給配管15aと冷却水を回収するための回収配管15bとからなる。排気パイプ14の一端部は排気ヘッド4を介して排気管6と接続され、他端部は連結用配管12を介して真空排気系2(図4参照)に接続されており、供給配管15aおよび回収配管15bは連結用配管13を介して冷却水循環用ポンプ(図示せず)に接続されている。
【0015】
排気パイプ14と、供給配管15aおよび回収配管15bからなる冷却配管15とは、いずれも弾性を持つ金属製のフレキシブルパイプ、例えばステンレスからなるフレキシブルパイプで構成されており、排気パイプ14、供給配管15aおよび回収配管15bを互いに密接させてその周囲を断熱材16で覆うようにしている。図1および図2中では、排気パイプ14、供給配管15aおよび回収配管15bの表面を単純な直線または曲線で示しているが、実際の排気パイプ14は、図3に示すようにじゃばら状になっている。この構造により、排気パイプ14は弾性を有している。供給配管15aおよび回収配管15bも排気パイプ14と同じくじゃばら状になっている。さらに排気ヘッド4と連結用配管12,13との間で、排気パイプ14と供給配管15aおよび回収配管15bからなる冷却配管15とは、蛇行した状態で取り付けており、本実施の形態ではS字状にくねらせて取り付けた例を示している。蛇行した状態にすることにより、排気パイプ14と供給配管15aおよび回収配管15bからなる冷却配管15とに柔軟性をもたせている。また、高耐熱性のステンレス等の耐熱材料からなるばね17は、排気パイプ14と供給配管15aおよび回収配管15bからなる冷却配管15とを支持するように設けられており、排気パイプ14と供給配管15aおよび回収配管15bからなる冷却配管15との鉛直方向の弾性力を調節するための弾性力調整手段である。
【0016】
このように排気パイプ14、供給配管15aおよび回収配管15bを互いに密接させその周囲を断熱材16で覆うことにより、加熱炉内で排気パイプ14が加熱されても、排気パイプ14の温度は供給配管15aおよび回収配管15bとほぼ同程度の低い温度に保たれるため排気パイプ14の熱膨張はほとんどなくなり、従来の排気装置で発生していた排気ヘッド4を回転させる方向の力が発生することを抑制することができる。また、従来の排気装置では排気ヘッドを支持している金具および支え台が設けられていないため、従来発生していた金具と支え台との接触摩擦がない。さらに、排気パイプ14、供給配管15aおよび回収配管15bは弾性を有し柔軟性のある金属製のフレキシブルパイプで構成されているため、パネル7の熱膨張による排気管6のF方向およびG方向(図2参照)の動きが発生しても排気管6の動きに伴って排気ヘッド4も円滑に移動することができるため、排気管6にかかる負荷が極めて小さくなり、排気管6が折れることを抑制することができる。
【0017】
また、ばね17を用いて排気パイプ14、供給配管15aおよび回収配管15bを支えることにより、排気パイプ14、供給配管15aおよび回収配管15bの鉛直方向の弾性力が弱い場合に、排気管6に作用する排気ヘッド4の力を極力弱めることができる。
【0018】
以上説明した本実施の形態の排気装置を用いてプラズマディスプレイパネルの排気を行ったところ、排気管6は破損しなかった。一方、従来の排気装置を用いた場合に排気管6が破損した割合は約3%であり、本実施の形態の排気装置を用いることにより排気管6が破損することがなく、信頼性の高い排気を行うことができる。
【0019】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明は排気ヘッドに接続された排気パイプおよび冷却配管を弾性を有するフレキシブルパイプで構成するとともに、排気パイプと冷却配管とを蛇行形状に形成することにより、排気管の破損が抑制され、高い信頼性を有する排気装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の排気ヘッド周辺部の側面図
【図2】図1のEの方向から見た図
【図3】本発明の一実施の形態の排気パイプの正面図
【図4】本発明の一実施の形態の排気装置の側面図
【図5】図4のY−Y線から見た平面図
【図6】本発明の一実施の形態の排気装置の動作を説明するための側面図
【図7】従来の排気装置の側面図
【図8】図7のX−X線から見た平面図
【図9】従来の排気ヘッド周辺部の側面図
【図10】図9の矢印Aの方向から見た図
【符号の説明】
1 台車
2 真空排気系
4 排気ヘッド
6 排気管
7 パネル
8 加熱炉
12、13 連結用配管
14 排気パイプ
15 冷却配管
16 断熱材
17 ばね
Claims (2)
- パネルを排気するための真空排気系と、前記パネルに設けられた排気管に接続するための排気ヘッドと、前記排気ヘッドの内部に冷却水を供給し回収するための冷却配管と、一端が前記排気ヘッドに接続され他端が前記真空排気系に接続された排気パイプとを有し、前記冷却配管と前記排気パイプとは弾性を持たせるとともに、蛇行形状に形成し、かつ前記冷却配管と前記排気パイプとを密接させるとともに、前記冷却配管と前記排気パイプとを断熱材で覆ったことを特徴とする排気装置。
- 前記冷却配管および前記排気パイプを支持するように、前記冷却配管および前記排気パイプの鉛直方向の弾性力を調節するための弾性力調整手段を設けた請求項1記載の排気装置。
Priority Applications (1)
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JP35009998A JP4174885B2 (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | 排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP35009998A JP4174885B2 (ja) | 1998-12-09 | 1998-12-09 | 排気装置 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Family Applications (1)
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- 1998-12-09 JP JP35009998A patent/JP4174885B2/ja not_active Expired - Fee Related
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