JP4080449B2 - 溶剤の回収装置および溶剤の回収方法 - Google Patents
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また、レジストの剥離工程では、基板やシリコンウェハの搬送の際、それらの基板やシリコンウェハに同伴されることなどにより剥離液が少量ずつ失われるのが通常である。さらに、廃液から剥離液としての溶剤を回収する工程では、廃液中の溶剤成分が、蒸留塔の塔頂部などから大気中に揮散して少量ずつ失われるのが通常である。したがって、レジストの剥離工程で使用する剥離液の必要量に対して、回収工程における回収量では不足するため、新品の剥離液を購入して補充しなければならないので、高価な剥離液を調達するためコストが高くつくという問題があった。
(1)レジスト剥離工程で排出される廃液から溶剤を回収する装置であって、前記廃液に含有されている樹脂成分を除去する樹脂成分除去手段と、前記廃液に含有されている溶剤成分を精製する溶剤成分精製手段と、前記溶剤成分精製手段に供給される廃液に溶剤成分を補充する溶剤成分補充手段とを備え、溶剤成分精製手段は、廃液中の溶剤成分よりも低い沸点を有する低沸点不純物を除去する第1の蒸留塔と、廃液中の溶剤成分よりも高い沸点を有する高沸点不純物を除去する第2の蒸留塔と、により構成されており、溶剤成分補充手段は、前記第1の蒸留塔及び前記第2の蒸留塔のうち少なくとも一方の蒸留塔に工業級溶剤を補充することを特徴とする溶剤の回収装置。
(2)上記(1)に記載の溶剤の回収装置であって、工業級溶剤に含有される不純物の濃度を検出する不純物濃度検出手段を備え、溶剤成分補充手段は、前記不純物濃度検出手段による検出値に基づいて工業級溶剤の補充先を第1の蒸留塔と第2の蒸留塔との間で切り換えることを特徴とする溶剤の回収装置。
(3)上記(1)または上記(2)に記載の溶剤の回収装置であって、溶剤成分精製手段の後段に溶剤濃度検出手段が設けられており、溶剤成分精製手段の後段の溶剤濃度を検出し、溶剤成分補充手段による溶剤成分の補充量を調整し、溶剤成分精製手段の後段の溶剤濃度を所定濃度範囲内に収めることを特徴とする溶剤の回収装置。
(4)上記(1)から上記(3)のうちいずれか1項に記載の溶剤の回収装置であって、廃液中の溶剤成分は、レジストの剥離液であることを特徴とする溶剤の回収装置。
(5)上記(1)から(3)のうちいずれか1項に記載の溶剤の回収装置であって、廃液中の溶剤成分は、シンナーであることを特徴とする溶剤の回収装置。
(6)上記(1)から上記(3)のうちいずれか1項に記載の溶剤の回収装置であって、樹脂成分除去手段は、内周面を加熱可能な蒸発面として有する密閉状の筒本体と、前記筒本体内に配置されるとともにその外周面に放射状にブラシを有する回転体と、を備える樹脂成分除去装置であることを特徴とする溶剤の回収装置。
(7)レジスト剥離工程で排出される廃液から溶剤を回収する方法であって、前記廃液に含有されている樹脂成分を除去する樹脂成分除去工程と、前記廃液に含有されている溶剤成分を精製する溶剤成分精製工程と、前記溶剤成分精製工程に供給される廃液に溶剤成分を補充する溶剤成分補充工程と、を備え、溶剤成分精製工程は、廃液中の溶剤成分よりも低い沸点を有する低沸点不純物を第1の蒸留塔により除去する工程と、廃液中の溶剤成分よりも高い沸点を有する高沸点不純物を第2の蒸留塔により除去する工程と、を有しており、溶剤成分補充工程では、第1の蒸留塔及び第2の蒸留塔のうち少なくとも一方の蒸留塔に工業級溶剤を補充することを特徴とする溶剤の回収方法。
(8)上記(7)に記載の溶剤の回収方法であって、溶剤成分精製手段の後段に溶剤濃度検出手段を設け、溶剤成分精製手段の後段の溶剤濃度を検出し、溶剤成分補充手段による溶剤成分の補充量を調整し、溶剤成分精製手段の後段の溶剤濃度を所定濃度範囲内に収めることを特徴とする溶剤の回収方法。
(9)上記(7)または上記(8)に記載の溶剤の回収方法であって、廃液中の溶剤成分は、レジストの剥離液であることを特徴とする溶剤の回収方法。
(10)上記(7)または上記(8)に記載の溶剤の回収方法であって、廃液中の溶剤成分は、シンナーであることを特徴とする溶剤の回収方法。
本実施の形態では、半導体や液晶ディスプレイを製造する際のレジスト剥離工程で排出される廃液から溶剤を回収する。この廃液は、溶剤成分の他に、樹脂成分としてのレジスト樹脂、水、反応生成物、重金属類、微粒子等の不純物を含んでいる。
図1に示すように、本実施の形態では、レジスト剥離工程で排出される廃液から樹脂成分を除去し(樹脂成分除去工程)、その後、樹脂成分が除去された廃液の溶剤成分を精製する(溶剤成分精製工程)。これにより、レジスト剥離工程の廃液から、樹脂成分及び各種の不純物が除去された高濃度の溶剤成分を回収することができる。
図1に示すように、廃液中の溶剤成分を精製する溶剤成分精製工程は、樹脂成分が除去された廃液から水分等の低沸点不純物を除去する工程(低沸点不純物除去工程)と、樹脂成分が除去された廃液から重金属類やその他高沸点不純物を除去する工程(高沸点不純物除去工程)と、の2つの工程により構成されている。
廃液中から樹脂成分を除去するためには、廃液を蒸発させることで樹脂成分を除去する蒸発分離装置、例えば、蒸発缶やディスクドライヤーなどを用いることができる。また、加熱された金属製の面に廃液を接触させて樹脂成分を分離する装置を用いることができる。例えば、内周面を加熱可能な蒸発面として有する密閉状の筒本体と、前記筒本体内に配置されるとともにその外周面に放射状にブラシを有する回転体とを備え、前記蒸発面と前記回転体との間に前記廃液を供給し、加熱された前記蒸発面に前記廃液を接触させることにより、前記廃液中の揮発性成分(低沸点不純物と溶剤成分および一部高沸点不純物)を蒸発させるとともに、前記廃液中の樹脂成分を流下させて分離することのできる流下膜式の蒸発分離装置を用いることができる。流下膜式の蒸発分離装置を用いることにより、廃液に含有されているレジスト樹脂をほぼ完全に除去することができる。
廃液中から低沸点不純物を除去するためには、好ましくは蒸留塔を用いることができる。この蒸留塔は、塔の内部に複数のトレイが配置されている多段式の蒸留塔であってもよいし、塔の内部にラヒシリングなどの充填物が充填されている蒸留塔であってもよい。また、多段式のトレイの部分と充填物が充填されている部分とを上下に併せ持つ蒸留塔であってもよい。樹脂成分が除去された廃液を蒸留塔に供給することにより、蒸留塔の塔頂部からは、水分等の低沸点不純物を含む凝縮液を得ることができる。また、蒸留塔の塔底部からは、樹脂成分及び低沸点不純物が除去された廃液を得ることができる。
廃液中から高沸点不純物を除去するためには、好ましくは蒸留塔を用いることができる。この蒸留塔は、塔の内部に複数のトレイが配置されている多段式の蒸留塔であってもよいし、塔の内部にラシヒリングなどの充填物が充填されている蒸留塔であってもよい。また、多段式のトレイの部分と充填物が充填されている部分とを上下に併せ持つ蒸留塔であってもよい。樹脂成分が除去された廃液を蒸留塔に供給することにより、蒸留塔の塔頂部からは、樹脂成分及び高沸点不純物が除去された廃液、すなわち、各種の不純物が除去されて精製された溶剤成分を回収することができる。また、蒸留塔の塔底部からは、高沸点不純物を含む残液を得ることができる。
図2は、溶剤の回収装置1の全体構成図である。図2に示すように、本実施例における溶剤の回収装置1は、レジスト剥離工程で排出される廃液から樹脂成分を除去する樹脂成分除去装置10と、樹脂成分が除去された廃液から低沸点不純物を除去する第1の蒸留塔20(低沸点不純物除去手段)と、樹脂成分が除去された廃液から高沸点不純物を除去する第2の蒸留塔30(高沸点不純物除去手段)と、を備えている。第1の蒸留塔20及び第2の蒸留塔30を合わせたものが、本発明における溶剤成分精製手段50に対応している。
廃液Lから分離された樹脂成分は、樹脂成分除去装置10の下部に設けられた配管16cを介して樹脂成分貯留槽4に排出される。その一方、樹脂成分が除去された廃液L1は、配管5を介して第1の蒸留塔20の中段部に供給される。
すなわち、第1の蒸留塔20は充填式の蒸留塔であり、上段側に充填物20aが充填されており、下段側には充填物20bが充填されている。第1の蒸留塔20の中段部に廃液L1が供給されると、第1の蒸留塔20の塔頂部からは、低沸点不純物、すなわち水分を多く含む廃液L2を得ることができる。第1の蒸留塔20の塔底部からは、低沸点不純物(水分)が除去された廃液L3を得ることができる。
すなわち、第2の蒸留塔30は充填式の蒸留塔であり、上段側に充填物30aが充填されている。第2の蒸留塔30の下段部に廃液L3が供給されると、第2の蒸留塔30の塔頂部からは、高沸点不純物が除去された回収液L4を得ることができる。第2の蒸留塔30の塔底部からは、高沸点不純物及び重金属類等を多く含む廃液L5を得ることができる。
第1の回収液槽39a及び第2の回収液槽39bに貯留された回収液L6は、配管40a、40bを介して、濾過器41に供給される。この濾過器41の内部にはフッ素樹脂加工が施された濾材が内装されており、回収液L6中に混入している夾雑物等がこの濾材により取り除かれる。そして、この濾過器41を通過した回収液L6は、その一部が濃度検出手段42aによりサンプリングされて溶剤及び不純物の濃度が検出(測定)されるとともに、レジスト剥離工程における溶剤として再使用される。
前記濃度検出手段42aとしては、回収液L6中の溶剤や不純物の濃度を検出し得る手段であれば、どのようなものでも用いることができる。例えば、回収液L6の吸光度を測定する吸光光度計などを濃度検出手段42aとして用いることができる。濃度検出手段42aは、回収液L6中の溶剤や不純物の濃度をリアルタイムで測定できるセンサであることが好ましい。この濃度検出手段42aで最終的に回収された溶剤の濃度を確認するものである。
前記溶剤濃度検出手段42bとしては、回収液L6中の溶剤の濃度を検出し得る手段であれば、どのようなものでも用いることができる。例えば、回収液L6の吸光度を測定する吸光光度計などを溶剤濃度検出手段42bとして用いることができる。溶剤濃度検出手段42bは、回収液L6中の溶剤の濃度をリアルタイムで測定できるセンサであることが好ましい。
溶剤濃度検出手段42bは、上述したように、第2の蒸留塔30の後段側に設けることが好ましいが、第2の蒸留塔30の前段に設けることもできる。第2の蒸留塔30の前段及び後段の両方に設けることもできる。また、溶剤濃度検出手段42bは、第1の蒸留塔20と第2の蒸留塔30の間に設けることもできる。また、第1の蒸留塔20の前段に設けることもできる。
なお、溶剤の成分が複数である場合には、それぞれの成分の濃度を溶剤濃度検出手段42bにより検出し、それぞれの成分の濃度が所定の範囲内に収まるように、それぞれの成分の補充量を調整することもできる。
なお、「工業級溶剤」とは、重金属類などの不純物を電子級溶剤よりも多く含む溶剤のことであり、電子級溶剤よりも低級の溶剤である。「電子級溶剤」とは、工業級溶剤よりも高純度・高濃度に精製されている溶剤のことであり、市販品として手に入れることのできる溶剤である。
前記溶剤貯留槽51が、本発明における溶剤成分補充手段60に対応しており、第1の蒸留塔20及び第2の蒸留塔30の一方もしくは双方に供給される廃液に溶剤成分を補充する。
工業級溶剤L7中に低沸点不純物があまり含まれておらず、高沸点不純物が多く含まれている場合には、工業級溶剤L7を第2の蒸留塔30に補充するのが好ましい。これにより、工業級溶剤L7が第2の蒸留塔30において精製されるので、工業級溶剤L7中の高沸点不純物を除去することができる。
工業級溶剤L7中に低沸点不純物及び高沸点不純物が含まれている場合には、工業級溶剤L7を上流側に配置されている蒸留塔、すなわち、第1の蒸留塔20に補充するのが好ましい。これにより、工業級溶剤L7が第1の蒸留塔20及び第2の蒸留塔30で精製されるので、工業級溶剤L7中の低沸点不純物及び高沸点不純物を除去することができる。
すなわち、工業級溶剤L7に含まれる低沸点不純物の濃度が所定値を超えている場合には、工業級溶剤L7が第1の蒸留塔20に流れるようにバルブ54a、55aを制御する。工業級溶剤L7に含まれる低沸点不純物の濃度が所定値以下である場合には、工業級溶剤L7が第2の蒸留塔30に流れるようにバルブ54a、55aを制御する。これにより、より低いエネルギーで効率的に、工業級溶剤L7に含まれる各種の不純物を除去することができる。
なお、工業級溶剤L7に含まれる不純物の濃度を測定する不純物濃度検出手段42cとしては、例えば吸光光度計などを用いることができる。この吸収光度計を装置全体の制御システム、例えば分散制御システム(DCS)等にオンラインで接続することにより、上述したような制御を実現することができる。
本実施例の溶剤の回収装置1によれば、工業級溶剤L7を補充すればよいので、電子級溶剤の調達が不要であり、従来の装置よりも低いコストで溶剤の再利用が可能になる。
2 廃液貯留槽
4 樹脂成分貯留槽
10 樹脂成分除去装置
18 回転体
19 ブラシ
19a モーター
20 第1の蒸留塔
29 低沸点不純物貯留槽
30 第2の蒸留塔
39a 第1の回収液槽
39b 第2の回収液槽
41 濾過器
42a 溶剤濃度検出手段
42b 溶剤濃度検出手段
42c 不純物濃度検出手段
43 真空ポンプ
50 溶剤成分精製手段
51 溶剤貯留槽
60 溶剤成分補充手段
Claims (10)
- レジスト剥離工程で排出される廃液から溶剤を回収する装置であって、
前記廃液に含有されている樹脂成分を除去する樹脂成分除去手段と、前記廃液に含有されている溶剤成分を精製する溶剤成分精製手段と、前記溶剤成分精製手段に供給される廃液に溶剤成分を補充する溶剤成分補充手段と、を備え、
溶剤成分精製手段は、廃液中の溶剤成分よりも低い沸点を有する低沸点不純物を除去する第1の蒸留塔と、廃液中の溶剤成分よりも高い沸点を有する高沸点不純物を除去する第2の蒸留塔と、により構成されており、
溶剤成分補充手段は、前記第1の蒸留塔及び前記第2の蒸留塔のうち少なくとも一方の蒸留塔に工業級溶剤を補充することを特徴とする溶剤の回収装置。 - 請求項1に記載の溶剤の回収装置であって、
工業級溶剤に含有される不純物の濃度を検出する不純物濃度検出手段を備え、
溶剤成分補充手段は、前記不純物濃度検出手段による検出値に基づいて工業級溶剤の補充先を第1の蒸留塔と第2の蒸留塔との間で切り換えることを特徴とする溶剤の回収装置。 - 請求項1または請求項2に記載の溶剤の回収装置であって、
溶剤成分精製手段の後段に溶剤濃度検出手段が設けられており、溶剤成分精製手段の後段の溶剤濃度を検出し、溶剤成分補充手段による溶剤成分の補充量を調整し、溶剤成分精製手段の後段の溶剤濃度を所定濃度範囲内に収めることを特徴とする溶剤の回収装置。 - 請求項1から請求項3のうちいずれか1項に記載の溶剤の回収装置であって、
廃液中の溶剤成分は、レジストの剥離液であることを特徴とする溶剤の回収装置。 - 請求項1から請求項3のうちいずれか1項に記載の溶剤の回収装置であって、
廃液中の溶剤成分は、シンナーであることを特徴とする溶剤の回収装置。 - 請求項1から請求項3のうちいずれか1項に記載の溶剤の回収装置であって、
樹脂成分除去手段は、内周面を加熱可能な蒸発面として有する密閉状の筒本体と、前記筒本体内に配置されるとともにその外周面に放射状にブラシを有する回転体と、を備える樹脂成分除去装置であることを特徴とする溶剤の回収装置。 - レジスト剥離工程で排出される廃液から溶剤を回収する方法であって、
前記廃液に含有されている樹脂成分を除去する樹脂成分除去工程と、前記廃液に含有されている溶剤成分を精製する溶剤成分精製工程と、前記溶剤成分精製工程に供給される廃液に溶剤成分を補充する溶剤成分補充工程と、を備え、
溶剤成分精製工程は、廃液中の溶剤成分よりも低い沸点を有する低沸点不純物を第1の蒸留塔により除去する工程と、廃液中の溶剤成分よりも高い沸点を有する高沸点不純物を第2の蒸留塔により除去する工程と、を有しており、
溶剤成分補充工程では、第1の蒸留塔及び第2の蒸留塔のうち少なくとも一方の蒸留塔に工業級溶剤を補充することを特徴とする溶剤の回収方法。 - 請求項7に記載の溶剤の回収方法であって、
溶剤成分精製手段の後段に溶剤濃度検出手段を設け、溶剤成分精製手段の後段の溶剤濃度を検出し、溶剤成分補充手段による溶剤成分の補充量を調整し、溶剤成分精製手段の後段の溶剤濃度を所定濃度範囲内に収めることを特徴とする溶剤の回収方法。 - 請求項7または請求項8に記載の溶剤の回収方法であって、
廃液中の溶剤成分は、レジストの剥離液であることを特徴とする溶剤の回収方法。 - 請求項7または請求項8に記載の溶剤の回収方法であって、
廃液中の溶剤成分は、シンナーであることを特徴とする溶剤の回収方法。
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