JP4090449B2 - リソグラフィック投影装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
放射線の投影ビームを提供するための照明システムと、
断面にパターンを有する投影ビームを与える役割を果たすパターニング手段を支持するための支持構造体と、
基板を保持するための基板テーブルと、
パターン・ビームを基板のターゲット部分に投影するための投影システムとを備えたリソグラフィック投影装置であって、
強度分布を定める前記手段が、軸線上の実質的に直線の強度分布を投影ビームに与えること、および
投影ビームに直線偏光を与える偏光手段によって特徴付けられるリソグラフィック投影装置が提供される。
放射線の投影ビームを提供するための照明システムと、
断面にパターンを有する投影ビームを与える役割を果たすパターニング手段を支持するための支持構造体と、
基板を保持するための基板テーブルと、
パターン・ビームを基板のターゲット部分に投影するための投影システムとを備えたリソグラフィック投影装置であって、
強度分布を定める前記手段が、2つの直交軸の交差点において対称でない強度分布を与えること、および
投影ビームに直線偏光を与える偏光手段によって特徴付けられるリソグラフィック投影装置を提供する。
基板を提供するステップと、
照明システムを使用して放射線の投影ビームを提供するステップと、
パターニング手段を使用して、断面にパターンを有する投影ビームを与えるステップと、
放射線のパターン・ビームを基板のターゲット部分に投影するステップとを含むデバイス製造方法であって、
前記所望の強度分布が、投影ビーム上の軸線上直線強度分布を含むこと、および
前記投影ビームを直線偏光するステップによって特徴付けられデバイス製造方法が提供される。
放射線(例えば紫外線または極端紫外線)の投影ビームPBを提供するための照明システム(照明器)ILと、
パターニング手段(例えばマスク)MAを支持する第1の支持構造体(例えばマスク・テーブル)MTであって、パターニング手段をアイテムPLに対して正確に位置決めする第1の位置決め手段PMに接続される第1の支持構造体MTと、
基板(例えばレジスト塗布ウェハ)Wを保持する基板テーブル(例えばウェハ・テーブル)WTであって、基板をアイテムPLに対して正確に位置決めする第2の位置決め手段PWに接続される基板テーブルWTと、
パターニング手段MAによって投影ビームPBに与えられたパターンを基板Wの(例えば1つまたは複数のダイを含む)ターゲット部分C上に撮像するための投影システム(例えば屈折投影レンズ)PLとを有している。
(1)ステップ・モードでは、マスク・テーブルMTおよび基板テーブルWTを基本的に静的状態に保ちながら、投影ビームに与えられたパターン全体を一度に(すなわち単一の静的暴露で)ターゲット部分Cに投影する。次いで異なるターゲット部分Cを露光できるように、基板テーブルWTをXおよび/またはY方向に移動させる。ステップ・モードでは、露光領域の最大サイズが、単一の静的暴露で撮像されるターゲット部分Cのサイズを制限する。
(2)走査モード(スキャン・モード)では、マスク・テーブルMTおよび基板テーブルWTを同時に走査しながら、投影ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する(すなわち単一の動的暴露)。マスク・テーブルMTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPLの倍率特性(縮小特性)および画像反転特性によって決定される。走査モードでは、露光領域の最大サイズが単一の動的暴露におけるターゲット部分の(非走査方向の)幅を制限し、一方、走査運動の長さが、ターゲット部分の(走査方向の)高さを決定する。
(3)他のモードでは、マスク・テーブルMTを基本的に静的状態に保って、プログラム可能パターニング手段を保持し、基板テーブルWTを移動または走査しながら、投影ビームに与えられたパターンをターゲット部分Cに投影する。このモードでは一般にパルス化放射線源が採用され、基板テーブルWTのそれぞれの移動後、または走査時における連続的な放射線パルスの間に、プログラム可能パターニング手段が更新される。この動作モードは、上述したタイプのプログラム可能ミラー・アレイの如きプログラム可能パターニング手段を利用するマスクレス・リソグラフィに容易に応用できる。
0.404*R=B/4 (1)
上式において、Rはσの単位で表される円形単極の半径で、Bは、やはりσの単位の棒幅である。
a:円形単極、σ=0.10
b:棒、B=0.20、H=0.80
c:棒、B=0.20、H=0.40
d:円形単極、σ=0.15
e:棒、B=0.24、H=1.0
f:棒、B=0.16、H=1.0
第2の実施例は、図7に示されるように、十字形軸線上単極照明モードを用いる以外は第1の実施例と同じである。十字形照明モードは、面積が同じ円形単極より平均σ値が小さく、あるいは逆に、所定の平均σに対する面積が大きい。十字形は、焦点深度も比較的良好で、円形単極で起こりうるような致命的な焦点ずれエラーを防ぐ。また、十字形は、2つの直交方向に配列されたゲートを含むパターンに適用可能である。十字架の各アームにおける放射線は、十字形における矢印で示されるように、アームの細長い方向に平行に偏光されるのが好ましい。
第3の実施例は、図8に示されるように、菱形の軸線上単極照明モードを用いることを除いては第1の実施例と同じである。直径Dの菱形は、より大きい面積を有するが、平均σはL=Dの十字形と同じである。したがって、菱形は効率性がより高く、暴露速度を高め(すなわち、スループットを高め)、局所的なレンズ加熱を小さくする。
第4の実施例は、図9に示されるように、軸線外矩形強度分布を用いることを除いては第1の実施例と同じである。
第5の実施例は、図10に示されるように、2極照明モードを用いることを除いては第4の実施例と同じである。この「二重棒」モードは、一方向に配列したフィーチャを有するパターンに対して適用可能である。
上述したように、平均σ値が等しく、平均σが、フィーチャ方向に垂直な方向に沿う強度の第1のモーメントとして定められる場合には、2つの照明モードを撮像目的に対して同等と見なすことができる。平均σを、中央σまたはσCと呼ぶこともできる。したがって、半径σの所定の円形単極に等しい他の照明モードの寸法を数学的に導くことが可能である。これにより、以下の結果が得られる。
第6の実施例は、図11に示されるように、四極照明モードを用いることを除いては第1の実施例と同じである。所定の全面積に対して、この照明モードは、優れた焦点深度を提供できるが、従来の円形単極より露光寛容度が劣る。
上記実施例のいずれにおいても、照明システムは、上述したように、パターニング手段における放射線の強度分布を均一にするための棒状反射インテグレータを含むことができる。照明システムは、あらかじめ選定された円形または矩形の単極角度強度分布をインテグレータの上流に生成するように構成された回折光学素子(「DOE」)をさらに含むことができる。第4、第5および第6の実施例のいずれにおいても、前記回折光学素子を照明システムの光軸に平行な軸のまわりを回転させることによって、実質的に棒状の極の長さを便宜的に調整することができる。回折光学素子によって生成される角度強度分布は、照明システムの瞳面における対応する空間強度分布に変換される。棒状インテグレータでの反射により、後者の強度分布は、前記矩形断面の側面に関して対称的になる。その後、これらの側面は、x、y軸の直交系のxおよびy方向を定めるものと想定される。
IF 位置センサ
M1 マスクアライメントマーク
M2 マスクアライメントマーク
MA パターニング手段
MT 第1の支持構造体
SO 放射線源
P1 基板アライメントマーク
P2 基板アライメントマーク
PB 投影ビーム
PM 第1の位置決め手段
PW 第2の位置決め手段
W 基板
WT 基板テーブル
121 極
122 極
Claims (20)
- 放射線の投影ビームを提供するための照明システムと、
前記照明システムの瞳面における前記投影ビームの強度分布を調整する調整手段と、
投影ビームの断面にパターンを与えるように機能するパターニング手段を支持するための支持構造体と、
基板を保持するための基板テーブルと、
パターンが付与された投影ビームを前記基板のターゲット部分に投影するための投影システムと
を有するリソグラフィック投影装置において、
前記調整手段は、前記強度分布の輝領域を直線で囲まれた領域に区画し、該領域の寸法は、該領域の平均σ値が所定の円形単極の平均σ値と同じになるように、該円形対極の半径に基づいて算出されており、
リソグラフィック投影装置が、前記投影ビームに直線偏光を与えるための偏光手段を有していることを特徴とするリソグラフィック投影装置。 - 前記強度分布は、アスペクト比が1に等しくない矩形で、該矩形の長辺は、リソグラフィック装置のX軸またはY軸に平行である請求項1に記載のリソグラフィック装置。
- 前記直線偏光は、前記矩形の長辺に実質的に平行である請求項2に記載のリソグラフィック装置。
- 前記強度分布が正方形である請求項1に記載のリソグラフィック装置。
- 前記強度分布は、正方形の側部がX軸およびY軸に平行になるように配置されている請求項4に記載のリソグラフィック装置。
- 前記強度分布は、正方形の対角線がX軸およびY軸に平行になるように配置されている請求項4に記載のリソグラフィック装置。
- 前記強度分布が十字形である請求項1に記載のリソグラフィック装置。
- 前記強度分布は、十字形のアームがリソグラフィック装置のX軸およびY軸と整合するように配置されている請求項7に記載のリソグラフィック装置。
- 前記強度分布の中心が照明システムの光軸線上に位置する請求項1から請求項8までのいずれか1項に記載のリソグラフィック装置。
- 前記パターニング手段として位相シフトマスクをさらに有する請求項1から請求項9までのいずれか1項に記載のリソグラフィック装置。
- 前記直線強度分布が、軸線上に位置する単一の極ではなく、軸線外に位置する少なくとも2つの細長い極を有し、偏光の方向が、前記極の長手方向に実質的に平行である請求項1に記載のリソグラフィック装置。
- 前記直線強度分布が4つの細長い極を有し、そのうちの2つは、第1の方向に沿って配置され、残りの2つは、第1の方向と実質的に直交する第2の方向に沿って配置され、各極における放射線の偏光の方向は、その極の長手方向に実質的に平行である請求項11に記載のリソグラフィック装置。
- 強度分布を提供する前記手段は、前記放射線システムの光軸に平行な軸線のまわりを回転可能な二極または四極角度強度分布を生成するための回折光学素子を有し、且つさらに、棒型の光インテグレータを有している請求項10または請求項11に記載のリソグラフィック装置。
- 強度分布を提供する前記手段が一組の可動ブレードを有している請求項1から請求項12までのいずれか1項に記載のリソグラフィック装置。
- 強度分布を提供する前記手段が、前記強度分布に対応する1または複数の開口を有するダイアフラムを備える請求項1から請求項12までのいずれか1項に記載のリソグラフィック装置。
- 前記偏光手段が、前記ダイアフラムの各開口に装着された偏光器を有している請求項15に記載のリソグラフィック装置。
- 偏光手段が、直線偏光ビームを放射する放射線源を有している請求項1から請求項15までのいずれか1項に記載のリソグラフィック装置。
- 放射線の投影ビームを提供するための照明システムと、
前記照明システムの瞳面における前記投影ビームの強度分布を調整する調整手段と、
投影ビームの断面にパターンを与えるように機能するパターニング手段を支持するための支持構造体と、
基板を保持するための基板テーブルと、
パターンが付与された投影ビームを前記基板のターゲット部分に投影するための投影システムと
を有するリソグラフィック投影装置において、
前記調整手段が、2つの直交軸の交差点において対称でない強度分布を付与するとともに、前記強度分布の輝領域を直線で囲まれた領域に区画し、該領域の寸法が、該領域の平均σ値が所定の円形単極の平均σ値と同じになるように、該円形対極の半径に基づいて算出されていることおよび
リソグラフィック投影装置が、前記投影ビームに直線偏光を与えるための偏光手段を有していることを特徴とするリソグラフィック投影装置。 - 基板を提供するステップと、
照明システムを使用して放射線の投影ビームを提供するステップと、
前記照明システムの瞳面における前記投影ビームの強度分布を調整するステップと、
パターニング手段を使用して前記投影ビームの断面にパターンを付与するステップと、
パターンが付与された放射線ビームを基板のターゲット部分に投影するステップと
を含むデバイス製造方法において、
前記調整ステップは、前記強度分布の輝領域を直線で囲まれた領域に区画し、該領域の寸法が、該領域の平均σ値が所定の円形単極の平均σ値と同じになるように、該円形対極の半径に基づいて算出されていることを特徴とし、また
前記投影ビームを直線偏光するステップをさらに含むデバイス製造方法。 - 前記直線偏光ステップにおいて、ビームに与えられた直線偏光の方向が、前記パターンの線に実質的に平行である請求項19に記載のデバイス製造方法。
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