JP4109717B2 - 電気活性デバイス - Google Patents
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 21
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 2
- 239000012744 reinforcing agent Substances 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 67
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 10
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 4
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 2
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 2
- 239000012779 reinforcing material Substances 0.000 description 2
- KRQUFUKTQHISJB-YYADALCUSA-N 2-[(E)-N-[2-(4-chlorophenoxy)propoxy]-C-propylcarbonimidoyl]-3-hydroxy-5-(thian-3-yl)cyclohex-2-en-1-one Chemical compound CCC\C(=N/OCC(C)OC1=CC=C(Cl)C=C1)C1=C(O)CC(CC1=O)C1CCCSC1 KRQUFUKTQHISJB-YYADALCUSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
- B32B37/14—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers
- B32B37/144—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers using layers with different mechanical or chemical conditions or properties, e.g. layers with different thermal shrinkage, layers under tension during bonding
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/07—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base
- H10N30/072—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by laminating or bonding of piezoelectric or electrostrictive bodies
- H10N30/073—Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by laminating or bonding of piezoelectric or electrostrictive bodies by fusion of metals or by adhesives
-
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2047—Membrane type
- H10N30/2048—Membrane type having non-planar shape
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Description
発明の分野
本発明は一般的に強誘電デバイスに関し、特に大きな機械的出力変位を供給する強誘電デバイスに関する。
関連技術の説明
先行技術としては、’レインボー’圧電アクチュエータ及びセンサー、通常の圧電アクチュエータ及びセンサー、電磁アクチュエータ等がある。
通常、圧電アクチュエータは限られた機械的変位しか示さず、その出力は、圧電アクチュエータに用いられる物質が有する、低い圧電変位定数によって基本的に限定される。従って、数ミリメーターのオーダーの厚みをもつ通常のデバイスは、マイクロメーターのオーダーの機械的出力運動しか示さない。’レインボー’アクチュエータ、’ムーニーズ’一形態及び二形態圧電アクチュエータ等は、通常のデバイスより大きな機械的出力運動を示す。しかしながら、最も大きい出力運動を示す最も薄いセラミックウエハですら、3−4cmの長さのデバイスに対しz-方向で約1mmの限られた変位しか提供しない。更にまた、1/4mmの厚さのセラミックデバイスは極端にもろいので壊れやすいく、特別な取り扱いを必要とする。’レインボー’アクチュエータを製造する従来法には、ウエハから鉛蒸気を大気中に放出する化学的還元工程が含まれる。
従って、本発明の目的は改良された機械的変位を示す強誘電アクチュエータを提供することである。
本発明の他の目的としては、改良された耐久性を持つ強誘電アクチュエータを提供することである。
本発明のさらに他の目的としては、改良された機械加工性を持つ強誘電アクチュエータを提供することである。
本発明のさらに他の目的としては、従来法よりもっと環境上安全な強誘電アクチュエータを生産する方法を提供することである。
本発明のさらに他の目的としては、単純な方法で前述の目的を達成することである。
本発明のさらに追加の目的や長所は後述の図や明細書から明らかに成るであろう。
発明の要約
本発明によれば、前述及び追加の目的は強誘電性デバイスを製造する方法を提供することによって達成される。最初に、デバイス用の型が選出される。プレストレス層が型の上に置かれ、さらにプレストレス層の上に強誘電層が置かれる。これらの層は組み立てたデバイスを加熱、更に冷却することにより接着される。プレストレス層は粘着性であってもよいし、補強材を含んでいてもよい。強誘電層は圧電物質、圧電歪み物質或いは複合体であってもよい。
強誘電層は、積層体を加熱する前に強誘電層のいずれかの側に電極層を置くことにより供給される表面電極を含む。
図の簡単な説明
図1は、層を接着する前の好ましい実施形態の斜視図。
図2は、層を冷却した後の好ましい実施形態の断面図。
図3は、本発明の別の実施形態の断面図である。
図4は、本発明の別の実施形態の断面図である。
図5は、本発明の製造工程を示す断面図である。
図6は、本発明の別の実施形態を示す斜視図である。
図7は、より大きいウエハを形成するため結合された複数のプレストレスウエハを示す平面図である。
図8は、3つの積み重なったプレストレスウエハを示す側面図である。
好ましい実施形態の詳細な説明
図1に加工前の本発明による圧電性デバイス10を示す。デバイスは圧電層12、プレストレス層14及び二つの電極層18aと18bとから成る。圧電層12は、Aura Ceramics(C3900物質)やMorgan Matroxなどから入手可能な円盤状の圧電物質から形成されている。また、圧電層12は、圧電物質をまず砕き、この粉末を、1994年12月16日にファイルされた特許番号08/359,752の”強く、可溶性の芳香族熱可塑性共重合イミド”に記載されているポリアミドのような粘着剤で圧縮接着して一層に固結し、形成することもできる。圧電物質の粉末を圧縮接着する後者の方法では、接着結合剤の割合が最終圧電層12に対し非常に少なくなるようにし、例えば5重量%になるように注意する。後者の方法では、粉末に砕いた圧電物質を接着するのに必要な接着結合操作を、後述する他の接着操作と同時に実施でき、操作が単純になる点で好ましい。圧電物質のみならず、圧電歪み物質等の他の強誘電物質をこの層に用いることもできる。
プレストレス層14はポリアミドのような機械的に強い接着剤を用いて形成することができる。プレストレス層14を形成するために、熱可塑剤、熱硬化剤及びブレイズ合金等を用いてもよい。さらに多重のプレストレス層14をプレストレスを増加するために用いてもよい。接着剤を湿式でコートするかまたは薄いフィルムを融化し、温度を上昇させて圧電層12の片側の面に接着する。接着温度は、用いる接着剤に依存し、接着剤を硬化させたり、乾燥させたりメルトフローさせる。このようにして形成されたプレストレス層14は、典型的には12ミクロンの厚さであるが、数ミクロンから数mmの範囲の厚さであってもよい。圧電層12とプレストレス層14との接着は粘着剤に依存する高温、例えば200〜350℃で行われる。その結果、合成された二層が室温に冷却した時、二層の熱的圧縮比の差が、図2に示すように所望の機械的プレストレスを与える。必要であれば、接着剤からなるプレストレス層14は、プレストレスを増大させることに加え、さらに機械的強さを増しヒステリシスを減らすため、補強することができる。プレストレス層14をさらに補強するために、薄層の補強材16が、プレストレス層の上に(図3)または中に(図4)融合されたり、接着されたりする。補強材16の例としては,プラスチック、セラミックス、金属及びアルミナシートストックやカーボンファイバーのようなこれらの材料の組み合わせが挙げられるが、これらに限定されるものではない。補強材16の接着は、圧電物質をプレストレス層14に接着するのと同時に行うことができる。
プレストレス層により、型の形というよりもむしろ目的に合わせた形に薄いセラミックウエハを裁断することが可能になり、ハサミやパタンカッターのような切断道具を用いて角を欠いたり壊したりすることがなくなる。この方法により、2次元の平面セラミックの形から3次元物体のパタン構築を可能にする技術が使用できるようになる。さらにこれらの層により、耐環境性が高まり、過酷な条件下での前記のデバイスの使用が可能となる。もし使用する接着層がよい絶縁体であれば、印加電圧による内部放電或いは外部放電の発生は減少する。
本発明による圧電性デバイス10が2個の電極18a及び18bを含むことも好ましい。電極18a及び18bは、金属を圧電層12に真空蒸着することにより容易に形成でき、圧電層12をプレストレス層14に積層する前に圧電層12に積層することができる。また、電極18a,18bにはグラファイトまたは優れた導体であるシルバーエポキシのような金属と接着剤との混合物を用いてもよい。電極18a,18bに金属・接着剤混合物を用いる場合は、導電性の金属・接着剤混合物を圧電層12に塗布し、次にプレストレス14と圧電層12とを接着すると同時に電極を圧電層12に接着することができるという長所をもつ。目的に応じ、多重電極やパターン化電極を用いることもできる。
上記の技術を組み合わせて、圧電性デバイスの製造を単純化してもよい。塗布された粉末状の圧電物質とその接着剤との混合物、圧電層12に対して用いる接着剤、電極18a,18b用の導電性接着剤、プレストレス層14の強化に用いられる接着剤等のような異なる物質からできた別々の層を集合し、さらに続いて、1994年12月16日にファイルされた特許番号08/359,752の”強く、可溶性の芳香族熱可塑性共重合イミド”に記載されている単一高温接着操作によって、圧電性デバイスを完成させることができる。
製造工程において、完成した圧電性デバイス10が圧電物質を望ましく圧縮するようなプレストレス層14を持つかどうかを確かめるべきである。完成した圧電性デバイス10の出力運動と効率とが最大になるように、圧電物質のプレストレス量を製造中調整することができる。各層は湾曲した形の型を用いて形成してもよい。
以下、図5を参照しつつ、プレストレス層を有する圧電性デバイス10の実施例を説明する。目的のプレストレスを得るために、要求される曲率をもつ型20が選択される。アルミフォイルを用いて形成されたプレストレス補強層16を型20の表面の上に置く。次に、前記粉砕された圧電物質の粘着剤として用いられるポリイミドから形成される接着剤プレストレス層14を補強層16の上に置く。銀で形成される電極層18bを圧電ウエハ12の下側表面に真空蒸着する(このステップは、もしあらかじめ電極が付いた圧電ウエハを使用する場合は不要である)。圧電ウエハ12を接着剤プレストレス層14の上に置く。最後に、必要なら、銀で出来た電極層18aを圧電ウエハ12の上側表面に真空蒸着する。Kapton@(Dupon)のような高温材のシート22により積み重ねた層を覆い、耐高温テープ24を用いて密封し真空バッグをつくる。積層体をオーブンの中に入れ、Kapton@バッグ22の中の空気を真空ポート26を通して排気する。オーブンを300℃に加熱し、接着剤を融化して積層体を接着結合する。冷却の際、積層体にはさらにプレストレスがかかる。出来上がった圧電性デバイスから真空バッグ22と型20とをはずす。
通常、圧電ウエハは入手段階で極性化されているが、プレストレス工程の熱処理に続いて再び極性化する必要がある。極性化は、高温下、双極配向を誘導するDC電圧を用いて行われる。極性化後、圧電ウエハは誘導した配向を維持するために電界の存在下で室温に冷却される。極性化に用いられるDC電界の強さは、与えられた極性化温度で、物体に絶縁破壊を起こさずに最適な極性化を与えるように選択される。
圧電層の厚み及び/または数や、プレストレス層の層の数及び/または厚み、プレストレス層を形成する組成物、圧電層を形成する組成物、型表面の曲率と型などを変えることにより、偏向、運動、力と出力電圧、電流または周波数変換等を引き起こす入力電圧の量と型は変わる。例えば、型の曲率を変えることにより、完成された圧電性デバイスに与えられるプレストレスは異なってくる。プレストレス層の厚さや数、使用する組成物を変えることにより、出力運動及び機械的力を変えることもできる。製造工程中、圧電層とプレストレス層は相対的に動いて、冷却の際プレストレスが追加されるとともに接着する。本発明の圧電性デバイスの製造方法により製作した圧電性デバイスでは他の方法によるものに比べて出力運動が本質的に増加する。
加熱サイクルにおいて円柱状の型表面上で各層を曲げることにより単一方向のプレストレスが生じ、この単一方向のプレストレスにより円柱状に曲げようとする力が強められる。冷却の際、プレストレス層14は、圧電層12の下部にあるので、よりきつい曲率半径を持ち、一方向により大きなプレストレスが与えられて曲げようとする力を形成する。この円筒状に曲げようとする力は、図6に例示するような円形以外の形である。
各々がポリゴン形状を有する複数の圧電性デバイス28を、図7に示すように適当に端部を結合することにより集合し、大きい面積を持つモザイク状のものを作ることができる。圧電性デバイスの端部を接着する有用な方法として、モザイク全体を覆う単一の補強層の使用が挙げられる。
単一の圧電性デバイス10によって得られるよりももっと大きな機械的出力が要求される場合には、2個以上の圧電性デバイス10を、スプーンを積み重ねたようなドーム状に結合したタンデム配列で使用することができる。図8には、3個の圧電性デバイスを積み重ねた例が示される。操作中個々の圧電性デバイスがスムーズに曲げられるように、ひとつの層を他の層に対し相対的に移動可能にする、例えばシリコンゴムのようなエラストマーからなるコンプライアンス層30を設け、圧電性デバイスをお互いに結合することができる。この様に圧電性デバイスが積層されても個々の圧電性デバイス10はお互いに電気的に隔離したままである。即ち1以上の圧電性デバイス10が運動フィードバックセンサーとして機能することが出来る。
1994年12月16日にファイルされた特許番号08/359,752の”強く、可溶性の芳香族熱可塑性共重合イミド”に記載されているマトリックス組成物成形加工法により製作する場合は、低周波数アクチュエータ(ノイズ消去装置または拡声器)に用いられる大きい柔軟性のあるシートを製造してもよい。この方法は、結合プロセスや連続回転プロセスにより用いられる大きく平らな型を用いることにより実施される。鋳造されたパーツを加圧しながら、結合接着剤を軟化及び/または硬化するために加熱することにより相互に接着する事ができる。
本発明の圧電性デバイスの製造方法により製造した圧電性デバイスは、ポンプ、バルブ、ブレーキ、モーター、センサー、アクチュエータ、光学、音響変換器、活動構造物等に用いることができる。
Claims (8)
- 凸状の表面を有するプレストレス層と凹状の表面を有する圧電層とを有する複数の圧電素子と、
前記圧電素子間に形成される弾性かつ絶縁性を有するコンプライアンス層とを含み、
前記プレストレス層が伸張状態にあり前記圧電層が圧縮状態になるように、前記プレストレス層の凸状の表面が前記圧電層の凹状の表面に接着されている、
電気活性デバイス。 - 前記プレストレス層が補強剤を含む、請求項1に記載の電気活性デバイス。
- 前記圧電層が表面電極を含む、請求項1に記載の電気活性デバイス。
- 前記プレストレス層と前記圧電層との間にさらに電極層を有し、かつ前記圧電層の上に前記電極層が載置されている、請求項1に記載の電気活性デバイス。
- 前記プレストレス層が接着剤である、請求項1に記載の電気活性デバイス。
- 前記圧電層が強誘電物質である、請求項1に記載の電気活性デバイス。
- 前記圧電層が圧電歪み物質である、請求項1に記載の電気活性デバイス。
- 前記接着剤がポリイミドである、請求項5に記載の電気活性デバイス。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/416,598 | 1995-04-04 | ||
US08/416,598 US5632841A (en) | 1995-04-04 | 1995-04-04 | Thin layer composite unimorph ferroelectric driver and sensor |
PCT/US1996/004725 WO1996031333A1 (en) | 1995-04-04 | 1996-04-04 | Method for making a thin layer composite unimorph ferroelectric driver and sensor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11503272A JPH11503272A (ja) | 1999-03-23 |
JP4109717B2 true JP4109717B2 (ja) | 2008-07-02 |
Family
ID=23650582
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP53051596A Expired - Fee Related JP4109717B2 (ja) | 1995-04-04 | 1996-04-04 | 電気活性デバイス |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5632841A (ja) |
EP (2) | EP1324402B1 (ja) |
JP (1) | JP4109717B2 (ja) |
AU (1) | AU5386596A (ja) |
CA (1) | CA2217472C (ja) |
DE (2) | DE69629283T2 (ja) |
WO (1) | WO1996031333A1 (ja) |
Families Citing this family (161)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 1995-04-04 US US08/416,598 patent/US5632841A/en not_active Expired - Lifetime
-
1996
- 1996-04-04 JP JP53051596A patent/JP4109717B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1996-04-04 WO PCT/US1996/004725 patent/WO1996031333A1/en active IP Right Grant
- 1996-04-04 CA CA002217472A patent/CA2217472C/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-04-04 DE DE69629283T patent/DE69629283T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-04-04 EP EP03001185A patent/EP1324402B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-04-04 EP EP96910760A patent/EP0819048B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-04-04 AU AU53865/96A patent/AU5386596A/en not_active Abandoned
- 1996-04-04 DE DE69637114T patent/DE69637114T2/de not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-01-24 US US08/797,553 patent/US6734603B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69629283D1 (de) | 2003-09-04 |
EP1324402A2 (en) | 2003-07-02 |
JPH11503272A (ja) | 1999-03-23 |
AU5386596A (en) | 1996-10-23 |
EP1324402B1 (en) | 2007-05-30 |
EP0819048A4 (en) | 1999-09-01 |
EP0819048A1 (en) | 1998-01-21 |
US5632841A (en) | 1997-05-27 |
DE69637114T2 (de) | 2008-01-24 |
DE69637114D1 (de) | 2007-07-12 |
DE69629283T2 (de) | 2004-05-27 |
CA2217472C (en) | 2006-01-10 |
US6734603B2 (en) | 2004-05-11 |
WO1996031333A1 (en) | 1996-10-10 |
US20010043027A1 (en) | 2001-11-22 |
EP0819048B1 (en) | 2003-07-30 |
EP1324402A3 (en) | 2005-11-09 |
CA2217472A1 (en) | 1996-10-10 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110411 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |