JP4132359B2 - 光波干渉計用基準板の支持方法 - Google Patents
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Description
【発明の背景および発明が解決しようとする課題】
光学部品の表面形状を高精度に計測できる光波干渉計は、干渉性の良い光源であるレーザーの出現以降広く普及している。光波干渉計は、光源からの光束を2分し、一方を被検体に照射し該被検体の位相状態を担持した物体光となし、他方を参照基準板に照射し該参照基準板の位相状態を担持した参照光となし、それら2光波を再合波して両波の位相差に応じた干渉縞を得るものであるが、あくまで前記物体光と前記参照光の比較測定をするものである。また、光波干渉計において検出可能な両光波の差は、使用光波の波長の1/2(干渉縞の1本に相当する)程度と極めて精細な比較測定が可能である。
【0002】
このような高精細な比較測定においては、前記参照基準板を高精度に作製し、如何にその精度を保ったまま干渉計本体に支持させるかが重要な問題となる。
【0003】
ここで、図10に従来の平面計測用の円形参照基準板の一例を示す。参照基準板101は、低熱膨張係数の材料、例えば石英やセラミックスにより形成されている。特にこの参照基準板101を光束が透過するような光学系においては、材料内部の屈折率分布の均一性も要求されることになる。
【0004】
参照基準面102は、測定の要求精度にもよるが、一般には、完全な平面からのはずれ量が使用光波長の1/20以下の高精度に研磨仕上げされている。参照基準面102の裏面103は、この参照基準面102ほどの精度は要求されないものの、やはり使用光波長の1/5〜1/10程度の精度に研磨仕上げされ、反射ノイズ低減のため表面に使用光波長に対する反射防止コートが施されている。さらに、参照基準面102の外周面104は、一般的には#400から#800程度の粗さで研削またはラッピングされている。
【0005】
このように高精度に仕上げられた参照基準板101を、この精度を保ったまま干渉計本体に取り付ける幾つかの試みがなされている。
【0006】
すなわち、図11の例は、参照基準板101を収納し干渉計本体部に装着するための鏡筒110において、その鍔111部分を当て面とするようにして参照基準板101を挿入する様子が示されている。その押さえ環112は参照基準板101が大きくがたつくのを防止するためのものであり、参照基準板101の精度を損なわないようにするため参照基準板101とは僅かな空隙を持って固定されている。取付けねじ113は、参照基準板ユニットを干渉計本体に取り付け、干渉計本体部と参照基準板101の相対位置関係を安定に保つためのものである。
【0007】
しかし、このような方法には測定精度上下記の如き2つの問題がある。
(1)アルミニューム等の金属で作製した鏡筒110と、ガラスやセラミックス等で作製された参照基準板101が鏡筒110の鍔111で接触し、その接触部では参照基準板101の自重による押しつけが起こることになる。切削等で加工した鏡筒110の鍔111部分と研磨加工した参照基準板101の表面では加工精度も異なるため、これら両者101、111の均一な接触状態を得ることは困難で、図12の如く最低3カ所での点接触となる。接触点をA,B,Cの3点としたとき、参照基準板101の三角形ABCの外側の部位は、参照基準板101の自重によりたわみ、模式的に表すと、図12の等高線120で示されるような形状に変化してしまう。このため、この参照基準板101を用いた計測には、等高線120で示す如き参照基準板101の形状変化分の測定誤差が生じることになる。
(2)図11に示すように、参照基準板101は鏡筒110から脱落はしないが固定されていないため、載置された位置で光軸に対し自由に回転が可能である。
【0008】
このことは、参照基準板101が完全な平面で、どのように回しても比較測定する被検体の形状を正確かつ安定に計測できればよいが、現実には完全な平面を形成することは困難で、参照基準板101は僅かではあるが部分部分で平面形状が異なっている。干渉測定は前述したように比較測定であるから、比較する参照基準板101が自由に回転してしまっては被検体の比較データ、即ち測定値は安定しないものとなる。また、参照基準板101の部分的形状の差は、被検体と鏡筒110の鍔111との接触位置を変えてしまうことともなり、上記方法による参照基準板101の支持は、参照基準板101のたわみ量にまで影響を及ぼしかねないこととなる。
【0009】
図13は、図11に示す従来例の欠点を改善し得る参照基準板支持方法を示すものである。
【0010】
これは、図11に示す従来例では自重で接触していた参照基準板101と鏡筒110の鍔111との間に、厚紙等の緩衝材121を挟み、鏡筒110の鍔111部分の機械加工による精度不良を緩衝材121が有する弾性で吸収し、参照基準板101には参照基準面の外縁全周で接触させるようにしたものである。この改良により参照基準板101は、接触点が原因となって発生する図12に示す如き形状変化を起こすことはなくなり、図14に示す如く全周支持による自重たわみのみの形状変化とすることができる。
【0011】
しかしながらこの場合、参照基準板101と鏡筒110の鍔111部分との間に挟み込んだ緩衝材121が、参照基準板101の重量で押圧し続けられるため、経時的に弾性力を失い緩衝効果を失ってしまう。即ち経時的に、参照基準板101の形状が図14に示すような状態から図12に示すような状態に変化をしてしまうという問題点がある。
【0012】
図15は、このような問題を改善した参照基準板101の支持方法を示すものである。これは、鏡筒110の鍔111部分に参照基準板101を載置するのではなく、鏡筒110の円周等分にあけられた小孔131より注射器等を用いて接着剤132を注入し、参照基準板101を宙づり状態で接着固定するものである。この方法によれば、参照基準板101の基準面102に対して接触するものがないため、前述した従来例の如き鏡筒110の鍔111部分との接触に起因する参照基準面101の精度劣化の問題は発生しない。
【0013】
しかしながらこの支持方法においては、下述する如き問題がある。
(1)鏡筒110の円周等分に設けた接着剤注入用の小孔131の数が少ないと、前述した2つの従来例と同様に参照基準板101に不均一な自重たわみが発生し、図12に示す如き問題が生じることになる。
(2)接着剤132の注入量が異なったり、接着剤層の厚さが変わったりすると、硬化時の体積変化による不均一な力が参照基準板101にかかり、高精度な参照基準面102を変形させることがある。
(3)接着剤132が参照基準板101の対向する2面の中央近辺を中心に注入、固化できればよいが、どちらか一方の面に近くなるように偏ると参照基準面102を大きく変形させることがある。
(4)上記2つの問題(2)、(3)を回避するために、接着剤132の使用量を極力少なくすることも考えられるが、鏡筒110の形成材料と参照基準板101の形成材料の熱膨張係数が異なるため、接着剤132の使用量が少なすぎると接着はがれが生じ、参照基準板101が鏡筒110から脱落するおそれがある。
(5)参照基準板101に傷などが付いた場合に修正研磨を行う際に、鏡筒110から参照基準板101をはずすことが難しくなり、参照基準板101の修復作業が困難となる。
【0014】
本発明は、これらの問題点を解決するためになされたもので、参照基準板を干渉計本体に取り付ける取付部材に該参照基準板を支持させたことにより生じる参照基準面の変形を抑え、該参照基準板を取付部材から容易に着脱させ得る光波干渉計用参照基準板の支持方法を提供することを目的とするものである。
【0015】
【課題を解決するための手段及びその作用】
上記の課題を解決するために、本発明方法においては、前記参照基準板の外周面を弾性部材を介して、該参照基準板を干渉計本体に取り付ける取付部材で支持するようにしている。これにより、前述した各先行技術において発生する参照基準板の不均一な支持に基づく参照基準板のたわみを防止するとともに、参照基準板が鏡筒中で回転し、測定値が変動するという不具合を防止することができる。
【0016】
また、本発明方法においては、鏡筒との接触が弾性部材を介して行われるようにし、なおかつ外周面上で略均一に配された所定位置で行われるようにしているため、接着剤固化に起因する参照基準板に対する不均一な力も発生せず、参照基準面を不均一にたわませることもない。
【0017】
また、参照基準板の弾性部材が接触する位置を参照基準板の厚み方向の中立面に略一致した位置とすることで、弾性部材には伸びあるいは縮みの力がほとんど加わらなくなり、参照基準板を干渉計本体に取り付ける取付部材に安定に支持できるものである。
【0018】
また、参照基準板を複数ラインの弾性部材で巻装する必要のある場合は、上記中立面に対して対称の位置に巻装すれば、巻装された対称位置の弾性部材は支持による伸び量と縮み量が等しくなり、同一規格のものを使用できる利点がある。
【0019】
また、取付部材に参照基準板を支持させる際の安定度を増加させるために、参照基準板の中立面に一致した溝を参照基準板の外周面に設け、そこに弾性部材を巻き付けるようにすれば不慮の脱落等が防止できる。なお、溝を中立面に略一致させる場合には、溝には伸縮の力がほとんど加わらず、溝加工を原因とする参照基準板の損傷等を防止できる。
【0020】
さらに、取付部材の内周面に、その周方向に延びる溝を設け、この溝に参照基準板の外周面に巻装せしめた弾性部材を係合させるようにすれば、参照基準板の支持がより安定したものとなる。
【0021】
なお、上記「弾性部材」とは、何らかの弾性効果を備えたものを総称するものとし、例えば厚紙や発泡スチロール等もこれに含まれる。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施形態に係る光波干渉計用基準板の支持方法について図面を参照しつつ説明する。
【0023】
<実施例1>
図1は巻装する弾性部材として、オイルシール部材であるОリングを用いた実施例を示すものである。参照基準板1の径より内径のわずかに小さなОリング41を、図2に示す如く参照基準板1の中立面42に一致した外周面位置に巻装し、これらОリング41と参照基準面2の外周面4とを、シアノアクリレート系の接着剤32を用いて均一に相互を接着し、固定する。次に、Оリング41が巻装された参照基準板1を、図1の干渉計本体に取り付ける取付部材5の開口部から挿入し、当て面にОリング41が接触して安定していること、および参照基準板1が取付部材5と直接接触していないことを確認した上で、押さえ環12によりОリング41を押圧して固定するものである。
【0024】
この方法では、参照基準板1にかかる外力は、重力以外は略一様とすることができる。すなわち、図12を用いて説明したように、外力の影響が不均一となることにより生じる参照基準板1の不均一な変形を防止できる。
【0025】
また、Оリング41が挟持されているため、参照基準面2の回転は起こらず、安定した測定データを得ることができることとなる。
【0026】
また、参照基準板1の支持はОリング41が押さえ環12で押さえられることによりなされているので、参照基準板1に傷などが付いた場合においても、容易に取付部材5から参照基準板1を取り外すことができ、該基準板1の修復作業を容易に行うことができる。
【0027】
なお、参照基準板1の具体的形状としては、例えば図9に示される如く、直径がφ160mm、厚みが30mmの円板状のものが用いられる。
【0028】
<実施例2>
図3は、上記実施例1のОリング41の代わりに断面角型のガスケット41Aを参照基準板1に巻装した実施例を示すものである。取付部材5による参照基準板1の支持は、実施例1と同様に行うことができる。
【0029】
このように、Оリング41の代わりに、弾性材料で作製された種々のオイルシール部材を巻装するようにしても、上記実施例1と同様に、効果的に参照基準板1を支持することができる。
【0030】
また、参照基準板1に巻装する弾性部材としては、Оリング41に代表されるオイルシール部材が形状や材料選択性の点で、また、入手の容易さから好都合であるが、これに限られるものではなく、各種の弾性緩衝部材を上記Оリング41の代わりとすることができる。
【0031】
<実施例3>
図4は、発泡スチロールの板材50を参照基準板1の外周面4に接着巻装した例を示す概略平面図である。また図5は図4の側面図である。この実施例では、円形の参照基準板1の外周面全周を弾性部材で巻装するのではなく、干渉計本体に参照基準板1を取り付ける取付部材5に該参照基準板1を支持せしめたときに、参照基準板1が自重と支持点との関係で不規則な変形を起こさない程度の隙間を長さ方向に一定間隔で設けるようにして外周面4を巻装せしめるようにしている。このように弾性部材が巻装された参照基準板1は、図1で示す如き固定方法により取付部材5に支持せしめることができる。
【0032】
本実施例では弾性緩衝部材として発泡スチロール板50を使用しているが、これに代えて、ゴム板、発泡ポリスチレンなど広い範囲の材料を使用することが可能である。
【0033】
<実施例4>
図6はОリング41が巻装された参照基準板1を、干渉計本体に取り付ける取付部材5に支持せしめる方法として、該取付部材5の内周に溝(V溝)60を設け、参照基準板1の外周面4にОリング41が巻装された状態で、このОリング41を溝60にはめ込み、該参照基準板1を取付部材5内の所定位置に固定するものである。本実施例方法は、参照基準板1を支持するための部品点数を少なくできるという点で極めて有効な支持方法である。
【0034】
<実施例5>
図7は弾性部材であるОリング41を2本用い、参照基準板1をより強固に取付部材5に支持せしめるようにした実施例を示すものである。これら2本のОリング41を、中立面42に対して対称となる位置において参照基準板1の外周面4に接着固定している。また、この実施例においては、上記取付部材5の内周面に、各Оリング41の配設位置に対応するように2本の溝(V溝および/またはU溝)60が設けられており、各Оリング41を参照基準板1の外周面4に巻装された状態でこれらの溝60にはめ込み、該参照基準板1を取付部材5内の所定位置に固定するものである。
【0035】
このように、2本のОリング41を中立面42に対し互いに対称の位置に配するようにすることにより、同一規格のОリングを使用することが可能である。
【0036】
<実施例6>
図8は、参照基準板1に巻装されるOリング41を参照基準板1に対し固定する他の実施例方法を示すものである。
【0037】
本実施例方法においては、ガラス、セラミックス、石英等で作製した参照基準板1の略中立面42に一致した外周面位置に、該参照基準板1が自重で脱落することのない保持力を発揮する溝60Aを形成し、その溝60Aに、外周面4を巻装する弾性部材41Bをはめ込み固定するものである。これにより、該参照基準板1は弾性部材41Bを介して取付部材5に確実に支持され、脱落の虞がない。
【0038】
これによって、Oリング41Bと基準板1との取付けを接着剤なしで行うことが可能となる。
【0039】
なお、上述した溝60Aは、ダイヤモンド工具や砥粒を用いた加工で容易に作成が可能である。
【0040】
また溝の形状としてはU字型が望ましいが、参照基準板1の面精度を落とさず損傷しにくい形状であれば特定の形状に限られるものではない。ただし、溝の形状によっては、弾性部材を強固に保持できない場合もあるので、その場合には接着剤32を併用することも可能である。
【0041】
なお、上述した実施例においては、溝60、60Aにはめ込む弾性部材としてОリング41を用いているが、前述した実施例で示すような他の弾性部材を、溝60、60Aの部分に強固に接着巻装する事も可能である。
【0042】
また、本発明方法においては、このような弾性部材を介して参照基準板をその外周面において取付部材に支持せしめる際に、参照基準面の変形がおこらないのであれば、図4に示す如く、外周面の一部において該弾性部材と接触させるようにして支持することも可能である。すなわち、該外周面周囲における上記弾性部材の不存在部分が連続して90゜より大きくならないような状態とすればよいのであり、例えば、弾性部材により4点で支持するようなことも可能である。さらには、例えば、参照基準面と弾性部材の接触面が3ヶ所とされる場合には、各接触部は、互いに等角位置とされ、各々が少なくとも30゜以上の略同一角度範囲に亘ることが必要である。
【0043】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の光波干渉計用基準板の支持方法によれば、参照基準板をその外周面において、弾性部材を介して取付部材に均等に支持せしめるようにしているので、極めて高い計測精度が要求される干渉計による測定においても、測定の比較基準となる参照基準板を干渉計本体に取り付ける際に変形させることがなく、また参照基準板が干渉計本体に支持されたときに光軸に対し回転等の移動を生じることがない。
【0044】
これにより、高精度かつ再現性の良い干渉縞測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例に係る光波干渉計用基準板の支持方法を説明するための概略図
【図2】図1に示す実施例の一部変更例を示す概略図
【図3】図1に示す実施例の一部変更例を示す概略図
【図4】図1に示す実施例とは異なる実施例を示す概略図
【図5】図4の側面図
【図6】図1および図4に示す実施例とは異なる実施例を説明するための図
【図7】図1、図4および図6に示す実施例とは異なる実施例を説明するための図
【図8】図1、図4、図6および図7に示す実施例とは異なる実施例を説明するための図
【図9】本発明方法において用いられる参照基準板の具体例を示す側面図
【図10】従来方法を説明するための参照基準板の概略図
【図11】従来方法を説明するための概略図
【図12】従来方法における参照基準板の変形状態を示す概略図
【図13】他の従来方法を説明するための概略図
【図14】自重たわみのみによる参照基準板の変形状態を示す概略図
【図15】さらに他の従来方法を説明するための概略図
【符号の説明】
1,101 参照基準板
2,102 参照基準面
4,104 外周面
5 取付部材
11,111 鍔
12,112 押さえ環
32,132 接着剤
41 Oリング
41A 断面角型ガスケット
42 中立面
50 発泡スチロール板
60、60A 溝
120 等高線
121 緩衝材
131 小孔
Claims (7)
- 光源からの光束を2分し、一方を被検体に照射し該被検体の位相状態を担持した物体光となし、他方を参照基準板に照射し該参照基準板の位相状態を担持した参照光となし、それら2光波を再合波して両波の位相差に応じた干渉縞を得る光波干渉計において、前記参照基準板の外周側面をもって、該参照基準板を前記干渉計本体に取り付ける取付部材に支持させる光波干渉計用基準板の支持方法であって、
前記参照基準板の外周側面に、連続する不存在部分を90゜以下として、弾性部材を周方向に固定し、
前記弾性部材を前記取付部材に支持することで、前記参照基準板を前記弾性部材を介して前記取付部材に、該取付部材が前記参照基準板の基準面および裏面とは直接接触していない状態で、複数の点、もしくは所定の範囲で均等に支持させることを特徴とする光波干渉計用基準板の支持方法。 - 前記弾性部材が前記参照基準板に当接する位置を前記外周側面において均等とすることを特徴とする請求項1記載の光波干渉計用基準板の支持方法。
- 前記弾性部材がオイルシール部材であることを特徴とする請求項1または2記載の光波干渉計用基準板の支持方法。
- 前記弾性部材を、前記参照基準板の厚み方向の中立面の外周線に一致するように配置することを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか1項記載の光波干渉計用基準板の支持方法。
- 前記弾性部材を、前記参照基準板の厚み方向の中立面の外周線に沿い、かつ該中立面に対して対称に複数本配置することを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか1項記載の光波干渉計用基準板の支持方法。
- 前記弾性部材の巻装位置に一致するように前記参照基準板の外周面に設けられた前記弾性部材巻装用溝に、該弾性部材を係合させることを特徴とする請求項4または5記載の光波干渉計用基準板の支持方法。
- 前記参照基準板の外周側面に巻装されるように配置された前記弾性部材を、前記取付部材の内周面に形成された弾性部材支持用溝に係合させることを特徴とする請求項1から6のうちいずれか1項記載の光波干渉計用基準板の支持方法。
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