JP4149618B2 - 平面ラップ盤用定圧定量連続加圧方法及び平面ラップ盤用定圧定量連続加圧装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、平面ラップ盤に用いる定量加圧及び定圧加圧法及びその装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
平面ラップ盤によってワークのラップ加工を行う場合、ワークの加工面と砥石を所定の圧力で押圧させるが、この押圧には従来から定圧加圧法と定量加圧法とが用いられている。
【0003】
図5は、双頭ラップ盤に定圧加圧法を適用した例を示す。この双頭ラップ盤101は、上下に相対峙して配置され対向面に砥石102,103を有し相対回転運動をなす上定盤104及び下定盤105を設け、下定盤105の砥石103上に共軸に設けられ相対回転をなす太陽歯車106と内歯歯車107との間にこれらの歯車に噛合する外歯歯車を有しワーク108を保持したワークホルダ109を円周方向へ配設して成る。
【0004】
110は、定圧加圧装置で、油圧又は空気圧で作動されるピストン−シリンダ・アセンブリー111が設けられた定圧加圧用ハウジング112を有する。ピストン−シリンダ・アセンブリー111のピストンロッド113の下端は上定盤104の上面に接続されている。
【0005】
ピストン−シリンダ・アセンブリー111のピストン側チャンバ114に油圧又は空気圧を導入すると、ピストンロッド113が下降して上定盤104を下降させ、その砥石102をワーク108の上面に当接させ、次いで、ワーク108を加圧する。このようにして、定圧加圧が行われる。
【0006】
図6は、上述の双頭ラップ盤101に定量加圧法を適用した例を示す。115は定量加圧装置で、定量加圧架台116を有し、その前面にサーボモータ117によって回転されるボールねじ118が垂直に設けられている。定量加圧用ハウジング112の後部上面に、ボールねじ118に螺合するナット119が設けられている。円板状の押圧板120がその軸121を介して定量加圧用ハウジング112に対して回転可能にかつ軸方向に不動に設けられている。
【0007】
サーボモータ117を所定方向へ所定の回転速度で回転させると、定量加圧用ハウジング112が押圧板120と共に下降し、この押圧板120は上定盤104を押下してその砥石102の下面をワーク108の上面に当て、次いで定量加圧用ハウジング112の下降量に応じて砥石102をワーク108に切り込ませる。このようにして定量加圧が行われる。
【0008】
所で、ワーク108が薄くて加工面に反りがあったり、ワークの加工面の平行度が悪かったり、ワーク間に厚さ(長さ)にバラツキがあった場合は、まず、定量加圧で、これらを修正し、しかる後、定圧加圧で仕上げ加工をすることがある。このような場合は、従来では、定量加圧装置と定圧加圧装置とは別物であったため、まず、ワークを、はじめに定量加圧装置を用いて定量加圧をし、次いで定圧加圧装置を用いて定圧加圧をしながらラップ加工をしなければならなかった。このために2台の独立した加圧装置を必要とするばかりでなく、加圧装置の交換に時間を要し、定量加圧工程と定圧加圧工程とがロスタイム無しに自動的に切換えを行うことができず、そのために生産性を高めることができなかった。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、その課題は、定量加圧及び定圧加圧を自動的にロスタイム無しに切り換えかつこれらの加圧を順次に連続して行う平面ラップ盤用定圧定量連続加圧方法及びこの方法を1台で実施できる平面ラップ盤用定圧定量連続加圧装置を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
この課題を達成するために、本発明に基づく平面ラップ盤用定圧定量連続加圧方法は、上定盤と下定盤とを互いに共軸に上下に離間して水平に配設し、両定盤の間にそれらの軸を中心とする相対回転を行うように構成し、該両定盤の間に円盤状のワークホルダを該両定盤の円周方向に配設し、該ワークホルダの各々に、ワークを受けるためのワーク収容孔を円周方向に形成して成る平面ラップ盤に用いられ、前記上定盤を流体圧により前記ワークホルダに受けられたワークの方へ移動して該ワークを定圧で加圧する定圧加圧工程と、該定圧加圧による所定の定圧加圧切込み量を検出する工程と、前記上定盤を機械的に前記ワークホルダに受けられたワークの方へ移動して該ワークを定量加圧する定量加圧工程と、該定量加圧による所定の定量加圧切込み量を検出する工程を含み、(1)前記定圧加圧工程を実施して前記定圧加圧切込み量を検出した時に前記定圧加圧工程を停止すると共に前記定量加圧工程を実施し、前記定量加圧切込み量を検出した時に該定量加圧工程を停止する工程か、(2)前記上定盤が前記ワークに接するまで該上定盤と該ワークとの間の間隔を機械的につめる工程と、このつめる工程の終了と共に前記定圧加圧工程を実施して前記定圧加圧切込み量を検出した時に前記定圧加圧工程を停止すると共に前記定量加圧工程を実施し、前記定量加圧切込み量を検出した時に定量加圧を停止する工程から成る。
【0011】
本発明に基づく平面ラップ盤用定圧定量連続加圧装置は、上定盤と下定盤とを互いに共軸に上下に離間して水平に配設し、両定盤の間にそれらの軸を中心とする相対回転を行うように構成し、該両定盤の間に円盤状のワークホルダを該両定盤の円周方向に配設し、該ワークホルダの各々に、ワークを受けるためのワーク収容孔を円周方向に形成して成る平面ラップ盤用定圧定量連続加圧装置であって、前記上定盤を流体圧により前記ワークホルダに受けられたワークの方へ移動して該ワークを定圧で加圧する定圧加圧手段と、定圧加圧による定圧加圧切込み量を検出する第1検出手段と、前記上定盤を機械的に前記ワークホルダに受けられたワークの方へ移動して該ワークを定量加圧する定量加圧手段と、該定量加圧による定量加圧切込み量を検出する第2検出手段と、(1)最初に定圧加圧手段を操作して、前記第1検出手段により検出された前記定圧切込み量を所定定圧切込み量と比較し該定圧切込み量が該所定定圧切込み量に達した時は前記定圧加圧手段を停止すると共に、続いて前記定量加圧手段を操作して、前記第2検出手段により検出された前記定量加圧切込み量を所定定量加圧切込み量と比較し該定量加圧切込み量が該所定定量加圧切込み量に達した時は該定量加圧手段を停止するか、(2)最初に前記定量加圧手段を作動させて前記上定盤が該ワークに接するまで該上定盤と該ワークとの間の間隔をつめ、続けて前記第2検出手段により検出された前記定量加圧切込み量を所定定量切込み量と比較し該定量加圧切込み量が該所定定量切込み量に達した時に該定量加圧手段を停止し、続いて前記定圧加圧手段を操作して、前記第1検出手段により検出された前記定圧切込み量を所定定圧切込み量と比較し該定圧切込み量が該所定定圧切込み量に達した時は該定圧加圧手段を停止する制御手段とから成る。
【0012】
前記定量加圧手段は、サーボモータと、該サーボモータにより回転されるボールねじと、前記上定盤を保持する担体と、該担体に設けられボールねじと螺合するナットとより成り、前記第2検出手段はサーボモータ回転数検出器で構成できる。また、前記定圧加圧手段は、前記担体に設けられ前記上定盤を前記ワークに接離させる流体圧式のピストン−シリンダ・アセンブリーから構成することができる。更に、前記第1検出手段は、前記ピストン−シリンダ・アセンブリーのピストンの移動量読取り用のマグネットスケールと、該ピストンの移動量を検出するピストン位置検出器とから構成することができる。更に又、前記制御手段は、サーボアンプを介して前記サーボモータにこれを所定の速度で所定方向に回転させる信号を送り、前記サーボモータ回転数検出器からの前記サーボモータの回転数信号を受けて該サーボモータの回転数を所定のサーボモータ回転数と比較し該サーボモータの回転数が該所定のサーボモータ回転数に達した時に該サーボモータを停止させる信号を前記サーボアンプに送り、これと共に前記ピストンを前記ワークの方へ送る信号を前記ピストン−シリンダ・アセンブリーへ送り、前記ピストン位置検出器からのピストン位置を所定のピストン位置と比較し該ピストン位置が該所定のピストン位置に達した時に該ピストンを原位置へ戻し、かつ、前記(1)又は(2)の工程のいずれかの1を選択するメインコントローラから成る構成にすることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図1及び3を参照して本発明を実施形態に基づいて説明する。図1は本発明の第1実施形態の概略図であり、図2は本発明の第2実施形態の概略図である。
【0014】
この発明が適用される平面ラップ盤は、一例として、図1に示すように、上下に相対峙して配置され対向面に砥石2,3を有し相対回転運動をなす上定盤4及び下定盤5を設け、下定盤5の砥石3上に共軸に設けられ相対回転をなす太陽歯車6と内歯歯車7との間にこれらの歯車に噛合する外歯歯車を有しワーク8を保持したワークホルダ9を円周方向へ配設して成る双頭平面ラップ盤1である。このラップ盤1においては、下定盤5はラップ盤1の機台に固定された支持枠29に取り付けられたサーボモータ30によって回転される垂直なボールねじ31を保持している。このボールねじ31は、上記機台に対して回転しないが下定盤5とは相対回転を行うように下定盤5の下面に設けられたナット32に螺合している。そして、サーボモータ30によってボールねじ31が回転されると、その回転方向に応じて下定盤5が太陽歯車6、内歯歯車7、ワークホルダ9及びワーク8と共に昇降される。他方、上定盤4は、後述のように、定量加圧部15又は定圧加圧部10によって昇降される。
【0015】
また、図2に示すように、この平面ラップ盤は、図1の双頭ラップ盤1の上定盤4の下面の砥石2の代わりに、円板状の押し板22を上定盤4と共心にその下面に自らの軸心を中心にして回転するように該下面の円周方向に配置された片面ラップ盤1Aであってもよい。そして、これらの押し板22は上定盤4と太陽歯車6等の回転調整により、対応のワークホルダ9と垂直に整合させることができるようになっている。そして、上定盤4はワークホルダ9の公転方向へその公転速度と同じ速度でも回転されるようになっている。
【0016】
また、平面ラップ盤は、太陽歯車も内歯歯車もなく、下定盤の砥石上に板状のワークホルダを円周方向に配設し、隣接したワークホルダの間にワークホルダが砥石と共に共回りしないように機台に固定して構成された片面ラップ盤でもよく、この場合は、上定盤に図2で示したのと同様の押し板を図2の場合と同様に設ける。
【0017】
図1及び図2を参照して、28は、下定盤5、太陽歯車6、内歯歯車7及び上定盤4を強制的に回転させる場合は、それぞれを駆動する4個のサーボモータであり、下定盤5、太陽歯車6及び上定盤4を強制的に回転させる場合は、それぞれを駆動する3個のサーボモータであり、下定盤5及び太陽歯車6を強制的に回転させる場合は、それぞれを駆動する2個のサーボモータであり、下定盤5のみを強制的に回転させる場合は1個のサーボモータである。
【0018】
10は、定圧加圧部で、担体12に保持され空気圧で作動されるピストン−シリンダ・アセンブリー11(定圧加圧手段の1例を成す)から成る。担体12は、後述のように、定量加圧部15の構成要素であるが、ピストン−シリンダ・アセンブリー11のハウジングでもある。ピストン−シリンダ・アセンブリー11のピストンロッド13の下端は上定盤4の上面中央部に接続されている。ピストン−シリンダ・アセンブリー11のピストン23側のチャンバ(ピストン側チャンバ)14及びピストンロッド側チャンバ24は、それぞれ、空圧供給源27に接続された電空レギュレータ25,26に接続されている。円板状押圧板20はその回転軸21を介して担体12に対して回転可能であるが上下動ができないように保持されている。押圧板20は上定盤4と共軸になっている。また、ピストンロッド13は押圧板20の回転軸21の中心を貫通している。そして、ピストン−シリンダ・アセンブリー11を作動することによって上定盤4が昇降される。
【0019】
15は定量加圧部で、サーボモータ17、これによって回転されるボールねじ18、ピストン−シリンダ・アセンブリー11が設けられた担体12、及び、担体12に設けられたナット19から成る。定量加圧部15は、更に、架台16を有し、その前方上面にサーボモータ17を固定している。ボールねじ18は架台16の前面で下方へ延びるようにサーボモータ17に設けられている。ナット19は、担体12の後方上面に形成されている。サーボモータ30によりボールねじ18が回転されると、その回転方向に応じて担体12がピストン−シリンダ・アセンブリー11と共に昇降し、上定盤4を昇降させる。なお、ここで、サーボモータ17、ボールねじ18及びナット19は定量加圧手段を構成する。
【0020】
33は、本発明の制御部(制御手段)を示す。この制御部33は、全ての実施形態を通じて、メインコントローラ34と、これとサーボモータ17に接続されたサーボアンプ35と、メインコントローラ34に接続されサーボモータ17に組み込まれて該サーボモータ17の回転数を検出するサーボモータ回転数検出器45と、メインコントローラ34に接続され間接的にはピストン23及び上定盤4の移動量を読取るマグネットスケール36と、このマグネットスケール36とメインコントローラ34とに接続されマグネットスケール36に対するピストンロッド13の移動量、ひいては、ピストン23及び上定盤4の移動量を検知するピストン位置検出器37と、前記サーボモータ28のそれぞれに組み込まれると共にメインコントローラ34に接続されるサーボアンプ38と、コントローラ34に接続されサーボモータ30に組み込まれたサーボアンプ39と、サーボモータ30とメインコントローラ34に接続されサーボモータ30の回転数を検出するサーボモータ回転数検出器40とを有する。なお、制御部33は制御手段の1例を成す。また、マグネットスケール36及びピストン位置検出器37で第1検出手段が構成される。
【0021】
メインコントローラ34は次の機能を含む。
・各サーボアンプを介して対応のサーボモータの回転速度と回転方向の信号を当該のサーボモータに出力すること
・各サーボモータ回転検出器を介して対応のサーボモータの回転数の信号を入力し設定値と比較して差があれば補正すること
・各サーボモータの回転方向を設定方向と比較し、違いがあれば訂正すること
・サーボモータ17及び30の回転数をサーボモータ回転数検出器45及び40から入力し、設定回転数と比較し、設定回転数に達したときにサーボモータ17及び30にサーボアンプ35及び39を介してこれらサーボモータを停止させる信号を出力すること
・電空レギュレータ25又は26に作動信号を選択的に送ってピストン23を昇降させ、マグネットスケール36及びピストン位置検出器37を介してピストン23の位置信号を受け、この位置と上定盤4が定圧加圧の最終ラップ加工位置に来る時のピストン23の位置(設定位置)とを比較し、この位置が設定位置に達した時に対応の電空レギュレータ25又は26に停止信号を送って当該電空レギュレータを停止させること
・サーボモータ17及び39の回転を同時に開始すること
・定量加圧工程と定圧加圧との順序を制御すること。
【0022】
サーボアンプは、A相パルス列とB相パルス列を出す形式のものであり、メインコントローラ34は両相のパルス列の位相差からサーボモータの回転方向を検知する。
【0023】
以下、図1及び図3を参照して、定量加圧後にこれに続けて定圧加圧を行う場合について説明する。操作工程はステップ1からステップ16への順序で実行される。
【0024】
ステップ 1: メインコントローラ34からの操作信号により、電空レギュレータ26が操作され、電空レギュレータ25が切られ、ピストン−シリンダ・アセンブリー11のピストン23が上方へ付勢されて上定盤4をロックする。
ステップ 2: メインコントローラ34によって、サーボモータ17及び30がボールねじ18及び31を送り回転して上下定盤4及び5を接近させる。
ステップ 3: サーボモータ17及び30の回転数がサーボモータ回転数検出器45及び40で検出され、メインコントローラ34がこれらの回転数と所定の設定回転数とを比較する。
ステップ 4: サーボモータ30の回転数が設定回転数に達した時に、メインコントローラ34は、サーボアンプ39を介してサーボモータ30を停止させる信号をサーボモータ30に送ってこれを停止させる。
ステップ 5: メインコントローラ34により、サーボモータ28が回転され、上下定盤4,5、太陽歯車6、必要に応じ内歯歯車7が所定速度で回転される。
【0025】
ステップ 6: メインコントローラ34により、サーボモータ17は定量加圧送り回転で駆動される。上定盤4は定量加圧送りを掛けられ、上下定盤4及び5の砥石2及び3でワーク8の上面及び下面を定量加圧でラップ加工する。
ステップ 7: サーボモータ回転数検出器45からのサーボモータ17の回転数がメインコントローラ34で定量加圧送りの最終量に相当する所定の設定回転数と比較される。
ステップ 8: メインコントローラ34は、サーボモータ17の回転数が設定回転数に達したことを検知すると、停止信号をサーボアンプ35を介してサーボモータ17に出し、これを停止させる。これで、定量加圧によるラップ加工が終了する。
ステップ 9: ステップ8が実行されると同時に、メインコントローラ34により、電空レギュレータ26は切られ、電空レギュレータ25が操作され、ピストン23が下降し、上定盤4の砥石2がワーク8を加圧し、定圧加圧が行われる。
ステップ 10: マグネットスケール36がピストンロッド13、ひいてはピストン23の、担体12に対する下降量(定圧加圧量)、即ち、定圧加圧によるワーク8の切込み量 (定圧加圧設定切込み量)を検出する。この切込み量がメインコントローラ34によって定圧加圧設定切込み量と比較される。
【0026】
ステップ 11: マグネットスケール36によって読取られた定圧加圧切込み量が所定の大きさに達すると、メインコントローラ34はこのことを確認する。
ステップ 12: ピストン位置検出器37からの検出信号に基づきメインコントローラ34により電空レギュレータ26が操作され、電空レギュレータ25が切られ、ピストン− シリンダ・アセンブリー11のピストン23が上方へ付勢されて上定盤4をロックする。これで、定圧加圧によるラップ加工が終了する。
ステップ 13: メインコントローラ34によりサーボモータ17及び30が復帰回転され、上下定盤4及び5は離間する。
ステップ14: 上下定盤4及び5を原位置に復帰させるため、サーボモータ17及び30が所定速度で逆転される。これらの逆転回転数はメインコントローラ34により上下定盤4及び5が原位置に復帰するまでのサーボモータ17及び30の回転数(所定回転数)と比較される。
ステップ 15: これらの回転数が所定回転数に達し上下定盤4及び5が原位置へ戻ると、メインコントローラ34は、停止信号をサーボモータ17及び30に送って、これらサーボモータを停止させる。
ステップ 16: サーボモータ17及び30を停止させる。
上下定盤4,5の原位置への復帰は、上述のステップ14乃至16通りに行われる。また、上下定盤4,5、太陽歯車6及び内歯歯車7の内、回転していたものの回転を停止させるのは、ステップ16の後、その他適切な段階にサーボモータ28を停止して行われる。かくて、定量加圧−定圧加圧の連続加圧サイクルが実行される。
【0027】
次に、図2及び図4を参照して、定圧加圧後にこれに続けて定量加圧を行う場合について説明する。操作工程はステップ1からステップ16への順序で実行される。
【0028】
ステップ 1: メインコントローラ34によって、サーボアンプ35及び39を介してサーボモータ17及び30がボールねじ18及び31を送り回転し、上下定盤4及び5を接近させる。
ステップ 2: サーボモータ回転数検出器45及び40はサーボモータ17及び30の回転数を検出し、メインコントローラ34は、これらの回転数を押し板22がワーク8の上面に接触するまでのサーボモータ17及び30の回転数(所定の設定回転数)と比較する。
ステップ 3: サーボモータ30の回転数が設定回転数に達する、即ち、押し板22がワーク8の上面に接すると、メインコントローラ34はサーボアンプ39を介して回転停止信号をサーボモータ30に送り、これを停止させる。
ステップ 4: メインコントローラ34により、サーボモータ28が回転され、上下定盤4及び5、太陽歯車6、必要に応じて内歯歯車7が所定速度で回転される。
【0029】
ステップ 5: メインコントローラ34により電空レギュレータ26が切られ、電空レギュレータ25が操作されて、ピストン23が下降送り(定圧加圧送り)を開始する。
ステップ 6: マグネットスケール36を介してピストン位置検出器37はピストン23の位置を検出し、メインコントローラ34はピストン位置を検出する。メインコントローラ34は、このピストン位置を定圧加圧ラップ加工の最終位置である所定のピストン設定位置と比較する。
ステップ 7: ステップ6によってピストン23が下降され、定圧加圧ラップ加工が行われる。
ステップ 8: ピストン位置が設定ピストン位置に達すると、ピストン23による定圧加圧ラップ加工が終了する。
【0030】
ステップ 9: メインコントローラ34からの操作信号により、電空レギュレータ26が操作され、電空レギュレータ25が切られ、ピストン−シリンダ・アセンブリー11のピストン23が上方へ付勢されて上定盤4をロックする。
ステップ 10: メインコントローラ34により、サーボモータ17は定量加圧のために送り回転される。上定盤4は定量加圧送りを掛けられ、ワーク8の上面が押し板22により押圧されることによってワーク8の下面が下定盤5の砥石3に押圧されて定量送りによるラップ加工が行われる。
ステップ 11: サーボモータ17の回転量はサーボアンプ35によって検出され、メインコントローラ34で定量加圧を終了するまでのサボモータ17の回転数(設定回転数)と比較される。
ステップ 12: サーボモータ17の回転数が設定回転数に達し、定量加圧によるラップ加工が終了する。
【0031】
ステップ 13: サーボモータ17の回転数が設定回転数に達すると、メインコントローラ34がサーボアンプ35を介して停止信号をサーボモータ17へ出力し、これを停止させる。
ステップ 14: メインコントローラ43は、サーボアンプ35及び39を介して上定盤4と下定盤5とを原位置へ戻すためにサーボモータ17及び30を逆転(復帰回転)させる。
ステップ 15: サーボモータ17及び30の復帰回転数がメインコントローラ34によって上下定盤4及び5を原位置に戻すまでのそれらのサーボモータの回転数(設定復帰回転数)と比較される。
ステップ 16: サーボモータ17及び30の復帰回転数が設定に達すると、メインコントローラ34はサーボアンプ35及び39を介して停止信号を両サーボモータ17及び30に出力する。この結果、両サーボモータ17及び30は停止し、上下定盤4及び5は原位置に復帰する。
上下定盤4,5、太陽歯車6及び内歯歯車7の内、回転していたものの回転を停止させるのは、ステップ13と14の間やステップ16後などの他適切な段階でサーボモータ28を停止して行われる。
かくて、定圧加圧−定量加圧の連続加圧サイクルが実行される。
【0032】
図1と図2の実施形態では、それぞれ、遊星歯車式の双頭ラップ盤及び片面ラップ盤に適用する場合に付いて説明したが、それぞれ遊星式の片面ラップ盤及び双頭ラップ盤に適用するようにしてもよい。また、上定盤でワークを加圧できる限り、他の形式の平面ラップ盤でもよい。更に、ピストン−シリンダ・アセンブリーの制御に電空レギュレータを用いたが、他の精密減圧弁乃至は精密圧力方向制御弁でもよい。更に又、この精密減圧弁乃至は精密圧力方向制御弁は油圧式でも空圧式でもよい。
【0033】
【発明の効果】
以上に述べた通り、本発明は定量加圧と定圧加圧を自動的にロスタイム無しに切り換えかつこれらの加圧を順次に連続して行う一台の装置で行うことができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】定量加圧から定圧加圧へ自動的に切換可能な平面ラップ盤用定圧定量連続加圧装置の1実施形態の概略図である。
【図2】定圧加圧から定量加圧へ自動的に切換可能な平面ラップ盤用定圧定量連続加圧装置の1実施形態の概略図である。
【図3】図1の定量加圧から定圧加圧へ自動的に切換可能な平面ラップ盤用定圧定量連続加圧装置のフローチャートである。
【図4】図2の定圧加圧から定量加圧へ自動的に切換可能な平面ラップ盤用定圧定量連続加圧装置のフローチャートである。
【図5】従来のラップ盤用定圧加圧装置の概略側面図である。
【図6】従来のラップ盤用定量加圧装置の概略側面図である。
Claims (6)
- 上定盤と下定盤とを互いに共軸に上下に離間して水平に配設し、両定盤の間にそれらの軸を中心とする相対回転を行うように構成し、該両定盤の間に円盤状の ワークホルダを該両定盤の円周方向に配設し、該ワークホルダの各々に、ワークを受けるためのワーク収容孔を円周方向に形成して成る平面ラップ盤に用いられ、
前記上定盤を流体圧により前記ワークホルダに受けられたワークの方へ移動して該ワークを定圧で加圧する定圧加圧工程と、該定圧加圧による所定の定圧加圧切込み量を検出する工程と、前記上定盤を機械的に前記ワークホルダに受けられたワークの方へ移動して該ワークを定量加圧する定量加圧工程と、該定量加圧による所定の定量加圧切込み量を検出する工程を含み、
(1)前記定圧加圧工程を実施して前記定圧加圧切込み量を検出した時に前記定圧加圧工程を停止すると共に前記定量加圧工程を実施し、前記定量加圧切込み量を検出した時に該定量加圧工程を停止する工程か、
(2)前記上定盤が前記ワークに接するまで該上定盤と該ワークとの間の間隔を機械的につめる工程と、このつめる工程の終了と共に前記定圧加圧工程を実施して前記定圧加圧切込み量を検出した時に前記定圧加圧工程を停止すると共に前記定量加圧工程を実施し、前記定量加圧切込み量を検出した時に定量加圧を停止する工程から成る平面ラップ盤用定圧定量連続加圧方法。 - 上定盤と下定盤とを互いに共軸に上下に離間して水平に配設し、両定盤の間にそれらの軸を中心とする相対回転を行うように構成し、該両定盤の間に円盤状のワークホルダを該両定盤の円周方向に配設し、該ワークホルダの各々に、ワークを受けるためのワーク収容孔を円周方向に形成して成る平面ラップ盤用定圧定量連続加圧装置であって、
前記上定盤を流体圧により前記ワークホルダに受けられたワークの方へ移動して該ワークを定圧で加圧する定圧加圧手段と、
定圧加圧による定圧加圧切込み量を検出する第1検出手段と、
前記上定盤を機械的に前記ワークホルダに受けられたワークの方へ移動して該ワークを定量加圧する定量加圧手段と、
該定量加圧による定量加圧切込み量を検出する第2検出手段と、
(1)最初に定圧加圧手段を操作して、前記第1検出手段により検出された前記定圧切込み量を所定定圧切込み量と比較し該定圧切込み量が該所定定圧切込み量に達した時は前記定圧加圧手段を停止すると共に、続いて前記定量加圧手段を操作して、前記第2検出手段により検出された前記定量加圧切込み量を所定定量加圧切込み量と比較し該定量加圧切込み量が該所定定量加圧切込み量に達した時は該定量加圧手段を停止するか、(2)最初に前記定量加圧手段を作動させて前記上定盤が該ワークに接するまで該上定盤と該ワークとの間の間隔をつめ、続けて前記第2検出手段により検出された前記定量加圧切込み量を所定定量切込み量と比較し該定量加圧切込み量が該所定定量切込み量に達した時に該定量加圧手段を停止し、続いて前記定圧加圧手段を操作して、前記第1検出手段により検出された前記定圧切込み量を所定定圧切込み量と比較し該定圧切込み量が該所定定圧切込み量に達した時は該定圧加圧手段を停止する制御手段と
を具備して成る平面ラップ盤用定圧定量連続加圧装置。 - 前記定量加圧手段は、サーボモータと、該サーボモータにより回転されるボールねじと、前記上定盤を保持する担体と、該担体に設けられボールねじと螺合するナットとより成り、前記第2検出手段はサーボモータ回転数検出器より成る請求項2に記載の平面ラップ盤用定圧定量連続加圧装置。
- 前記定圧加圧手段は、前記担体に設けられ前記上定盤を前記ワークに接離させる流体圧式のピストン−シリンダ・アセンブリーから成る請求項3に記載の平面ラップ盤用定圧定量連続加圧装置。
- 前記第1検出手段は、前記ピストン−シリンダ・アセンブリーのピストンの移動量読取り用のマグネットスケールと、該ピストンの移動量を検出するピストン位置検出器とから成る請求項4に記載の平面ラップ盤用定圧定量連続加圧装置。
- 前記制御手段は、サーボアンプを介して前記サーボモータにこれを所定の速度で所定方向に回転させる信号を送り、前記サーボモータ回転数検出器からの前記サーボモータの回転数信号を受けて該サーボモータの回転数を所定のサーボモータ回転数と比較し該サーボモータの回転数が該所定のサーボモータ回転数に達した時に該サーボモータを停止させる信号を前記サーボアンプに送り、これと共に前記ピストンを前記ワークの方へ送る信号を前記ピストン−シリンダ・アセンブリーへ送り、前記ピストン位置検出器からのピストン位置を所定のピストン位置と比較し該ピストン位置が該所定のピストン位置に達した時に該ピストンを原位置へ戻し、かつ、前記(1)又は(2)の工程のいずれかの1を選択するメインコントローラから成る請求項5に記載の平面ラップ盤用定圧定量連続加圧装置。
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