JP2002310870A - 硬さ試験機 - Google Patents
硬さ試験機Info
- Publication number
- JP2002310870A JP2002310870A JP2001121468A JP2001121468A JP2002310870A JP 2002310870 A JP2002310870 A JP 2002310870A JP 2001121468 A JP2001121468 A JP 2001121468A JP 2001121468 A JP2001121468 A JP 2001121468A JP 2002310870 A JP2002310870 A JP 2002310870A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- objective lens
- sample
- hardness tester
- sample surface
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lens Barrels (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
確実に実施できる硬さ試験機を提供することを目的とす
る。 【解決手段】光源と対物レンズの間に、光源の光の一部
を遮断する遮光部を設け、前記遮光部の投影像を、対物
レンズの焦点を含み対物レンズと平行する平行面であ
り、かつ接眼レンズの視野の範囲に結像させ、この投影
像を対物レンズと試料表面の焦点合わせの基準とする。
Description
し、詳細には、ビッカース硬さ試験機や微小硬さ試験機
のように、試料表面に形成されたくぼみの大きさから硬
さを計測する硬さ試験機に関する。
みの形状を計測するための光学顕微鏡とくぼみを形成す
るための四角錐形の圧子が設けられており、硬さ試験を
実施する際には、まず試料表面と光学顕微鏡の焦点合わ
せを行った後、所定の荷重を圧子により試料表面に加え
てくぼみを形成させ、再び光学顕微鏡によりくぼみの対
角線の長さを計測することにより硬さを算出する。
カース硬さ試験機には、試料台を上下に移動させるハン
ドルが設けられており、オペレータは試料表面を観察し
ながら、ハンドルを回して試料台を上下に移動させ、光
学顕微鏡と試料表面の焦点が合った位置に試料台を固定
させている。
硬さ試験では、測定精度確保のため試料表面を鏡面に加
工することがあり、このような試料の焦点合わせを行う
場合には、試料表面のコントラストがはっきりせず、焦
点合わせに時間がかかったり、試料表面と対物レンズが
接触してしまうなどの問題がある。
であって、試料表面の焦点合わせを効率よく、確実に実
施できる硬さ試験機を提供することを目的とする。
料Sの表面を照射する光源(ランプハウス14)と、前
記試料の表面の像を観察する接眼レンズ9と、前記試料
もしくは前記対物レンズの少なくとも一方を前記対物レ
ンズの光軸に沿って移動させる移動手段(ハンドル8)
と、を有する硬さ試験機において、前記光源と前記対物
レンズとの間に前記光源から放射された光の一部を遮断
する遮光部(ガラス板19)を設け、前記遮光部は、そ
の投影像を前記対物レンズの焦点を含む前記対物レンズ
に平行な平行面であり、かつ、前記接眼レンズの視野の
範囲に結像するように配置されていることを特徴とす
る。
の焦点を含む平面には、遮光部によって形成された投影
像が結像し、その投影像は接眼レンズの視野に含まれる
ため、オペレータは、前記投影像を基準として焦点合わ
せができるようになり、コントラストの変化がはっきり
し、試料表面の焦点合わせが効率よく、確実に実施でき
るようになる。
さ試験機において、圧子4により前記試料表面に形成さ
れたくぼみの大きさを測定するくぼみ測定機構を備え、
前記遮光部は、前記くぼみ測定機構により測定可能な大
きさのくぼみの外側の試料表面に前記投影像を投影させ
るように配置されていることを特徴とする。
投影される投影像は、硬さ試験機が測定できるくぼみの
最大計測長よりも外側に投影されるようになっており、
投影像がくぼみの計測に影響を与えない。
ス硬さ試験機を詳細に説明する。
明する。ビッカース硬さ試験機1は本体部2と、本体部
2の上側に取り付けられ、試料表面を観察する光学顕微
鏡3と、この光学顕微鏡3の下部に設けられ、回転する
ことにより圧子4と対物レンズ5との切り換えが可能な
ターレット6と、前記本体部2の下部に上下動可能に取
り付けられ、前記ターレット6と対向配設された試料台
7と、試料台7を上下に移動させるハンドル8などによ
り構成されている。
レンズ5の他、試料表面に光を供給する光源部13と、
試料表面からの反射光の角度を変更させる反射鏡12
と、反射鏡12によって角度が変更された反射光を通す
鏡筒11と、試料表面の像を観察可能にする接眼レンズ
9などにより構成される。
内蔵するランプハウス14、このランプハウス14に接
続されランプハウス14からの光の通路となる光路管1
5などを備えている。
なっており、先端部15aは鏡筒11に挿入されてお
り、この先端部15aの端面には、ハーフミラー21が
取り付けられている。
光はハーフミラー21に反射され、対物レンズ5を通っ
て試料表面に落射照明するようになっている。また、試
料表面から反射した光は対物レンズ5、ハーフミラー2
1を通り、接眼レンズ9で観察可能になっている。
凸レンズ16、半凸レンズ17からなるコリメータレン
ズと、凸レンズ16、半凸レンズ17に挟まれた開口リ
ング18が設けられており、ランプハウス14から発し
た光は凸レンズ16、開口リング18、半凸レンズ17
を通って鏡筒11に放射される。
ンプハウス14からの光を通過させる開口部18aが設
けられており、この開口リング18には、開口部18a
を塞ぐガラス板19が取り付けられている。このガラス
板19には直線模様20が描かれており、ガラス板19
の直線模様20は、光路の中心からはずれた位置に配置
され、開口リング18を光が通過した場合、直線模様2
0の影が試料表面に投影されるようになっている。
投影される直線模様の影が合焦する位置と、対物レンズ
5と試料表面が合焦する位置は等しくなるように設計さ
れている。すなわち、試料表面と対物レンズ5、対物レ
ンズ5と半凸レンズ17の間の距離は決まっているの
で、この距離と、対物レンズ5と半凸レンズ17の屈折
率からガラス板19の直線模様と対物レンズ5の焦点が
合致する位置が算出され、その位置にガラス板19を配
置することにより、対物レンズ5と試料表面の合焦する
位置と、模様が試料表面で合焦する位置が等しくなる。
点が合うと、試料表面に投影される影の像の焦点も合う
ように設計されているため、対物レンズ5と試料表面の
焦点が合っていないときには影の輪郭がぼやけ、対物レ
ンズ5と試料表面の焦点が合っているときには影の輪郭
がはっきりする。
を確認することにより対物レンズ5と試料表面の合焦を
検出でき、試料表面が鏡面であったとしても試料表面の
合焦が検出しやすくなっている。
0は、試料表面の端に投影されるように描かれている
が、この位置はビッカース硬さ試験機1の最大計測長、
すなわち、ビッカース硬さ試験機1が計測できるくぼみ
の大きさ最大の計測長よりも外側であり、試料表面に投
影される直線模様はくぼみの計測に影響を与えないよう
になっている。
について説明する。まず、硬さを測定する試料Sをビッ
カース硬さ試験機1の試料台7に載せ、試料Sの上方に
対物レンズ5が位置するようにターレット6を回転させ
る。
せ、接眼レンズ9を介して光学顕微鏡3を覗き込む。こ
のとき、ランプハウス14からの光は凸レンズ16、開
口リング18、半凸レンズ17を通って試料表面に照射
されるが、この光の一部は開口リング18のガラス板1
9に描かれた直線模様に遮られ、試料表面には図6に示
すように直線模様の影が投影される。
れた直線模様の影を、接眼レンズ9を介して確認する
が、このとき、対物レンズ5と試料表面の焦点が合って
いないときは開口リング18により形成された影の輪郭
はぼやけており、対物レンズ5と試料表面の焦点が合う
と直線模様の輪郭が明確になる。そのため、オペレータ
は直線模様の影を眺めながら試料台7を昇降させ、直線
模様の像の輪郭がはっきりした位置を合焦位置と判断す
ることで、試料台7の位置決めを行うことが出来る。
さ試験機1は、一部に影のある光を試料表面に照射し、
その影のコントラストを観察することにより合焦位置を
検出するため、表面を鏡面に磨いた試料であっても、試
料のコントラストがはっきりし、対物レンズ5と試料表
面の焦点合わせが効率よく、確実に実施できるようにな
る。
カース硬さ試験機1のくぼみの計測長の外側にあり、く
ぼみの計測には影響を与えないようになっている。
ものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形
・改良等は本発明に含まれるものとする。例えば、本発
明では、オペレータは接眼レンズ9を介して試料表面の
像を観察し対物レンズ5と試料表面の焦点を検出すると
したが、必ずしも接眼レンズ9を介して試料表面を観察
する必要はなく、試料表面の像をテレビモニタなどに写
して焦点の検出を行っても良い。
硬さ試験機に適用したが、必ずしもビッカース硬さ試験
機である必要はなく、本発明はブリネル硬さ試験機やヌ
ープ硬さ試験機のように、試料表面にくぼみを形成しそ
のくぼみの形状によって硬さを計測する硬さ試験機に適
用される。
ズの焦点を含む平面には、遮光部によって形成された投
影像が結像し、その投影像は接眼レンズの視野に含まれ
るため、オペレータは、前記投影像を基準として焦点合
わせができるようになり、コントラストの変化がはっき
りし、試料表面の焦点合わせが効率よく、確実に実施で
きるようになる。
投影される投影像は、硬さ試験機が測定できるくぼみの
最大計測長よりも外側に投影されるようになっており、
投影像がくぼみの計測に影響を与えないようになってい
る。
を示す概略正面図である。
面図である。
Claims (2)
- 【請求項1】対物レンズを介して試料の表面を照射する
光源と、 前記試料の表面の像を観察する接眼レンズと、 前記試料もしくは前記対物レンズの少なくとも一方を前
記対物レンズの光軸に沿って移動させる移動手段と、を
有する硬さ試験機において、 前記光源と前記対物レンズとの間に前記光源から放射さ
れた光の一部を遮断する遮光部を設け、 前記遮光部は、 その投影像を前記対物レンズの焦点を含む前記対物レン
ズに平行な平行面であり、かつ、前記接眼レンズの視野
の範囲に結像するように配置されていることを特徴とす
る硬さ試験機。 - 【請求項2】請求項1記載の硬さ試験機において、 前記試料表面に形成されたくぼみの大きさを測定するく
ぼみ測定機構を備え、 前記遮光部は、前記くぼみ測定機構により測定可能な大
きさのくぼみの外側の試料表面に前記投影像を投影させ
るように配置されていることを特徴とする硬さ試験機。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001121468A JP2002310870A (ja) | 2001-04-19 | 2001-04-19 | 硬さ試験機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001121468A JP2002310870A (ja) | 2001-04-19 | 2001-04-19 | 硬さ試験機 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002310870A true JP2002310870A (ja) | 2002-10-23 |
Family
ID=18971335
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001121468A Pending JP2002310870A (ja) | 2001-04-19 | 2001-04-19 | 硬さ試験機 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002310870A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002310869A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-23 | Akashi Corp | 硬さ試験機 |
JP2007024784A (ja) * | 2005-07-20 | 2007-02-01 | Shimadzu Corp | 材料試験機 |
CN106546502A (zh) * | 2017-01-10 | 2017-03-29 | 上海奥龙星迪检测设备有限公司 | 一种用于齿轮硬度计的光学测量*** |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6126153U (ja) * | 1984-07-24 | 1986-02-17 | 大同特殊鋼株式会社 | マ−カ−付硬さ試験機 |
JPH10185789A (ja) * | 1996-12-20 | 1998-07-14 | Akashi:Kk | 自動焦点合せ装置付き硬さ試験機とその自動焦点合せ方法 |
JP2001337276A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Akashi Corp | ビッカース硬さ試験用光学顕微鏡 |
-
2001
- 2001-04-19 JP JP2001121468A patent/JP2002310870A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6126153U (ja) * | 1984-07-24 | 1986-02-17 | 大同特殊鋼株式会社 | マ−カ−付硬さ試験機 |
JPH10185789A (ja) * | 1996-12-20 | 1998-07-14 | Akashi:Kk | 自動焦点合せ装置付き硬さ試験機とその自動焦点合せ方法 |
JP2001337276A (ja) * | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Akashi Corp | ビッカース硬さ試験用光学顕微鏡 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002310869A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-23 | Akashi Corp | 硬さ試験機 |
JP4519353B2 (ja) * | 2001-04-19 | 2010-08-04 | 株式会社ミツトヨ | 硬さ試験機 |
JP2007024784A (ja) * | 2005-07-20 | 2007-02-01 | Shimadzu Corp | 材料試験機 |
CN106546502A (zh) * | 2017-01-10 | 2017-03-29 | 上海奥龙星迪检测设备有限公司 | 一种用于齿轮硬度计的光学测量*** |
CN106546502B (zh) * | 2017-01-10 | 2023-05-16 | 上海奥龙星迪检测设备有限公司 | 一种用于齿轮硬度计的光学测量*** |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5166290B2 (ja) | ステントの内径部を照明および撮像する方法 | |
US6992820B2 (en) | Illuminating optical system and microscope provided with the same | |
KR100293126B1 (ko) | 검사장치 | |
JP3385432B2 (ja) | 検査装置 | |
KR20020019376A (ko) | 기판검사장치 | |
JP2010096554A (ja) | 欠陥検出方法の高感度化 | |
JP2002310870A (ja) | 硬さ試験機 | |
US6865021B2 (en) | Incident illumination unit and microscope to which incident illumination unit is applied | |
JP4668381B2 (ja) | 自動合焦システムのための合焦用フィラメント | |
JP2577960B2 (ja) | 鏡面体の表面検査装置 | |
JP4136911B2 (ja) | 赤外顕微鏡及びその測定位置確定方法 | |
JP2006047780A (ja) | 赤外顕微鏡 | |
CN115266578A (zh) | 分析装置 | |
JP5938981B2 (ja) | 投射システム | |
JP2003177325A (ja) | 全反射蛍光顕微鏡 | |
JP2002340738A (ja) | 光学部材検査装置 | |
US5307098A (en) | Projection inspecting machine | |
JP4519353B2 (ja) | 硬さ試験機 | |
JPH0618410A (ja) | 赤外顕微測定装置 | |
JPH0738807Y2 (ja) | 投影検査機 | |
JPH0783845A (ja) | 検査装置 | |
CN219122497U (zh) | 一种拍摄装置 | |
EP0770848A1 (en) | Projection inspecting machine | |
KR0120646Y1 (ko) | 광축 조정용 오토콜리메이터 장치 | |
KR200238929Y1 (ko) | 기판검사장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20050304 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080306 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100512 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100518 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100928 |