JP4108338B2 - 液晶表示装置用アレー基板とその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶表示装置用アレー基板に係り特に、画素電極とデータ配線を透明導電性金属で形成する場合、別途のマスク工程を追加しないで前記データ配線の全面に低抵抗金属をめっきして低抵抗データ配線を形成する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、液晶表示装置の駆動原理は、液晶の光学的異方性と分極特性を利用する。前記液晶は構造が細くて長いために分子の配列に方向性を有しており、人為的に液晶に電界を印加して分子配列の方向を制御できる。したがって、前記液晶の分子配列方向を任意に調節すれば、液晶の分子配列が変わるようになって、液晶の光学的異方性によって光が屈折する特性で画像情報を表現できる。
【0003】
現在には前述したことがある薄膜トランジスタと前記薄膜トランジスタに連結された画素電極が行列方式で配列された能動行列液晶表示装置(Active Matrix LCD:AM−LCD)が解像度及び動映像具現能力が優秀で最も注目されている。一般に液晶表示装置を構成する基本的な部品である液晶パネルの構造を説明すると次のようである。
【0004】
図1は、一般的な液晶表示装置を概略的に図示した図面である。
図示したように、一般的な液晶表示装置は、ブラックマトリックス6とサブカラーフィルタ(赤、緑、青)を含んだカラーフィルタ8とカラーフィルタの下に透明な共通電極18が形成された上部基板5と、画素領域Pと画素領域上に形成された画素電極17とスイッチング素子Tを含んだアレー配線が形成された下部基板22とで構成され、前記上部基板5と下部基板22間には液晶14が充填されている。
【0005】
前記下部基板22は、アレー基板とも言い、スイッチング素子である薄膜トランジスタTがマトリックス状(matrix type)に位置して、このような多数の薄膜トランジスタを交差して経由するゲート配線25とデータ配線27が形成される。前記画素領域Pは前記ゲート配線25とデータ配線27が交差して定義される領域である。前記画素領域P上に形成される画素電極17はインジウム−スズ−オキサイド(indium−tin−oxide:ITO)のように光の透過率が比較的優れた透明導電性金属を用いる。
【0006】
前述したように構成される液晶表示装置は、前記画素電極17上に位置した液晶層14が前記薄膜トランジスタTから印加された信号により配向されて、前記液晶層の配向程度によって前記液晶層14を透過する光の量を調節する方式で画像を表現できる。
【0007】
前述したような液晶表示装置は、工程単純化を指向すると同時に、漸次大面積に製作される趨勢にあり、これによる信号配線の低抵抗特性が要求されている。また、工程単純化のために画素電極はもちろん、データ配線とソース電極及びドレーン電極を前記透明導電性金属を用いて製作している。
【0008】
以下、図2は従来のアレー基板の一部画素を図示した平面図である。
図示したように、アレー基板22は、多数の画素Pで構成され、各画素Pはスイッチング素子である薄膜トランジスタ(thin film transistor)Tと画素電極(pixel electrode)17で構成される。
【0009】
前記薄膜トランジスタTは、ゲート電極32とソース電極33及びドレーン電極35とアクティブ層(active layer)34で構成されて、前記ソース電極33はデータ配線27と連結してゲート配線25上に突出され、前記ゲート電極32は前記データ配線27と交差して画素領域Pを定義するゲート配線25上に形成される。また、前記ドレーン電極35は画素領域P上に構成された画素電極17と延長形成される構造であり、前記二電極は透明導電性金属で形成する。データ配線27とこれと連結されたソース電極33も透明導電性金属で形成する。
【0010】
しかし、前記透明導電性金属は、他の導電性金属に比べて抵抗が高いために、透明電極のみでデータ配線を形成するならば、データ配線に流れる信号の遅延が発生して画像表示装置としての信頼性が落ちる。
【0011】
したがって、前記データ配線27の抵抗を低めるために別途の低抵抗金属28をデータ配線27上部の微少領域にめっきした。
【0012】
以下、図3Aないし図3Fを参照して従来の液晶表示装置用アレー基板の製造方法とパターン形成された断面構造を説明する。
【0013】
図3Aないし図3Fは、図2のIII−IIIを切断して工程順序によって図示した工程断面図である。
【0014】
図3Aに図示したように、基板22に第1導電性金属を蒸着してパターンして、ゲート配線(図2の25)とゲート電極32を形成する。
【0015】
次に、前記ゲート電極32などが形成された基板22上にゲート絶縁膜41と非晶質シリコン(a−Si:H)層45aと不純物が含まれた非晶質シリコン(n+a−Si:H)層47aを積層する。
【0016】
図3Bに図示したように、前記非晶質シリコン層45aと不純物非晶質シリコン層47aを同時にパターンして、アイランド状に積層されたアクティブ層45bとオーミックコンタクト層47bを形成する。
【0017】
他の方法として、前記ゲート配線(図2の125)をマスクとして非晶質シリコン層を背面露光して、前記アクティブ層45bとオーミックコンタクト層47bを前記ゲート配線の上部にのみ形成されるようにすることができる。
【0018】
図3Cは、データ配線と、ソース電極及びドレーン電極、前記ドレーン電極から延びた画素電極を形成するためのマスク工程を示す。
【0019】
前記データ配線とソース及びドレーン電極を形成する物質で透明導電性金属を基板22の全面に蒸着して透明導電性膜50を形成した後、連続してフォトレジスト52を塗布する。
【0020】
次に、前記フォトレジスト52が塗布された基板22にマスク54を整列(alignment)して露光した後現像すると、図3Dに図示したように、データ配線領域Aとソース領域B及びドレーン領域Cと、前記ドレーン領域Cから延びる画素領域Dを除外した残り部分の透明金属膜17が露出される。
【0021】
この時、前記データ配線領域Aと前記ソース及びドレーン領域B、Cと画素領域Dの上部に残された残留フォトレジスト52aの周辺部位の厚さは前記各構成要素の真ん中部分の厚さより厚さが低い。
【0022】
したがって、図3Eに図示したように、乾式エッチングを過度に行うようになれば、前記残留フォトレジスト52a間に露出された透明金属膜50がすべて除去されると同時に前記各構成要素の周辺部Kの透明金属膜が所定面積露出される。
【0023】
このような構造で、図3Fに図示したように、銅(Cu)とアルミニウム(Al)を含む低抵抗導電性金属グループ中一つを選択して、前記露出された透明電極上部Kに低抵抗金属をめっきする。
【0024】
次に、残留フォトレジストをすべて除去すると、低抵抗金属膜28が形成されたデータ配線27と、前記データ配線27から延びたソース電極33及びこれと所定間隔離隔されたドレーン電極35と、前記ドレーン電極35から延長形成された画素電極17が形成される。
このような方法で従来の液晶表示装置用アレー基板を製作することができる。
【0025】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、前述したようなデータ配線は、前記導電性金属の面積があまりに小さくて低抵抗配線としての機能を遂行することに難しさがある。
したがって、このような問題を解決するための本発明は、工程をこれ以上追加しなくても前記データ配線上部に前記低抵抗金属領域をさらに確保することができる方法を提案して、信号遅延による画質低下現像が発生しない大面積アレー基板を製作することにその目的がある。
【0026】
【課題を解決するための手段】
前述したような目的を達成するための参考発明による液晶表示装置用アレー基板は基板と;前記基板上に一方向に構成された多数のゲート配線と;前記ゲート配線と垂直に交差して画素領域を定義して、透明導電性金属層上部に低抵抗金属がめっきされた形態で構成されたデータ配線と;前記ゲート配線と画素領域の交差地点に位置して、ゲート電極とソース電極及びドレーン電極とアクティブ層を含む薄膜トランジスタと;前記ドレーン電極と一体化して前記画素領域に位置して、前記データ配線と同一な透明導電性金属で形成される画素電極を含む。
【0027】
前記データ配線とドレーン電極と画素電極を形成する透明電極は、インジウム−スズ−オキサイド(ITO)とインジウム−酸化亜鉛(IZO)、ジンクオキサイド(ZnOx)、スズオキサイド(SnOx)、インジウムオキサイド(InOX)で構成する。
【0028】
前記低抵抗金属は、銅(Cu)とアルミニウム(Al)、銀(Ag)、銅(Cu)を含む低抵抗金属グループ中選択された一つである。
【0029】
低抵抗金属膜を前記データ配線の全面に形成する。
前記ソース電極は、前記データ配線と同一な構成、すなわち透明導電性金属層と低抵抗金属膜で形成される。
【0030】
前記一体化して形成されたドレーン電極と画素電極周りの微少領域に低抵抗金属膜が形成される。
【0031】
本発明の特徴による液晶表示装置用アレー基板の製造方法は、基板を準備する段階と;前記基板上にゲート配線とゲート電極を形成する段階と;前記ゲート配線が形成された基板の全面に絶縁物質を形成してゲート絶縁膜を形成する段階と;前記ゲート絶縁膜上にアクティブ層とオーミックコンタクト層を形成する段階と;前記アクティブ層とオーミックコンタクト層が形成された基板の全面に透明導電性膜を形成する段階と;前記透明導電性物質が形成された基板の全面にフォトレジストを塗布して感光層を形成する段階と;前記感光層が形成された基板の上部に、データ配線が形成される領域に対応する位置の多数のスリットを含み、かつ、ドレーン電極と画素電極が形成される領域に対応する位置の遮断領域を含むマスクを利用して感光層をパターン形成する段階と;エッチング方法を利用して、露出された透明導電性膜をパターン形成するとともに、前記データ配線とソース電極上部に形成された第1感光層を除去し、かつ、前記ドレーン電極と画素電極上部に形成された第2感光層の周辺部の微少領域を除去することによって、前記透明導電性物質でデータ配線と画素電極とソース及びドレーン電極を形成する段階と;前記露出されたデータ配線の上部に低抵抗金属物質をめっきして低抵抗金属膜を形成する段階を含む。
【0032】
【発明の実施の形態】
以下、添付した図面を参照しながら本発明の望ましい実施例を説明する。
−−実施例−−
前述したように、マスクにスリットを構成して、これによる光の回折露光を利用してデータ配線を形成する方法を以下実施例を通して詳細に説明する。
【0033】
図4は、本発明による液晶表示装置用アレー基板の一部画素を図示した平面図である。
【0034】
図示したように、本発明による液晶表示装置用アレー基板111は、ゲート配線125とデータ配線127が交差して配線され、前記二配線の交差地点にゲート電極132とソース電極133及びドレーン電極135で構成される薄膜トランジスタTが位置する。
【0035】
前記データ配線127とゲート配線125が交差して画素領域Pを定義し、前記画素領域Pの上部には画素電極117が位置する。
【0036】
この時、前記ドレーン電極135と画素電極117は、透明導電性金属で構成し、前記データ配線127とこれに延びた画素電極117の全面には低抵抗金属膜128が形成された構造である。
【0037】
図示したように、前記データ配線127の全面に低抵抗金属を形成するためには以下、図5に図示したようなマスクが必要である。
【0038】
図5は、本発明によるデータ配線と画素電極をパターンするために用いられるマスクの概略的な図面である。
【0039】
図示したように、データ配線と画素電極を同時にパターンするためのマスク154は前記データ配線(図4の127)に対応する位置には多数のスリット156を構成することを特徴とする。
【0040】
この時、光が透過される領域は、スリットがあるA領域と画素電極部分を除外したB領域である。
【0041】
前記スリット156は、通過した光を回折するようにして、光の量を減らす役割をする。
【0042】
したがって、前記データ配線上部に塗布されたフォトレジストは表面から一部のみ露光される結果を有する。
【0043】
このようにすると、乾式エッチング中フォトレジスト間に露出された透明導電性金属がすべて除去される間前記データ配線(図4の127)上部の残留フォトレジストが除去される結果を得ることができる。
【0044】
以下、図6Aないし図6Fを参照して本発明によるアレー基板製作工程を説明する。
【0045】
図6Aないし図6Fは、図4のVI−VIを沿って切断して工程順序によって図示した工程断面図である。
【0046】
まず、図6Aに図示したように、透明な基板111上に第1導電性金属を蒸着してパターンして、ゲート配線(図4の125)とゲート電極132を形成する。
【0047】
前記第1導電性金属は、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、タングステン(W)、クロム(Cr)、モリブデン(Mo)を含む導電性金属グループ中一つである。
【0048】
前記ゲート電極132などが形成された基板111上にゲート絶縁膜141と非晶質シリコン(a−Si:H)層145aと不純物が含まれた非晶質シリコン(n+a−Si:H)層147aを積層する。
【0049】
図6Bに図示したように、前記非晶質シリコン層と不純物非晶質シリコン層を同時にパターンして、アイランド状に積層されたアクティブ層145bとオーミックコンタクト層147bを形成する。
【0050】
図6Cは、データ配線と、ソース電極及びドレーン電極と画素電極を形成する工程である。
【0051】
図示したように、前記オーミックコンタクト層147bが形成された基板111の全面にインジウム−スズ−オキサイド(ITO)とインジウム−酸化亜鉛(IZO)とジンクオキサイド(ZnOx)、スズオキサイド(SnOx)、インジウムオキサイド(InOX)で構成された透明導電性金属グループ中選択された一つを蒸着して、透明導電性金属膜150を形成する。連続して、前記透明導電性金属膜150の全面にフォトレジストを塗布して感光層152を形成する。
【0052】
次に、データ配線(図4の127)が形成される領域に対応する位置に多数のスリット156が構成されたマスク154を整列して露光工程を実施した後現像する。
【0053】
このようにすると、図6Dに図示したように、前記データ配線領域Eとソース領域F及びドレーン領域Gと、前記ドレーン領域Gから延びる画素領域Hを除外した残り部分の透明金属膜150が露出される。
【0054】
この時、前記データ配線領域Eの上部に残留する第1残留フォトレジスト152aは、回折露光により一部が露光された後除去された状態であるので、前記ドレーン領域G及び画素領域H上に残された第2残留フォトレジストより薄く構成される。
【0055】
このように構成された基板を乾式エッチングすると、図6Eに図示したように、エッチング比により、露出された透明導電性金属膜(図6Dの150)がすべて除去される間、前記データ配線領域E及びソース領域Fの上部の第1残留フォトレジスト(図6Dの153a)が除去されて、同時に前記ドレーン領域G及び画素領域Hの周辺Kが露出される。
【0056】
次に、図6Fに図示したように、前記透明金属層のパターン工程が終われば連続して、アルミニウム(Al)と銅(Cu)、金(Au)、銀(Ag)を含む低抵抗金属グループ中選択された一つで露出された透明金属層上部にめっきして、低抵抗金属膜128を形成する。以後、第2残留フォトレジスト(図6Eの153b)を完全に除去すると、結果的に前記データ配線127の全面に低抵抗導電性金属膜128が形成された結果を得ることができる。
【0057】
前記低抵抗金属膜の形成方法が多様になされることができ、例えば電解質溶液を用いた電気めっきを利用して前記透明電極上部にのみ前記金属が形成されるようにする方法を用いることができる。
【0058】
したがって、前述した図6Cないし図6Fの工程を経て、低抵抗金属膜が全面に形成されたデータ配線127と前記データ配線127の一部であるソース電極133と、これとは所定間隔離隔されて前記画素電極117から延長形成されたドレーン電極135を形成することができる。前記ドレーン電極135と画素電極117は全面でない周辺部Kに前記低抵抗金属膜128がめっきされた形態である。
【0059】
前述したような工程で本発明による液晶表示装置用アレー基板を製作することができる。
【0060】
【発明の効果】
したがって、本発明によるアレー基板製作方法は下のような効果がある。第一、データ配線と画素電極を同時に形成するために工程を単純化できる。
第二、低抵抗のデータ配線を形成することができるために、高解像度を有する大面積アレー基板に適用が可能な効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】一般的な液晶表示装置を図示した図面である。
【図2】従来の液晶表示装置用アレー基板の一部を概略的に図示した平面図である。
【図3A】図2のIII−IIIを切断して工程順序によって図示した工程断面図である。
【図3B】図2のIII−IIIを切断して工程順序によって図示した工程断面図である。
【図3C】図2のIII−IIIを切断して工程順序によって図示した工程断面図である。
【図3D】図2のIII−IIIを切断して工程順序によって図示した工程断面図、
【図3E】図2のIII−IIIを切断して工程順序によって図示した工程断面図である。
【図3F】図2のIII−IIIを切断して工程順序によって図示した工程断面図である。
【図4】本発明による液晶表示装置用アレー基板の一部を概略的に図示した平面図である。
【図5】本発明によるマスクを概略的に図示した平面図である。
【図6A】図4のVI−VIを切断して工程順序によって図示した工程断面図である。
【図6B】図4のVI−VIを切断して工程順序によって図示した工程断面図である。
【図6C】図4のVI−VIを切断して工程順序によって図示した工程断面図である。
【図6D】図4のVI−VIを切断して工程順序によって図示した工程断面図である。
【図6E】図4のVI−VIを切断して工程順序によって図示した工程断面図である。
【図6F】図4のVI−VIを切断して工程順序によって図示した工程断面図である。
【符号の説明】
111:基板
117a:画素電極
125:ゲート配線
127:データ配線
128:低抵抗金属膜
132:ゲート電極
133:ソース電極
135:ドレーン電極
Claims (12)
- 基板を準備する段階と;
前記基板上にゲート配線とゲート電極を形成する段階と;
前記ゲート配線が形成された基板の全面に絶縁物質を形成してゲート絶縁膜を形成する段階と;
前記ゲート絶縁膜上にアクティブ層とオーミックコンタクト層を形成する段階と;
前記アクティブ層とオーミックコンタクト層が形成された基板の全面に透明導電性膜を形成する段階と;
前記透明導電性物質が形成された基板の全面にフォトレジストを塗布して感光層を形成する段階と;
前記感光層が形成された基板の上部に、データ配線が形成される領域に対応する位置の多数のスリットを含み、かつ、ドレーン電極と画素電極が形成される領域に対応する位置の遮断領域を含むマスクを利用して感光層をパターン形成する段階と;
エッチング方法を利用して、露出された透明導電性膜をパターン形成するとともに、前記データ配線とソース電極上部に形成された第1感光層を除去し、かつ、前記ドレーン電極と画素電極上部に形成された第2感光層の周辺部の微少領域を除去することによって、前記透明導電性物質でデータ配線と画素電極とソース及びドレーン電極を形成する段階と;
前記露出されたデータ配線の上部に低抵抗金属物質をめっきして低抵抗金属膜を形成する段階を含むことを特徴とする液晶表示装置用アレー基板製造方法。 - 前記ゲート配線とゲート電極は、前記基板上に、金属層を蒸着しパターニングして形成することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置用アレー基板製造方法。
- 前記アクティブ層とオーミックコンタクト層を形成する段階は、前記ゲート絶縁膜上に非晶質シリコンと不純物非晶質シリコンを蒸着してパターニングする段階を含むことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置用アレー基板製造方法。
- 前記感光層パターンを形成する段階は、前記感光層パターンの上部に前記感光層パターンのデータ配線とソース電極が形成される領域に対応する多数のスリットと前記感光層パターンのドレーン電極と画素電極が形成される領域に対応する遮断領域を含むマスクを配置する段階と、前記マスクを通じて前記感光層パターンを露光する段階と、前記露光された感光層パターンを現像する段階とを含むことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置用アレー基板製造方法。
- 前記データ配線と画素電極とソース及びドレーン電極を形成する段階は、ドライエッチング方法を利用して前記透明導電性膜をパターニングする段階を含むことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置用アレー基板製造方法。
- 前記ソース電極の上部に低抵抗金属膜を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置用アレー基板製造方法。
- 前記ドレーン電極と画素電極周辺部の微少領域に低抵抗金属膜を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置用アレー基板製造方法。
- 前記低抵抗金属膜を形成する段階は、めっき方法を利用することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置用アレー基板製造方法。
- 前記ソース電極は、データ配線から延ばして形成されたことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置用アレー基板製造方法。
- 前記ドレーン電極は、画素電極から延ばして形成されたことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置用アレー基板製造方法。
- 前記透明導電性膜は、インジウム−スズ−オキサイド(ITO)とインジウム−酸化亜鉛(IZO)、ジンクオキサイド(ZnOx)、スズオキサイド(SnOx)、インジウムオキサイド(InOX)で構成された透明導電性金属グループ中選択された一つであることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置用アレー基板製造方法。
- 前記データ配線上の全面に形成された低抵抗金属膜は銅とアルミニウム、金、銀で構成された低抵抗金属グループ中選択された一つであることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置用アレー基板製造方法。
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US5894136A (en) * | 1996-01-15 | 1999-04-13 | Lg Electronics Inc. | Liquid crystal display having a bottom gate TFT switch having a wider active semiconductor layer than a conductive layer on same |
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KR100595416B1 (ko) * | 1998-09-11 | 2006-09-18 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 회절노광을 이용한 액정 표시 장치 제조 방법 |
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