JP4173255B2 - エアリークテスト装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、エアリークテスト装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
平衡型と称される一般的な差圧式エアリークテスト装置を簡単に説明すると、テスト圧源から延びる共通エア通路にマスタ側、ワーク側の分岐エア通路が接続されている。マスタ側分岐エア通路にマスタ容器が接続され、ワーク側分岐エア通路にワークが接続される。マスタ容器はワークと同一の形状,容積,材質のものであり、漏れが確認されていないものである。
上記テスト圧源から2つの分岐エア通路にテスト圧を付与した後、これら分岐エア通路を遮断して互いに独立した閉鎖系にする。この後、閉鎖された2つの分岐エア通路間の差圧を監視して、ワークの漏れを検出する。
【0003】
ところで、上記テスト圧の付与を開始してから分岐エア通路を閉鎖するまで、所定時間待っている。これはワークがテスト圧に達するのを待ち、さらに初期の大きな圧力変動を回避するためである。すなわち、分岐エア通路にテスト圧を付与すると、圧縮により一旦温度が高くなり、この後、放熱により周囲温度に落ち着く。この放熱量はテスト圧付与の初期段階で最も大きく、この段階で分岐エア通路を閉鎖すると、放熱に伴う圧力低下が大き過ぎ、マスタ容器とワークとの間に僅かな放熱特性の相違があっても、差圧が生じてしまうからである。
【0004】
上記のように所定の待ち時間経過した時点で、分岐エア通路を閉鎖した後も、上記放熱が続き、閉鎖状態にある2つの分岐エア通路の圧力が低下する。この放熱による2つの分岐エア通路の圧力低下は、マスタ容器がワークの放熱特性が同じでしかも容積も同じため、互いに等しい。それ故、上記差圧は放熱による圧力低下の影響を受けず、ワークの漏れに相当する圧力低下分を確実に検出することができる。
【0005】
しかし、上記のようにマスタ容器をワークと同一の形状,材質,容積にすると、多品種少量の生産ラインでは、多種類のマスタ容器が必要となり、設備コストや管理コストを上げる原因となっていた。
そこで、最近では、ワークが異なってもマスタ容器を変えずに所定の形状,容積,材質のマスタ容器を用いるようにした非平衡型の装置も開発されている。この装置でも、上記平衡型の装置と同様に、2つの分岐エア通路にテスト圧を付与し、所定の待ち時間経過した時点で、分岐エア通路を閉鎖し、その差圧を検出している。マスタ容器は、ワークと放熱特性が異なっており、それ故、たとえワークに漏れが無くてもこの放熱特性の相違に起因した差圧が検出される。
そのため、上記ワークの種類毎に放熱補償値のデータを記憶しておき、上記検出差圧からこの放熱補償値を差し引くことにより、ワーク漏れに対応する差圧を得ている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上記のようなマスタ容器とワークとの間の放熱特性が異なる非平衡型の装置では、気温等の環境の変化に応じて放熱特性が変化するため、上記放熱補償が不正確になる欠点があった。
上記装置では、分岐エア通路の閉鎖後比較的長い時間を待てば放熱がなくなり、漏れに相当して差圧がリニアに変化する。そのため、上記放熱補償を行わずにこのリニアに変化する差圧に基づき漏れを検出することも考えられる。しかし、その場合、ワーク毎のテスト時間が長くなり、生産性が低下してしまう。
そこで、テスト時間を長くせずに、正確な放熱補償を行うことが、要求されていた。
【0007】
上記の議論は、差圧式でない簡易型のエアリークテスト装置にも適用できる。この装置では、エア通路の上流端にテスト圧源が接続され、下流端にワークが接続されている。テスト圧付与後にエア通路を閉鎖し、閉鎖されたエア通路の圧力の変化に基づき、ワークの漏れを検出する。この装置でも、放熱による圧力変動の影響を排除するため、上記テスト圧付与から放熱が落ち着くまで待ってエア通路を閉鎖したり、エア通路閉鎖後、圧力がリニアに変化するまで待って圧力に基づく漏れを検出するので、テスト時間が長かった。また、テスト時間を短くしようとすると、上記と同様に放熱補償データを用いることになり、環境変化に対応できなくなってしまう。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の第1の態様は、エアリークテスト装置において、テスト圧源と、このテスト圧源に接続された共通のエア通路と、この共通エア通路から分岐されたマスタ側分岐エア通路およびワーク側分岐エア通路と、これら分岐エア通路を互いに連通させた状態で閉鎖する第1閉鎖手段と、これら分岐エア通路を互いに独立した状態で閉鎖する第2閉鎖手段と、上記連通状態で閉鎖された分岐エア通路の圧力を検出する圧力センサと、上記独立状態で閉鎖された分岐エア通路の差圧を検出する差圧センサと、制御手段とを備え、
この制御手段は、上記テスト圧源からのテスト圧を、共通エア通路を介してマスタ側,ワーク側の分岐エア通路に付与してから、第1閉鎖手段を駆動させて分岐エア通路を連通状態で閉鎖し、この閉鎖直後に上記圧力センサでの検出圧力の変化に基づき放熱補償値を演算し、次に第2閉鎖手段を駆動させて分岐エア通路を独立状態で閉鎖し、この閉鎖直後に上記差圧センサで検出される差圧から上記放熱補償値を差し引いた値に基づき、ワークの漏れを検出することを特徴とする。
【0009】
本発明の第2の態様は、エアリークテスト装置において、テスト圧源と、このテスト圧源に接続された共通のエア通路と、この共通エア通路から分岐されたマスタ側分岐エア通路およびワーク側分岐エア通路と、これら分岐エア通路を互いに独立した状態で閉鎖する閉鎖手段と、上記独立状態で閉鎖されたワーク側分岐エア通路の圧力を検出する圧力センサと、独立状態で閉鎖された2つの分岐エア通路の差圧を検出する差圧センサと、制御手段とを備え、
この制御手段は、上記テスト圧源からのテスト圧を、共通エア通路を介してマスタ側,ワーク側の分岐エア通路に付与してから、閉鎖手段を駆動させて2つの分岐エア通路を独立状態で閉鎖し、この閉鎖直後に上記圧力センサでの検出圧力の変化に基づき放熱補償値を演算し、その後、上記閉鎖状態で上記差圧センサにより分岐エア通路間の差圧を検出し、この検出差圧から上記放熱補償値を差し引いた値に基づき、ワークの漏れを検出することを特徴とする。
【0011】
好ましくは、上記制御手段は、上記放熱補償値の演算後に一旦閉鎖手段を開いて2つの分岐エア通路を連通させてから再び閉鎖手段を閉じ、それから上記検出差圧と放熱補償値に基づく漏れ検出を行うことを特徴とする。
好ましくは、上記制御手段は、漏れのないワークをワーク側分岐エア通路に接続した状態で上記所定時間において上記圧力センサで検出される検出圧力の時間変化曲線を、マスターデータとして得、その後、検査対象のワークをワーク側分岐エア通路に接続した状態で上記所定時間において得られた上記圧力センサでの検出圧力の時間変化曲線を、上記マスターデータと比較し、上記マスターデータの曲線を時間軸に沿って移動させることにより上記検出圧力の変化曲線と重ならせて、圧力変化曲線を特定し、この特定された圧力変化曲線に基づいて、放熱補償値を演算する。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第1の実施形態について、図1〜図4を参照しながら説明する。図1に示すエアリークテスト装置は、圧縮エア源1と、この圧縮エア源1に上流端が接続された共通エア通路2と、この共通エア通路2から分岐したマスタ側分岐エア通路3およびワーク側分岐エア通路4とを備えている。
【0014】
上記共通エア通路2には、圧力調節手段5と電磁駆動式の常閉の二方弁6(以下、加圧弁と称す)が上流側から順に設けられている。圧力調節手段5は、圧力調節弁5aとその下流に設けられた圧力センサ5bとを有している。この圧力センサ5bが所定のテスト圧になるように、圧力調節弁5aが制御される。したがって、この圧縮エア源1と圧力調節手段5とで、テスト圧源を構成している。なお、この圧力調節手段5は、減圧弁(レギュレータ)であってもよい。上記加圧弁6は、特許請求の範囲における第1の閉鎖手段を構成している。
【0015】
マスタ側分岐エア通路3には、空圧駆動式の常開の二方弁7(以下、遮断弁と称す)が設けられるとともに、その下流端にはマスタ容器8が接続されている。この遮断弁7は、上記加圧弁6と協働して、特許請求の範囲における第2の閉鎖手段を構成している。このマスタ容器8は、所定の形状,容積,材質からなり、後述するワークWとは異なる。なお、マスタ容器8は、容積を小さくし、放熱フィンを付ける等により圧縮後の放熱が短時間で完了するように工夫されている。なお、マスタ容器自体を省略して、マスタ側分岐エア通路3の下流端を塞いでもよい。
【0016】
ワーク側分岐エア通路4には、空圧駆動式の常開の二方弁9(以下、排気弁と称す)が設けられている。また、この分岐エア通路4の下流端には被検査対象となるワークWが接続されるようになっている。
【0017】
本実施形態のエアリークテスト装置は、さらに圧力センサ11と差圧センサ12と制御手段10とを備えている。圧力センサ11はマスタ側分岐エア通路3において、遮断弁7の上流側に接続されている。また差圧センサ12の2つの入力ポート12a,12bは、マスタ側分岐エア通路3において、遮断弁7の上流側と下流側にそれぞれ接続されている。
なお、圧力センサ11および差圧センサ12の一方の入力ポート12aは、ワーク側分岐エア通路4に接続してもよい。
【0018】
上記制御手段10は、上記加圧弁6,遮断弁7,排気弁9を制御する。さらに、制御手段は、圧力センサ11,差圧センサ12からの検出信号を受けて、表示器13、合格ランプ14、不合格ランプ15を制御する。
【0019】
上記構成をなす装置の作用を、制御手段10の作用を中心に、図2のタイムチャートを参照しながら説明する。まず、排気弁9をオンにして閉じ、その後で、加圧弁6をオンしてこれを開くことにより、圧力調節手段5からのテスト圧を分岐エア通路3,4に付与する。なお、本実施形態では、排気弁9の閉じと同時期に、ワーク側分岐エア通路4へのワークWの接続工程が開始されるため、加圧弁6の閉じ動作を数秒遅らせているが、予めワークWの接続工程が完了している場合には、排気弁9の閉じ動作から加圧弁6の開き動作までの時間は僅かで済む。
【0020】
上記加圧弁6の開き時間は、ワークWがテスト圧のエアで満たされるのに必要最低限の時間に相当し、ワークWの容積に応じて変わるが、ここでは数秒とする。この開き時間は、従来装置でのテスト圧付与開始から分岐エア通路の閉鎖までの待ち時間より短い。後述するように放熱による比較的大きな圧力変動のデータを得るためである。
【0021】
上記加圧弁6が開くと、これより下流側、すなわちマスタ容器8、ワークW,分岐エア通路3,4内の空気は大気圧からテスト圧となるため、その圧縮熱により温度が上昇する。
この加圧弁6の閉じ時点(またはそれから短時間経過時点)から所定時間を第1計測時間ΔTaとする。この第1計測時間ΔTaにおいて、圧力センサ11からの検出圧力に基づいて、放熱補償のためのデータを得る。以下、詳述する。
【0022】
上記加圧弁6が閉じると、その下流側は閉鎖系となる。この閉鎖系では分岐エア通路3,4は連通状態にある。この閉鎖系の圧力は、図3に示すように、内部温度が放熱により低下するのに伴ってエクスポーネンシャルの曲線Hを描いて低下する。ワークWに漏れがない場合には、この曲線Hが圧力センサ11で検出される圧力の変化と一致する。ワークWに傷があって漏れが生じている場合には、この漏れに応じたリニアな圧力低下が生じる(直線M参照)。そのため、検出圧力は、放熱による圧力低下分と漏れによる圧力低下分を含んで図3の曲線Dを描いて低下する。
【0023】
図3の直線Hから明らかなように放熱に起因した圧力低下は、加圧弁6を閉じた直後が最も大きく、時間の経過とともに落ち着く。上記第1計測時間Taでは、放熱に起因した圧力低下が、漏れに起因した圧力低下より遥かに大きい(例えば100:1)。そのため、検出圧力はほぼ放熱に起因した圧力低下を表している。その結果、検出圧力の変化から放熱特性を知ることができる。制御手段10は、この検出出力の変化のデータ(曲線Dのデータ)と、記憶しているマスターデータに基づき、放熱補償データを演算する。
【0024】
上記マスターデータは次のようにして得る。予め漏れのないワークを分岐エア通路4に接続して、上記と同様の動作により、第1計測時間ΔTaでの検出圧力の時間変化データを得、これをマスターデータとする。この検出圧力の変化の仕方(換言すれば検出圧力を縦軸とし時間を横軸とした時の検出圧力の変化曲線の形状)は、ワークの材質、表面積,形状等に依存するワークの放熱特性によって、一義的に決定されるものであり、それ故、この変化データをマスターデータとするのである。周囲温度が異なってもワークWを変えない限り、上記マスターデータの圧力変化曲線は変わらず、この圧力変化曲線を時間軸方向に移動させるだけで、異なる周囲温度での放熱による圧力変化曲線と一致するはずである。
実際のリークテストでは、検出圧力の変化データと上記マスターデータとを比較し、マスターデータの曲線を時間軸に沿って移動させて検出圧力の変化曲線と重なり合う範囲を、テスト時の周囲温度によって変動する、放熱に起因した圧力変化の曲線として特定する。この特定された圧力変化曲線(圧力変化データ)に基づいて、後述の第2計測時間ΔTbで予想される放熱による圧力変化を演算し、そのデータを放熱補償データとして記憶する。
上記放熱補償データを得るための第1計測時間ΔTaは、従来装置では漏れ検出前の待ち時間に相当する時間であり、この第1計測時間ΔTaの設定によって時間が長くなることがない。
【0025】
上記制御手段10は、加圧弁6を閉じてから所定時間(上記第1計測時間ΔTaより長いがこれと同じでもよい)経過した時点で、遮断弁7をオンしてこれを閉じる。これによりマスタ側分岐通路3の下流側と上流側が遮断される。マスタ側分岐通路3の上流側はワーク側分岐通路4と連通状態にあるので、マスタ側分岐通路3の下流側の閉鎖系とワーク側分岐通路4を含む閉鎖系が互いに独立した閉鎖系となる。
【0026】
遮断弁7の閉じ動作により、独立した2つの閉鎖系が得られた後も放熱が続いており、この放熱に伴う圧力低下がワーク側分岐エア通路4で続いている。なお、本実施形態では、マスタ側分岐エア通路3での放熱は、既に遮断弁7の閉じ動作の前に実質的に終了して安定した状態にあるので、この放熱の影響は差圧には現れない。
【0027】
上記遮断弁7の閉じ時点では、上記放熱による圧力変動(低下)の程度は、漏れによる圧力変動(低下)とほぼ同レベルになっている。この閉じ時点から所定時間を第2計測時間ΔTbとし、差圧センサ7の検出差圧を監視する。図4に示すように、この検出差圧D’は、ワークWの漏れによって生じる差圧M’とワークWの放熱によって生じる差圧H’を加えたものである。そこで、この検出差圧D’から、放熱による差圧H’を差し引くことにより、漏れによる差圧M’を得ることができる。ここで差圧H’のデータとして、第1計測時間ΔTaで得た放熱補償値のデータを用いる。この放熱補償値は、テスト時における周囲温度等の環境の影響を加味した放熱特性を現しているので、正確な漏れによる差圧を検出することができる。
【0028】
本実施形態では、放熱補償データは、第2計測時間ΔTbにおける所定サンプリング周期毎の放熱補償値の集合からなり、上記検出圧力をこのサンプリング周期で読み込んでこの放熱補償値を差し引くことにより、経過時間に対応した漏れによる差圧の変化を演算することができる。この差圧変化データからリニアな線を演算して、正確な漏れに対応する差圧を演算することができる。この差圧データから、単位時間または所定時間における大気圧換算漏れ量を演算し、表示器13に表示する。また、この大気圧換算漏れ量を閾値と比較し、閾値より低い場合には合格ランプ14を点灯させ、閾値以上の場合には不合格ランプ15を点灯させる。
上記漏れによる差圧検出が終了した時点で、遮断弁7を開くとともに、排気弁9を開いてテストを終了する。
【0029】
なお、遮断弁7の閉じ時点から所定時間経過した時の差圧を1回だけ検出し、放熱補償値を差し引いて、漏れによる差圧を検出してもよい。この場合には、放熱補償データは、単一の放熱補償値を含むだけである。
【0030】
上記放熱補償データの演算は、リークテスト毎に行う必要はなく、複数回のテスト毎に1回行ってもよい。また、予め放熱補償のマスターデータを記憶せず、第1計測時間での検出圧力変化に基づいて、直接放熱補償データを演算してもよい。
【0031】
次に、本発明の第2の実施形態を、図5を参照して説明する。この実施形態ではワーク側分岐エア通路4に空圧駆動式の常開の二方弁17(遮断弁)を追加して装備した点にある。この場合には、遮断弁17の閉じ状態で、その下流側はマスタ側分岐エア通路3の上流側と遮断されている。差圧センサ12の入力ポート12aは、この遮断弁17の下流側に接続される。この実施形態では、加圧弁6が第1の閉鎖手段を構成し、遮断弁7,17が第2の閉鎖手段を構成する。上記遮断弁17は、マスタ側の遮断弁7と同期して駆動する。他の作用は第1実施形態と全く同じであるので説明を省略する。
【0032】
次に,本発明の第3の実施形態について説明する。この第3実施形態では、圧力センサ11が図5において想像線で示すように、遮断弁17の上流側ではなく下流側の分岐エア通路4に接続されている点を除いて第2実施形態と構成上は同じである。この場合、図6のタイムチャートで示すように、遮断弁7,17の閉じ時点又は若干遅れて第1計測時間ΔTaが開始され、その後に第2計測時間ΔTbが設定される。なお、加圧弁6の閉じタイミングは、遮断弁7,17の閉じ時点と同じでもよいし、これより遅れてもよい。
【0033】
次に、本発明の第4の実施形態について説明する。この第4実施形態では、図5において圧力センサ11が省かれている点を除いて、第2実施形態と構成上は同じである。また、弁6,7,9,17の制御に関しては、第3実施形態と同じである(図6参照)。ただし、この第4実施形態では、圧力センサ11の代わりに、差圧センサ12で放熱によるワーク側分岐エア通路4の圧力低下を検出し、その差圧データから放熱補償データを演算する。
【0034】
第3,第4実施形態では、加圧弁6と排気弁9の代わりに、2位置3方弁を用いてもよい。この場合、連通位置で分岐エア通路3,4にテスト圧付与が付与され、開放位置で分岐エア通路3,4を大気に開放する。
【0035】
上記第3,第4実施形態では、図7に示すように、遮断弁7,17を第1計測時間ΔTaと第2計測時間ΔTbの間で一旦開き、分岐エア回路3,4を同圧にしてもよい。これにより、第2計測時間ΔTbでの差圧センサ12による差圧検出をより正確に行うことができる。
【0036】
次に、本発明の第5実施形態について、図8を参照しながら説明する。この実施形態は、差圧式ではなく簡易型のエアリークテスト装置に係わるものである。この装置では、エア通路2Aの上流端に、圧縮空気源1と圧力調整手段5からなるテスト圧源が接続され、下流端にワークWが接続されるようになっている。このエア通路2Aには、上流側から順に加圧弁6(閉鎖手段)、圧力センサ11(圧力検出手段)、排気弁9が接続されている。
【0037】
上記装置では、加圧弁6を必要最小限の時間だけ開くことにより、テスト圧を加圧弁6の下流側のエア通路2AおよびワークWに付与した後、この加圧弁6を閉じ、その直後の第1計測時間で圧力センサ11の検出圧力の変化を読み込む。そして、この圧力変化データから、またはこの圧力変化データとマスターデータとから放熱補償データを演算する。そして、その後の第2計測時間での圧力センサ11の検出圧力の変化から上記放熱補償データを差し引くことにより、ワークWの漏れによる圧力低下を演算し、この演算値から漏れを検出する。
【0038】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の第1の態様によれば、検出差圧値から放熱補償値を差し引くことにより、ワークの漏れを短時間で検出できる。また、閉鎖直後の放熱による比較的大きな圧力変動に基づいて上記放熱補償値を演算することにより、正確な放熱補償値を得ることができ、ひいてはワークの漏れを正確に検出することができる。また、放熱による圧力変動をマスタ側、ワーク側の2つの分岐エア通路が連通して閉鎖された状態で検出するので、その後の差圧センサが実質的に差圧ゼロから差圧変化を検出することができ、より高精度の漏れ検出が可能である。
本発明の第2態様によれば、差圧検出を差圧ゼロから開始することを除いて、第1態様と同等の効果を奏することができる。
本発明の第3態様によれば、差圧検出前に2つの分岐エア通路を一旦連通させてから再び互いに独立させるので、差圧センサにより差圧検出を差圧ゼロから開始することができ、高精度の漏れ検出が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態をなすエアリークテスト装置の回路図である。
【図2】同装置で実行される弁制御のタイムチャートである。
【図3】加圧弁閉じ後の、検出圧力の低下、放熱による圧力低下、漏れによる圧力低下の様子を示す図である。
【図4】遮断弁閉じに伴う検出差圧の変化、放熱による差圧の変化、漏れによる差圧変化の様子を示す図である。
【図5】本発明の第2実施形態をなすエアリークテスト装置の回路図である。
【図6】本発明の第3実施形態をなすエアリークテスト装置で実行される弁制御のタイムチャートである。
【図7】本発明の第3,第4実施形態を若干変更した場合に実行される弁制御のタイムチャートである。
【図8】本発明の第5実施形態をなすエアリークテスト装置の回路図である。
【符号の説明】
2 共通エア通路
2A エア通路
3 マスタ側分岐エア通路
4 ワーク側分岐エア通路
6 加圧弁(閉鎖手段、第1の閉鎖手段)
7 遮断弁(第2の閉鎖手段)
10 制御手段
11 圧力センサ(圧力検出手段)
12 差圧センサ(圧力検出手段)
Claims (4)
- テスト圧源と、このテスト圧源に接続された共通のエア通路と、この共通エア通路から分岐されたマスタ側分岐エア通路およびワーク側分岐エア通路と、これら分岐エア通路を互いに連通させた状態で閉鎖する第1閉鎖手段と、これら分岐エア通路を互いに独立した状態で閉鎖する第2閉鎖手段と、上記独立状態で閉鎖された分岐エア通路の差圧を検出する差圧センサと、この差圧センサと別体をなし上記連通状態で閉鎖された分岐エア通路の圧力を検出する圧力センサと、制御手段とを備え、
この制御手段は、上記テスト圧源からのテスト圧を、共通エア通路を介してマスタ側,ワーク側の分岐エア通路に付与してから、第1閉鎖手段を駆動させて分岐エア通路を連通状態で閉鎖し、この閉鎖直後の所定時間における上記圧力センサでの検出圧力の変化に基づき放熱補償値を演算し、次に第2閉鎖手段を駆動させて分岐エア通路を独立状態で閉鎖し、この閉鎖直後に上記差圧センサで検出される差圧から上記放熱補償値を差し引いた値に基づき、ワークの漏れを検出することを特徴とするエアリークテスト装置。 - テスト圧源と、このテスト圧源に接続された共通のエア通路と、この共通エア通路から分岐されたマスタ側分岐エア通路およびワーク側分岐エア通路と、これら分岐エア通路を互いに独立した状態で閉鎖する閉鎖手段と、上記独立状態で閉鎖された2つの分岐エア通路の差圧を検出する差圧センサと、この差圧センサとは別体をなし上記独立状態で閉鎖されたワーク側分岐エア通路の圧力を検出する圧力センサと、制御手段とを備え、
この制御手段は、上記テスト圧源からのテスト圧を、共通エア通路を介してマスタ側,ワーク側の分岐エア通路に付与してから、閉鎖手段を駆動させて2つの分岐エア通路を独立状態で閉鎖し、この閉鎖直後の所定時間における上記圧力センサでの検出圧力の変化に基づき放熱補償値を演算し、その後、上記閉鎖状態で上記差圧センサにより分岐エア通路間の差圧を検出し、この検出差圧から上記放熱補償値を差し引いた値に基づき、ワークの漏れを検出することを特徴とするエアリークテスト装置。 - 上記制御手段は、上記放熱補償値の演算後に一旦閉鎖手段を開いて2つの分岐エア通路を連通させてから再び閉鎖手段を閉じ、それから上記検出差圧と放熱補償値に基づく漏れ検出を行うことを特徴とする請求項2に記載のエアリークテスト装置。
- 上記制御手段は、漏れのないワークをワーク側分岐エア通路に接続した状態で上記所定時間において上記圧力センサで検出される検出圧力の時間変化曲線を、マスターデータとして得、その後、検査対象のワークをワーク側分岐エア通路に接続した状態で上記所定時間において得られた上記圧力センサでの検出圧力の時間変化曲線を、上記マスターデータと比較し、上記マスターデータの曲線を時間軸に沿って移動させることにより上記検出圧力の変化曲線と重ならせて、圧力変化曲線を特定し、この特定された圧力変化曲線に基づいて、放熱補償値を演算することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のエアリークテスト装置。
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1999
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